Влияние параметров осаждения на физико-химические, механические и триботехнические свойства и структуру нитридных и карбонитридных покрытий

Влияние параметров осаждения на физико-химические, механические и триботехнические свойства и структуру нитридных и карбонитридных покрытий

С помощью растровой электронной микроскопии, рентгеноструктурного анализа, измерения адгезионной прочности, коэффициента трения и скорости износа материала были изучены свойства покрытий нержавеющая сталь—TiN (нс—TiN). За допомогою растрової електронної мікроскопії, рентґеноструктурного аналізу, вим...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Металлофизика и новейшие технологии
Дата:2013
Автори: Жоллыбеков, Б.Р., Махмуд, А.М., Кирик, Г.В., Демьяненко, А.А., Колесников, Д.А., Комаров, Ф.Ф., Шипиленко, А.П., Ердыбаева, Н.К.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2013
Теми:
Физика прочности и пластичности
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/104134
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Влияние параметров осаждения на физико-химические, механические и триботехнические свойства и структуру нитридных и карбонитридных покрытий / Б.Р. Жоллыбеков, А.М. Махмуд, Г.В. Кирик, А.А. Демьяненко, Д.А. Колесников, Ф.Ф. Комаров, А.П. Шипиленко, Н.К. Ердыбаева // Металлофизика и новейшие технологии. — 2013. — Т. 35, № 6. — С. 845-862. — Бібліогр.: 15 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-104134
record_format dspace
spelling Жоллыбеков, Б.Р.
Махмуд, А.М.
Кирик, Г.В.
Демьяненко, А.А.
Колесников, Д.А.
Комаров, Ф.Ф.
Шипиленко, А.П.
Ердыбаева, Н.К.
2016-07-02T15:36:00Z
2016-07-02T15:36:00Z
2013
Влияние параметров осаждения на физико-химические, механические и триботехнические свойства и структуру нитридных и карбонитридных покрытий / Б.Р. Жоллыбеков, А.М. Махмуд, Г.В. Кирик, А.А. Демьяненко, Д.А. Колесников, Ф.Ф. Комаров, А.П. Шипиленко, Н.К. Ердыбаева // Металлофизика и новейшие технологии. — 2013. — Т. 35, № 6. — С. 845-862. — Бібліогр.: 15 назв. — рос.
1024-1809
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/104134
PACS numbers: 61.05.cm, 61.46.Hk,62.20.Qp,68.35.Np,68.37.Hk,68.55.-a, 81.15.-z
С помощью растровой электронной микроскопии, рентгеноструктурного анализа, измерения адгезионной прочности, коэффициента трения и скорости износа материала были изучены свойства покрытий нержавеющая сталь—TiN (нс—TiN).
За допомогою растрової електронної мікроскопії, рентґеноструктурного аналізу, вимірювання адгезійної міцності, коефіцієнта тертя і швидкості зносу матеріалу, було вивчено властивості покриттів неіржавійна сталь—TiN (нс—TiN).
Using scanning electron microscopy, XRD analysis, measurements of adhesion strength, friction coefficient, and wear rate of material, the properties of stainless steel—TiN (ss—TiN) coatings are studied.
Работа проводилась в рамках научно-исследовательского проекта № 011U001382. Авторы благодарят проф. А. Д. Погребняка за помощь в интерпретации результатов исследований.
ru
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
Металлофизика и новейшие технологии
Физика прочности и пластичности
Влияние параметров осаждения на физико-химические, механические и триботехнические свойства и структуру нитридных и карбонитридных покрытий
Effect of Deposition Parameters on Physicochemical, Mechanical, and Tribotechnical Properties and Structure of Nitride and Carbonitride Coatings
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Влияние параметров осаждения на физико-химические, механические и триботехнические свойства и структуру нитридных и карбонитридных покрытий
spellingShingle Влияние параметров осаждения на физико-химические, механические и триботехнические свойства и структуру нитридных и карбонитридных покрытий
Жоллыбеков, Б.Р.
Махмуд, А.М.
Кирик, Г.В.
Демьяненко, А.А.
Колесников, Д.А.
Комаров, Ф.Ф.
Шипиленко, А.П.
Ердыбаева, Н.К.
Физика прочности и пластичности
title_short Влияние параметров осаждения на физико-химические, механические и триботехнические свойства и структуру нитридных и карбонитридных покрытий
title_full Влияние параметров осаждения на физико-химические, механические и триботехнические свойства и структуру нитридных и карбонитридных покрытий
title_fullStr Влияние параметров осаждения на физико-химические, механические и триботехнические свойства и структуру нитридных и карбонитридных покрытий
title_full_unstemmed Влияние параметров осаждения на физико-химические, механические и триботехнические свойства и структуру нитридных и карбонитридных покрытий
title_sort влияние параметров осаждения на физико-химические, механические и триботехнические свойства и структуру нитридных и карбонитридных покрытий
author Жоллыбеков, Б.Р.
Махмуд, А.М.
Кирик, Г.В.
Демьяненко, А.А.
Колесников, Д.А.
Комаров, Ф.Ф.
Шипиленко, А.П.
Ердыбаева, Н.К.
author_facet Жоллыбеков, Б.Р.
Махмуд, А.М.
Кирик, Г.В.
Демьяненко, А.А.
Колесников, Д.А.
Комаров, Ф.Ф.
Шипиленко, А.П.
Ердыбаева, Н.К.
topic Физика прочности и пластичности
topic_facet Физика прочности и пластичности
publishDate 2013
language Russian
container_title Металлофизика и новейшие технологии
publisher Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
format Article
title_alt Effect of Deposition Parameters on Physicochemical, Mechanical, and Tribotechnical Properties and Structure of Nitride and Carbonitride Coatings
description С помощью растровой электронной микроскопии, рентгеноструктурного анализа, измерения адгезионной прочности, коэффициента трения и скорости износа материала были изучены свойства покрытий нержавеющая сталь—TiN (нс—TiN). За допомогою растрової електронної мікроскопії, рентґеноструктурного аналізу, вимірювання адгезійної міцності, коефіцієнта тертя і швидкості зносу матеріалу, було вивчено властивості покриттів неіржавійна сталь—TiN (нс—TiN). Using scanning electron microscopy, XRD analysis, measurements of adhesion strength, friction coefficient, and wear rate of material, the properties of stainless steel—TiN (ss—TiN) coatings are studied.
