Определение структурной неоднородности кристаллов по данным анализа картин Кикучи

Определение структурной неоднородности кристаллов по данным анализа картин Кикучи

Предложен новый подход к определению локальных деформаций в кристаллах по картинам дифракции обратно отражённых электронов (картинам Кикучи) с использованием метода гистограмм и метода дискретного двухмерного фурье-преобразования. Определена анизотропия в распределении локальных деформаций на поверх...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Металлофизика и новейшие технологии
Date:2013
Main Authors: Борча, М.Д., Баловсяк, С.В., Фодчук, И.М., Хоменко, В.Ю., Ткач, В.Н.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2013
Subjects:
Взаимодействия излучения и частиц с конденсированным веществом
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/104184
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Определение структурной неоднородности кристаллов по данным анализа картин Кикучи / М.Д. Борча, С.В. Баловсяк, И.М. Фодчук, В.Ю. Хоменко, В.Н. Ткач // Металлофизика и новейшие технологии. — 2013. — Т. 35, № 8. — С. 1135-1148. — Бібліогр.: 14 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-104184
record_format dspace
spelling Борча, М.Д.
Баловсяк, С.В.
Фодчук, И.М.
Хоменко, В.Ю.
Ткач, В.Н.
2016-07-03T18:38:36Z
2016-07-03T18:38:36Z
2013
Определение структурной неоднородности кристаллов по данным анализа картин Кикучи / М.Д. Борча, С.В. Баловсяк, И.М. Фодчук, В.Ю. Хоменко, В.Н. Ткач // Металлофизика и новейшие технологии. — 2013. — Т. 35, № 8. — С. 1135-1148. — Бібліогр.: 14 назв. — рос.
1024-1809
PACS numbers: 61.05.jd, 61.05.jm, 61.72.Dd, 61.72.Hh, 68.35.Gy, 82.80.Yc
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/104184
Предложен новый подход к определению локальных деформаций в кристаллах по картинам дифракции обратно отражённых электронов (картинам Кикучи) с использованием метода гистограмм и метода дискретного двухмерного фурье-преобразования. Определена анизотропия в распределении локальных деформаций на поверхности образцов алмаза, полученных методом температурного градиента в системе Fe—Al—C и методом наращивания в среде Mg—C  бор на поверхности монокристалла алмаза статического синтеза (Ni—Mn—C).
Запропоновано новий підхід щодо визначення локальних деформацій у кристалах за картинами дифракції зворотньо відбитих електронів (картинами Кікучі) з використанням методу гістограм та методу дискретного двовимірного Фур’є-перетвору. Визначено анізотропію в розподілі локальних деформацій на поверхні зразків алмазу, одержаних методом температурного ґрадієнта в системі Fe—Al—C і методом нарощування в середовищі Mg—C  бор на поверхні монокристалу алмазу статичного синтезу (Ni—Mn—C).
A new approach to the local-strain determination in crystals from patterns of backscattered-electron diffraction (Kikuchi patterns) based on histogram method and discrete two-dimensional Fourier transformation is proposed. Anisotropy of local-strain distribution is determined on surface of diamond samples fabricated by the method of temperature gradient in Fe—Al—C system and by the method of growth on the surface of diamond single crystal of static synthesis (Ni—Mn—C) in the Mg—C  boron medium
ru
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
Металлофизика и новейшие технологии
Взаимодействия излучения и частиц с конденсированным веществом
Определение структурной неоднородности кристаллов по данным анализа картин Кикучи
Determination of Structure Inhomogeneity of Crystals from Analysis of Kikuchi Patterns
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Определение структурной неоднородности кристаллов по данным анализа картин Кикучи
spellingShingle Определение структурной неоднородности кристаллов по данным анализа картин Кикучи
Борча, М.Д.
Баловсяк, С.В.
Фодчук, И.М.
Хоменко, В.Ю.
Ткач, В.Н.
Взаимодействия излучения и частиц с конденсированным веществом
title_short Определение структурной неоднородности кристаллов по данным анализа картин Кикучи
title_full Определение структурной неоднородности кристаллов по данным анализа картин Кикучи
title_fullStr Определение структурной неоднородности кристаллов по данным анализа картин Кикучи
title_full_unstemmed Определение структурной неоднородности кристаллов по данным анализа картин Кикучи
title_sort определение структурной неоднородности кристаллов по данным анализа картин кикучи
author Борча, М.Д.
