Влияние постоянного отрицательного потенциала смещения на структуру, субструктуру и напряжённо-деформированное состояние TiN-покрытий
Установлены закономерности влияния подаваемого на подложку во время осаждения отрицательного потенциала смещения с абсолютной величиной 5—230 В при двух рабочих давлениях азотной атмосферы 2∙10⁻³ и 5∙10⁻³ торр на изменения фазового состава, структуры, субструктурных характеристик и напряжённо-деформ...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Металлофизика и новейшие технологии |
|---|---|
| Datum: | 2013 |
| Hauptverfasser: | , , , , , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2013
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/104167 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Влияние постоянного отрицательного потенциала смещения на структуру, субструктуру и напряжённо-деформированное состояние TiN-покрытий / О.В. Соболь, А.А. Андреев, С.Н. Григорьев, М.А. Волосова, В.А. Столбовой, В.Е. Фильчиков, Н.В. Киданова, Г.В. Антоненкова, Н.Ю. Черкасова // Металлофизика и новейшие технологии. — 2013. — Т. 35, № 7. — С. 943-951. — Бібліогр.: 19 назв. — рос. |