issn 1024-1809
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/104134
citation_txt Влияние параметров осаждения на физико-химические, механические и триботехнические свойства и структуру нитридных и карбонитридных покрытий / Б.Р. Жоллыбеков, А.М. Махмуд, Г.В. Кирик, А.А. Демьяненко, Д.А. Колесников, Ф.Ф. Комаров, А.П. Шипиленко, Н.К. Ердыбаева // Металлофизика и новейшие технологии. — 2013. — Т. 35, № 6. — С. 845-862. — Бібліогр.: 15 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT žollybekovbr vliânieparametrovosaždeniânafizikohimičeskiemehaničeskieitribotehničeskiesvoistvaistrukturunitridnyhikarbonitridnyhpokrytii
AT mahmudam vliânieparametrovosaždeniânafizikohimičeskiemehaničeskieitribotehničeskiesvoistvaistrukturunitridnyhikarbonitridnyhpokrytii
AT kirikgv vliânieparametrovosaždeniânafizikohimičeskiemehaničeskieitribotehničeskiesvoistvaistrukturunitridnyhikarbonitridnyhpokrytii
AT demʹânenkoaa vliânieparametrovosaždeniânafizikohimičeskiemehaničeskieitribotehničeskiesvoistvaistrukturunitridnyhikarbonitridnyhpokrytii
AT kolesnikovda vliânieparametrovosaždeniânafizikohimičeskiemehaničeskieitribotehničeskiesvoistvaistrukturunitridnyhikarbonitridnyhpokrytii
AT komarovff vliânieparametrovosaždeniânafizikohimičeskiemehaničeskieitribotehničeskiesvoistvaistrukturunitridnyhikarbonitridnyhpokrytii
AT šipilenkoap vliânieparametrovosaždeniânafizikohimičeskiemehaničeskieitribotehničeskiesvoistvaistrukturunitridnyhikarbonitridnyhpokrytii
AT erdybaevank vliânieparametrovosaždeniânafizikohimičeskiemehaničeskieitribotehničeskiesvoistvaistrukturunitridnyhikarbonitridnyhpokrytii
AT žollybekovbr effectofdepositionparametersonphysicochemicalmechanicalandtribotechnicalpropertiesandstructureofnitrideandcarbonitridecoatings
AT mahmudam effectofdepositionparametersonphysicochemicalmechanicalandtribotechnicalpropertiesandstructureofnitrideandcarbonitridecoatings
AT kirikgv effectofdepositionparametersonphysicochemicalmechanicalandtribotechnicalpropertiesandstructureofnitrideandcarbonitridecoatings
AT demʹânenkoaa effectofdepositionparametersonphysicochemicalmechanicalandtribotechnicalpropertiesandstructureofnitrideandcarbonitridecoatings
AT kolesnikovda effectofdepositionparametersonphysicochemicalmechanicalandtribotechnicalpropertiesandstructureofnitrideandcarbonitridecoatings
AT komarovff effectofdepositionparametersonphysicochemicalmechanicalandtribotechnicalpropertiesandstructureofnitrideandcarbonitridecoatings
AT šipilenkoap effectofdepositionparametersonphysicochemicalmechanicalandtribotechnicalpropertiesandstructureofnitrideandcarbonitridecoatings
AT erdybaevank effectofdepositionparametersonphysicochemicalmechanicalandtribotechnicalpropertiesandstructureofnitrideandcarbonitridecoatings
first_indexed 2025-11-25T21:02:26Z
last_indexed 2025-11-25T21:02:26Z
_version_ 1850545353191849984
fulltext 845 PACS numbers: 61.05.cm, 61.46.Hk,62.20.Qp,68.35.Np,68.37.Hk,68.55.-a, 81.15.-z Влияние параметров осаждения на физико-химические, механические и триботехнические свойства и структуру нитридных и карбонитридных покрытий Б. Р. Жоллыбеков*, *****, А. М. Махмуд *, Г. В. Кирик *, ****, А. А. Демьяненко *, Д. А. Колесников **, Ф. Ф. Комаров ***, А. П. Шипиленко*, Н. К. Ердыбаева ****** *Сумской государственный университет, ул. Римского-Корсакова, 2, 40007 Сумы, Украина **Белгородский государственный национальный исследовательский университет, ул. Победы, 85, 308015 Белгород, Россия ***Белорусский государственный университет, пр. Независимости, 4, 220030 Минск, Белоруссия ****Концерн «Укрросметал», пр. Курский, 6, 40021 Сумы, Украина *****Каракалпакский государственный университет им. Бердаха, ул. Акад. Ч. Абдирова, 1, 742000 Нукус, Узбекистан ******Восточно-Казахстанский государственный технический университет им. Д. Серикбаева, ул. А. К. Протозанова, 69, 070004 Усть-Каменогорск, Казахстан С помощью растровой электронной микроскопии, рентгеноструктурного анализа, измерения адгезионной прочности, коэффициента трения и скоро- сти износа материала были изучены свойства покрытий нержавеющая сталь—TiN (нс—TiN). В зависимости от потенциала сдвига, подающегося на подкладку, давления в камере и включения ВЧ-разряда показано, что сово- купность разных параметров, регистрируемых в процессе царапания, поз- воляет различать пороговые значения критической нагрузки, связанные с разными типами когезионного и адгезионного разрушения покрытий при трибологических испытаниях. Были определены размеры нанозёрен нс— TiN, стехиометрия покрытий, фазовый и элементный составы, морфология поверхности покрытий на основе Ti(C, N) и (Ti, Al)N. Твёрдые покрытия Металлофиз. новейшие технол. / Metallofiz. Noveishie Tekhnol. 2013, т. 35, № 6, сс. 845—862 Оттиски доступны непосредственно от издателя Фотокопирование разрешено только в соответствии с лицензией © 2013 ИМФ (Институт металлофизики им. Г. В. Курдюмова НАН Украины) Напечатано в Украине. 846 Б. Р. ЖОЛЛЫБЕКОВ, А. М. МАХМУД, Г. В. КИРИК и др. TiN, Ti(C, N) и (Ti, Al)N осаждали на подложку из нержавеющей стали ме- тодом катодно-дугового испарения. Химический и фазовый составы по- верхности и текстуру покрытий определяли методом упругих столкновений (ERDA) с помощью энергодисперсионного рентгеновского анализа, рентге- новской фотоэлектронной спектроскопии и рентгеновской дифракции. Ис- следовали влияние на характеристики плёнки основных параметров нане- сения, а именно, давления реактивного газа, тока дуги и потенциала сме- щения подложки. Морфологию поверхности изучали с помощью атомно- силовой и сканирующей электронной микроскопии. Для определения мо- дуля упругости и нанотвёрдости использовался наноиндентор. За допомогою растрової електронної мікроскопії, рентґеноструктурного аналізу, вимірювання адгезійної міцності, коефіцієнта тертя і швидкості зносу матеріалу, було вивчено властивості покриттів неіржавійна сталь— TiN (нс—TiN). Залежно від потенціалу зсуву, що подається на підложжя, тиску в камері та ввімкнення ВЧ-розряду показано, що сукупність різних параметрів, які реєструються у процесі дряпання, уможливлює розрізняти порогові значення критичного навантаження, пов’язані з різними типами когезійного і адгезійного руйнування покриттів при трибологічних випро- буваннях. Було визначено розміри нанозерен нс—TiN, стехіометрію покрит- тів, а також фазовий та елементний склади, морфологію поверхні покриттів на основі Ti(C, N) і (Ti, Al)N. Тверді покриття TiN, Ti(C, N) і (Ti, Al)N оса- джували на підложжя з неіржавійної сталі методом