Высокочастотные микроэлектромеханические переключатели

• Опубліковано в: : Электрические контакты и электроды
• Дата: 2014
• Автори: Шоффа, В.Н., Коваленко, Е.А.
• Формат: Стаття
• Мова: Російська
• Опубліковано: Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України 2014
• Онлайн доступ: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/104007
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Цитувати: Высокочастотные микроэлектромеханические переключатели / В.Н. Шоффа, Е.А. Коваленко // Электрические контакты и электроды. — К.: ИПМ НАН України, 2014. — С. 220-228. — Бібліогр.: 13 назв. — рос.

Представлен обзор принципов коммутации, конструкций, используемых материалов, результатов исследований и разработок высокочастотных микроэлектромеханических переключателей с электростатическим управлением, представляющих одно из современных направлений развития коммутационной техники. Представлено огляд принципів комутації, конструкцій, використовуваних матеріалів, результатів досліджень і розробок високочастотних мікроелектро-механічних перемикачів з електростатичним управлінням, що представляють одне із сучасних напрямків розвитку комутаційної техніки. An overview of the principles of switching structures, used materials, the results of research and development of RF MEMS switches with electrostatic control, representing one of the modern direction of switching technology development is given.