Зображення обкладинки

Формирование никель-платинового силицидного слоя в качестве барьерного для диода Шоттки

Предложен новый метод формирования барьера Шоттки, который включает магнетронное нанесение из многокомпонентной мишени, содержащей ванадий, платину и никель, тонкой пленки на кремнии с последующей ступенчатой термообработкой. С использованием данного метода изготовлены диоды Шоттки с высотой барьера...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Электрические контакты и электроды
Дата:	2014
Автори:	Кучинский, П.В., Комаров, Ф.Ф., Мильчанин, О.В., Ковалева, Т.Б., Солодуха, В.А., Турцевич, А.С., Соловьев, Я.А., Гапоненко, С.В.
Формат:	Стаття
Мова:	Російська
Опубліковано:	Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України 2014
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/104006
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Формирование никель-платинового силицидного слоя в качестве барьерного для диода Шоттки / П.В. Кучинский, Ф.Ф. Комаров, О.В. Мильчанин, Т.Б. Ковалева, В.А. Солодуха, А.С. Турцевич, Я.А. Соловьев, С.В. Гапоненко // Электрические контакты и электроды. — К.: ИПМ НАН України, 2014. — С. 211-219. — Бібліогр.: 11 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Повышение надежности диодов Шоттки при воздействии разрядов cтатического электричества
за авторством: Солодуха, В.А., та інші
Опубліковано: (2012)

Радиационно стойкая фотоструктура на основе Cr/In₂Hg₃Te₆ для диода Шоттки
за авторством: Ащеулов, А.А., та інші
Опубліковано: (2016)

Исследование промежуточных слоёв диода с барьером Шоттки Al-pCdTe-Мо
за авторством: Мирсагатов, Ш.А., та інші
Опубліковано: (2012)

Радиационно стойкая фотоструктура на основе Cr/In2Hg3Te6 для диода Шоттки
за авторством: Ashcheulov, A. A., та інші
Опубліковано: (2016)

Полиядерные аминоэтилатные комплексы никель (II)—кобальт (III) и никель (II)—хром (III)
за авторством: Рейтер, Л.Г., та інші
Опубліковано: (2007)

Направленность сверхизлучения из плазмы сильноточного импульсного плазменного диода
за авторством: Целуйко, А.Ф., та інші
Опубліковано: (2010)

Тонкопленочные элементы кремниевых диодов Шоттки для высокотемпературного микромонтажа
за авторством: Баранов, В.В., та інші
Опубліковано: (2007)

Численное моделирование диэлектрического барьерного разряда в воздухе
за авторством: Редчиц, Д.А.
Опубліковано: (2014)

Латеральная фотоЭДС в контакте Шоттки
за авторством: Венгер, Е.Ф., та інші
Опубліковано: (2010)

Деградация контакта Шоттки при термическом отжиге
за авторством: Венгер, Е.Ф., та інші
Опубліковано: (2012)

Формирование композиционных покрытий никель – бор – азот
за авторством: Кузей, А.М., та інші
Опубліковано: (2010)

Пассивация и восстановление никель-цеолитных катализаторов
за авторством: Галинский, А.А., та інші
Опубліковано: (1984)

Технология получения пленок силицида палладия для мощных диодов Шоттки
за авторством: Ануфриев, Л.П., та інші
Опубліковано: (2005)

Измерение температурной зависимости факторов эффективности поглощения платинового болометра на длине волны излучения 1,06 мкм
за авторством: Погорелов, С.В., та інші
Опубліковано: (2014)

Моделювання комбінованого діода Шоттки
за авторством: Кісельов, Є.М.
Опубліковано: (2013)

Электротехнология получения синтез-газа с использованием объёмных высоковольтных импульсных разрядов: коронного и барьерного
за авторством: Бойко, Н.И., та інші
Опубліковано: (2014)

Отрицательная дифференциальная проводимость полупроводникового диода с туннельными боковыми границами
за авторством: Прохоров, Э.Д., та інші
Опубліковано: (2010)

Опыт отработки барьерного целика под разведочную скважину в условиях ГП «Макеевуголь»
за авторством: Дрибан, В.А., та інші
Опубліковано: (2012)