вакуумно-дугового ви- паровування. Хімічний і фазовий склади поверхні і текстура покриттів ви- значалися методом пружніх зіткнень (ERDA) за допомогою енергодиспер- сійного Рентґенового аналізу, Рентґенової фотоелектронної спектроскопії і Рентґенової дифракції. Досліджувався вплив на характеристики плівки основних параметрів нанесення, а саме, тиску реактивного газу, струму ду- ги, потенціалу зміщення підложжя. Морфологію поверхні вивчали за допо- могою атомно-силової та сканувальної електронної мікроскопії. Для визна- чення модуля пружності і нанотвердості використовувався наноіндентор. Using scanning electron microscopy, XRD analysis, measurements of adhesion strength, friction coefficient, and wear rate of material, the properties of stain- less steel—TiN (ss—TiN) coatings are studied. Depending on the bias potential applied to the substrate, the chamber pressure, and switching of high-frequency discharge, the combination of different parameters recorded during scratching allows to distinguish between the critical load thresholds, which are connected with different types of the cohesive and adhesive fractures of coatings through tribological tests. Nanograin sizes of ss—TiN coatings, their stoichiometry, phase and elemental compositions, and surface morphology are determined. Hard coatings TiN, Ti(C, N), and (Ti, Al)N are deposited on a substrate of stain- less steel by vacuum-arc discharge. The chemical and phase composition of sur- face and texture of coatings are determined by method of elastic collisions (ERDA) with use of the energy-dispersive X-ray analysis, X-ray photoelectron spectroscopy, and X-ray diffraction. The effect of main parameters of deposi- tion (such as reactive gas pressure, arc current, and substrate bias potential) on the characteristics of film is studied. Surface morphology is studied by the AFM and SEM analyses. The elastic modulus and nanohardness are determined with use of a nanoindenter. ВЛИЯНИЕ ПАРАМЕТРОВ ОСАЖДЕНИЯ НА СВОЙСТВА ПОКРЫТИЙ 847 Ключевые слова: покрытия нержавеющая сталь—TiN, Ti(C, N), (Ti, Al)N, нанотвёрдость, модуль упругости, адгезионные, триботехнические и де- формационные характеристики. (Получено 14 января 2013 г.; окончат. вариант– 10 июня 2013 г.) 1. ВВЕДЕНИЕ Хорошо известно, что с целью защиты от износа изделий из ин- струментальной стали одними из первых использовали TiN-покры- тия, причем TiN получали разными способами осаждения. В науч- ных работах было показано, что нитрид титана имеет достаточно хорошие свойства для широкого применения таких покрытий в производстве. Со временем, в качестве защитных покрытий начали активно использовать нитриды других металлов CrN, ZrN, AlN, SiN и их комбинации, а также, чередование тонких слоев изменяющего состава нитридов. Относительно недавно было обнаружено, что с уменьшением размера зерна и формированием как минимум двух фаз, отличающихся по размеру, или нанозерен, разориентирован- ных относительно друг друга, покрытия TiN приобретают повы- шенную твердость (свыше 40 ГПа) и имеют очень хорошую стой- кость к износу [1—5]. Было обнаружено также, что с уменьшением размера зерна до 10 нм и менее, резко улучшаются физико- механические свойства, которые в свою очередь зависят от условий и методов осаждения этих покрытий [5—9]. Поэтому стояла задача исследовать покрытия из нитридов и карбонитридов титана (Ti, Al)N, Ti(C, N), а TiN использовать в качестве эталона, затем, меняя условия осаждения, получить наноструктурные пленки с высокими физико-механическими свойствами. Целью данной работы является проведение комплексного иссле- дования структуры, фазового состава, морфологии поверхности и физико-механических характеристик для покрытий нержавеющая сталь—TiN, (Ti, Al)N, Ti(C, N), полученных в условиях катодного вакуумно-дугового испарения и ионно-плазменного осаждения с ВЧ-стимуляцией. 2. МЕТОДЫ ПОЛУЧЕНИЯ ПОКРЫТИЙ И МЕТОДИКА ИССЛЕДОВАНИЙ В качестве подложек использовались полированные образцы в виде пятаков диаметром 20 мм и толщиной 3 мм. В качестве материала подложек использовалась нержавеющая сталь (нс) 12Х18Н10Т. Перед несением покрытий подложки очищались в вакуумной камере с помощью ионной бомбардировки. Покрытия из нитрида титана были получены в вакуумно-дуговой установке «Булат-3Т». 848 Б. Р. ЖОЛЛЫБЕКОВ, А. М. МАХМУД, Г. В. КИРИК и др. Описание серийной установки приведено в литературе [1]. Исполь- зовали два режима нанесения покрытий: режим непрерывного осаждения и осаждение покрытий с ВЧ-стимуляцией. В этом ре- жиме подложка погружается в плазму [1] и на нее подается отрица- тельный импульсный потенциал. Ускорение ионов происходит в динамическом самоорганизующемся пограничном слое, который формируется вблизи поверхности мишени под действием импульс- ного отрицательного потенциала. Осаждение покрытий проводи- лось в условиях подачи на подложку одновременно постоянного по- тенциала в 230 В и отрицательных импульсов амплитудой 2 кВ с частотой следования импульсов 7 кГц и длительностью 10 мкс. Си- ла тока дуги была равна 60 и 90 А. Давление азота при осаждении составляло 10 −2 Па. Расстояние от испарителя до подложки состав- ляло 250 мм. Подложки прогревались до температуры 540°C. При непрерывном осаждении покрытий постоянный потенциал, ток ду- ги, давление азота в камере, расстояние от испарителя до подложки и температура подложек были такими же, как и указанные выше. Перед нанесением покрытия поверхности образцов распылялись (очищались) с помощью Ti-ионной бомбардировки (1000 В, 5 мин). Основные используемые параметры обработки различных покры- тий: материал катода – Ti, Al; реактивный газ – N2, CH4 (или C2H2); давление газа P = 3⋅10 −3—1 Пa; ток дуги Ia = 60—120 A; потен- циал смещения подложки Vs = 15—220 B; температура подложки T = 160—540°C; время нанесения t = 15—90 мин. Для нанесения мно- гофазных композитов TiN и (Ti, Al)N использовали Ti-катод и раз- личные пары катодов (Ti + Al) в N2 атмосфере, а для приготовления Ti(C, N) реактивный газ состоял из смеси N2 и CH4. Толщина покрытий и состояние границ между основой и покры- тием определялись с помощью растрового электронного микроско- па РЭМ-106 по дифрактограммам излома при ускоряющем напря- жении 20 кВ. Кроме того, с помощью растровой электронной мик- роскопии (РЭМ) изучалась морфология поверхности образцов. Рентгеноструктурный анализ (РСА) образцов проводился с ис- пользованием рентгеновского дифрактометра ДРОН-4 в CuKα-излу- чении. Исследование механических характеристик слоев покрытия проведено