Тематические направления

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Физическая инженерия поверхности
Datum:2014
Format: Artikel
Sprache:Russisch
Veröffentlicht: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2014
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/102863
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Тематические направления // Физическая инженерия поверхности. — 2014. — Т. 12, № 1. — С. 143. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1860064119774773248
citation_txt Тематические направления // Физическая инженерия поверхности. — 2014. — Т. 12, № 1. — С. 143. — рос.
collection DSpace DC
container_title Физическая инженерия поверхности
first_indexed 2025-12-07T17:06:26Z
format Article
fulltext Тематичні напрямки: • фізика поверхні — модифікації, покриття, плівки, приповерхні і перехідні шари різних видів, як результат впливу плазми, корпускулярно-фотонних потоків і випромінювання; • взаємодія різноманітних видів випромінювання з поверхнями металів, напівпровідників, діелектриків; • фізика і техніка низькотемпературної плазми; • фізика і техніка лазерів; • фізичні властивості плівок і покриттів; • нанофізика, мікро- і нанотехнології, мікро- і наноелектроніка; • фізичні та технічні аспекти сучасних технологій обробки поверхні, діагностики і кон- тролю технологічних процесів. Тематические направления: • физика поверхности — модификации, покрытия, пленки, приповерхностные и переход- ные слои различных видов, как результат воздействия плазмы, корпускулярно-фотон- ных потоков и излучения; • взаимодействие разнообразных видов излучения с поверхностями металлов, полупро- водников, диэлектриков; • физика и техника низкотемпературной плазмы; • физика и техника лазеров; • физические свойства пленок и покрытий; • нанофизика, микро- и нанотехнологии, микро- и наноэлектроника; • физические и технические аспекты современных технологий обработки поверхности, диагностики и контроля технологических процессов. Topic directions: • surface physics — modification, coating, film, near-surface and transient layers of different kinds, as outcome of influencing of plasma, corpuscular-photon flows and radiation; • interaction of miscellaneous kinds of radiation with surfaces of metals, semiconductors, di e- lectrics; • physics and engineering of low-temperature plasma; • physics and engineering of lasers; • physical characteristics of films and coatings; • nanophysics, micro and nanoelectronics, micro and nanotechnologies; • physical and engineering aspects of modern technologies of surfacing, diagnostic and control of technological processes.
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-102863
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 1999-8074
language Russian
last_indexed 2025-12-07T17:06:26Z
publishDate 2014
publisher Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
record_format dspace
spelling 2016-06-12T18:13:15Z
2016-06-12T18:13:15Z
2014
Тематические направления // Физическая инженерия поверхности. — 2014. — Т. 12, № 1. — С. 143. — рос.
1999-8074
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/102863
ru
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
Физическая инженерия поверхности
Тематические направления
Article
published earlier
spellingShingle Тематические направления
title Тематические направления
title_full Тематические направления
title_fullStr Тематические направления
title_full_unstemmed Тематические направления
title_short Тематические направления
title_sort тематические направления
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/102863