Баловсяк, С.В.
Фодчук, И.М.
Хоменко, В.Ю.
Ткач, В.Н.
author_facet Борча, М.Д.
Баловсяк, С.В.
Фодчук, И.М.
Хоменко, В.Ю.
Ткач, В.Н.
topic Взаимодействия излучения и частиц с конденсированным веществом
topic_facet Взаимодействия излучения и частиц с конденсированным веществом
publishDate 2013
language Russian
container_title Металлофизика и новейшие технологии
publisher Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
format Article
title_alt Determination of Structure Inhomogeneity of Crystals from Analysis of Kikuchi Patterns
description Предложен новый подход к определению локальных деформаций в кристаллах по картинам дифракции обратно отражённых электронов (картинам Кикучи) с использованием метода гистограмм и метода дискретного двухмерного фурье-преобразования. Определена анизотропия в распределении локальных деформаций на поверхности образцов алмаза, полученных методом температурного градиента в системе Fe—Al—C и методом наращивания в среде Mg—C  бор на поверхности монокристалла алмаза статического синтеза (Ni—Mn—C). Запропоновано новий підхід щодо визначення локальних деформацій у кристалах за картинами дифракції зворотньо відбитих електронів (картинами Кікучі) з використанням методу гістограм та методу дискретного двовимірного Фур’є-перетвору. Визначено анізотропію в розподілі локальних деформацій на поверхні зразків алмазу, одержаних методом температурного ґрадієнта в системі Fe—Al—C і методом нарощування в середовищі Mg—C  бор на поверхні монокристалу алмазу статичного синтезу (Ni—Mn—C). A new approach to the local-strain determination in crystals from patterns of backscattered-electron diffraction (Kikuchi patterns) based on histogram method and discrete two-dimensional Fourier transformation is proposed. Anisotropy of local-strain distribution is determined on surface of diamond samples fabricated by the method of temperature gradient in Fe—Al—C system and by the method of growth on the surface of diamond single crystal of static synthesis (Ni—Mn—C) in the Mg—C  boron medium
issn 1024-1809
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/104184
citation_txt Определение структурной неоднородности кристаллов по данным анализа картин Кикучи / М.Д. Борча, С.В. Баловсяк, И.М. Фодчук, В.Ю. Хоменко, В.Н. Ткач // Металлофизика и новейшие технологии. — 2013. — Т. 35, № 8. — С. 1135-1148. — Бібліогр.: 14 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT borčamd opredeleniestrukturnoineodnorodnostikristallovpodannymanalizakartinkikuči
AT balovsâksv opredeleniestrukturnoineodnorodnostikristallovpodannymanalizakartinkikuči
AT fodčukim opredeleniestrukturnoineodnorodnostikristallovpodannymanalizakartinkikuči
AT homenkovû opredeleniestrukturnoineodnorodnostikristallovpodannymanalizakartinkikuči
AT tkačvn opredeleniestrukturnoineodnorodnostikristallovpodannymanalizakartinkikuči
AT borčamd determinationofstructureinhomogeneityofcrystalsfromanalysisofkikuchipatterns
AT balovsâksv determinationofstructureinhomogeneityofcrystalsfromanalysisofkikuchipatterns
AT fodčukim determinationofstructureinhomogeneityofcrystalsfromanalysisofkikuchipatterns
AT homenkovû determinationofstructureinhomogeneityofcrystalsfromanalysisofkikuchipatterns
AT tkačvn determinationofstructureinhomogeneityofcrystalsfromanalysisofkikuchipatterns
first_indexed 2025-11-26T11:41:17Z
last_indexed 2025-11-26T11:41:17Z
_version_ 1850619747651026944