методом наноиндентирования с помощью прибора Nanoindentor G200 (MES System, USA) с использованием трехгран- ной пирамидки Берковича с радиусом затупления при вершине около 20 нм. Точность измерения глубины отпечатка составляла ± 0,04 нм. Отпечатки наносились на расстоянии 15 мкм друг от дру- га, а измерения твердости проводили до глубины 200 нм (для умень- шения влияния подложки на измеренные значения твердости). Для определения адгезионной/когезионной прочности, стойко- сти к царапанью, а также для исследования механизма разрушения был использован скретч-тестер REVETEST (GSM INSTRUMENT) ВЛИЯНИЕ ПАРАМЕТРОВ ОСАЖДЕНИЯ НА СВОЙСТВА ПОКРЫТИЙ 849 [9]. На поверхность покрытия алмазным сферическим индентором типа «Rockwell» с радиусом закругления 200 мкм были нанесены царапины при непрерывно нарастающей нагрузке. Полученные покрытия и образцы испытывались на износостой- кость на машине трения СМЦ-1 по схеме «плоскость—цилиндр» с ис- пользованием технического вазелина. В течение всего испытания об- разец не снимался с машины трения. Измерения ширины канавки и ее длину в зоне износа проводили с помощью микроскопа Бринеля МПБ-2, который обеспечивает точность измерений ±0,025 мм [7—11]. Химический состав плёнок исследовали методом упругих столк- новений (ERDA) с помощью энергодисперсионного рентгеновского анализа (EDX). Датчик для измерения упругих столкновений со- стоял из кремниевого детектора, размещённого внутри ионизаци- онной камеры. Углы падения и входа составляли 75° относительно нормали образца. EDX-исследования проводили на сканирующем электронном микроскопе «JEOL» (Japan). Рентгеновская фотоэлек- тронная спектроскопия (XPS) осуществлялась на спектрометре SSX-100 в вакууме 5⋅10 −7 Па, угол измерения параметров составлял 55° к нормали образца. Площадь анализируемой поверхности была 1,4 мм 2, а энергия прохождения составляла 150 эВ. В данных усло- виях разрешение, которое определяли как полную ширину на по- лумаксимуме (FWHM) пика Au 4f7/2 для стандартного образца из золота, составляло около 1,6 эВ. Фазовый состав и текстура иссле- довались с помощью рентгеновской дифракции (XRD) на дифрак- тометре DRON-4 в CuKα-излучении. 3. РЕЗУЛЬТАТЫ ИССЛЕДОВАНИЙ И ИХ ОБСУЖДЕНИЕ Прежде всего, следует отметить, что все покрытия из TiN, независи- мо от режимов получения, имели золотисто-желтый цвет, который характерен для стехиометрического нитрида титана. Величина тока дугового разряда влияет на шероховатость осаждаемых покрытий. Повышение тока ведёт к увеличению скорости перемещения ка- тодных пятен на поверхности катода, к росту их размера, числа и повышению температуры катода, что приводит к возрастанию ко- личества микрокапельной фазы в плазменном потоке катодного ма- териала и, как следствие, к увеличению шероховатости наносимых слоёв. Эти зависимости подтверждаются измерениями шероховато- сти осаждаемых покрытий по центру подложки. Повышение тока дуги от 60 до 90 А приводило к увеличению шероховатости покры- тия Ra в 1,5 раза. В случае тройных соединений (Ti, Al)N и Ti(C, N), элементный состав исследовали методом EDX. Примеры EDX-спектров для плё- нок (Ti, Al)N и (Ti, Ni)N представлены на рис. 1. Условия нанесения плёнок были следующие: (Ti, Al)N – p(N2) = 10 −1 Пa, IAl = 50 A, ITi = 850 Б. Р. ЖОЛЛЫБЕКОВ, А. М. МАХМУД, Г. В. КИРИК и др. = 90 A, Vs = 220 В; TiN – p(N2) = 10 −1 Пa, IAl — от 50 до 90 А, ITi = 120 A, Vs = 220 В, где ITi, IAl это токи Ti, Al катодов соответственно. В данном случае покрытия были почти стехиометрическими при соотношении N/Ti + Al равном 0,95. Как показано, например в [9, 12, 13], соотношение Ti/Al имеет огромное влияние на свойства плёнки. Проведенные нами эксперименты показали, что соотноше- ние Ti/Al можно контролировать путём контроля значений тока со- ответствующих катодов. Например, повышение ITi от 50 до 90 A приводило к увеличению соотношения Ti/Al от 0,74 до 2,09 (IAl поддерживался постоянным на уровне 50 A). Эксперименты также показали, что для покрытий Ti(C, N) соотношение N/C было почти такое же (в пределах 5—10%), как и аналогичное соотношение в ре- активном газе, которое контролировали при помощи скоростей га- зового потока N2 и газа, содержащего углерод. Методика проведения триботехнических испытаний методом объемного износа позволяет получить кривые зависимости размера площадки износа, объемного износа и износостойкости от парамет- ров времени, количества оборотов контртела и длины пройденного пути. На рисунке 2 приведены зависимости изменения объема ма- териала, унесенного контртелом в процессе испытания, от длины пути, пройденного контртелом. Проведенные испытания на износостойкость показали следую- щие результаты. Нанесение покрытий существенно снизило объем- ный износ образцов. Унос материла с подложки имел катастрофи- Рис. 1. EDX-спектр для (Ti, Al)N покрытий (p(N2) = 10 −1 Пa, IAl = 50 A, ITi = 90 A, Vs = 220 В, где ITi, IAl – это токиTi-,Al-катодов соответственно). ВЛИЯНИЕ ПАРАМЕТРОВ ОСАЖДЕНИЯ НА СВОЙСТВА ПОКРЫТИЙ 851 ческий [13—15] характер (кривая 3), тогда как покрытия на этой стадии не достигали конца испытаний. При базовых испытаниях на 10000 оборотов ни одно из покрытий не истиралось до подложки. Унос материала покрытий, осажденных в режиме ионно-плазмен- ного осаждения с ВЧ-стимуляцией, в 1,5—2 раза меньше, чем по- крытий, полученных в режиме непрерывного осаждения. Измерения трения скольжения покрытий также показали пре- имущества покрытий, полученных в режиме вакуумно-дугового осаждения с ВЧ-стимуляцией. Так, коэффициент трения скольже- ния покрытия последнего типа меньше соответствующего коэффи- циента обычного покрытия на 10% и 11% при скольжении соответ- ственно по пластмассе и полированному алюминию. Рентгеноструктурные исследования фазового состава покрытий, полученных при двух режимах осаждения, показали наличие толь- ко одной фазы нитрида титана с ГЦК-решеткой типа NaCl [9]. На всех рентгенограммах присутствуют дифракционные пики (111), (200), (220) и (222). Величина интенсивностей пиков свидетельству- ет о том, что это однофазный поликристаллический нитрид титана. У обоих типов образцов наблюдалось увеличение параметра кри- сталлической решетки а до 0,42603 ± 0,0141 нм для режима непре- рывного осаждения и до 0,42599 ± 0,0173 нм для режима осажде- ния с ВЧ-стимуляцией по сравнению с массивным нитридом тита- на, у которого ам = 0,4244 нм [9]. Анализ интенсивностей дифракционных максимумов указывает на наличие аксиальной текстуры [111] для обоих режимов. Оценка размеров кристаллитов показала, что покрытия, полученные в ре- Рис. 2. Зависимости изменения объемного износа V от длины пройденного контртелом пути L для образцов без покрытия (кривая 3) и с покрытиями из TiN, полученными в режиме непрерывного осаждения (кривая 2) и в режиме ионно-плазменного осаждения с ВЧ-стимуляцией (кривая 1). 