Влияние постоянного отрицательного потенциала смещения на структуру, субструктуру и напряжённо-деформированное состояние TiN-покрытий
Установлены закономерности влияния подаваемого на подложку во время осаждения отрицательного потенциала смещения с абсолютной величиной 5—230 В при двух рабочих давлениях азотной атмосферы 2∙10⁻³ и 5∙10⁻³ торр на изменения фазового состава, структуры, субструктурных характеристик и напряжённо-деформ...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Металлофизика и новейшие технологии |
|---|---|
| Дата: | 2013 |
| Автори: | , , , , , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2013
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/104167 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Влияние постоянного отрицательного потенциала смещения на структуру, субструктуру и напряжённо-деформированное состояние TiN-покрытий / О.В. Соболь, А.А. Андреев, С.Н. Григорьев, М.А. Волосова, В.А. Столбовой, В.Е. Фильчиков, Н.В. Киданова, Г.В. Антоненкова, Н.Ю. Черкасова // Металлофизика и новейшие технологии. — 2013. — Т. 35, № 7. — С. 943-951. — Бібліогр.: 19 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862741500770648064 |
|---|---|
| author | Соболь, О.В. Андреев, А.А. Григорьев, С.Н. Волосова, М.А. Столбовой, В.А. Фильчиков, В.Е. Киданова, Н.В. Антоненкова, Г.В. Черкасова, Н.Ю. |
| author_facet | Соболь, О.В. Андреев, А.А. Григорьев, С.Н. Волосова, М.А. Столбовой, В.А. Фильчиков, В.Е. Киданова, Н.В. Антоненкова, Г.В. Черкасова, Н.Ю. |
| citation_txt | Влияние постоянного отрицательного потенциала смещения на структуру, субструктуру и напряжённо-деформированное состояние TiN-покрытий / О.В. Соболь, А.А. Андреев, С.Н. Григорьев, М.А. Волосова, В.А. Столбовой, В.Е. Фильчиков, Н.В. Киданова, Г.В. Антоненкова, Н.Ю. Черкасова // Металлофизика и новейшие технологии. — 2013. — Т. 35, № 7. — С. 943-951. — Бібліогр.: 19 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Металлофизика и новейшие технологии |
| description | Установлены закономерности влияния подаваемого на подложку во время осаждения отрицательного потенциала смещения с абсолютной величиной 5—230 В при двух рабочих давлениях азотной атмосферы 2∙10⁻³ и 5∙10⁻³ торр на изменения фазового состава, структуры, субструктурных характеристик и напряжённо-деформированных состояний вакуумно-дуговых TiN-покрытий.
Встановлено закономірності впливу неґативного потенціалу зміщення, який подається на підложжя під час осадження, з абсолютною величиною у 5—230 В при двох робочих тисках азотної атмосфери у 2∙10⁻³ і 5∙10⁻³ торр на зміни фазового складу, структури, субструктурних характеристик та напружено-деформованих станів вакуумно-дугових TiN-покриттів.
Regularities of changes in the phase composition, structure, substructure characteristics and stressedly deformed states of TiN-coating, depending on a negative bias potential with absolute values of 5—230 V applied to the substrate under two operating pressures of nitrogen atmosphere 2∙10⁻³ and 5∙10⁻³ Torr, are determined.
|
| first_indexed | 2025-12-07T20:20:10Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-104167 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1024-1809 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T20:20:10Z |
| publishDate | 2013 |
| publisher | Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Соболь, О.В. Андреев, А.А. Григорьев, С.Н. Волосова, М.А. Столбовой, В.А. Фильчиков, В.Е. Киданова, Н.В. Антоненкова, Г.В. Черкасова, Н.Ю. 2016-07-02T18:03:43Z 2016-07-02T18:03:43Z 2013 Влияние постоянного отрицательного потенциала смещения на структуру, субструктуру и напряжённо-деформированное состояние TiN-покрытий / О.В. Соболь, А.А. Андреев, С.Н. Григорьев, М.А. Волосова, В.А. Столбовой, В.Е. Фильчиков, Н.В. Киданова, Г.В. Антоненкова, Н.Ю. Черкасова // Металлофизика и новейшие технологии. — 2013. — Т. 35, № 7. — С. 943-951. — Бібліогр.: 19 назв. — рос. 1024-1809 PACS numbers: 52.77.Dq, 61.05.cp, 68.55.jm, 81.07.Bc, 81.15.-z https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/104167 Установлены закономерности влияния подаваемого на подложку во время осаждения отрицательного потенциала смещения с абсолютной величиной 5—230 В при двух рабочих давлениях азотной атмосферы 2∙10⁻³ и 5∙10⁻³ торр на изменения фазового состава, структуры, субструктурных характеристик и напряжённо-деформированных состояний вакуумно-дуговых TiN-покрытий. Встановлено закономірності впливу неґативного потенціалу зміщення, який подається на підложжя під час осадження, з абсолютною величиною у 5—230 В при двох робочих тисках азотної атмосфери у 2∙10⁻³ і 5∙10⁻³ торр на зміни фазового складу, структури, субструктурних характеристик та напружено-деформованих