Релаксація магнеточутливих домішок у монокристалічному кремнії

• Published in: Металлофизика и новейшие технологии
• Date: 2013
• Main Authors: Макара, В.А., Стебленко, Л.П., Бокоч, С.M., Курилюк, А.М., Кобзар, Ю.Л.
• Format: Article
• Language: Ukrainian
• Published: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2013
• Subjects: Физика прочности и пластичности
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/104083
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Релаксація магнеточутливих домішок у монокристалічному кремнії / В.А. Макара, Л.П. Стебленко, С.M. Бокоч, А.М. Курилюк, Ю.Л. Кобзар // Металлофизика и новейшие технологии. — 2013. — Т. 35, № 2. — С. 265-278. — Бібліогр.: 29 назв. — укр.

Виконано систематичну оцінку рівноважних і кінетичних параметрів релаксації «магнеточутливих» домішок у монокристалічному кремнії на основі мікроскопічного моделю релаксації конфіґураційного близького атомового порядку та часової залежности зміни мікротвердости. Выполнена систематическая оценка равновесных и кинетических параметров релаксации «магниточувствительных» примесей в монокристаллическом кремнии на основе микроскопической модели релаксации конфигурационного ближнего атомного порядка и временной зависимости изменения микротвёрдости. Based on the microscopic relaxation model of the configuration short-range atomic order and time dependence of changes in microhardness, the systematic evaluation of equilibrium and kinetics parameters of ‘magneticsensitive’ impurities in single-crystalline Si is carried out.