Моделювання процесу дифузійного оксидоутворення на поверхні нанорозмірних металевих плівок

• Veröffentlicht in: Металлофизика и новейшие технологии
• Datum: 2013
• ISSN: 1024-1809
• Hauptverfasser: Олешкевич, А.І., Сидоренко, С.І., Гусак, А.М., Волошко, С.М.
• Format: Artikel
• Sprache: Ukrainisch
• Veröffentlicht: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2013
• Schlagworte: Металлические поверхности и плёнки
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/104114
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Моделювання процесу дифузійного оксидоутворення на поверхні нанорозмірних металевих плівок / А.І. Олешкевич, С.І. Сидоренко, А.М. Гусак, С.М. Волошко // Металлофизика и новейшие технологии. — 2013. — Т. 35, № 5. — С. 611-622. — Бібліогр.: 13 назв. — укр.

Методами Оже-електронної спектроскопії, Рентгенівського локального мікроаналізу, Резерфордівського оберненого розсіювання, рентгенофазового аналізу, растрової електронної мікроскопії досліджено початкові стадії низькотемпературної дифузії у нанорозмірних плівкових системах Cu(180 нм)/Mn(60 нм)/SiO₂...