Стики меж зерен у полікристалічних плівках кремнію
Методами атомової силової мікроскопії та трансмісійної електронної мікроскопії, залежно від типу вихідної структури та фізико-хемічного впливу під час зростання, в леґованих фосфором полікристалічних кремнійових плівках досліджено характеристики меж зерен, проаналізовано механізми формування як потр...
Збережено в:
| Опубліковано в: | Металлофизика и новейшие технологии |
|---|---|
| Дата: | 2013 |
| ISSN: | 1024-1809 |
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Українська |
| Опубліковано: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2013
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/104075 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Стики меж зерен у полікристалічних плівках кремнію / О.Т. Богорош, С.О. Воронов, І.О. Шматко, О.А. Шматко // Металлофизика и новейшие технологии. — 2013. — Т. 35, № 2. — С. 187-197. — Бібліогр.: 19 назв. — укр. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862603757255131136 |
|---|---|
| author | Богорош, О.Т. Воронов, С.О. Шматко, І.О. Шматко, О.А. |
| author_facet | Богорош, О.Т. Воронов, С.О. Шматко, І.О. Шматко, О.А. |
| citation_txt | Стики меж зерен у полікристалічних плівках кремнію / О.Т. Богорош, С.О. Воронов, І.О. Шматко, О.А. Шматко // Металлофизика и новейшие технологии. — 2013. — Т. 35, № 2. — С. 187-197. — Бібліогр.: 19 назв. — укр. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Металлофизика и новейшие технологии |
| description | Методами атомової силової мікроскопії та трансмісійної електронної мікроскопії, залежно від типу вихідної структури та фізико-хемічного впливу під час зростання, в леґованих фосфором полікристалічних кремнійових плівках досліджено характеристики меж зерен, проаналізовано механізми формування як потрійних стиків меж, так і множинних, що відрізняються кількістю та взаємним розташуванням спеціяльних меж Σ3ⁿ і меж загального типу. Результати аналізи схильности стиків меж зерен різних типів до рухливости і взаємодії з ними домішкових кластерів є підставою для розроблення принципів керування структурою, її морфологічними особливостями, комплексом фізичних та механічних властивостей плівкових матеріялів.
Методами атомной силовой микроскопии и трансмиссионной электронной микроскопии, в зависимости от типа исходной структуры и физико-химического влияния во время роста, в легированных фосфором поликристаллических кремниевых пленках исследованы характеристики границ зёрен, проанализированы механизмы формирования как тройных стыков границ, так и множественных стыков, отличающихся количеством и взаимным расположением специальных границ Σ3ⁿ и границ общего типа. Результаты анализа склонности стыков границ зёрен разных типов к подвижности и взаимодействия с ними примесных кластеров являются основой для разработки принципов управления структурой, её морфологическими особенностями, комплексом физических и механических свойств плёночных материалов.
The structural characteristics of grain boundaries of polycrystalline silicon films doped by phosphorous are investigated by atomic force microscopy and transmission electron microscopy. The formation mechanisms of triple- and multiple-grain junctions, which are different by quantity and relative arrangement of special boundaries Σ3ⁿ and boundaries of general type, are analysed. Effects of analysis of inclination of different types’ grain junctions to mobility and interactions with impurity clusters are the basis for working out of principles for control of structure, its morphological features, a complex of physical and mechanical properties of film materials.