fulltext 1135 ВЗАИМОДЕЙСТВИЯ ИЗЛУЧЕНИЯ И ЧАСТИЦ С КОНДЕНСИРОВАННЫМ ВЕЩЕСТВОМ PACS numbers: 61.05.jd, 61.05.jm, 61.72.Dd, 61.72.Hh, 68.35.Gy, 82.80.Yc Определение структурной неоднородности кристаллов по данным анализа картин Кикучи М. Д. Борча, С. В. Баловсяк, И. М. Фодчук, В. Ю. Хоменко, В. Н. Ткач * Черновицкий национальный университет им. Юрия Федьковича, ул. Коцюбинского, 2, 58012 Черновцы, Украина *Институт сверхтвёрдых материалов им. В. Н. Бакуля НАН Украины, ул. Автозаводская, 2, 03142 Киев, Украина Предложен новый подход к определению локальных деформаций в кри- сталлах по картинам дифракции обратно отражённых электронов (карти- нам Кикучи) с использованием метода гистограмм и метода дискретного двухмерного фурье-преобразования. Определена анизотропия в распреде- лении локальных деформаций на поверхности образцов алмаза, получен- ных методом температурного градиента в системе Fe—Al—C и методом наращивания в среде Mg—C  бор на поверхности монокристалла алмаза статического синтеза (Ni—Mn—C). Запропоновано новий підхід щодо визначення локальних деформацій у кристалах за картинами дифракції зворотньо відбитих електронів (карти- нами Кікучі) з використанням методу гістограм та методу дискретного дво- вимірного Фур’є-перетвору. Визначено анізотропію в розподілі локальних деформацій на поверхні зразків алмазу, одержаних методом температурно- го ґрадієнта в системі Fe—Al—C і методом нарощування в середовищі Mg—C  бор на поверхні монокристалу алмазу статичного синтезу (Ni—Mn—C). A new approach to the local-strain determination in crystals from patterns of backscattered-electron diffraction (Kikuchi patterns) based on histogram method and discrete two-dimensional Fourier transformation is proposed. An- isotropy of local-strain distribution is determined on surface of diamond sam- ples fabricated by the method of temperature gradient in Fe—Al—C system and by the method of growth on the surface of diamond single crystal of static syn- thesis (Ni—Mn—C) in the Mg—C  boron medium. Ключевые слова: локальная деформация, дифракция отражённых элек- тронов, линии Кикучи, фурье-преобразование, метод гистограмм, синтези- Металлофиз. новейшие технол. / Metallofiz. Noveishie Tekhnol. 2013, т. 35, № 8, сс. 1135—1148 Оттиски доступны непосредственно от издателя Фотокопирование разрешено только в соответствии с лицензией 2013 ИМФ (Институт металлофизики им. Г. В. Курдюмова НАН Украины) Напечатано в Украине. 1136 М. Д. БОРЧА, С. В. БАЛОВСЯК, И. М. ФОДЧУК и др. рованные алмазы. (Получено 11 июля 2013 г.) 1. ВВЕДЕНИЕ Упругие деформации в кристаллах отображают структурные нару- шения кристаллической решетки, которые, в свою очередь, прояв- ляют себя через изменение межплоскостных расстояний. Эти изме- нения можно определять из картин дифракции отраженных элек- тронов (картин Кикучи), в частности из ширины линии Кикучи, ее смещения, а также из угловых соотношений между определенными линиями [1, 2]. С помощью специальных компьютерных программ автоматически определяют положение каждой из полос Кикучи, сравнивают с теоретическими данными соответствующей кристал- лической фазы и вычисляют трехмерную кристаллографическую ориентацию [3, 4]. Поскольку картина Кикучи является стереогра- фической проекцией, то на проиндексированном изображении представлены индексы осей зон (точки пересечения линий Кикучи). Сравнивая картины Кикучи, полученные от разных участков об- разца, с эталонной, можно определить степень его планарной струк- турной неоднородности. Высокая информативность метода Кикучи- линий обусловлена возможностью установления взаимосвязи меж- ду кристаллической структурой и направлением преимущественно- го роста естественных и искусственных алмазов [3—6], определения значений деформаций и их распределение по поверхности образца. В частности, в [4—5] определена зависимость между значениями де- формаций и шириной линий Кикучи, а также, интегральными зна- чениями интенсивности по сечению линии Кикучи [6]. Полученные данные дали возможность провести оценку деформированного со- стояния в каждом локальном участке образца. Применение