Формирование изолирующих и геттерирующих слоев в полупроводниках с использованием имплантации протонов средних энергий
за авторством: Комаров, Ф.Ф., та інші
Опубліковано: (2008)

Импедансные характеристики диода с туннельными и резонансно-туннельными границами
за авторством: Прохоров, Э.Д., та інші
Опубліковано: (2011)

Моделирование тепловых процессов высокочастотного кремниевого p-i-n-диода
за авторством: Каримов, А.В., та інші
Опубліковано: (2014)

Электролитические сплавы олово — никель как анодные материалы литий-ионных аккумуляторов
за авторством: Глоба, Н.И., та інші
Опубліковано: (2013)

Аномальный фотовольтаический эффект в структуре с барьером Шоттки–Мотта
за авторством: Каримов, А.В., та інші
Опубліковано: (2008)

Ионный синтез нанокристаллов узкозонных полупроводников А³В⁵ в кремниевой матрице для систем оптоэлектроники
за авторством: Комаров, Ф.Ф., та інші
Опубліковано: (2011)

Кинетика и механизм выделения водорода на никелевом катоде, модифицированном сплавом никель—молибден, в щелочном растворе
за авторством: Козин, Л.Ф., та інші
Опубліковано: (2009)

Кинетика и механизм выделения водорода на никелевом электроде, модифицированном сплавом никель—вольфрам в щелочном растворе
за авторством: Козин, Л.Ф., та інші
Опубліковано: (2009)

Эффективность генерации планарного диода с туннельным анодом и туннельной боковой границей
за авторством: Прохоров, Э.Д., та інші
Опубліковано: (2014)

Разработка процесса электрохимического осаждения никель-алмазного покрытия с модифицированными фосфором ДНА
за авторством: Долматов, В.Ю., та інші
Опубліковано: (2019)

Управление падением напряжения кремниевого диода путем облучения электронами и термической обработки
за авторством: Каримов, А.В., та інші
Опубліковано: (2018)

Аномалия Шоттки линейного двупреломления света в антиферромагнитном кристалле LiCoPO₄
за авторством: Харченко, Н.Ф., та інші
Опубліковано: (2008)

ВЫСОКОВОЛЬТНЫЙ КОМПЛЕКС С ДВУМЯ ВЫСОКОЧАСТОТНЫМИ ГЕНЕРАТОРАМИ ИМПУЛЬСОВ, РЕГУЛИРУЮЩИМИ РЕЖИМЫ КОРОННОГО И БАРЬЕРНОГО РАЗРЯДОВ ПРИ ОБРАБОТКЕ ГАЗООБРАЗНЫХ УГЛЕВОДОРОДОВ
за авторством: Бойко, Н.И., та інші
Опубліковано: (2012)

Высоковольтный комплекс с двумя высокочастотными генераторами импульсов, регулирующими режимы коронного и барьерного разрядов при обработке газообразных углеводородов
за авторством: Бойко, Н.И., та інші
Опубліковано: (2012)

Пайка ZrO2-керамики к ниобию контактно-реактивным способом через никель
за авторством: Дуров, А.В.
Опубліковано: (2008)

Прогнозирование разброса параметров полевых транзисторов с барьером Шоттки на GaAs
за авторством: Горев, Н.Б., та інші
Опубліковано: (2006)

Влияние проникающей радиации на параметры кремниевого планарного высокочастотного высоковольтного выпрямительного диода
за авторством: Рахматов, А.З., та інші
Опубліковано: (2011)

Оценка риска прорыва воды на примере барьерного целика между шахтами «Донецкая» и «Комсомолец Донбасса»
за авторством: Улицкий, О.А., та інші
Опубліковано: (2001)

Сексолект в качестве объекта социофонетического исследования
за авторством: Черныш, И.В.
Опубліковано: (2001)

Тонкопленочные элементы кремниевых диодов Шоттки для высокотемпературного микромонтажа
за авторством: Baranov, V. V., та інші
Опубліковано: (2007)

Методы определения высоты барьера шоттки из вольт-амперных характеристик (обзор)
за авторством: Кудрик, Я.Я., та інші
Опубліковано: (2014)

Прогнозирование напряжения отсечки ионно-имплантированных полевых транзисторов с барьером Шоттки на GaAs
за авторством: Горев, Н.Б., та інші
Опубліковано: (2007)