Влияние постоянного отрицательного потенциала смещения на структуру, субструктуру и напряжённо-деформированное состояние TiN-покрытий

• Published in: Металлофизика и новейшие технологии
• Date: 2013
• Main Authors: Соболь, О.В., Андреев, А.А., Григорьев, С.Н., Волосова, М.А., Столбовой, В.А., Фильчиков, В.Е., Киданова, Н.В., Антоненкова, Г.В., Черкасова, Н.Ю.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2013
• Subjects: Металлические поверхности и плёнки
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/104167
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Влияние постоянного отрицательного потенциала смещения на структуру, субструктуру и напряжённо-деформированное состояние TiN-покрытий / О.В. Соболь, А.А. Андреев, С.Н. Григорьев, М.А. Волосова, В.А. Столбовой, В.Е. Фильчиков, Н.В. Киданова, Г.В. Антоненкова, Н.Ю. Черкасова // Металлофизика и новейшие технологии. — 2013. — Т. 35, № 7. — С. 943-951. — Бібліогр.: 19 назв. — рос.

Установлены закономерности влияния подаваемого на подложку во время осаждения отрицательного потенциала смещения с абсолютной величиной 5—230 В при двух рабочих давлениях азотной атмосферы 2∙10⁻³ и 5∙10⁻³ торр на изменения фазового состава, структуры, субструктурных характеристик и напряжённо-деформ...