перечисленных методов ставит высокие требования к точности считывания профиля интенсивности [3, 4]. Поэтому, за- служивает внимания еще один подход определения деформаций, а именно, из анализа степени размытия картины (изменения ширины линии и максимального значения ее интенсивности) дифракции от- раженных электронов [7, 8], реализуемого с помощью двухмерного преобразования Фурье. Экспрессность подхода и его интегральный характер являются существенным дополнением к вышеперечис- ленным методикам определения деформаций из картин Кикучи. В данной работе предложен новый подход определения локаль- ных деформаций в кристаллах из картин дифракции обратно отра- женных электронов (картин Кикучи) с использованием в комплексе методов гистограмм и дискретного двухмерного фурье-преобразо- вания. ОПРЕДЕЛЕНИЕ СТРУКТУРНОЙ НЕОДНОРОДНОСТИ КРИСТАЛЛОВ 1137 2. ЭКСПЕРИМЕНТ. КАРТИНЫ КИКУЧИ СИНТЕЗИРОВАННЫХ АЛМАЗОВ Дифракция обратно-отраженных электронов (метод Кикучи) реали- зуется с помощью сканирующего растрового электронного микро- скопа фирмы «Zeiss» EVO-50 с использованием CCD—детектора [1—5]. Для разных участков исследуемых образцов (рис. 1) картины Кикучи (рис. 2) получены с использованием пучка электронов диаметром 40 нм, падающего на поверхность кристалла под углом 70 [2, 3]. Алмаз СА синтезирован методом температурного градиента в си- стеме Fe—Al—C при высоком статическом давлении 6 ГПа и высо- кой температуре 1700 К, время роста 48 часов [5, 6]. В качестве подложки использована поверхность (100) алмаза системы Ni—Mn— C. Образец СА_Bor получен в системе Mg—C  бор методом наращи- вания на монокристалл алмаза, синтезированный в системе Ni— Mn—C (спонтанный синтез), после его помещения в камеру высоко- го давления при температуре 1800 К и давлении 7 ГПа на протя- жении 1 часа. Дифракционная картина (рис. 2) состоит из множества пар ли- ний Кикучи, возникающих в результате отражения электронов от кристаллографических плоскостей, и содержит количественную структурную информацию, которая еще до сих пор используется не в полной мере и требует поиска новых подходов для ее анализа и получения значений деформаций и параметров дефектов. Линия (полоса) Кикучи представляет собой пересечение конуса дифраги- рованных лучей от определенной кристаллографической плоскости с экраном детектирующего устройства [2]. Поскольку в случае ди- фракции быстрых электронов углы дифракции  достаточно малы, то пересечения конусов отражений электронов с плоскостью детек- а б Рис. 1. Фрагменты (280180 мкм) катодолюминесцентных изображений поверхностей алмазов: кристалл CA (а); кристалл CA_Bor (б). Маркерами указаны участки № 1—17, от которых получены картиныКикучи. 1138 М. Д. БОРЧА, С. В. БАЛОВСЯК, И. М. ФОДЧУК и др. тора имеют вид прямых линий (вместо гипербол при рентгеновской дифракции), т.е. на дифракционной картине конусы проявятся как пара зеркально симметричных парабол, кривизной которых можно пренебречь. Эту пару Кикучи-линий также называют Кикучи- полосой, включая также область между линиями [2]. Исследованные участки алмазов отличаются по структурным ха- рактеристикам, о чем свидетельствуют различия в распределениях интенсивности на рис. 2. Для оценки среднего значения деформа- ции  в каждом локальном участке поверхности алмаза использует- ся двухмерное фурье-преобразование картин Кикучи. 3. ФУРЬЕ-ПРЕОБРАЗОВАНИЕ КАРТИН КИКУЧИ Различия картин Кикучи для разных участков образца (смещение и поворот одной картины относительно другой, масштаб, степень размытия линий и шумовая составляющая) (рис. 2) обусловлены не только структурной неоднородностью образца, но также инстру- ментальной погрешностью. Для исключения последней дифракци- онные картины проходили несколько этапов цифровой обработки изображений: для устранения высокочастотного шума на исходных изображениях проведено размытие (свертка) изображений по Гаус- су со средним квадратичным отклонением   3 пикселя; с целью нормирования всех изображений установлен одинаковый (макси- мальный) контраст. Расстояния между максимумом и минимумом распределений интенсивности по сечениям полос Кикучи, т.