Высокочастотные микроэлектромеханические переключатели
Представлен обзор принципов коммутации, конструкций, используемых материалов, результатов исследований и разработок высокочастотных микроэлектромеханических переключателей с электростатическим управлением, представляющих одно из современных направлений развития коммутационной техники. Представлено о...
Saved in:
| Published in: | Электрические контакты и электроды |
|---|---|
| Date: | 2014 |
| Main Authors: | , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Інститут проблем матеріалознавства ім. І.М. Францевича НАН України
2014
|
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/104007 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Высокочастотные микроэлектромеханические переключатели / В.Н. Шоффа, Е.А. Коваленко // Электрические контакты и электроды. — К.: ИПМ НАН України, 2014. — С. 220-228. — Бібліогр.: 13 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| Summary: | Представлен обзор принципов коммутации, конструкций, используемых материалов, результатов исследований и разработок высокочастотных микроэлектромеханических переключателей с электростатическим управлением, представляющих одно из современных направлений развития коммутационной техники.
Представлено огляд принципів комутації, конструкцій, використовуваних матеріалів, результатів досліджень і розробок високочастотних мікроелектро-механічних перемикачів з електростатичним управлінням, що представляють одне із сучасних напрямків розвитку комутаційної техніки.
An overview of the principles of switching structures, used materials, the results of research and development of RF MEMS switches with electrostatic control, representing one of the modern direction of switching technology development is given.
|
|---|---|
| ISSN: | 2311-0627 |