Влияние постоянного отрицательного потенциала смещения на структуру, субструктуру и напряжённо-деформированное состояние TiN-покрытий

• Veröffentlicht in: Металлофизика и новейшие технологии
• Datum: 2013
• Hauptverfasser: Соболь, О.В., Андреев, А.А., Григорьев, С.Н., Волосова, М.А., Столбовой, В.А., Фильчиков, В.Е., Киданова, Н.В., Антоненкова, Г.В., Черкасова, Н.Ю.
• Format: Artikel
• Sprache: Russian
• Veröffentlicht: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2013
• Schlagworte: Металлические поверхности и плёнки
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/104167
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Влияние постоянного отрицательного потенциала смещения на структуру, субструктуру и напряжённо-деформированное состояние TiN-покрытий / О.В. Соболь, А.А. Андреев, С.Н. Григорьев, М.А. Волосова, В.А. Столбовой, В.Е. Фильчиков, Н.В. Киданова, Г.В. Антоненкова, Н.Ю. Черкасова // Металлофизика и новейшие технологии. — 2013. — Т. 35, № 7. — С. 943-951. — Бібліогр.: 19 назв. — рос.

Установлены закономерности влияния подаваемого на подложку во время осаждения отрицательного потенциала смещения с абсолютной величиной 5—230 В при двух рабочих давлениях азотной атмосферы 2∙10⁻³ и 5∙10⁻³ торр на изменения фазового состава, структуры, субструктурных характеристик и напряжённо-деформированных состояний вакуумно-дуговых TiN-покрытий. Встановлено закономірності впливу неґативного потенціалу зміщення, який подається на підложжя під час осадження, з абсолютною величиною у 5—230 В при двох робочих тисках азотної атмосфери у 2∙10⁻³ і 5∙10⁻³ торр на зміни фазового складу, структури, субструктурних характеристик та напружено-деформованих станів вакуумно-дугових TiN-покриттів. Regularities of changes in the phase composition, structure, substructure characteristics and stressedly deformed states of TiN-coating, depending on a negative bias potential with absolute values of 5—230 V applied to the substrate under two operating pressures of nitrogen atmosphere 2∙10⁻³ and 5∙10⁻³ Torr, are determined.