е. ширины полос Кикучи, соответствуют определенному диапазону частот (u, v) фурье-спектров, а значения интегральной интенсивности по сече- нию линии Кикучи – сумме амплитуд гармоник с соответствую- а б Рис. 2. Картины Кикучи: кристалл CA (а), кристалл CA_Bor (б). Возле маркеров показаны индексы осей соответствующих зон. ОПРЕДЕЛЕНИЕ СТРУКТУРНОЙ НЕОДНОРОДНОСТИ КРИСТАЛЛОВ 1139 щими пространственными частотами. Поэтому стояла задача про- анализировать амплитуды гармоник F(u, v) в зависимости от про- странственных частот u и v и установить их взаимосвязь со значе- ниями деформаций . Фурье-спектры исследуемых картин Кикучи получены с помо- щью быстрого прямого дискретного двухмерного преобразования Фурье в программной среде MatLab [9, 10]. Интенсивность каждого пикселя на картине Кикучи размером MN пикселей описывается функцией f(x, y), где x  0, 1, 2, ..., M  1, y  0, 1, 2, ..., N  1. Двухмерное прямое дискретное фурье-преобразование функции f(x, y), которое обозначается выражением F(u, v), описывается урав- нением 1 1 0 0 ( , ) ( , ) exp( 2 [ / / ]), M N x y F u v f x y i ux M vy N          (1) где u, v – пространственные частоты, F(u, v) – амплитуда соответ- ствующей им гармоники. Минимальные и максимальные значения пространственных ча- стот следующие: для нечетных M, N umin  (M  1)/2, umax  (M  1)/2, vmin  (N  1)/2, vmax  (N  1)/2, (2) для четных M, N umin  M/2, umax  M/(2  1), vmin  N/2, vmax  N/(2  1). (3) На основании значений функции f(x, y) в виде прямоугольной матрицы размером MN вычисляются значения фурье-спектра F(u, v) в виде матрицы размером также MN. Для дальнейшей об- работки фурье-спектры картин Кикучи представлены в логариф- мическом масштабе: ( , ) ln( ( , ))RF u v F u v . Рассчитанный спектр FR(u, v) можно визуализировать в виде изображения (рис. 3, верх- ний ряд). Центру фурье-спектра FR(u, v) соответствуют нулевые пространственные частоты: u  0, v  0. Из двухмерного фурье-спектра FR(u, v) получено радиальное рас- пределение амплитуды спектра A(r). Радиальный спектр A(r) рассчи- тывался как сумма значений амплитуд FR(u, v) для равноудаленных от центра фурье-спектра кругов радиусом 2 2 1/2int([ ] )r u v  [11]: 4 1 4 1 0 0 2 2 ( ) ( , ) (int( cos( )), int( sin( ))), 4 1 4 1 Q Q R k k R k k k k A r F u v F r r Q Q           (4) где r – радиальная пространственная частота, принимающая цело- численные значения r  0, 1, 2, ..., Q, где Q  min (umax, vmax). Для ис- 1140 М. Д. БОРЧА, С. В. БАЛОВСЯК, И. М. ФОДЧУК и др. следования степени размытия картин Кикучи выбраны простран- ственные частоты r в интервале от 1 до 150, поскольку более высо- кие частоты соответствуют шуму. На рисунке 4 приведены характерные радиальные спектры A(r) для трех областей каждого из кристаллов. Распределение интен- сивности радиального спектра зависит от распределения интенсив- ности линий Кикучи, и, соответственно, от структурных парамет- ров исследованной области кристалла. Диапазон пространственных частот от rmin до rmax, соответствующий именно линии Кикучи, опре- делялся с учетом того, что пространственная частота r обратна пе- риоду гармоник T в пространственной области: r  Q/T. Минималь- ная пространственная частота rmin соответствует максимальной ши- рине линии Кикучи Tmax, а максимальная rmax – ширине экстрему- ма линии Tmin (рис. 5) [6, 10]. В результате получено: для кристалла CA Tmax  74 пикселей, rmin  10, Tmin  16 