Влияние постоянного отрицательного потенциала смещения на структуру, субструктуру и напряжённо-деформированное состояние TiN-покрытий

Влияние постоянного отрицательного потенциала смещения на структуру, субструктуру и напряжённо-деформированное состояние TiN-покрытий

Установлены закономерности влияния подаваемого на подложку во время осаждения отрицательного потенциала смещения с абсолютной величиной 5—230 В при двух рабочих давлениях азотной атмосферы 2∙10⁻³ и 5∙10⁻³ торр на изменения фазового состава, структуры, субструктурных характеристик и напряжённо-деформ...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Металлофизика и новейшие технологии
Date:2013
Main Authors: Соболь, О.В., Андреев, А.А., Григорьев, С.Н., Волосова, М.А., Столбовой, В.А., Фильчиков, В.Е., Киданова, Н.В., Антоненкова, Г.В., Черкасова, Н.Ю.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2013
Subjects:
Металлические поверхности и плёнки
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/104167
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Влияние постоянного отрицательного потенциала смещения на структуру, субструктуру и напряжённо-деформированное состояние TiN-покрытий / О.В. Соболь, А.А. Андреев, С.Н. Григорьев, М.А. Волосова, В.А. Столбовой, В.Е. Фильчиков, Н.В. Киданова, Г.В. Антоненкова, Н.Ю. Черкасова // Металлофизика и новейшие технологии. — 2013. — Т. 35, № 7. — С. 943-951. — Бібліогр.: 19 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-104167
record_format dspace
spelling Соболь, О.В.
Андреев, А.А.
Григорьев, С.Н.
Волосова, М.А.
Столбовой, В.А.
Фильчиков, В.Е.
Киданова, Н.В.
Антоненкова, Г.В.
Черкасова, Н.Ю.
2016-07-02T18:03:43Z
2016-07-02T18:03:43Z
2013
Влияние постоянного отрицательного потенциала смещения на структуру, субструктуру и напряжённо-деформированное состояние TiN-покрытий / О.В. Соболь, А.А. Андреев, С.Н. Григорьев, М.А. Волосова, В.А. Столбовой, В.Е. Фильчиков, Н.В. Киданова, Г.В. Антоненкова, Н.Ю. Черкасова // Металлофизика и новейшие технологии. — 2013. — Т. 35, № 7. — С. 943-951. — Бібліогр.: 19 назв. — рос.
1024-1809
PACS numbers: 52.77.Dq, 61.05.cp, 68.55.jm, 81.07.Bc, 81.15.-z
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/104167
Установлены закономерности влияния подаваемого на подложку во время осаждения отрицательного потенциала смещения с абсолютной величиной 5—230 В при двух рабочих давлениях азотной атмосферы 2∙10⁻³ и 5∙10⁻³ торр на изменения фазового состава, структуры, субструктурных характеристик и напряжённо-деформированных состояний вакуумно-дуговых TiN-покрытий.
Встановлено закономірності впливу неґативного потенціалу зміщення, який подається на підложжя під час осадження, з абсолютною величиною у 5—230 В при двох робочих тисках азотної атмосфери у 2∙10⁻³ і 5∙10⁻³ торр на зміни фазового складу, структури, субструктурних характеристик та напружено-деформованих станів вакуумно-дугових TiN-покриттів.
Regularities of changes in the phase composition, structure, substructure characteristics and stressedly deformed states of TiN-coating, depending on a negative bias potential with absolute values of 5—230 V applied to the substrate under two operating pressures of nitrogen atmosphere 2∙10⁻³ and 5∙10⁻³ Torr, are determined.
ru
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
Металлофизика и новейшие технологии
Металлические поверхности и плёнки
Влияние постоянного отрицательного потенциала смещения на структуру, субструктуру и напряжённо-деформированное состояние TiN-покрытий
The Effect of Constant Negative Bias Potential on the Structure, Substructure and Stressedly Deformed State of the TiN Coatings
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Влияние постоянного отрицательного потенциала смещения на структуру, субструктуру и напряжённо-деформированное состояние TiN-покрытий
spellingShingle Влияние постоянного отрицательного потенциала смещения на структуру, субструктуру и напряжённо-деформированное состояние TiN-покрытий
Соболь, О.В.
Андреев, А.А.
Григорьев, С.Н.
Волосова, М.А.
Столбовой, В.А.
Фильчиков, В.Е.
Киданова, Н.В.
Антоненкова, Г.В.
Черкасова, Н.Ю.
Металлические поверхности и плёнки
title_short Влияние постоянного отрицательного потенциала смещения на структуру, субструктуру и напряжённо-деформированное состояние TiN-покрытий
title_full Влияние постоянного отрицательного потенциала смещения на структуру, субструктуру и напряжённо-деформированное состояние TiN-покрытий
title_fullStr Влияние постоянного отрицательного потенциала смещения на структуру, субструктуру и напряжённо-деформированное состояние TiN-покрытий
title_full_unstemmed Влияние постоянного отрицательного потенциала смещения на структуру, субструктуру и напряжённо-деформированное состояние TiN-покрытий
