Физические закономерности формирования многоэлементных, композиционных (многофазных) покрытий, полученных ионноплазменными методами

Физические закономерности формирования многоэлементных, композиционных (многофазных) покрытий, полученных ионноплазменными методами

В обзорной статье рассмотрены закономерности формирования многоэлементных, композиционных покрытий, получаемых ионно-плазменными методами. Рассмотрены эффективные способы совершенствования свойств покрытий путем их легирования элементами переходных металлов. В качестве распыляемых катодов рассматрив...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Физическая инженерия поверхности
Datum:2014
Hauptverfasser: Торяник, И.Н., Немченко, У.С., Погребняк, А.Д., Соболь, О.В., Гранкин, С.С., Турбин, П.В., Битиманова, С.С.
Format: Artikel
Sprache:Russian
Veröffentlicht: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2014
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/102626
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Физические закономерности формирования многоэлементных, композиционных (многофазных) покрытий, полученных ионноплазменными методами / И.Н. Торяник, У.С. Немченко, А.Д. Погребняк, О.В. Соболь, С.С. Гранкин, П.В. Турбин, С.С. Битиманова // Физическая инженерия поверхности. — 2014. — Т. 12, № 1. — С. 100-113. — Бібліогр.: 43 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-102626
record_format dspace
spelling Торяник, И.Н.
Немченко, У.С.
Погребняк, А.Д.
Соболь, О.В.
Гранкин, С.С.
Турбин, П.В.
Битиманова, С.С.
2016-06-12T05:05:44Z
2016-06-12T05:05:44Z
2014
Физические закономерности формирования многоэлементных, композиционных (многофазных) покрытий, полученных ионноплазменными методами / И.Н. Торяник, У.С. Немченко, А.Д. Погребняк, О.В. Соболь, С.С. Гранкин, П.В. Турбин, С.С. Битиманова // Физическая инженерия поверхности. — 2014. — Т. 12, № 1. — С. 100-113. — Бібліогр.: 43 назв. — рос.
1999-8074
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/102626
621.715.539.376
В обзорной статье рассмотрены закономерности формирования многоэлементных, композиционных покрытий, получаемых ионно-плазменными методами. Рассмотрены эффективные способы совершенствования свойств покрытий путем их легирования элементами переходных металлов. В качестве распыляемых катодов рассматриваются многоэлементные композиционные материалы. На основе проведенного анализа результатов исследований предложены физико-технологические принципы создания новых материалов в виде покрытий, обладающих высокими физико-механическими характеристиками.
В оглядовій статті розглянуті закономірності формування багатоелементних, композиційних покриттів, що одержуються іонно-плазмовими методами. Розглянуто ефективні способи вдосконалення властивостей покриттів шляхом їх легування елементами перехідних металів. В якості катодів, що розпилюються розглядаються багатоелементні композиційні матеріали. На основі проведеного аналізу результатів досліджень запропоновані фізико-технологічні принципи створення нових матеріалів у вигляді покриттів, яким властиві високі фізико-механічні характеристики.
This review article describes the laws of formation of multi-element and composite coatings obtained by means of ion-plasma methods. The effective methods to improve the properties of the coatings by doping them with transition metal elements have been considered. As the sputtered cathodes multielement composite materials have been considered. Physical and technological principles of obtaining new materials in the form of coatings with high physical and mechanical characteristics have been suggested basing on the analysis of research results
Работа выполнялась авторами в рамках комплексных госбюджетных НИР 0112U005920, 0112U006974 и 0113U001079, финансируемых Министерством образования и науки Украины. Авторы выражают благодарность В. М. Бересневу профессору кафедры материалов реакторостроения и физических технологий Харьковского национального университета имени В. Н. Каразина за содержательное обсуждение данной работы. Remove selected
ru
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
Физическая инженерия поверхности
Физические закономерности формирования многоэлементных, композиционных (многофазных) покрытий, полученных ионноплазменными методами
Фізичні закономірності формування багатоелементних, композиційних (багатофазних) покриттів, отриманих іонно-плазмового методами
Physical formation of multiple, composite (multiphase) coatings obtained by ion-plasma methods
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Физические закономерности формирования многоэлементных, композиционных (многофазных) покрытий, полученных ионноплазменными методами
spellingShingle Физические закономерности формирования многоэлементных, композиционных (многофазных) покрытий, полученных ионноплазменными методами
Торяник, И.Н.
Немченко, У.С.
Погребняк, А.Д.
Соболь, О.В.
Гранкин, С.С.
Турбин, П.В.
Битиманова, С.С.
title_short Физические закономерности формирования многоэлементных, композиционных (многофазных) покрытий, полученных ионноплазменными методами
title_full Физические закономерности формирования многоэлементных, композиционных (многофазных) покрытий, полученных ионноплазменными методами
title_fullStr Физические закономерности формирования многоэлементных, композиционных (многофазных) покрытий, полученных ионноплазменными методами
title_full_unstemmed Физические закономерности формирования многоэлементных, композиционных (многофазных) покрытий, полученных ионноплазменными методами
title_sort физические закономерности формирования многоэлементных, композиционных (многофазных) покрытий, полученных ионноплазменными методами
author Торяник, И.Н.
Немченко, У.С.
Погребняк, А.Д.
Соболь, О.В.
Гранкин, С.С.
Турбин, П.В.
Битиманова, С.С.
author_facet Торяник, И.Н.
Немченко, У.С.
Погребняк, А.Д.
Соболь, О.В.
Гранкин, С.С.
Турбин, П.В.
Битиманова, С.С.
publishDate 2014
language Russian
container_title Физическая инженерия поверхности
publisher Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
format Article
title_alt Фізичні закономірності формування багатоелементних, композиційних (багатофазних) покриттів, отриманих іонно-плазмового методами
Physical formation of multiple, composite (multiphase) coatings obtained by ion-plasma methods
description В обзорной статье рассмотрены закономерности формирования многоэлементных, композиционных покрытий, получаемых ионно-плазменными методами. Рассмотрены эффективные способы совершенствования свойств покрытий путем их легирования элементами переходных металлов. В качестве распыляемых катодов рассматриваются многоэлементные композиционные материалы. На основе проведенного анализа результатов исследований предложены физико-технологические принципы создания новых материалов в виде покрытий, обладающих высокими физико-механическими характеристиками. В оглядовій статті розглянуті закономірності формування багатоелементних, композиційних покриттів, що одержуються іонно-плазмовими методами. Розглянуто ефективні способи вдосконалення властивостей покриттів шляхом їх легування елементами перехідних металів. В якості катодів, що розпилюються розглядаються багатоелементні композиційні матеріали. На основі проведеного аналізу результатів досліджень запропоновані фізико-технологічні принципи створення нових матеріалів у вигляді покриттів, яким властиві високі фізико-механічні характеристики. This review article describes the laws of formation of multi-element and composite coatings obtained by means of ion-plasma methods. The effective methods to improve the properties of the coatings by doping them with transition metal elements have been considered. As the sputtered cathodes multielement composite materials have been considered. Physical and technological principles of obtaining new materials in the form of coatings with high physical and mechanical characteristics have been suggested basing on the analysis of research results