станів вакуумно-дугових TiN-покриттів. Regularities of changes in the phase composition, structure, substructure characteristics and stressedly deformed states of TiN-coating, depending on a negative bias potential with absolute values of 5—230 V applied to the substrate under two operating pressures of nitrogen atmosphere 2∙10⁻³ and 5∙10⁻³ Torr, are determined. ru Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України Металлофизика и новейшие технологии Металлические поверхности и плёнки Влияние постоянного отрицательного потенциала смещения на структуру, субструктуру и напряжённо-деформированное состояние TiN-покрытий The Effect of Constant Negative Bias Potential on the Structure, Substructure and Stressedly Deformed State of the TiN Coatings Article published earlier |
| spellingShingle | Влияние постоянного отрицательного потенциала смещения на структуру, субструктуру и напряжённо-деформированное состояние TiN-покрытий Соболь, О.В. Андреев, А.А. Григорьев, С.Н. Волосова, М.А. Столбовой, В.А. Фильчиков, В.Е. Киданова, Н.В. Антоненкова, Г.В. Черкасова, Н.Ю. Металлические поверхности и плёнки |
| title | Влияние постоянного отрицательного потенциала смещения на структуру, субструктуру и напряжённо-деформированное состояние TiN-покрытий |
| title_alt | The Effect of Constant Negative Bias Potential on the Structure, Substructure and Stressedly Deformed State of the TiN Coatings |
| title_full | Влияние постоянного отрицательного потенциала смещения на структуру, субструктуру и напряжённо-деформированное состояние TiN-покрытий |
| title_fullStr | Влияние постоянного отрицательного потенциала смещения на структуру, субструктуру и напряжённо-деформированное состояние TiN-покрытий |
| title_full_unstemmed | Влияние постоянного отрицательного потенциала смещения на структуру, субструктуру и напряжённо-деформированное состояние TiN-покрытий |
| title_short | Влияние постоянного отрицательного потенциала смещения на структуру, субструктуру и напряжённо-деформированное состояние TiN-покрытий |
| title_sort | влияние постоянного отрицательного потенциала смещения на структуру, субструктуру и напряжённо-деформированное состояние tin-покрытий |
| topic | Металлические поверхности и плёнки |
| topic_facet | Металлические поверхности и плёнки |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/104167 |
| work_keys_str_mv | AT sobolʹov vliâniepostoânnogootricatelʹnogopotencialasmeŝeniânastrukturusubstrukturuinaprâžennodeformirovannoesostoânietinpokrytii AT andreevaa vliâniepostoânnogootricatelʹnogopotencialasmeŝeniânastrukturusubstrukturuinaprâžennodeformirovannoesostoânietinpokrytii AT grigorʹevsn vliâniepostoânnogootricatelʹnogopotencialasmeŝeniânastrukturusubstrukturuinaprâžennodeformirovannoesostoânietinpokrytii AT volosovama vliâniepostoânnogootricatelʹnogopotencialasmeŝeniânastrukturusubstrukturuinaprâžennodeformirovannoesostoânietinpokrytii AT stolbovoiva vliâniepostoânnogootricatelʹnogopotencialasmeŝeniânastrukturusubstrukturuinaprâžennodeformirovannoesostoânietinpokrytii AT filʹčikovve vliâniepostoânnogootricatelʹnogopotencialasmeŝeniânastrukturusubstrukturuinaprâžennodeformirovannoesostoânietinpokrytii AT kidanovanv vliâniepostoânnogootricatelʹnogopotencialasmeŝeniânastrukturusubstrukturuinaprâžennodeformirovannoesostoânietinpokrytii AT antonenkovagv vliâniepostoânnogootricatelʹnogopotencialasmeŝeniânastrukturusubstrukturuinaprâžennodeformirovannoesostoânietinpokrytii AT čerkasovanû vliâniepostoânnogootricatelʹnogopotencialasmeŝeniânastrukturusubstrukturuinaprâžennodeformirovannoesostoânietinpokrytii AT sobolʹov theeffectofconstantnegativebiaspotentialonthestructuresubstructureandstressedlydeformedstateofthetincoatings AT andreevaa theeffectofconstantnegativebiaspotentialonthestructuresubstructureandstressedlydeformedstateofthetincoatings AT grigorʹevsn theeffectofconstantnegativebiaspotentialonthestructuresubstructureandstressedlydeformedstateofthetincoatings AT volosovama theeffectofconstantnegativebiaspotentialonthestructuresubstructureandstressedlydeformedstateofthetincoatings AT stolbovoiva theeffectofconstantnegativebiaspotentialonthestructuresubstructureandstressedlydeformedstateofthetincoatings AT filʹčikovve theeffectofconstantnegativebiaspotentialonthestructuresubstructureandstressedlydeformedstateofthetincoatings AT kidanovanv theeffectofconstantnegativebiaspotentialonthestructuresubstructureandstressedlydeformedstateofthetincoatings AT antonenkovagv theeffectofconstantnegativebiaspotentialonthestructuresubstructureandstressedlydeformedstateofthetincoatings AT čerkasovanû theeffectofconstantnegativebiaspotentialonthestructuresubstructureandstressedlydeformedstateofthetincoatings |