Влияние постоянного отрицательного потенциала смещения на структуру, субструктуру и напряжённо-деформированное состояние TiN-покрытий - Соболь, О.В.; Андреев, А.А.; Григорьев, С.Н.; Волосова, М.А.; Столбовой, В.А.; Фильчиков, В.Е.; Киданова, Н.В.; Антоненкова, Г.В.; Черкасова, Н.Ю. (Металлофизика и новейшие технологии, 2013)
Установлены закономерности влияния подаваемого на подложку во время осаждения отрицательного потенциала смещения с абсолютной величиной 5—230 В при двух рабочих давлениях азотной атмосферы 2∙10⁻³ и 5∙10⁻³ торр на изменения фазового состава, структуры, субструктурных характеристик и напряжённо-деформированных состояний вакуумно-дуговых TiN-покрытий. Встановлено закономірності впливу неґативного потенціалу зміщення, який подається на підложжя під час осадження, з абсолютною величиною у 5—230 В при двох робочих тисках азотної атмосфери у 2∙10⁻³ і 5∙10⁻³ торр на зміни фазового складу, структури, субструктурних характеристик та напружено-деформованих станів вакуумно-дугових TiN-покриттів. Regularities of changes in the phase composition, structure, substructure characteristics and stressedly deformed states of TiN-coating, depending on a negative bias potential with absolute values of 5—230 V applied to the substrate under two operating pressures of nitrogen atmosphere 2∙10⁻³ and 5∙10⁻³ Torr, are determined.