issn 1999-8074
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/102626
citation_txt Физические закономерности формирования многоэлементных, композиционных (многофазных) покрытий, полученных ионноплазменными методами / И.Н. Торяник, У.С. Немченко, А.Д. Погребняк, О.В. Соболь, С.С. Гранкин, П.В. Турбин, С.С. Битиманова // Физическая инженерия поверхности. — 2014. — Т. 12, № 1. — С. 100-113. — Бібліогр.: 43 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT torânikin fizičeskiezakonomernostiformirovaniâmnogoélementnyhkompozicionnyhmnogofaznyhpokrytiipolučennyhionnoplazmennymimetodami
AT nemčenkous fizičeskiezakonomernostiformirovaniâmnogoélementnyhkompozicionnyhmnogofaznyhpokrytiipolučennyhionnoplazmennymimetodami
AT pogrebnâkad fizičeskiezakonomernostiformirovaniâmnogoélementnyhkompozicionnyhmnogofaznyhpokrytiipolučennyhionnoplazmennymimetodami
AT sobolʹov fizičeskiezakonomernostiformirovaniâmnogoélementnyhkompozicionnyhmnogofaznyhpokrytiipolučennyhionnoplazmennymimetodami
AT grankinss fizičeskiezakonomernostiformirovaniâmnogoélementnyhkompozicionnyhmnogofaznyhpokrytiipolučennyhionnoplazmennymimetodami
AT turbinpv fizičeskiezakonomernostiformirovaniâmnogoélementnyhkompozicionnyhmnogofaznyhpokrytiipolučennyhionnoplazmennymimetodami
AT bitimanovass fizičeskiezakonomernostiformirovaniâmnogoélementnyhkompozicionnyhmnogofaznyhpokrytiipolučennyhionnoplazmennymimetodami
AT torânikin fízičnízakonomírnostíformuvannâbagatoelementnihkompozicíinihbagatofaznihpokrittívotrimanihíonnoplazmovogometodami
AT nemčenkous fízičnízakonomírnostíformuvannâbagatoelementnihkompozicíinihbagatofaznihpokrittívotrimanihíonnoplazmovogometodami
AT pogrebnâkad fízičnízakonomírnostíformuvannâbagatoelementnihkompozicíinihbagatofaznihpokrittívotrimanihíonnoplazmovogometodami
AT sobolʹov fízičnízakonomírnostíformuvannâbagatoelementnihkompozicíinihbagatofaznihpokrittívotrimanihíonnoplazmovogometodami
AT grankinss fízičnízakonomírnostíformuvannâbagatoelementnihkompozicíinihbagatofaznihpokrittívotrimanihíonnoplazmovogometodami
AT turbinpv fízičnízakonomírnostíformuvannâbagatoelementnihkompozicíinihbagatofaznihpokrittívotrimanihíonnoplazmovogometodami
AT bitimanovass fízičnízakonomírnostíformuvannâbagatoelementnihkompozicíinihbagatofaznihpokrittívotrimanihíonnoplazmovogometodami
AT torânikin physicalformationofmultiplecompositemultiphasecoatingsobtainedbyionplasmamethods
AT nemčenkous physicalformationofmultiplecompositemultiphasecoatingsobtainedbyionplasmamethods
AT pogrebnâkad physicalformationofmultiplecompositemultiphasecoatingsobtainedbyionplasmamethods
AT sobolʹov physicalformationofmultiplecompositemultiphasecoatingsobtainedbyionplasmamethods
AT grankinss physicalformationofmultiplecompositemultiphasecoatingsobtainedbyionplasmamethods
AT turbinpv physicalformationofmultiplecompositemultiphasecoatingsobtainedbyionplasmamethods
AT bitimanovass physicalformationofmultiplecompositemultiphasecoatingsobtainedbyionplasmamethods
first_indexed 2025-11-25T22:46:23Z
last_indexed 2025-11-25T22:46:23Z
_version_ 1850572730934493184
fulltext ФИЗИЧЕСКИЕ ЗАКОНОМЕРНОСТИ ФОРМИРОВАНИЯ МНОГОЭЛЕМЕНТНЫХ, КОМПОЗИЦИОННЫХ (МНОГОФАЗНЫХ) ПОКРЫТИЙ... ФІП ФИП PSE, 2014, т. 12, № 1, vol. 12, No. 1100100 © Торяник И. Н., Немченко У. С., Погребняк А. Д., Соболь О. В., Гранкин С. С., Турбин П. В., Битиманова С. С., 2014 УДК 621.715.539.376 ФИЗИЧЕСКИЕ ЗАКОНОМЕРНОСТИ ФОРМИРОВАНИЯ МНОГОЭЛЕМЕНТНЫХ, КОМПОЗИЦИОННЫХ (МНОГОФАЗНЫХ) ПОКРЫТИЙ, ПОЛУЧЕННЫХ ИОННО-ПЛАЗМЕННЫМИ МЕТОДАМИ И. Н. Торяник1, У. С. Немченко1, А. Д. Погребняк2, О. В. Соболь3, С. С. Гранкин1, П. В. Турбин1,4, С. С. Битиманова5 1Харьковский национальный университет имени В. Н. Каразина, Украина 2Сумской государственный университет, Украина 3Харьковский национальный технический университет «ХПИ», Украина 4Научный физико-технологический центр МОН и НАН Украины 5Белгородский государственный национальный исследовательский университет, Российская Федерация Поступила в редакцию 5. 11. 2013 В обзорной статье рассмотрены закономерности формирования многоэлементных, композици­ он ных покрытий, получаемых ионно­плазменными методами. Рассмотрены эффективные спо­ собы совершенствования свойств покрытий путем их легирования элементами переходных металлов. В качестве распыляемых катодов рассматриваются многоэлементные композици­ он ные материалы. На основе проведенного анализа результатов исследований предложены физи ко­технологические принципы создания новых материалов в виде покрытий, обладаю­ щих высокими физико­механическими характеристиками. Ключевые слова: ионно­плазменные методы, многоэлементные и композиционные покры­ тия, физико­механические характеристики. ФІЗИЧНІ ЗАКОНОМІРНОСТІ ФОРМУВАННЯ БАГАТОЕЛЕМЕНТНИХ, КОМПОЗИЦІЙНИХ (БАГАТОФАЗНИХ) ПОКРИТТІВ, ОТРИМАНИХ ІОННО-ПЛАЗМОВОГО МЕТОДАМИ І. М. Торяник, У. С. Нємченко, О. Д. Погребняк, О. В. Соболь, С. С. Гранкін, П. В. Турбін, С. С. Бітіманова В оглядовій статті розглянуті закономірності формування багатоелементних, композиційних по криттів, що одержуються іонно­плазмовими методами. Розглянуто ефективні способи вдо­ ско налення властивостей покриттів шляхом їх легування елементами перехідних металів. В якості катодів, що розпилюються розглядаються багатоелементні композиційні матеріали. На ос нові проведеного аналізу результатів досліджень запропоновані фізико­технологічні прин­ ци пи створення нових матеріалів у вигляді покриттів, яким властиві високі фізико­механічні ха рактеристики. Ключові слова: іонно­плазмові методи, багатоелементні та композиційні покриття, фізико­ ме ханічні характеристики. PHYSICAL FORMATION OF MULTIPLE, COMPOSITE (MULTIPHASE) COATINGS OBTAINED BY ION-PLASMA METHODS I. N. Torianik, U. S. Nyenchenko, A. D. Pogrebnjak, O. V. Sobol’, S. S. Grankin, P. V. Turbin, S. S. Bitimanova This review article describes the laws of formation of multi­element and composite coatings obtained by means of ion­plasma methods. The effective methods to improve the properties of the coatings by doping them with transition metal elements have been considered. As the sputtered cathodes mu­ ltielement composite materials have been considered. Physical and technological principles of ob ta­ in ing new materials in the form of coatings with high physical and mechanical characteristics have be en suggested basing on the analysis of research results. Keywords: ion­plasma methods, multi­element and composite coatings, physical and mechanical properties. И. Н. ТОРЯНИК, У. С. НЕМЧЕНКО, А. Д. ПОГРЕБНЯК, О. В. СОБОЛЬ, С. С. ГРАНКИН, П. В. ТУРБИН, С. С. БИТИМАНОВА ФІП ФИП PSE, 2014, т. 12, № 1, vol. 12, No. 1 101 ВВЕДЕНИЕ Наиболее перспективным и интенсивно раз­ ви вающимся способом повышения ра бото­ спо собности рабочих поверхностей из де лий яв ляется нанесения на поверхность ма те­ ри алов износостойких ионно­плазменных по крытий на основе нитридов и карбидов ту гоплавких металлов. Эффективность ис­ поль зования покрытий во многом зависит от ка чества их адгезии к основе механичес ких и физико­химических свойств (ус той чиво­ сти к ударно­повторяющимся нагрузкам, склонности к хрупкому разрушению, твер­ дости). Этот комплекс свойств покрытий всегда был в центре внимания и традиционно под ­ вер гался оптимизации. Одним из путей воз­ дей ствия на характер деформации и акти­ ва ции поверхностных слоев износостой ких по крытий является