title_sort влияние постоянного отрицательного потенциала смещения на структуру, субструктуру и напряжённо-деформированное состояние tin-покрытий
author Соболь, О.В.
Андреев, А.А.
Григорьев, С.Н.
Волосова, М.А.
Столбовой, В.А.
Фильчиков, В.Е.
Киданова, Н.В.
Антоненкова, Г.В.
Черкасова, Н.Ю.
author_facet Соболь, О.В.
Андреев, А.А.
Григорьев, С.Н.
Волосова, М.А.
Столбовой, В.А.
Фильчиков, В.Е.
Киданова, Н.В.
Антоненкова, Г.В.
Черкасова, Н.Ю.
topic Металлические поверхности и плёнки
topic_facet Металлические поверхности и плёнки
publishDate 2013
language Russian
container_title Металлофизика и новейшие технологии
publisher Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
format Article
title_alt The Effect of Constant Negative Bias Potential on the Structure, Substructure and Stressedly Deformed State of the TiN Coatings
description Установлены закономерности влияния подаваемого на подложку во время осаждения отрицательного потенциала смещения с абсолютной величиной 5—230 В при двух рабочих давлениях азотной атмосферы 2∙10⁻³ и 5∙10⁻³ торр на изменения фазового состава, структуры, субструктурных характеристик и напряжённо-деформированных состояний вакуумно-дуговых TiN-покрытий. Встановлено закономірності впливу неґативного потенціалу зміщення, який подається на підложжя під час осадження, з абсолютною величиною у 5—230 В при двох робочих тисках азотної атмосфери у 2∙10⁻³ і 5∙10⁻³ торр на зміни фазового складу, структури, субструктурних характеристик та напружено-деформованих станів вакуумно-дугових TiN-покриттів. Regularities of changes in the phase composition, structure, substructure characteristics and stressedly deformed states of TiN-coating, depending on a negative bias potential with absolute values of 5—230 V applied to the substrate under two operating pressures of nitrogen atmosphere 2∙10⁻³ and 5∙10⁻³ Torr, are determined.
issn 1024-1809
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/104167
citation_txt Влияние постоянного отрицательного потенциала смещения на структуру, субструктуру и напряжённо-деформированное состояние TiN-покрытий / О.В. Соболь, А.А. Андреев, С.Н. Григорьев, М.А. Волосова, В.А. Столбовой, В.Е. Фильчиков, Н.В. Киданова, Г.В. Антоненкова, Н.Ю. Черкасова // Металлофизика и новейшие технологии. — 2013. — Т. 35, № 7. — С. 943-951. — Бібліогр.: 19 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT sobolʹov vliâniepostoânnogootricatelʹnogopotencialasmeŝeniânastrukturusubstrukturuinaprâžennodeformirovannoesostoânietinpokrytii
AT andreevaa vliâniepostoânnogootricatelʹnogopotencialasmeŝeniânastrukturusubstrukturuinaprâžennodeformirovannoesostoânietinpokrytii
AT grigorʹevsn vliâniepostoânnogootricatelʹnogopotencialasmeŝeniânastrukturusubstrukturuinaprâžennodeformirovannoesostoânietinpokrytii
AT volosovama vliâniepostoânnogootricatelʹnogopotencialasmeŝeniânastrukturusubstrukturuinaprâžennodeformirovannoesostoânietinpokrytii
AT stolbovoiva vliâniepostoânnogootricatelʹnogopotencialasmeŝeniânastrukturusubstrukturuinaprâžennodeformirovannoesostoânietinpokrytii
AT filʹčikovve vliâniepostoânnogootricatelʹnogopotencialasmeŝeniânastrukturusubstrukturuinaprâžennodeformirovannoesostoânietinpokrytii
AT kidanovanv vliâniepostoânnogootricatelʹnogopotencialasmeŝeniânastrukturusubstrukturuinaprâžennodeformirovannoesostoânietinpokrytii
AT antonenkovagv vliâniepostoânnogootricatelʹnogopotencialasmeŝeniânastrukturusubstrukturuinaprâžennodeformirovannoesostoânietinpokrytii
AT čerkasovanû vliâniepostoânnogootricatelʹnogopotencialasmeŝeniânastrukturusubstrukturuinaprâžennodeformirovannoesostoânietinpokrytii
AT sobolʹov theeffectofconstantnegativebiaspotentialonthestructuresubstructureandstressedlydeformedstateofthetincoatings
AT andreevaa theeffectofconstantnegativebiaspotentialonthestructuresubstructureandstressedlydeformedstateofthetincoatings
AT grigorʹevsn theeffectofconstantnegativebiaspotentialonthestructuresubstructureandstressedlydeformedstateofthetincoatings
AT volosovama theeffectofconstantnegativebiaspotentialonthestructuresubstructureandstressedlydeformedstateofthetincoatings
AT stolbovoiva theeffectofconstantnegativebiaspotentialonthestructuresubstructureandstressedlydeformedstateofthetincoatings
AT filʹčikovve theeffectofconstantnegativebiaspotentialonthestructuresubstructureandstressedlydeformedstateofthetincoatings
AT kidanovanv theeffectofconstantnegativebiaspotentialonthestructuresubstructureandstressedlydeformedstateofthetincoatings
AT antonenkovagv theeffectofconstantnegativebiaspotentialonthestructuresubstructureandstressedlydeformedstateofthetincoatings
AT čerkasovanû theeffectofconstantnegativebiaspotentialonthestructuresubstructureandstressedlydeformedstateofthetincoatings
first_indexed 2025-12-07T20:20:10Z
last_indexed 2025-12-07T20:20:10Z
_version_ 1850882193003380736

Similar Items