Кластерные образования проводящих квантовых структур в монокристаллическом кремнии для гелиоэнергетики

• Published in: Физическая инженерия поверхности
• Date: 2009
• Main Author: Ефимов, В.П.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2009
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/101958
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Кластерные образования проводящих квантовых структур в монокристаллическом кремнии для гелиоэнергетики / В.П. Ефимов // Физическая инженерия поверхности. — 2009. — Т. 7, № 4. — С. 402-407. — Бібліогр.: 6 назв. — рос.

Рассматриваются физические процессы образования и управления кластерными объединениями в проводящих квантовых структурах в монокристалле кремния. Выделены основные радиационные процессы с пространственной изотропией вылета осколков ядер тяжелых элементов при их фотоделении для обработки кремниевых с...