их легирование. Наибо­ лее эффективно оно при легировании ту го­ плав ких металлов элементами, обеспечива­ ю щими повышение твердости, снижение ко эффициента трения и схватываемости тру щихся поверхностей. В последнее время большое внимание уде ляется разработке по­ крытий с высокими физико­механическими свойствами и, в ча с тности, твердых и сверх­ твердых с твердостью 40—100 ГПа с высо­ кими термической ста бильностью и стойко­ стью к окислению [1—6]. КЛАССИФИКАЦИЯ ПОКРЫТИЙ ПО ХИМИЧЕСКОМУ СОСТАВУ Среди бинарных систем нитридов, ни­ трид ти тана (TiN) является наиболее ши­ роко ис поль зуемым материалом в технике из­за его вы соких механических свойств и коррозион ной стойкости. Применяемые в настоящее время покры тия на основе ни­ трида титана, по своим воз мо жностям во многом исчерпали себя, и, не сомненно, не смогут обеспечить более ради кального по­ вышения надежности и улуч шения эксплу­ тационных характеристик не только вновь создаваемого, но используе мых в настоящее время различных изделий при меняемых в машиностроении. В последнее десятилетие, получили широкое распро стра нение много­ элементные покрытия, на пример (Ti1­xAlxN), для повышения твердости и стойкости ре­ жущего инструмента при высокоскорост­ ной обработке. Кроме того добавление в по­ крытие алюминия приводит к увеличению стойкости к окислению при температурах от 770 К до 1070 К в связи с формированием на поверхности защитного слоя оксида алю­ миния. К положительным эффектам повы­ шения функциональных свойств приводит добавление таких элементов как хром или цирконий с образованием трой ной системы [7, 8]. Таким образом, переход от одноэлемент­ ных к двухэлементным покрытиям, а также к более сложным, за счет их легирования со­ от ветствующими элементами переходных ме таллов является эффективным способом, по зволяющим в значительной степени изме­ нить свойства покрытия. Следующим шагом в универсализации свойств получаемых нитридных материалов ста ло создание на их основе многослойных пе риодических систем с одной стороны, а с дру гой — получение многоэлементных по­ кры тий на основе четырех и пятиэлемент­ ных покрытий, в которых соответственно при сутствовали 3—4 составляющих пе ре­ ход ных металлов и азот, как компонент на­ полнения, стимулирующий сильные кова­ лен тные связи. Среди таких покрытий, де монстрирующих высокие функциональ­ ные характеристики, особое место занима­ ют многоэлементные покрытия, получен­ ные в виде твердых растворов внедрения на ос нове нитридов титана, циркония, гафния, крем ния и т. п. Как следует, из полученных в последнее вре мя результатов [2, 5] одним из приоритетных направлений современно­ го физического материаловедения является разработка но вых материалов в виде нано­ композитных по крытий. Это особый класс покрытий, характери зу ющейся гетероген­ ной структурой, обра зо ван ной практически не взаимодействую щи ми фазами со средним линейным раз мером стру ктурных элементов <100 нм. Они состоят, как минимум, из двух фаз с на нокристалли ческой и аморфной структурой. В этом направлении в настоящее время набольшие успехи были достигнуты для ФИЗИЧЕСКИЕ ЗАКОНОМЕРНОСТИ ФОРМИРОВАНИЯ МНОГОЭЛЕМЕНТНЫХ, КОМПОЗИЦИОННЫХ (МНОГОФАЗНЫХ) ПОКРЫТИЙ... ФІП ФИП PSE, 2014, т. 12, № 1, vol. 12, No. 1102 систем с полной или практически полной не смешиваемостью составляющих, находя­ щих ся в состоянии при котором твердые на­ но кристаллиты полностью окружены мате­ риалом другой фазы в аморфном состоянии. Покрытия на основе композиционных си ­ стем перспективных составов, имеют на но­ кри сталлическую структуру и значитель но превосходят покрытия из одноэлементных и многоэлементных нитридов или кар бидов по твердости и стойкости к окисле нию на воздухе при высоких температурах [9—11]. Наиболее часто для получения этих си­ стем используются следующие ионно­плаз­ менные методы: вакуумно­дуговое осажде­ ние и магнетронное распыление [12—14]. МНОГОЭЛЕМЕНТНЫЕ ПОКРЫТИЯ Многоэлементные покрытия на основе ни­ т ри дов двух и более металлов отличаются от одноэлементных более совершенными фи зико­механическими характеристиками, по вышенной термостойкостью и нашли ши­ рокое применение в качестве износостойких ан тифрикционных поверхностных слоев в машиностроении и в микроскопических эле ­ ктромеханических системах, а также как ба­ рь ерные слои в микроэлектронике. Исследование многоэлементных систем на основе тройных нитридов, состоящих из от дельных компонент, таких как Ti1­xAlxN, Ti1­xZrxN, Ti1­xCrxN показало, что покрытия си стемы Ti1­xAlxN при малом содержании Al пред ставляет собой однофазную ГЦК стру к­ ту ру (структурный тип NaCl) [15]. Покрытия Ti1­xZrxN и Ti1­xCrxN также харак­ теризуются про стой ГЦК кристаллической решеткой. Это можно объяснить наличием определенного количества сильных ни три­ до образующих элементов, стимулирующих фор мирования простой ГЦК решетки, что и приводит к стабилизации во всем кон цен тра ­ ци онном интервале именно такого од но фаз­ но го состояния твердого раствора. Характер но, что устойчивость такого со ­ стояния со храняется вплоть до высоких тем ­ ператур в 1270 К, т. е. разделения фаз не про исходит, да же после отжига при та кой вы сокой темпе ратуре и длительном вре мен­ ном интервале отжига. Это показы вает, что ГЦК твердый раствор нитрида яв ляется термодинамически ста­ бильным по крайней мере до температуры в 1270 К. По дача отрицательного потенциала смещения на подложку может быть исполь­ зована для повышения адгезии, изменения фазово­стру ктурного и напряженного состо­ яний, уве личения реакционной способности при фа зообразовании и др. [16, 17]. Исследованию особенностей структур­ но­фазового состояния многоэлементных по крытий на основе Zr, Ti, Sі и N, получен­ ных методом вакуумно­дугового осажде­ ния, посвящена работа [18]. По результатам рен тгеновских исследований, покрытий си­ сте мы (Zr, Ti, Si)N явно определяются ди­ ф ракци онные рефлексы, относящиеся к твер дому раствору (Zr, Ti)N на основе ZrN с кубической решеткой типа NaCl (рис. 1). Установлено, что во всем исследованном ин тервале давлений и потенциалов смеще­ ния (Ucм = –100 и Uсм = –200) по рент ге но­ г рам мам в покрытиях микронной тол щи ны вы являются кристаллиты (Zr, Ti)N твердого рас твора на основе ZrN с кубической решет­ кой типа NaCl. Присутствие Si в покрытии Таблица 1 Классификация покрытий по химическому составу Типы покрытий Состав покрытий Одноэлементные На основе соединений одного из элементов метал лов, покрытия: ZrN, TiC, TiN, Al2O3 и т. д. Многоэлементные На основе элементов из двух и более металлов в виде твердых растворов, покрытия: (TiAl)N, (TiMo)N, (TiZr)N, (TiHf)N и т. д. Композиционные (многофазные) На основе смесей двух и более фаз металлов, на пример: TiN­Si3N4, AlN­(TiCr)B2, ZrB2­ZrSi2­ LaB6 И. Н. ТОРЯНИК, У. С. НЕМЧЕНКО, А. Д. ПОГРЕБНЯК, О. В. СОБОЛЬ, С. С. ГРАНКИН, П. В. ТУРБИН, С. С. БИТИМАНОВА ФІП ФИП PSE, 2014, т. 12, № 1, vol. 12, No. 1 103 должно приводить к образованию силици­ дов, которые, однако, не выявляются, по­ви­ ди мому, из­за их высокой дисперсности и сла бой отражательной способности. В последние несколько лет получила раз­ ви тие концепция создания многоэлемент­ ных покрытий, где в качестве испаряемого ма териала используются высокоэнтропий­ ные сплавы. При этом в результате эффек­ та интенсивного перемешивания возрастает энтропийный вклад, что стабилизирует об­ разование твердого раствора с простой стру­ ктурой. Рентгенограммы покрытий многоэлемен­ тной системы (Al­Cr­Ta­Ti­Zr)N, получен­ ных при различных температурах подложки пред ставлены на рис. 2 [19]. По (111), (200), (220) и (311) пикам (Al­ Cr­Ta­Ti­Zr)N покрытия