852 Б. Р. ЖОЛЛЫБЕКОВ, А. М. МАХМУД, Г. В. КИРИК и др. жиме ВЧ-стимуляции, имеют меньший размер зерен (областей ко- герентного рассеяния (ОКР)). Средние значения размеров кристал- литов составляют 8,9 нм, в то время как при непрерывном катодно- дуговом осаждении покрытия имеют сравнительно больший размер нанокристаллитов до 10,3 нм. Все покрытия имеют схожую морфологию поверхности: обнару- жено присутствие капельных фракций на поверхности покрытий. Однако покрытия, полученные при различных режимах, все же имеют различные количественные характеристики параметров по- верхности (табл. 1). На рисунке 3 показан пример спектра XPS для пиков Ti 2p, N 1s и O 1s. Представлены также результаты подгонки пиков с помощью функций Гаусса—Лоренца (85% G/L). ТАБЛИЦА 1. Химический состав плёнок. Слой Концентрация элементов (ат.%) Ti Al C Fe N O (Ti, Al)N 30,9 14,8 − 2,0 43,6 8,7 (Ti, C)N 16,2 − 31,8 0,9 52,5 1,4 Рис. 3. XPS-спектр ТiN-покрытия: пики Ti 2p, N 1s иO 1s. ВЛИЯНИЕ ПАРАМЕТРОВ ОСАЖДЕНИЯ НА СВОЙСТВА ПОКРЫТИЙ 853 На рисунке 4 представлены микрофотографии поверхности и из- лома ТiN-покрытия, полученного при вакуумно-дуговом осажде- нии. Микрофотографии покрытия TiN после осаждения получены при 20000-кратном увеличении (рис. 4, а и б). Данные микрофото- графии позволяют проследить изменение поверхности с капельной фракцией под воздействием высоких температур. При воздействии на покрытие температуры 500°C (рис. 4, б), покрытие не поддается микроразрушению, на поверхности качественных изменений в со- поставлении с исходным образцом (рис. 4, а) не обнаружено. При воздействии на покрытие температуры 1000°C наблюдается его четкая структура без качественных изменений (см. рис. 4, в, где также виден излом покрытия, увеличение ×129000). Из данных, приведенных в таблице 1, видно, что при импульсном режиме осаждения средние значения диаметра капель и их концен- трации меньше, чем при непрерывном осаждении. Именно этим фактом можно объяснить различие коэффициентов трения покры- тий. Методом растровой электронной микроскопии были также изучены изломы покрытий. Анализ изломов показал, что получен- ные покрытия имеют хорошую адгезию к подложке. Следует отме- тить, что в открытых поверхностных порах часто наблюдается направленный рост частиц покрытия. Сказанное хорошо иллюстри- рует приведенная на рис. 5 микрофотография покрытия, получен- ного в режиме вакуумно-дугового осаждения с ВЧ-стимуляцией. Соединения, сформированные на поверхности покрытия TiN (до максимальной глубины 10 нм) определяли методом XPS [1]. Из спектрального анализа (табл. 2) видно, что покрытия, состо- ящие из основного компонента TiN, являются квазистехиометри- ческими (N/Ti и TiNO). Относительная концентрация фаз в них за- висит от параметров нанесения. Условия нанесения для исследуе- а б в Рис. 4. Топография поверхностей и излома ТiN-покрытий, полученных при вакуумно-дуговом осаждении: поверхность исходного образца (а), по- верхность образца, нагретого до 500°C (б), поверхность (и ее излом) образ- ца, нагретого до 1000°C (в). 854 Б. Р. ЖОЛЛЫБЕКОВ, А. М. МАХМУД, Г. В. КИРИК и др. мых плёнок, полученных при вакуумно-дуговом осаждении и оса- ждении с ВЧ-стимуляцией, приведены в табл. 3. Таким образом, при указанных режимах осаждения получены нанокристаллические нитрид-титановые покрытия, имеющие нанокристаллическую структуру. Режим ионно-плазменного оса- ждения с ВЧ-стимуляцией обеспечивает более мелкодисперсную кристаллическую структуру покрытий, которые, в свою очередь, Рис. 5. Микрофотография TiN-покрытия, полученного в режиме вакуум- но-дугового осаждения с ВЧ-стимуляцией. ТАБЛИЦА 2. Энергии Е (в эВ) XPS пиков и атомная концентрация соот- ветствующих фаз. Обра- зец C Ti N O C—C C—(O, N) связь TiN TiNO TiNO TiN C—N связь TiON C—O связь 1 284,8 45,0% 286,2 288,4 10,7% 455,8 4,9% 458,1 5,9% 395,8 4,5% 397,0 4,4% 399,0 400,6 1,6% 529,7 10,9% 531,7 533,1 12,0% 2 284,8 37.9% 286,2 288,4 10,5% 456,1 6,4% 458,2 7,2% 396,0 6,1% 397,2 5,7% 399,1 400,8 1,9% 529,9 12,5% 531,7 533,3 11,8% 3 284,7 33,5% 286,2, 288,3 8,8% 455,9 6,2% 458,1 9,5% 395,9 7,0% 397,2 6,1% 399,0 400,8 2,0% 529,9 14,6% 531,6 533,1 535,4 12,3% 4 284,7 37,9% 286,3 288,4 9,2% 455,6 6,4% 458,0 8,6% 396,0 4,6% 397,1 8,6% 398,9 400,5 2,5% 529,8 11,9% 531,7 533,3 10,4% ВЛИЯНИЕ ПАРАМЕТРОВ ОСАЖДЕНИЯ НА СВОЙСТВА ПОКРЫТИЙ 855 показывают более высокие характеристики износостойкости. На рисунке 6 представлены спектры резерфордовского обратного рассеяния (РОР) протонов (а) и ионов гелия (б) на образце TiAlN. Из результатов анализа (см. рис. 6) видно, что в покрытии при- сутствуют такие элементы, как N, C, O, Ti, Al и в небольших коли- чествах Fe. Также можно обратить внимание на то, что пик титана немного смещен и образует «ступеньку» вблизи поверхности по- крытия. Это свидетельствует об образовании соединения (TixAl1−x)N в слое толщиной порядка нескольких десятых микрометра. Как видно из результатов РОР-анализа, в спектре обнаружена «полочка», свидетельствующая о взаимодействии титана и алюми- ния с образованием Ti50Al50. Стехиометрию покрытия Ti—Al—N можно оценить с помощью выражения: 2 Ti Al Ti Al TiTi AlAl Al Ti       ≅ σ σ= Z Z H H H H N N , (1) ТАБЛИЦА 3. Значения экспериментальных параметров для покрытий из нитрида титана. Параметр Непрерывное вакуумно- дуговое осаждение Вакуумно-дуговое оса- ждение с ВЧ-стимуляцией а, Å 4,2603 ± 0,0141 4,2599 ± 0,0173 (a − ам)/а, % 0,38 0,24 Размер ОКР, нм 10,29 8,88 а б Рис. 6. Энергетические спектры резерфордовского обратного рассеяния протонов с энергией 2,01 МэВ (а) и ионов Не + с энергией 2,03 МэВ (б) для покрытия (Ti, Al)N—подложка. 856 Б. Р. ЖОЛЛЫБЕКОВ, А. М. МАХМУД, Г. В. КИРИК и др. где NTi и NAl – процентное отношение концентрации Ti и Al, НTi и НAl – амплитуды сигналов от Ti и Al соответственно, σTi и σAl – се- чения рассеяния на атомах Ti и Al соответственно, ZTi и ZAl – атом- ные номера Ti и Al. Пренебрегая различием торможения вдоль обратной траектории для частиц, рассеянных на атомах титана и алюминия, для двух элементов, равномерно распределенных внутри слоя (или пленки), выражение (1) можно заменить более точным отношением: AlTiTi TiAlAl Al Ti σΔ σΔ≅ EH EH N N . (2) Вблизи поверхности и в самом покрытии также присутствуют азот и кислород (общая концентрация этих элементов 10 и 12 ат.