|
| first_indexed | 2025-11-28T07:22:19Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-104075 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1024-1809 |
| language | Ukrainian |
| last_indexed | 2025-11-28T07:22:19Z |
| publishDate | 2013 |
| publisher | Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Богорош, О.Т. Воронов, С.О. Шматко, І.О. Шматко, О.А. 2016-07-01T09:09:51Z 2016-07-01T09:09:51Z 2013 Стики меж зерен у полікристалічних плівках кремнію / О.Т. Богорош, С.О. Воронов, І.О. Шматко, О.А. Шматко // Металлофизика и новейшие технологии. — 2013. — Т. 35, № 2. — С. 187-197. — Бібліогр.: 19 назв. — укр. 1024-1809 PACS numbers: 68.37.Lp, 68.37.Ps, 68.55.ag, 68.55.J-, 68.55.Ln, 68.60.Dv https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/104075 Методами атомової силової мікроскопії та трансмісійної електронної мікроскопії, залежно від типу вихідної структури та фізико-хемічного впливу під час зростання, в леґованих фосфором полікристалічних кремнійових плівках досліджено характеристики меж зерен, проаналізовано механізми формування як потрійних стиків меж, так і множинних, що відрізняються кількістю та взаємним розташуванням спеціяльних меж Σ3ⁿ і меж загального типу. Результати аналізи схильности стиків меж зерен різних типів до рухливости і взаємодії з ними домішкових кластерів є підставою для розроблення принципів керування структурою, її морфологічними особливостями, комплексом фізичних та механічних властивостей плівкових матеріялів. Методами атомной силовой микроскопии и трансмиссионной электронной микроскопии, в зависимости от типа исходной структуры и физико-химического влияния во время роста, в легированных фосфором поликристаллических кремниевых пленках исследованы характеристики границ зёрен, проанализированы механизмы формирования как тройных стыков границ, так и множественных стыков, отличающихся количеством и взаимным расположением специальных границ Σ3ⁿ и границ общего типа. Результаты анализа склонности стыков границ зёрен разных типов к подвижности и взаимодействия с ними примесных кластеров являются основой для разработки принципов управления структурой, её морфологическими особенностями, комплексом физических и механических свойств плёночных материалов. The structural characteristics of grain boundaries of polycrystalline silicon films doped by phosphorous are investigated by atomic force microscopy and transmission electron microscopy. The formation mechanisms of triple- and multiple-grain junctions, which are different by quantity and relative arrangement of special boundaries Σ3ⁿ and boundaries of general type, are analysed. Effects of analysis of inclination of different types’ grain junctions to mobility and interactions with impurity clusters are the basis for working out of principles for control of structure, its morphological features, a complex of physical and mechanical properties of film materials. uk Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України Металлофизика и новейшие технологии Дефекты кристаллической решётки Стики меж зерен у полікристалічних плівках кремнію Grain Boundary Junctions in Polycrystalline Silicon Films Article published earlier |
| spellingShingle | Стики меж зерен у полікристалічних плівках кремнію Богорош, О.Т. Воронов, С.О. Шматко, І.О. Шматко, О.А. Дефекты кристаллической решётки |
| title | Стики меж зерен у полікристалічних плівках кремнію |
| title_alt | Grain Boundary Junctions in Polycrystalline Silicon Films |
| title_full | Стики меж зерен у полікристалічних плівках кремнію |
| title_fullStr | Стики меж зерен у полікристалічних плівках кремнію |
| title_full_unstemmed | Стики меж зерен у полікристалічних плівках кремнію |
| title_short | Стики меж зерен у полікристалічних плівках кремнію |
| title_sort | стики меж зерен у полікристалічних плівках кремнію |
| topic | Дефекты кристаллической решётки |
| topic_facet | Дефекты кристаллической решётки |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/104075 |
| work_keys_str_mv | AT bogorošot stikimežzerenupolíkristalíčnihplívkahkremníû AT voronovso stikimežzerenupolíkristalíčnihplívkahkremníû AT šmatkoío stikimežzerenupolíkristalíčnihplívkahkremníû AT šmatkooa stikimežzerenupolíkristalíčnihplívkahkremníû AT bogorošot grainboundaryjunctionsinpolycrystallinesiliconfilms AT voronovso grainboundaryjunctionsinpolycrystallinesiliconfilms AT šmatkoío grainboundaryjunctionsinpolycrystallinesiliconfilms AT šmatkooa grainboundaryjunctionsinpolycrystallinesiliconfilms |