идентифицируют­ ся, как покрытия, имеющие ГЦК кристалли­ ческую структуру (структурного типа NaCl). При этом выявленная, только одна группа пи ков указывает на то, что указанные по к­ ры тия образованы на основе однофазного ни трида твердого раствора. Для достижения наивысших фун кци о ­ наль ных свойств в качестве составляющих ис пользуют переходные d­металлы с высо­ кой отрицательной энтальпией ни три до о­ бра зования (см. табл. 2), что обеспечивает вы сокую их твердость (см. табл. 3.) и проч­ ность [20]. Одним из направлений использования этих покрытий в последнее время стали диф фузионные барьеры в электронике (в боль шинстве случаев между Si и Cu). В этом слу чае использование в сплавах сильных ни тридообразующих элементов, в следствие сильной Me­N связи, повышает химическую стабильность такого барьера. В случае мед ной металлизации на крем­ нии реакции между Cu и Si были предотвра­ щены при использовании барьеров из нитри­ дов (Al­Cr­Ta­Ti­Zr)N [19], (Ti­V­Cr­Zr­Hf)N [29], (Al­Cr­Ta­Ti­Zr­Ru)N [30] и (Al­Cr­Nb­ Si­Ta­Ti­V­Zr)N [31] до температур 1070 К, 1170 К, 970 К и 1120 К соответственно. В работе [27] исследовалось влияние от жига на изменение твердости и модуля Юн га высокоэнтропийных нитридных по­ крытий (Al­Cr­Nb­Si­Ti­V)N. Покрытия по­ луче ны при помощи метода магнетронного распыления. Условия осаждения следующие: в на чале была подготовлена мишень путем ва куумно­ дуговой плавки сверхчистых элементов Al, Cr, Nb, Si, Ti и V, которая пе ре пла влялась пять раз для достижения гомоге ни зации сплава. Затем, в рабочей камере ма гнетрона осаж­ далось нитридное покрытие на подложку из (001) Si. Напряжение смещения на подложке со­ ставляло –100 В, мощность реактивного рас пыления 200 Вт, начальное давление га­ зов в рабочей камере 2,7 × 10–3 Па. Концен­ трация азота в смеси газов равнялась 28 %. Покрытия, полученные при Tподл = 570 К, 600 И нт ен си вн ос ть , у сл ов ны х ед ин иц 500 (1 11 )( Zr , T i)N (2 00 )( Zr , T i)N (1 10 )F e( по дл ож ка ) (2 20 )( Zr , T i)N (3 11 )( Zr , T i)N (2 22 )( Zr , T i)N 2θ, град. 1 2 3 (2 00 )F e( по дл ож ка ) 400 300 200 100 0 30 40 50 60 70 80 Рис. 1. Участки рентгенограмм покрытий на основе Zr, Ti, Sі и N: 1) Uсм = –100 В, Р = 0,3 Па; 2) Uсм = –200 В, Р = 0,3 Па, 3) Uсм = –200 В, Р = 0,7 Па [18] И нт ен си вн ос ть , у сл ов ны х ед ин иц (1 11 ) (2 00 ) (2 20 ) (3 11 ) (2 22 ) fcc 30 40 50 60 70 80 90 2θ, град. Рис. 2. Рентгенограммы (Al­Cr­Ta­Ti­Zr)N покрытий, нанесенных при различных температурах подложки [19] ФИЗИЧЕСКИЕ ЗАКОНОМЕРНОСТИ ФОРМИРОВАНИЯ МНОГОЭЛЕМЕНТНЫХ, КОМПОЗИЦИОННЫХ (МНОГОФАЗНЫХ) ПОКРЫТИЙ... ФІП ФИП PSE, 2014, т. 12, № 1, vol. 12, No. 1104 отжигались при температурах 870 К и 1270 К в течении пяти часов при давлении 1,3 Па. Можно отметить, что после отжига при тем­ пературе 1270 К структура покрытий и тип решетки остаются неизменными. Это мож­ но объяснить тем, что ГЦК структура данно­ го покрытия стабилизируется за счет эффек­ та высокой энтропии, которая присутствует в переходных металлах. Ar + N2 смешанной атмосфе ре при ра бочем давлении 6,67 × 10–1 Па и температуре 723 К и потоке Ar и N2 100 и 4 SCCM, соответ­ ственно. Отжиг проводился в мо дуль ной печи в течение 2 часов, покрытия бы ли за­ паяны в кварцевые трубки под да в ле нием 2,67 × 10–3 Па. Изучение структур но го со стояния пока­ за ло, что покрытия име ют од нофазную стру­ Таблица 2 Энтальпии образования (H) пяти бинарных систем нитридов переходных металлов и некоторых силицидов на основе базовых элементов [20] Таблица 3 Твердость многоэлементных покрытий [21] ∆H TiN TiSi2 VN VSi2 CrN CrSi2 ZrN ZrSi2 HfN кДж/мол –337,7 –171,0 –217,2 –120,6 –117,2 –77,4 –365,3 –153,9 –373,6 Состав композиции Максимальная твердость (ГПа) Примечание (Al­Cr­Ni­Si­Ti)N 15 [22] (Ti­V­Cr­Zr­Y)N 18 [23] (Al­Cr­Mo­Si­Ti)N 25 [24] (Ti­Al­Cr­Si­V)N 31 [25] (Al­Cr­Ta­Ti­Zr)N 35 [19] (Al­Mo­Nb­Si­Ta­Ti­V­Zr)N 37 [26] Al­Cr­Nb­Si­Ti­V)N 41 [27] (Ti-Hf-Zr-V-Nb)N [28] На рис. 3 приведены графики изменения твер дости и модуля упругости покрытий при увеличении температуры отжига. Как видно из графиков, твердость пра­ к тиче ски остается неизменной вплоть до темпе ра туры отжига в 1170 К, а затем не­ много умень шается. Модуль Юнга с повы­ шением тем пературы отжига увеличивается до ма кси мального значения при температу­ ре от жи га в 1170 К, а потом уменьшается. Уменьшение данных параметров объясня­ ет ся тем, что во время отжига на поверхно­ сти покрытия образуется тонкий оксидный шар (толщиной около 20 нм). В работе [32] проанализировано влия ние вакуумного от­ жи га при температурах 973—1173 K на стру ктурно­фазовое со стояние по крытий (Ti­V­Cr­Zr­Hf)N тол щиной 1,4 мкм, полу­ ченных при по тен циале смещения –100 В, в ктуру твердого раст вора с ха рактерной ГЦК ре шеткой, которая сохраня ется для всего ин тервала температур вакуумного отжига. Ста бильность ГЦК фазы твердого раствора обу словлена эффектом высокой энтропии. Кроме того, было выявлено, что отжиг даже при наибольшей температуре 1170 К приво­ дит к сравнительно небольшому увеличе­ нию размеров от 6,4 нм до 9,3 нм и снижению периода решетки с 0,4390 нм до 0,4361 нм. Детальный анализ микроструктуры методом про свечивающей электронной микроскопии в сочетании с микродифракцией (рис. 4) показал, что структура покрытия после его получения состояла из толстого аморфно­ го слоя вблизи подложки (зона А), а затем четко выделенных V­образных колонн, об­ разующихся выше аморфного слоя (зона B). Образование аморфного слоя (слоя нитрида) И. Н. ТОРЯНИК, У. С. НЕМЧЕНКО, А. Д. ПОГРЕБНЯК, О. В. СОБОЛЬ, С. С. ГРАНКИН, П. В. ТУРБИН, С. С. БИТИМАНОВА ФІП ФИП PSE, 2014, т. 12, № 1, vol. 12, No. 1 105 связано, главным образом, с большими иска­ жениями решетки, вызванными включением различных по размерам атомов. Этот эффект усиливается в результате ионной бомбарди­ ровки. а б в г Картины микродифракции подтверждают однофазность структуры (Ti­V­Cr­Zr­Hf)N по крытия, что свидетельствует об исключе­ нии разделения фаз в структуру и свойства. Вакуумно­дуговое осаждение высокоэн­ тропийной системы Ti­V­Zr­Nb­Hf с bbc­ кристаллической решеткой и содержанием эле ментов, близким к эквивалентному в ва кууме (давление остаточной атмосферы 0,0066 Па), привело к формированию по­ кры тий с сохраненной однофазностью, т. е. с bcc­криталлической решеткой и сильной те кстурой с осью [110], параллельной на­ пра влению падения пленкообразующих ча­ с тиц (рис. 5) [34]. В случае осаждения по­ крытий в присутствии азотной атмосферы 400 Модуль упругости Твердость После осаждения 350 300 250 45 40 35 30 25 300 Тв ер до ст ь, Г П а М од ул ь уп ру го ст и, Г П а 400 500 600 700 Температура отжига, °С 800 900 1000 Рис. 3. Изменение твердости и модуля Юнга покры­ тий (Al­Cr­Nb­Si­Ti­V)N после проведения отжига 0,5 мкм Зона В Зона А 0,5 мкм Рис. 4. ПЭМ изображение поперечного сечения не­ по средственно после осаждения (Ti­V­Cr­Zr­Hf)N покрытий: а — светлое поле; б — темное поле; в — ми кродифракция зоны А; г — микродифракция зоны B [33] ФИЗИЧЕСКИЕ ЗАКОНОМЕРНОСТИ ФОРМИРОВАНИЯ МНОГОЭЛЕМЕНТНЫХ, КОМПОЗИЦИОННЫХ (МНОГОФАЗНЫХ) ПОКРЫТИЙ... ФІП ФИП PSE, 2014, т. 12, № 1, vol. 12, No. 1106 происходит формирование однофазного по­ ликристаллического нетекстурированного со стояния с fcc­решеткой даже при подаче высокого Uсм = –200 B. Размеры кристалли­ тов изменяются от 35 нм при Uсм = –100 B до 50 нм при Uсм = –200 B. Следует отметить, что приведенные вы ше закономерности формирования структур но­ фазового состояния и свойств многоэлемен­ тных покрытий, полученных как методами ва куумно­дугового осаждения так и метода­ ми магнетронного распыления обладают вы сокой