%). Из энергетических спектров при этом видно, что наряду с TiAl, воз- можно формирование фаз TiN2 и TiN – небольшая ступенька в рай- оне кинематической границы N. Часть кислорода провзаимодей- ствовала с алюминием, в результате чего наблюдается образование окисла Al2O3. В таблицах 4 и 5 приведены результаты трибологических испы- таний, а на рис. 7 представлены двухмерные и трехмерные AFM (АСМ) изображения морфологии поверхности покрытия TiN, полу- ченного вакуумно-дуговым методом. ТАБЛИЦА 4. Результаты трибологических испытаний нанокомпозитных покрытий. Покрытие Температура испытания, °C Фактор износа покрытия, мм3/нм Фактор износа контртела, мм3/нм fтр Ti—Zr—Si—N 30 7,59⋅10 −5 1,93⋅10 −5 0,80 300 2,22⋅10 −5 3,14⋅10 −5 0,71 500 1,49⋅10 −5 2,81⋅10 −5 0,58 Ti—Zr—Si—N (a) Ti = 22,73 Zr = 2,12 Si = 3,05 30 7,559⋅10 −5 3,214⋅10 −5 0,805 300 1,84⋅10 −5 4,726⋅10 −5 0,836 500 1,47⋅10 −5 3,047⋅10 −5 0,582 Ti—Zr—Si—N (б) Ti = 28,32 Zr = 2,67 Si = 3,64 30 6,75⋅10 −5 3,304⋅10 −5 0,793 300 3,62⋅10 −5 3,83⋅10 −5 0,813 500 1,985⋅10 −5 2,749⋅10 −5 0,585 Ti—Zr—Si—N (в) Ti = 27,46 Zr = 2,51 Si = 3,76 30 7,697⋅10 −5 3,279⋅10 −5 0,877 300 2,635⋅10 −5 3,486⋅10 −5 0,825 500 1,955⋅10 −5 2,749⋅10 −5 0,632 ВЛИЯНИЕ ПАРАМЕТРОВ ОСАЖДЕНИЯ НА СВОЙСТВА ПОКРЫТИЙ 857 На рисунке 8 приведены зависимости нанотвердости от глубины вдавливания индентора для разных покрытий, нанесенных на об- разцы из стали. Из этих зависимостей можно увидеть то, что значе- ния твердости для различных условий осаждения в пленках нс—TiN различаются. Для осаждения пленки в ВЧ-разряде (верхняя кри- вая) максимальное значение нанотвердости около 32 ГПа. Пленки, полученные вакуумно-дуговым осаждением без ВЧ-стимуляции, имеют максимальное значение нанотвердости 26 ГПа, (минималь- ное значение в этом случае составляет 22 ГПа) при глубине вдавли- вания и измерения для всех покрытий 120 нм. Точками на зависи- мости показаны места измерения. При скоростях скольжения 10 см/с имеет место нормальное аб- разивно-окислительное изнашивание при трении. Структурно- ТАБЛИЦА 5. Макроструктура поверхности нанокомпозитных покрытий Ti—Zr—Si—N. Параметры Т = 30°C Т = 300°C Т = 500°C Контртело Дорожки трения Рис. 7. Морфология поверхности покрытия TiN, полученного вакуумно- дуговым методом: двумерное (а) и трехмерное (б) изображения поверхно- сти, полученные с помощьюAFM. 858 Б. Р. ЖОЛЛЫБЕКОВ, А. М. МАХМУД, Г. В. КИРИК и др. фазовое состояние покрытий играет решающую роль при процессе изнашивания и зависит от температуры. При температуре испыта- ний 30°C происходит адгезионное взаимодействие покрытия с кон- тртелом – наблюдается грубый рельеф поверхности покрытия. При температуре испытаний 300°C для покрытий на основе Ti— Si—N и Zr—Ti—Si—N, износ покрытий уменьшается, а износ контрте- ла увеличивается. В дальнейшем, с увеличением температуры до 500°C, происходит уменьшение износа покрытий Ti—Si—N и Zr—Ti— Si—N, т.е. повышается их износостойкость. Это приводит к измене- нию условий процессов происходящих в зоне контакта за счет из- менения структуры поверхностных слоев. Отличительной особенностью поведения системы (с ВЧ-стимуля- цией) TiN/подложка из стали стало появление осцилляций функ- ции μ(h) (где μ – коэффициент трения, h – глубина вдавливания индентора) после достижения нагрузки Lc2 = 29 Н. Это связано с об- разованием локальных сколов покрытия и выдавливанием матери- ала подложки, что приводит к уменьшению глубины проникнове- ния индентора, увеличению коэффициента трения и замедлению процесса дальнейшего истирания покрытия вплоть до полного или частичного удаления материала подложки со дна царапины. Для покрытия нс—TiN/подложка (осажденного без ВЧ-стимуляции) по- явление первых осцилляций наблюдается уже при Lc2 = 17 Н. Флуктуации сигнала акустической эмиссии при малых нагрузках не связаны с разрушением покрытия, а, по-видимому, являются следствием изменения формы, размера и количества пор (плотно- сти по толщине покрытия). В области перехода покрытие/под- ложка осуществляется полностью упругий контакт вплоть до 23 Н, величина упругого восстановления составляет почти 100%, а исти- Рис. 8. Зависимость твердости покрытий TiN, нанесенных на стальную подложку, от глубины вдавливания индентора. ВЛИЯНИЕ ПАРАМЕТРОВ ОСАЖДЕНИЯ НА СВОЙСТВА ПОКРЫТИЙ 859 рание почти полностью отсутствует. На рисунке 9 приведены зависимости модуля упругости от глу- бины образцов с покрытиями нс—TiN. Для двойных композитов типа Ti—N и Ti—C спектры рентгенов- ской дифракции показывают, что в этих покрытиях образуются фа- зы соответственно δ-TiN и TiC. Однако при низком давлении реак- ционного газа, также были обнаружены небольшие дифракционные пики металла, например, пик Ti(110). Типичные дифракционные картины для композитов TiN и TiC показаны на рис. 10 и 11. Можно увидеть сильную преимущественную ориентацию (111), как это бы- вает для подобных плёнок, нанесённых данным методом [8—9]. Свойства нитрида титана, описанные в [2, 7, 9], позволяют лучше сориентироваться в данных условиях нанесения покрытий, когда Рис. 10. Фрагменты рентгеновских дифрактограмм, полученные для об- разцов покрытия TiN. Рис. 9. Зависимость модуля упругости покрытий TiN, нанесенных на стальную подложку, от глубины вдавливания индентора. 860 Б. Р. ЖОЛЛЫБЕКОВ, А. М. МАХМУД, Г. В. КИРИК и др. энергия напряжения превосходит поверхностную энергию. В определенных условиях нанесения (p(N2) < 10 −2 Пa, Vs < 20 В) по- крытие TiN не имеет преимущественной ориентации (обнаружены линии (111) и (200), имеющие одинаковые интенсивности пиков). При изменении условий нанесения наблюдается изменение тек- стуры для покрытий TiC (рис. 11). Для некоторых параметров нане- сения (реактивный газ – C2H2, давление газа – 4⋅10 −2—6⋅10 −2 Па, Vs > 100 В) на типичных картинах дифракции (рис. 11, а) имеются небольшие и широкие дифракционные пики, позволяющие пред- положить, что сформировался нанокомпозит. Анализ профиля кривой, описанный в [10], показал, что размер зерна составляет ме- нее 10 нм. Следует отметить, что такие покрытия считаются сверх- твёрдыми, если их микротвёрдость превышает 40 ГПа, а в нашем случае максимальная твёрдость составляет 50 ГПа [11—12]. Можно предположить, что эти плёнки состоят из нанокристаллов TiC в матрице a-C:H (amorphous hydrocarbon matrix). Как и в случае с двойными соединениями, покрытия (Ti, Al)N и (Ti, Ni)N показывают текстуру с сильной (111) ориентацией. Две дифракционные картины для