общностью. КОМПОЗИЦИОННЫЕ (МНОГОФАЗНЫЕ ПОКРЫТИЯ) Для получения твердых композитных по­ кры тий необходимо сформировать струк­ туру так, чтобы, во­первых, обе фазы были в кристаллическом состоянии или одна в крис таллическом, а вторая — в аморфном со стоянии; во­вторых, зерна основной фазы дол жны иметь преимущественную кристал­ лографическую ориентацию. Материалы — покрытия, с очень малым размером зерен (≤10—15 нм), проявляют со вершенно новые свойства, и ведут себе ина че по сравнению с традиционными по кры тиями, состоящими из зерен больших раз меров. Эти факторы являются основной дви жущей силой, стиму­ лирующей развитие и изучение нанокомпо­ зитных покрытий. Одной из наиболее пер­ спективных в этой об лас ти систем являются системы на основе ком позиции ПМ­Si­N, где ПМ — переходной металл, такой как Mo, Zr, Ti, W и др. [35—40]. Идеализированная модель твердого на ­ но композитного покрытия предложена в ра­ ботах Вепрека и соавторов [2, 41]. Наноком­ по зит состоит из матрицы аморфного ни трида кремния Si3N4 с включениями нано­ кри сталлитов TiN и выделениями TiSi2, на трой ных стыках зерен нитрида титана. При этом указанные выделения могут быть как нанокристаллическими, так и амор­ фными. Необходимо отметить, что к на но­ ма териалам не принято относить традици­ он ные дисперсно­упрочненные сплавы, в стру ктуре которых имеются мелкие части­ цы на нометровых размеров, занимающие объем ную долю всего лишь 5—20 %. Среди возможных композиционных покрытий си ­ сте ма Mo­Si­N интересна тем, что состоит из компонентов с достаточно большой раз­ ни цей энергии сродства с азотом, а потому яв ля ется сильно структурно чувствитель­ ной к физико­технологическим параметрам осаждения. Пленки Mo­Si­N [42] получались магне­ трон ным методом распыления (прямоточ­ ный, несбалансированный магнетрон, осна­ щен ный MoSi2 сплавной мишенью) в смеси аргона и азота. Характер формирования фа­ зового состава пленки Mo­Si­N с увеличен­ ным PN свидетельствует, что реактивное ма гнетронное распыление при постоянном то ке из мишени MoSi2 дает возмож ность полу чить два типа нанокомпозитов: (1) MoSi2 + Mo + Si3N4 при PN < 0,18 Па и (2) Si3N4 + MoNx при PN > 0,18 Па. Соединения первой группы являются кри­ сталлическими и содержат низкое ко ли чес ­ тво фазы α­Si3N4. Напротив, соединения вто­ рой группы являются рентгеноаморфными, и фаза α­Si3N4 доминирует в этих пленках. В работе [43] исследовались покрытия, син тезированные методом вакуумно­дуго ­ во го осаждения при совмещенных плаз­ менных потоках титана и хрома перемен­ ной пло тности (TixCr1­x)N (0,60 < x < 0,84 и 0,25 < x < 0,67). 20000 И нт ен си вн ос ть , у сл ов ны х ед ин иц 15000 10000 5000 0 30 40 50 60 70 80 2θ, град. (1 11 )fc c (2 00 )fc c (110)bcc 4 3 2 1 (2 20 )fc c (3 11 )fc c (2 22 )fc c (2 20 )b cc Рис. 5. Участки дифракционных спектров вакуумно­ дуговых покрытий высокоэнтропийной системы Ti­ V­Zr­Nb­Hf, полученных при условиях: 1 — в отсутс­ т вие азотной атмосферы (H = 8,2 ГПа, E = 105 ГПа); 2 — при давлении азота PN = 0,27 Пa и Uсм = –50 B (H = 59 ГПa, E = 401 ГПa); 3 — PN = 0,27 Пa и U См = –100 B (H = 64 ГПa, E = 436 ГПa); 4 — PN = 0,27 Пa и Uсм = –100 B (H = 70 ГПa, E = 429 ГПa) [34] И. Н. ТОРЯНИК, У. С. НЕМЧЕНКО, А. Д. ПОГРЕБНЯК, О. В. СОБОЛЬ, С. С. ГРАНКИН, П. В. ТУРБИН, С. С. БИТИМАНОВА ФІП ФИП PSE, 2014, т. 12, № 1, vol. 12, No. 1 107 Обнаружено, что при измене нии плот­ ности плазменных потоков титана и хро­ ма могут формироваться, как однофазная (Ti, Cr) N, так и двухфазная системы (Ti, Cr)N и TiN. Система Hf­Al­N исследовалась в работе [44]. Покрытия формировались реактивным рас пылением из двух магнетронов Hf и Al в сре де реакционного газа. Эта система пред­ ста вляет интерес по двум причинам: 1) HfN — наиболее тугоплавкий нитрид с наиболь­ шим модулем упругости и 2) кубическая стру ктура HfN и гексагональная у A1N не сме шиваются в равновесном состоянии, что представляет интерес для образования ком­ позиционного многофазного покрытия. Полученные покрытия Hf1­xAlxN состояли из метастабильной кубической фазы типа NaCl, несмотря на большое рассогласова­ ние (9 %) между решетками HfN и A1N. При бо лее высоких кон центрациях алюминия в по крытиях (более 0,5) появлялись зерна вто­ рой фазы, обогащенной A1N. В работе [45] исследовался фазовый со­ став покрытий системы (Ti­Hf­Si)N, по лу­ чен ных методом вакуумно­дугового осажде­ ния с использованием магнитной сепарации и прямоточного пучка. Рентгеноструктурные исследование вы­ явили, что полученные по крытия фор ми ­ руются на основе двухфазной системы: фаза твердого раствора (Ti, Hf)N и квазиаморф­ ные фазы α­Si3N4 и HfSi2 (рис. 6). Исследование многокомпонентных по к­ ры тий системы (Ti­Al­Cr­Zr­Nb)N, получен­ ные методом Arc­PVD на установке ион ­ но­плазменного нанесения покрытий в ва кууме «Булат» — «ННВ 6.6 — И1» в среде ре а кционного газа азота, снабженной тремя ду говыми испарителями (Ti­Al, Zr­ Nb, Cr), рас положенными горизонтально в одной плоскости [46]. Титан­алюминиевый и цирконий­нио би е вый катоды были под­ ключены через се пара тор капельной фазы, а хромовый — пря мо точ но. Титан­алюминие­ вый катод был из готовлен из сплава состава Al 5,5 ат. % и Ti 94,5 ат. %; цирконий­нио­ биевый катод — как составной: циркониевая основа со вставкой из ниобия с отношением площадей Zr : Nb = 3 : 1. Нанесение покрытий осуществлялось при различных условиях: токе дуги на цир ко ­ ний­ниобиевом катоде (IZrNb = 135 и 170 А) и потенциале смещения на субстрате (Uсм = –80 В, –120 В и –160 В). Ток дуги на титан­алюминиевом и хромо­ вом катодах не из менялся и составлял соот­ ветственно 120 и 90 А. Давление реакцион­ ного газа азота РN = 3 × 10–3 Па. Результаты исследований фазового со става показывают, что покрытие состоит из двух фаз — на ос­ нове ZrN и TiN; видимо, ато мы металлов (Al, Cr, Nb и Zr) растворяют ся в указанных нитридах, изменяя периоды их решеток. В случае снижении тока дуги на цирко­ ний­ниобиевом катоде до 120 А с соответ­ ствующим уменьшением содержания цир­ ко ния и ниобия покрытие переходит из двух фазной области в однофазную на ос­ нове TiN. На основе проведенного анализа ли те ра тур ных данных, а также проведенных нами ис следований, предложены физико­ тех но ло гические принципы создания новых ма те риалов в виде покрытий, обладающих вы сокими физико­механическими ха ра к те­ ри с тиками (рис. 7). С одной стороны формирование многоэ­ ле ментных покрытий в виде однофазного твер дого раствора на основе нитридов пе ре­ ход ных металлов. Атомы легирующих эле­ мен тов встраиваются в кристаллическую 40 60 80 100 120 23 28 35 37(T i, H f)N (1 11 ) И нт ен си вн ос ть , у сл ов ны х ед ин иц (T i, H f)N (4 20 ) (T i, H f)N (2 00 ) (T i, H f)N (2 20 ) S i 3N 4, (2 02 ) α-Fe S i 3N 4, (3 20 ) 2θ, град. Рис. 6. Дифракционные спектры покрытий, осаж­ денных на стальную подложку при режимах: (23) — –100 В, магнитная сепарация; (28) — –200 В, прямо­ точный пучок; (35) — –100 В, прямоточный пучок; (37) — –200 В, магнитная сепарация [45] ФИЗИЧЕСКИЕ ЗАКОНОМЕРНОСТИ ФОРМИРОВАНИЯ МНОГОЭЛЕМЕНТНЫХ, КОМПОЗИЦИОННЫХ (МНОГОФАЗНЫХ) ПОКРЫТИЙ... ФІП ФИП PSE, 2014, т. 12, № 1, vol. 12, No. 1108 решетку ни трида переходного металла и, в свя зи с раз личием атомных радиусов, созда­ ют на пря жения препятствующие деформа­ ции, что повышает твердость до 30—40 ГПа и со противление сдвигу. Формирование ком­ позиционных (мно го фаз ных) покрытий ос­ новано на тер мо ди на ми ческом разделении фаз, что обеспечивает об разование стабиль­ ной структуры. Это до сти гается в процессе нанесения покрытия при достаточно высо­ ких концентрациях и ак тивности азота. Температура подложки должна превы­ шать 770 К. Азот обеспечивает высокие тер модинамические движущие силы, а тем­ пе ратура подложки обеспечивает контроли­ ру емую диффузией сегрегацию фаз, так что бы процесс сегрегации успел пройти до­ ста точно быстро во время нанесения. Мак си маль ная твердость может быть до­ стигнута, на пример, когда монослой кова­ лентного нит рида, такого как Si3N4 или BN покрывает поверхность полярного твердого на нокристал лита из нитрида переходного ме талла. Также возможна обобщенная кон­ цепция формирования покрытий, объединя­ ющая сформулированные выше принципы. Таким образом, можно сделать выводы, что важнейшей задачей на современном уро вне развития технологий поверхностно­ го упрочнения материалов путем нанесения по крытий является изыскание новых соста­ вов и композиций, которые бы обеспечивали более высокие физико­механические хара­ кте ристики для работы в экстремальных ус­ ловиях (режущий инструмент при обработ ке ши рокого спектра конструкционных ма тери­ а лов, в том числе труднообрабатыва емых ау­ с те нитных нержавеющих сталей, титановых сплавов и т. п., а также узлы трения). Работа выполнялась авторами в рам­ ках комплексных госбюджетных НИР 0112U005920, 0112U006974 и 0113U001079, фи нансируемых Министерством образова­ ния и науки Украины. Авторы выражают благодарность В. М. Бе­ ресневу профессору кафедры мате ри алов ре­ акторостроения и физических технологий Харь ковского национального университета име ни В. Н. Каразина за содержательное об­ суждение данной работы. Ионно-плазменные методы формирования износостойких покрытий Многоэлементные покрытия на основе нитридов двух и более элементов металлов в виде твердых растворов: (Тi-Al)N, (Тi-Мо)N, (Тi-Zr)N, (Тi-Hf)N и т. п. Композиционные (многофазные) покрытия на основе смесей двух и более фаз металлов: ТiN-Si3N4, AlN-(ТiCr)B2 ~1нм ~10нм Тв ер до ст ь 30 — 40 Г П а М од ул ь уп ру го ст и ~3 00 Г П а П ов ы ш ен ие и зн ос ос то йк ос ти по с ра вн ен ию с н ит ри да м и пе ре хо дн ы х м ет ал ло в Тв ер до ст ь >4 0 ГП а М од ул ь уп ру го ст и >4 00 Г П а П ов ы ш ен ие и зн ос ос то йк ос ти П ов ы ш ен ие т ер м ос то йк ос ти Кристаллиты твердого раствора (Тi-Hf)N, (Zr-Тi)N Квазиаморфные прослойки на основе BN, Si3N4 Рис. 7. Схема формирования многоэлементных и ком­ позиционных покрытий ЛИТЕРАТУРА 1. Дробышевская А. А., Давыдов И. В., Фурсо­ ва Е. В., Береснев В. М. Нанокомпозитные по крытия на основе нитридов переходных металлов // ФИП. — 2008. — Т. 5, № 1—2. — С. 93—98. 2. Погребняк А. Д., Шпак А. П., Азаренков Н. А., Береснев В. М. Структура и свойства твер­ дых и сверхтвердых нанокомпозитных по­ крытий // УФН. — 2009. — Т. 179, № 1. — С. 35—64 3. Азаренков Н. А., Соболь О. В., Береснев В. М., Погребняк А. Д., Литовченко С. В., Ива­ нов О. Н. Материаловедение неравновесно­ го состояния модифицированной поверхно­ сти. — Сумы: Сумской государственный уни верситет, 2012. — 682 с. 4. Азаренков Н. А., Береснев В. М., Погреб­ няк А. Д., Колесников Д. А. Наноструктур­ ные покрытия и наноматериалы. — М.: Кни ж ный дом «Либриком», 2013. — 368 с. 5. Pogrebnjak A. D., Beresnev V. M. Hard Na no composite Coatings, Their Structure and И. Н. ТОРЯНИК, У. С. НЕМЧЕНКО, А. Д. ПОГРЕБНЯК, О. В. СОБОЛЬ, С. С. ГРАНКИН, П. В. ТУРБИН, С. С. БИТИМАНОВА ФІП ФИП PSE, 2014, т. 12, № 1, vol. 12, No. 1 109 Properties. In Books «Nanocomposites — New Trends and Developments», Ch. 6. — 2012. — P. 123—160. 6. Коротаев А. Д., Мошков В. Ю., Овчинни­ ков С. В., Пинжин Ю. П., Савостиков В. М., Тюменцев А. Н. Наноструктурные и нано­ композитные сверхтвердые покрытия // Фи­ зическая мезомеханика. — 2005. — Т. 8, № 5. — С. 103—116. 7. Uchida М., Nihira N., Mitsuo A., Toyoda K., Kubota K., Aizawa T. Friction and wear pro­ per ties of CrAlN and CrVN films deposited by cathodic arc ion plating method // Surf. Coat. Technol. — 2004. — Vol. 177—178. — P. 627—630. 8. Yeh J.­W., Chen S.­K., Lin S.­J., Gan J.­Y., Chin T.­S., Shun T.­T., Tsau C.­H., Chang S.­Y. Nanostructured High­Entropy Alloys with Mul­ ti ple Principal Elements: Novel Alloy Design Con cepts and Outcomes // Adv. Eng. Mater. — 2004. — Vol. 6, No. 5. — P. 299—303. 9. Musil J. «Properties of hard nanocomposite thin films», in Nanocomposite Thin Films and Coatings: Processing, Properties and Per­ for mance, Ch. 5, Eds. S. Zhang, A. Nasar. — London: Imperial College Press, 2007. — P. 281—328. 10. Zeman P., Musil J., Daniel R. High­temperature oxidation resistance of Ta­Si­N films with a high sicontent // Surf. and Coat. Technol. — 2006. — Vol. 200. — P. 4091—4096. 11. Musil J., Zeman P. Nanocomposite Hard a­Si3N4/ MeNx Coatings with High Thermal Stability and High Oxidation Resistance // Solid State Phenomen. — 2007. — Vol. 127. — P. 31—36. 12. Roos J. P., Celis J. P., Vancoille E., Veltrop H., Boelens S., Jungblut F., Ebberink J., Homberg H. Interrelationship between processing, coa tin­ gproperties and functional properties of ste er ed arc physically vapour deposited (Ti, AI)N and (Ti, Nb)N coatings // Thin Solid Films, 1990. — Vol. 193—194. — P. 547—556. 13. Braic V., Vladescu A., Balaceanu M., Lu cu­ les cu C. R., Braic M. Nanostructured multi­ element (TiZrNbHfTa)N and (TiZrNbHfTa)C hard coatings. // Surf. Coat. Technol. — 2011. — Vol. 211, No. 25. — P. 117—121. 14. Braic V., Vladescu A., Balaceanu M., Lu cu­ les cu C. R., Braic M. Nanostruc­tured multi­ element (TiZrNbHfTa)N and (TiZrNbHfTa)C hard coatings // Surface and Coatings Tech no­ logy. — 2012. — Vol. 211. — P. 117—121. 15. Hasegawaa Н., Yamamotoa Т., Suzukia Т., Ya­ ma moto К. The effects of deposition tem perature and post­annealing on the crystal stru cture and mechanical property of TiCrAlN films with high Al contents // Surface & Coatings Technology. — 2006. — Vol. 200. — P. 2864—2869. 16. Наноструктурные покрытия // под ред. А. Кавалейро и Д. де Хоссона. — М.: Технос­ фера, 2011. — 792 с. 17. Берлин Е. В., Сейдман Л. А. Ионно­плаз­ менные процессы в тонкопленочной техно­ логии. — М.: Техносфера, 2010. — 528 с. 18. Sobol O. V., Pogrebnjak A .D., Beresnev V. M. Effect of the preparation conditions on the pha­ se composition, structure, and mechanical cha­ ra cteristics of va cu um­arc Zr­Ti­Si­N coatings // The Phy sics of Metals and Me tal lo gra phy. — 2011. — Vol. 112, No. 2. — Р. 118—195. 19. Lai С. Н., Tsai М. Н., Lin S. J., Yeh J. W. Influence of substrate temperature on structure and mechanical, properties of multi­element (AlCrTaTiZr)N coatings // Surf. Coat. Technol. — 2007. — Vol. 201. — P. 6993—6998. 20. Pierson Y. O. Handbook of Refractory Carbides and Nitrides: Noyes, New Jersey, 1969. — 331 p. 21. Азаренков Н. А., Соболь О. В., Береснев В. М., Погребняк А. Д., Колесников Д. А., Тур­ бин П. В., Торяник И. Н. Вакуумно­плазмен­ ные покрытия на основе многоэлементных ни тридов // Металлофизика и новейшие те хнологии. — 2013. — Т. 35, № 8. — С. 1001—1024. 22. Chen T. K., Shun T. T., Yeh J. W., Wong M. S. Nanostructured nitride films of multi­element high­entropy alloys by reactive DC sputtering // Surf. Coat. Technol. — 2004. — Vol. 188— 189. — P. 193—200. 23. Tsai D. C., Huang Y. L., Lin S. R., Liang S. C., Shieu F. S. Effect of nitrogen flow ratios on the structure and mechanical properties of (TiVCrZrY)N coatings prepared by reactive magnetron sputtering // Appl. Surf. Sci. — 2010. — Vol. 257. — P. 1361—1367. 24. Lin C. H., Duh J. G., Yeh J. W. Surf. Multi­ component nitride coatings derived from Ti­ Al­Cr­Si­V target in RF magnetron sputter // Coat. Technol. — 2007. — Vol. 201. — P. 6304—6308. 