покрытий (Ti, Al)N с разными соот- ношениями Ti/Al, показаны на рис. 11. Интенсивность линии (111) (Ti, Al)N увеличивается с увеличением тока Ti-катода. Благодаря появлению дифракционных пиков элемента Al видно, что некото- Рис. 11. Спектры рентгеновской дифракции покрытия TiC. ВЛИЯНИЕ ПАРАМЕТРОВ ОСАЖДЕНИЯ НА СВОЙСТВА ПОКРЫТИЙ 861 рые атомы алюминия не вступили в реакцию с азотом (рис. 11). Покрытие (Ti, C)N получали с помощью CH4, либо C2H2 (рис. 12). В последнем случае, пики были ниже и шире, что характерно для наноструктурных плёнок. Такие покрытия называются сверхтвёр- дыми [11]; их микротвёрдость возросла от 40 до 46 ГПа при увели- чении в плёнке концентрации углерода от 0,5 до 0,8. При концен- трации ниже 0,4 значения микротвёрдости уменьшались и дости- гали 25—31 ГПа. 4. ЗАКЛЮЧЕНИЕ Таким образом, получены и исследованы нс—TiN покрытия, кото- рые имеют твердость до 32,6 ГПа, модуль упругости 300 ГПа, не вы- сокую шероховатость 4,2—12,8 нм, обладают достаточно высокой адгезией и, в зависимости от режима осаждения, имеют размер нанозерен (ОКР) 9 и 10,3 нм. Обнаружено, что в случае вакуумно- дугового осаждения с ВЧ-стимуляцией пленки нс—TiN имеют более мелкий размер зерна, по сравнению с покрытиями, полученными при помощи непрерывного режима вакуумно-дугового осаждения. По спектрам XPS был восстановлен элементный состав покрытий и выявлены химические связи для поверхности покрытия TiN. Бы- Рис. 12. Спектры рентгеновской дифракции покрытия TiC0,6N0,4. 862 Б. Р. ЖОЛЛЫБЕКОВ, А. М. МАХМУД, Г. В. КИРИК и др. ло обнаружено, что квазистехиометрические соединения TiN были покрыты тонким слоем, состоящим из Ti2O3 и TiNO. Анализ XRD показал, что двойные металлические покрытия TiN, NiN и TiC имели преимущественную (111) ориентацию. Для системы Ti(C, N), благодаря текстуре ее покрытия, наблюдалась очень высокая мик- ротвёрдость (до 52 ГПа). Для тройных соединений (Ti, Al)N интен- сивности и положения пиков зависели в основном от величины тока соответствующих катодов. Что касается покрытий Ti(C, N), то для них наблюдались различные дифракционные картины в зависимо- сти от типа использованного для их получения реактивного газа CH4 или C2H2: сильную (111) ориентацию в первом случае и отсут- ствие преимущественной ориентации во втором. Для последних по- крытий микротвёрдость составляла 42—46 ГПа. Работа проводилась в рамках научно-исследовательского проекта № 011U001382. Авторы благодарят проф. А. Д. Погребняка за по- мощь в интерпретации результатов исследований. ЦИТИРОВАННАЯ ЛИТЕРАТУРА 1. В. В. Васильев, А. А. Лучанинов, Е. Н. Решетняк и др., ВАНТ, Серия: Физика радиационных повреждений и радиационное материаловедение, № 2: 173 (2009). 2. А. Д. Погребняк, А. П. Шпак, Н. А. Азаренков, В. М. Береснев, Успехи физ. наук, 179: 35 (2009). 3. А. Д. Погребняк, О. В. Соболь, В. М. Береснев и др., Письма в ЖТФ, 35, вып. 19: 103 (2009). 4. А. Д. Погребняк, А. А. Дробышевская, М. М. Даниленок и др., Изв. высших учебных заведений. Физика, вып. 12: 61 (2010). 5. П. Л. Игнатенко, Д. Н. Терпий, Н. А. Кляхина, ЖТФ, 79, № 7: 101 (2009). 6. J. Pelletier and A. Anders, IEEE Transactions on Plasma Science, 33, No. 6: 1944 (2005). 7. A. D. Pogrebnjak and Y. N. Tyurin, Phys. Usp., 48, Iss. 5: 487 (2005). 8. A. D. Pogrebnjak, Sh. M. Ruzimov, D. L. Alontseva et al., Vacuum, 81, Iss. 10: 1243 (2007). 9. А. Д. Погребняк, А. Г. Пономарев, А. П. Шпак и др. Успехи физ. наук, 182, № 3: 287 (2012). 10. P. Misaelides, А. Hatzidimitriou, A.D. Pogrebnjak еt al., Surf. Coat. Technol., 180—181: 290 (2004). 11. A. D. Pogrebnjak, A. G. Lebed, and Yu. F. Ivanov, Vacuum, 63, Iss. 4: 483 (2001). 12. A. D. Pogrebnjak, A. P. Kobzev, B. P. Gritsenko et al., J Appl. Phys., 87, Iss. 5: 2142 (2000). 13. A. D. Pogrebnjak, O. G. Bakharev, N. A. Pogrebnjak et al., Phys. Lett. A, 265, Iss. 3: 225 (2000). 14. A. D. Pogrebnyak, O. V. Sobol, V. M. Beresnev et al., Nanostruct. Mater. Nano- technology IV: Ceramic Engineering and Science Proceeding, 31, No. 7: 127 (2010). 15. A. D. Pogrebnjak, S. Bratushka, V. I. Boyko et al., Nucl. Instrum. Methods, 145, Iss. 3: 373 (1998). << /ASCII85EncodePages false /AllowTransparency false /AutoPositionEPSFiles true /AutoRotatePages /None /Binding /Left /CalGrayProfile (Dot Gain 20%) /CalRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1) /CalCMYKProfile (U.S. Web Coated \050SWOP\051 v2) /sRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1) /CannotEmbedFontPolicy /Error /CompatibilityLevel 1.4 /CompressObjects /Tags /CompressPages true /ConvertImagesToIndexed true /PassThroughJPEGImages true /CreateJobTicket false /DefaultRenderingIntent /Default /DetectBlends true /DetectCurves 0.0000 /ColorConversionStrategy /CMYK /DoThumbnails false /EmbedAllFonts true /EmbedOpenType false /ParseICCProfilesInComments true /EmbedJobOptions true /DSCReportingLevel 0 /EmitDSCWarnings false /EndPage -1 /ImageMemory 1048576 /LockDistillerParams false /MaxSubsetPct 100 /Optimize true /OPM 1 /ParseDSCComments true /ParseDSCCommentsForDocInfo true /PreserveCopyPage true /PreserveDICMYKValues true /PreserveEPSInfo true /PreserveFlatness true /PreserveHalftoneInfo false /PreserveOPIComments true /PreserveOverprintSettings true /StartPage 1 /SubsetFonts true /TransferFunctionInfo /Apply /UCRandBGInfo /Preserve /UsePrologue false /ColorSettingsFile () /AlwaysEmbed [ true ] /NeverEmbed [ true ] /AntiAliasColorImages false /CropColorImages true /ColorImageMinResolution 300 /ColorImageMinResolutionPolicy /OK /DownsampleColorImages true /ColorImageDownsampleType /Bicubic /ColorImageResolution 300 /ColorImageDepth -1 /ColorImageMinDownsampleDepth 1 /ColorImageDownsampleThreshold 1.50000 /EncodeColorImages true /ColorImageFilter /DCTEncode /AutoFilterColorImages true /ColorImageAutoFilterStrategy /JPEG /ColorACSImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /ColorImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /JPEG2000ColorACSImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /JPEG2000ColorImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /AntiAliasGrayImages false /CropGrayImages true /GrayImageMinResolution 300 /GrayImageMinResolutionPolicy /OK /DownsampleGrayImages true /GrayImageDownsampleType /Bicubic /GrayImageResolution 300 /GrayImageDepth -1 /GrayImageMinDownsampleDepth 2 /GrayImageDownsampleThreshold 1.50000 /EncodeGrayImages true /GrayImageFilter /DCTEncode /AutoFilterGrayImages true /GrayImageAutoFilterStrategy /JPEG /GrayACSImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /GrayImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /JPEG2000GrayACSImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /JPEG2000GrayImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /AntiAliasMonoImages false /CropMonoImages true /MonoImageMinResolution 1200 /MonoImageMinResolutionPolicy /OK /DownsampleMonoImages true /MonoImageDownsampleType /Bicubic /MonoImageResolution 1200 /MonoImageDepth -1 /MonoImageDownsampleThreshold 1.50000 /EncodeMonoImages true /MonoImageFilter /CCITTFaxEncode /MonoImageDict << /K -1 >> /AllowPSXObjects false /CheckCompliance [ /None ] /PDFX1aCheck false /PDFX3Check false /PDFXCompliantPDFOnly false /PDFXNoTrimBoxError true /PDFXTrimBoxToMediaBoxOffset [ 0.00000 0.00000 0.00000 0.00000 ] /PDFXSetBleedBoxToMediaBox true /PDFXBleedBoxToTrimBoxOffset [ 0.00000 0.00000 0.00000 0.00000 ] /PDFXOutputIntentProfile () /PDFXOutputConditionIdentifier () /PDFXOutputCondition () /PDFXRegistryName () /PDFXTrapped /False /CreateJDFFile false /Description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> /CHS <FEFF4f7f75288fd94e9b8bbe5b9a521b5efa7684002000410064006f006200650020005000440046002065876863900275284e8e9ad88d2891cf76845370524d53705237300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c676562535f00521b5efa768400200050004400460020658768633002> /CHT <FEFF4f7f752890194e9b8a2d7f6e5efa7acb7684002000410064006f006200650020005000440046002065874ef69069752865bc9ad854c18cea76845370524d5370523786557406300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c4f86958b555f5df25efa7acb76840020005000440046002065874ef63002> /CZE <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> /DAN <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> /DEU <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> /ESP <FEFF005500740069006c0069006300650020006500730074006100200063006f006e0066006900670075007200610063006900f3006e0020007000610072006100200063007200650061007200200064006f00630075006d0065006e0074006f00730020005000440046002000640065002000410064006f0062006500200061006400650063007500610064006f00730020007000610072006100200069006d0070007200650073006900f3006e0020007000720065002d0065006400690074006f007200690061006c00200064006500200061006c00740061002000630061006c0069006400610064002e002000530065002000700075006500640065006e00200061006200720069007200200064006f00630075006d0065006e0074006f00730020005000440046002000630072006500610064006f007300200063006f006e0020004100630072006f006200610074002c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000200079002000760065007200730069006f006e0065007300200070006f00730074006500720069006f007200650073002e> /ETI <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> /FRA <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> /GRE <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a stvaranje Adobe PDF dokumenata najpogodnijih za visokokvalitetni ispis prije tiskanja koristite ove postavke. Stvoreni PDF dokumenti mogu se otvoriti Acrobat i Adobe Reader 5.0 i kasnijim verzijama.) /HUN <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> /ITA <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> /JPN <FEFF9ad854c18cea306a30d730ea30d730ec30b951fa529b7528002000410064006f0062006500200050004400460020658766f8306e4f5c6210306b4f7f75283057307e305930023053306e8a2d5b9a30674f5c62103055308c305f0020005000440046002030d530a130a430eb306f3001004100630072006f0062006100740020304a30883073002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee5964d3067958b304f30533068304c3067304d307e305930023053306e8a2d5b9a306b306f30d530a930f330c8306e57cb30818fbc307f304c5fc59808306730593002> /KOR <FEFFc7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c5ec0020ace0d488c9c80020c2dcd5d80020c778c1c4c5d00020ac00c7a50020c801d569d55c002000410064006f0062006500200050004400460020bb38c11cb97c0020c791c131d569b2c8b2e4002e0020c774b807ac8c0020c791c131b41c00200050004400460020bb38c11cb2940020004100630072006f0062006100740020bc0f002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e00300020c774c0c1c5d0c11c0020c5f40020c2180020c788c2b5b2c8b2e4002e> /LTH <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> /LVI <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> /NLD (Gebruik deze instellingen om Adobe PDF-documenten te maken die zijn geoptimaliseerd voor prepress-afdrukken van hoge kwaliteit. De gemaakte PDF-documenten kunnen worden geopend met Acrobat en Adobe Reader 5.0 en hoger.) /NOR <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> /POL <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> /PTB <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> /RUM <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> /RUS <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> /SKY <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> /SLV <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> /SUO <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> /SVE <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> /TUR <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> /UKR <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> /ENU (Use these settings to create Adobe PDF documents best suited for high-quality prepress printing. Created PDF documents can be opened with Acrobat and Adobe Reader 5.0 and later.) >> /Namespace [ (Adobe) (Common) (1.0) ] /OtherNamespaces [ << /AsReaderSpreads false /CropImagesToFrames true /ErrorControl /WarnAndContinue /FlattenerIgnoreSpreadOverrides false /IncludeGuidesGrids false /IncludeNonPrinting false /IncludeSlug false /Namespace [ (Adobe) (InDesign) (4.0) ] /OmitPlacedBitmaps false /OmitPlacedEPS false /OmitPlacedPDF false /SimulateOverprint /Legacy >> << /AddBleedMarks false /AddColorBars false /AddCropMarks false /AddPageInfo false /AddRegMarks false /ConvertColors /ConvertToCMYK /DestinationProfileName () /DestinationProfileSelector /DocumentCMYK /Downsample16BitImages true /FlattenerPreset << /PresetSelector /MediumResolution >> /FormElements false /GenerateStructure false /IncludeBookmarks false /IncludeHyperlinks false /IncludeInteractive false /IncludeLayers false /IncludeProfiles false /MultimediaHandling /UseObjectSettings /Namespace [ (Adobe) (CreativeSuite) (2.0) ] /PDFXOutputIntentProfileSelector /DocumentCMYK /PreserveEditing true /UntaggedCMYKHandling /LeaveUntagged /UntaggedRGBHandling /UseDocumentProfile /UseDocumentBleed false >> ] >> setdistillerparams << /HWResolution [2400 2400] /PageSize [612.000 792.000] >> setpagedevice

Схожі ресурси