25. Chang H. W., Huang P. K., Davison A., Yeh J. W., Tsau C. H., Yang C. C. Nitride films deposited from an equimolar Al­Cr­Mo­Si­Ti alloy target by reactive direct current magnetron sputtering // Thin Solid Films. — 2008. — Vol. 516. — P. 6402—6408. 26. Tsai M. H., Lai C. H., Yeh J. W., Gan J. Y. Effects of nitrogen flow ratio on the structure and properties of reactively sputtered ФИЗИЧЕСКИЕ ЗАКОНОМЕРНОСТИ ФОРМИРОВАНИЯ МНОГОЭЛЕМЕНТНЫХ, КОМПОЗИЦИОННЫХ (МНОГОФАЗНЫХ) ПОКРЫТИЙ... ФІП ФИП PSE, 2014, т. 12, № 1, vol. 12, No. 1110 (AlMoNbSiTaTiVZr)Nx coatings // J. Phys. D: Ap plied Phys. — 2008. — Vol. 41. — P. 235402—1. 27. Huang P. K., Yeh J. W. Effects of nitrogen content on structure and mechanical properties of multi­element (AlCrNbSiTiV)N coating // J. Surf. Coat. Technol. — 2009. — Vol. 203. — P. 1891—1896. 28. Pogrebnyak A. D., Beresnev V. M., Ko le s ni­ kov D. A., Kaverin M. V., Shipilenko A. P., Oyoshi K., Takeda Y., Abrasonics G., Krause­ Reh berg R., Ponamarev A. G. The effect of segregation and thermodiffusion on the for­ ma tion of interfaces in nanostructured (Ti­Hf­ Zr­V­Nb)N multielement coatings // Technical Physics Letters. — 2013. — Vol. 39, No. 3. — P. 280—283. 29. Liang C., Tsai D. C., Chang Z. C., Lin T. N., Shiao M. H., Shieu F. S. Thermally Stable TiVCrZrHf Nitride Films as Diffusion Barriers in Copper Metallization // Electrochem. Solid State Lett. — 2012. — Vol. 15. — P. H5—H8. 30. Chang Y., Wang C. Y., Li C. E., Huang Y. C. 5­nm­ Tchick (AlCrTaTiZrRu)N0,5 multi — com ponent barrier layer with high diffusion re­ sistance for Cu inerconnects // Nanosci. Na no­ te chnol. Lett. — 2011. — P. 289—293. 31. Tsai M. H., Wang C. W., Lai C. H., Yeh J. W., Gan J. Y. Thermally stable amorphous (AlMoNbSiTaTiVZr)50N50 nitride film as dif fusion barrier in copper metallization // Appl. Phys. Lett. — 2008. — Vol. 92. — P. 052109—1—3. 32. Tsai D.­Ch., Chang Z.­Ch., Kuo L.­Y, Lin T.­J., TLin T.­N., Shieu F. Sh. Solid solution coating of (TiVCrZrHf)N with unusual structural evolution// Surface and Coatings Technology. — 2013. — Vol. 217. — P. 84—87. 33. Cheng K.­H., Lai Ch.­H., Lin S.­J., Yeh J.­W. Structural and mechanical properties of multi­ element (AlCrMoTaTiZr)Nx coatings by re a­ ctive magnetron sputtering // Thin Solid Films. — 2011. — Vol. 519. — P. 3185—3190. 34. Соболь О. В., Андреев А. А., Горбань В. Ф., Кра пивка Н. А., Столбовой В. А., Сердюк И. В., Фильчиков В. Е. О воспроизводи мо сти од­ нофазного структурного состояния много­ элементной высокоэнтропийной си стемы Ti­V­Zr­Nb­Hf и высокотвердых ни тридов на ее основе при их формировании вакуум­ но­дуговым методом // ПЖТФ. — 2012. — Т. 38, № 13. — С. 40—47. 35. Nose M., Chiou W. A., Zhou M., Mae T., Meshii M. Microstructure and mechanical pro­ perties of Zr­Si­N films prepared by rf­reactive sputtering // J. Vac. Sci. Te ch nol., A. — 2002. — Vol. 20. — P. 823—828. 36. Louro C., Cavaleiro A., Mortemor F. How is the chemical bonding of W­Si­N sputtered coatings // Surf. Coat. Technol. — 2001. — Vol. 142—144. — P. 964—970. 37. Rebouta L., Tavares C. J., Aimo R., Wang Z., Pischow K., Alves E., Rojas T. C., Od ri o­ zola J. A. Hard nanocomposite Ti­Si­N coatings prepared by DC reactive magnetron sputtering // Surface and Coatings Technology. — 2000. — Vol. 133—134. — P. 234—239. 38. Veprek S., Reiprich S. A concept for the design of novel superhard coatings // Thin Solid Films. — 1995. — Vol. 268. — P. 64—71. 39. Musil J., Dohnal P., Zeman P. Physical properties and high­temperature oxidation resistance of sputtered Si3N4/MoNx nanocomposite coatings // J. Vac. Sci. Tech., B. — 2005. — Vol. 23. — P. 1568—1575. 40. Кунченко Ю. В., Кунченко В. В., Неклю­ дов И. М., Картмазов Г. Н., Андреев А. А. Сло истые Ti­Cr­N покрытия, получаемые ме тодом вакуумно­дугового осаждения // ВАНТ, серия: Физика радиационных пов ре­ ж дений и радиационное материаловедение. — 2007. — № 2 (90). — С. 203—214. 41. Howe B., Bareño J., Sardela M., Wen J. G., Greene J. E., Voevodin A. A., Petrov I. Growth and physical properties of epitaxial metastable Hf1­xAlxN alloys deposited on MgO (00l) by ultrahigh vacuum reactive magnetron sputtering // Surface and Coatings Technology. — 2007. — Vol. 202. — P. 809—814. 42. Погребняк А. Д., Шпак А. П., Береснев В. М., Кирик Г. В., Колесников Д. А., Ко ма ров Ф. Ф., Конарский П., Махмудов Н. А., Ка верин М. В., Грудницкий В. В. Стехиометрия, фазовый со став и свойства сверхтвердых нано­стру­ к тур ных пленок Ti­Hf­Si­N, полученных с помощью вакуумно­дугового источника в вы сокочастотном разряде. // ПЖТФ. — 2011. — Т. 37, № 13. — С. 91—97. 43. Блинков И. В., Волхонский А. О., Аникин В. Н., Петржик М. И., Деревцова Д. Е. Фазовый со став и свойства износостойких Ti­Al­Cr­ Zr­Nb­N покрытий, полученных методом физического осаждения из газовой фазы // Физика и химия обработки материалов. — 2010. — № 4. — С. 37—43. LITERATURA 1. Drobyshevskaya A. A., Davydov I. V., Fursova E. V., Beresnev V. M. Nanokompozitnye po krytiya na osnove nitridov perehodnyh И. Н. ТОРЯНИК, У. С. НЕМЧЕНКО, А. Д. ПОГРЕБНЯК, О. В. СОБОЛЬ, С. С. ГРАНКИН, П. В. ТУРБИН, С. С. БИТИМАНОВА ФІП ФИП PSE, 2014, т. 12, № 1, vol. 12, No. 1 111 metallov // FIP. — 2008. — Vol. 5, No. 1—2. — P. 93—98. 2. Pogrebnyak A. D., Shpak A. P., Azarenkov N. A., Beresnev V. M. Struktura i svojstva tver dyh i sverhtverdyh nanokompozitnyh pokrytij // UFN. — 2009. — Vol. 179, No. 1. — P. 35— 64. 3. Azarenkov N. A., Sobol’ O. V., Beresnev V. M., Pogrebnyak A. D., Litovchenko S. V., Iva­ nov O. N. Materialovedenie neravnovesnogo so sto ya niya modificirovannoj poverhno sti. — Sumy: Sumskoj gosudarstvennyj uni versitet, 2012. — 682 p. 4. Azarenkov N. A., Beresnev V. M., Po gre b­ nyak A. D., Kolesnikov D. A. Nanostruktur nye po k rytiya i nanomaterialy. — M.: Kni zh nyj dom «Li brikom», 2013. — 368 p. 5. Pogrebnjak A. D., Beresnev V. M. Hard Na no ­ composite Coatings, Their Structure and Pro­ perties. In Books «Nanocomposites — New Trends and Developments», Ch. 6. — 2012. — P. 123—160. 6. Korotaev A. D., Moshkov V. Yu., Ov chin­ nikov S. V., Pinzhin Yu. P., Savostikov V. M., Tyu mencev A. N. Nanostrukturnye i na no­ kompozitnye sverhtverdye pokrytiya // Fi zi­ cheskaya mezomehanika. — 2005. — Vol. 8, No. 5.— P. 103—116. 7. Uchida M., Nihira N., Mitsuo A., Toyoda K., Kubota K., Aizawa T. Friction and wear pro­ per ties of CrAlN and CrVN films deposited by cathodic arc ion plating method // Surf. Coat. Technol. — 2004. — Vol. 177—178. — P. 627—630. 8. Yeh J.­W., Chen S.­K., Lin S.­J., Gan J.­Y., Chin T.­S., Shun T.­T., Tsau C.­H., Chang S.­Y. Nanostructured High­Entropy Alloys with Mul­ ti ple Principal Elements: Novel Alloy Design Con cepts and Outcomes // Adv. Eng. Mater. — 2004. — Vol. 6, No. 5. — P. 299—303. 9. Musil J. «Properties of hard nanocomposite thin films», in Nanocomposite Thin Films and Coatings: Processing, Properties and Per­ for mance, Ch. 5, Eds. S. Zhang, A. Nasar. — Lon don: Imperial College Press, 2007. — P. 281—328. 10. Zeman P., Musil J., Daniel R. High­temperature oxidation resistance of Ta­Si­N films with a high sicontent // Surf. and Coat. Technol. — 2006. — Vol. 200. — P. 4091—4096. 11. Musil J., Zeman P. Nanocomposite Hard a­Si3N4/ MeNx Coatings with High Thermal Stability and High Oxidation Resistance // Solid State Phenomen. — 2007. — Vol. 127. — P. 31—36. 12. Roos J. P., Celis J. P., Vancoille E., Veltrop H., Boelens S., Jungblut F., Ebberink J., Homberg H. Interrelationship between processing, coa tin­ gproperties and functional properties of ste er ed arc physically vapour deposited (Ti, AI)N and (Ti, Nb)N coatings // Thin Solid Films, 1990. — Vol. 193—194. — P. 547—556. 13. Braic V., Vladescu A., Balaceanu M., Lu cu­ les cu C. R., Braic M. Nanostructured multi­ element (TiZrNbHfTa)N and (TiZrNbHfTa)C hard coatings. // Surf. Coat. Technol. — 2011. — Vol. 211, No. 25. — P. 117—121. 14. Braic V., Vladescu A., Balaceanu M., Lu cu­ les cu C. R., Braic M. Nanostruc­tured multi­ element (TiZrNbHfTa)N and (TiZrNbHfTa) Chard coatings // Surface and Coatings Tech­ no logy. — 2012. — Vol. 211. — P. 117—121. 15. Hasegawaa N., Yamamotoa T., Suzukia T., Yamamoto K. The effects of deposition tem­ per ature and post­annealing on the crystal stru cture and mechanical property of TiCrAlN films with high Al contents // Surface & Coatings Technology. — 2006. — Vol. 200. — P. 2864—2869. 16. Nanostrukturnye pokrytiya // pod red. A. Kavalejro i D. de Hossona. — M.: Tehnosfera, 2011. — 792 p. 17. Berlin E. V., Sejdman L. A. Ionno­plazmennye processy v tonkoplenochnoj tehnologii. — M.: Tehnosfera, 2010. — 528 p. 18. Sobol O. V., Pogrebnjak A .D., Beresnev V. M. Effect of the preparation conditions on the pha­ se composition, structure, and mechanical cha­ ra cteristics of va cu um­arc Zr­Ti­Si­N coatings // The Phy sics of Metals and Me tal lo gra phy. — 2011. — Vol. 112, No. 2. — P. 118—195. 19. Lai S. N., Tsai M. N., Lin S. J., Yeh J. W. Influence of substrate temperature on structure and mechanical, properties of multi­element (AlCrTaTiZr)N coatings // Surf. Coat. Technol. — 2007. — Vol. 201. — P. 6993—6998. 20. Pierson Y. O. Handbook of Refractory Carbides and Nitrides: Noyes, New Jersey, 1969. — 331 p. 21. Azarenkov N. A., Sobol’ O. V., Beresnev V. M., Pogrebnyak A. D., Kolesnikov D. A., Tur­ bin P. V., Toryanik I. N. Vakuumno­plazmen­ nye po kry tiya na osnove mnogoelementnyh ni tridov // Metallofizika i novejshie te hnologii. — 2013. — Vol. 35, No. 8. — P. 1001—1024. 22. Chen T. K., Shun T. T., Yeh J. W., Wong M. S. Nanostructured nitride films of multi­ele ment high­entropy alloys by reactive DC spu ttering // Surf. Coat. Technol. — 2004. — Vol. 188—189. — P. 193—200. 23. Tsai D. C., Huang Y. L., Lin S. R., Liang S. C., ФИЗИЧЕСКИЕ ЗАКОНОМЕРНОСТИ ФОРМИРОВАНИЯ МНОГОЭЛЕМЕНТНЫХ, КОМПОЗИЦИОННЫХ (МНОГОФАЗНЫХ) ПОКРЫТИЙ... ФІП ФИП PSE, 2014, т. 12, № 1, vol. 12, No. 1112 Shieu F. S. Effect of nitrogen flow ratios on the structure and mechanical properties of (TiVCrZrY)N coatings prepared by reactive magnetron sputtering // Appl. Surf. Sci. — 2010. — Vol. 257. — P. 1361—1367. 24. Lin C. H., Duh J. G., Yeh J. W. Surf. Multi­ component nitride coatings derived from Ti­ Al­Cr­Si­V target in RF magnetron sputter // Coat. Technol. — 2007. — Vol. 201. — P. 6304—6308. 25. Chang H. W., Huang P. K., Davison A., Yeh J. W., Tsau C. H., Yang C. C. Nitride films de po si ted from an equimolar Al­Cr­Mo­Si­Ti alloy target by reactive direct current magnetron sputtering // Thin Solid Films. — 2008. — Vol. 516. — P. 6402—6408. 26. Tsai M. H., Lai C. H., Yeh J. W., Gan J. Y. Ef­ fects of nitrogen flow ratio on the structure and properties of reactively sputtered (AlMoNbSiTaTiVZr)Nx coatings // J. Phys. D: Ap plied Phys. — 2008. — Vol. 41. — P. 235402—1. 27. Huang P. K., Yeh J. W. Effects of nitrogen con­ tent on structure and mechanical properties of multi­element (AlCrNbSiTiV)N coating // J. Surf. Coat. Technol. — 2009. — Vol. 203. — P. 1891—1896. 28. Pogrebnyak A. D., Beresnev V. M., Ko ­ le s ni kov D. A., Kaverin M. V., Shi pi len­ ko A. P.,Oyoshi K., Ta keda Y., Abrasonics G., Kra use­Reh berg R., Ponamarev A. G. The ef­ fect of segregation and thermodiffusion on the for ma tion of in ter faces in nanostructured (Ti­ Hf­Zr­V­Nb)N multielement coatings // Tech ni­ cal Physics Letters. — 2013. — Vol. 39, No. 3. — P. 280—283. 29. Liang C., Tsai D. C., Chang Z. C., Lin T. N., Shiao M. H., Shieu F. S. Thermally Stable TiVCrZrHf Nitride Films as Diffusion Barriers in Copper Metallization // Electrochem. Solid Sta te Lett. — 2012. — Vol. 15. — P. H5—H8. 30. Chang Y., Wang C. Y., Li C. E., Huang Y. C. 5­nm­ Tchick (AlCrTaTiZrRu)N0,5 multicom­ po nent barrier layer with high diffusion re si­ stan ce for Cu inerconnects // Nanosci. Na no te­ chnol. Lett. — 2011. — P. 289—293. 31. Tsai M. H., Wang C. W., Lai C. H., Yeh J. W., Gan J. Y. Thermally stable amorphous (AlMoNbSiTaTiVZr)50N50 nitride film as dif­ fu sion barrier in copper metallization // Appl. Phys. Lett. — 2008. — Vol. 92. — P. 052109— 1—3. 32. Tsai D.­Ch., Chang Z.­Ch., Kuo L.­Y, Lin T.­J., TLin T.­N., Shieu F. Sh. Solid solution coating of (TiVCrZrHf)N with unusual structural evolution // Surface and Coatings Technology. — 2013. — Vol. 217. — P. 84—87. 33. Cheng K.­H., Lai Ch.­H., Lin S.­J., Yeh J.­W. Structural and mechanical properties of multi­ element (AlCrMoTaTiZr)Nx coatings by re a­ ctive magnetron sputtering // Thin Solid Films. — 2011. — Vol. 519. — P. 3185—3190. 34. Sobol’ O. V., Andreev A. A., Gorban’ V. F., Kra pivka N. A., Stolbovoj V. A., Serdyuk I. V., Fil’chikov V. E. O vosproizvodi mo sti od no faz­ nogo strukturnogo sostoyaniya mno go e le men­ t noj vysokoentropijnoj si stemy Ti­V­Zr­Nb­Hf i vysokotverdyh ni tridov na ee osnove pri ih formirovanii vakuumno­dugovym metodom // PZhTF. — 2012. — T. 38, No. 13. — P. 40—47. 35. Nose M., Chiou W. A., Zhou M., Mae T., Meshii M. Microstructure and mechanical pro­ perties of Zr­Si­N films prepared by rf­reactive sputtering // J. Vac. Sci. Te ch nol., A. — 2002. — Vol. 20. — P. 823—828. 36. Louro C., Cavaleiro A., Mortemor F. How is the chemical bonding of W­Si­N sputtered coatings // Surf. Coat. Technol. — 2001. — Vol. 142—144. — P. 964—970. 37. Rebouta L., Tavares C. J., Aimo R., Wang Z., Pischow K., Alves E., Rojas T. C., Od ri o zo­ la J. A. Hard nanocomposite Ti­Si­N coatings pre pared by DC reactive magnetron sputtering // Surface and Coatings Technology. — 2000. — Vol. 133—134. — P. 234—239. 38. Veprek S., Reiprich S. A concept for the design of novel superhard coatings // Thin Solid Films. — 1995. — Vol. 268. — P. 64—71. 39. Musil J., Dohnal P., Zeman P. Physical properties and high­temperature oxidation resistance of sputtered Si3N4/MoNx nanocomposite co­ a tings // J. Vac. Sci. Tech., B. — 2005. — Vol. 23. — P. 1568—1575. 40. Kunchenko Yu. V., Kunchenko V. V., Ne kly­ u dov I. M., Kartmazov G. N., Andreev A. A. Slo istye Ti­Cr­N pokrytiya, poluchaemye me­ todom vakuumno­dugovogo osazhdeniya // VANT, seriya: Fizika radiacionnyh pov re zh­ denij i radiacionnoe materialovedenie. — 2007. — No. 2 (90) . — P. 203—214. 41. Howe B., Bareño J., Sardela M., Wen J. G., Greene J. E., Voevodin A. A., Petrov I. Growth and physical properties of epitaxial metastable Hf1­xAlxN alloys deposited on MgO (00l) by ultrahigh vacuum reactive magnetron sput­ tering // Surface and Coatings Technology. — 2007. — Vol. 202. — P. 809—814. 42. Pogrebnyak A. D., Shpak A. P., Beresnev V. M., Kirik G. V., Kolesnikov D. A., Ko ma rov F. F., Konarskij P., Mahmudov N. A., Ka ve rin M. V., И. Н. ТОРЯНИК, У. С. НЕМЧЕНКО, А. Д. ПОГРЕБНЯК, О. В. СОБОЛЬ, С. С. ГРАНКИН, П. В. ТУРБИН, С. С. БИТИМАНОВА ФІП ФИП PSE, 2014, т. 12, № 1, vol. 12, No. 1 113 Grudnickij V. V. Stehiometriya, fa zo vyj so­ stav i svojstva sverhtverdyh nano­stru k tur nyh plenok Ti­Hf­Si­N, vojstva sverhtverdyh nano­ stru k tur nyh plenok Ti­Hf­Si­N, poluchennye s pomosch’yu vakuumno­dugovogo istochnika v vy sokochastotnom razryade. // PZhTF. — 2011. — Vol. 37, No. 13. — P. 91—97. 43. Blinkov I. V., Volhonskij A. O., Anikin V. N., Petrzhik M. I., Derevcova D. E. Fazovyj so­ stav i svojstva iznosostojkih Ti­Al­Cr­Zr­Nb­N pokrytij, poluchennyh metodom fizicheskogo osazhdeniya iz gazovoj fazy // Fizika i himiya obrabotki materialov. — 2010, No. 4. — P. 37—43.

Ähnliche Einträge