пикселей, rmax  50; для кристалла CA_Bor Tmax   64 пикселей, rmin  12, Tmin  20 пикселей, rmax  35. Для определения локальной деформации по степени размытия а б Рис. 3. Фурье-спектры FR(u, v) картин Кикучи в логарифмическом масшта- бе (верхний ряд), размер изображений MN пикселей; угловое распределе- ние (индикатриса) I() интенсивности фурье-спектра FR(u, v) (нижний ряд). Кристалл CA, участок№ 1 (а); кристалл CA_Bor, участок№ 1 (б). ОПРЕДЕЛЕНИЕ СТРУКТУРНОЙ НЕОДНОРОДНОСТИ КРИСТАЛЛОВ 1141 картины Кикучи, использовался подход, предложенный в работе [12]. В ней локальная деформация / hkl hkl hkl d d   (относительное изменение межплоскостного расстояния dhkl) оценивалась с помощью анализа изменений площади под профилем интенсивности полосы Кикучи и определялась соотношением ln(S0/S), где S0 – площадь под кривой распределения интенсивности по профилю полосы Кику- чи в области без деформации, а S – в деформированной области. Степень размытия картин Кикучи в нашем случае определялась суммой (SF) амплитуд (A) гармоник в соответствующем диапазоне пространственных частот. Полученные значения SF нормированы по амплитуде первой гармоники AN(1) N-го участка относительно ам- плитуды первой гармоники 1-го участка, что позволяет учитывать форму распределения амплитуд A(r), а не их абсолютные значения:    max min 1 (1) ( ) ( ), (1) r F N r rN A S N A r A (5) где N – номер участка кристалла, частоты r  10—50 (для кристалла CA), r  12—35 (для кристалла CA_Bor). Поскольку сума SF амплитуд гармоник для соответствующего диапазона пространственных частот фурье-преобразования карти- ны Кикучи является аналогией площади S под кривой профиля ин- тенсивности линий Кикучи, то деформацию можно определить с помощью такого же соотношения, как и в работе [12]: 0 ln( / ), F F k S S  (6) где  – среднее значение деформации для всех плоскостей hkl, ко- торым соответствуют линии Кикучи, k  4,3310—3 – коэффициент, определенный из экспериментальной зависимости hkl от ln(S0/S) в работе [12], SF0 – среднее значение суммы амплитуд гармоник, Рис. 4. Радиальное распределение амплитуд гармоник А в зависимости от пространственных частот r: кристалл CA, Q  382 (а); кристалл CA_Bor, Q  384 (б). 1142 М. Д. БОРЧА, С. В. БАЛОВСЯК, И. М. ФОДЧУК и др. SF – то же, но для локального участка образца. Полученные спектры на рис. 3 показывают, что, чем больше раз- мыта картина Кикучи, тем более слабой будет центральная часть спектра, которая соответствует низким частотам и, соответственно, линиям Кикучи (а не шумовой составляющей). 4. МЕТОД ГИСТОГРАММ Деформации, определенные в предыдущем параграфе, являются средними в рассмотренных участках. В то же время важно знать, как распределены деформации в зависимости от кристаллографи- ческих направлений (анизотропию распределения деформаций). Рис. 5. Профили интенсивности In(x). ОПРЕДЕЛЕНИЕ СТРУКТУРНОЙ НЕОДНОРОДНОСТИ КРИСТАЛЛОВ 1143 Один из методов определения изменений периодов решетки со- стоит в измерении расстояний между точками пересечения ди- фракционных линий на картинах Кикучи для соответствующих плоскостей отражения [5, 13]. Точность метода зависит от точности определения координат узлов пересечения линий [2, 3]. Аналогич- ную информацию можно получить из профиля линий Кикучи [12]. Такая возможность продемонстрирована в настоящей работе, где для определения локальных изменений периода решетки проведен анализ распределений интенсивности нескольких дифракционных полос на картинах Кикучи. Для удобства анализа, т.е. для исключения возможных экспери- ментальных рассогласований, все профили линий на картинах Кикучи пронормированы с помощью соотношения min max min ( ) ( ( ) )/( ),nI x I x I I I   (7) где In(x) – распределение интенсивности нормированного профи- ля, Imin и Imax – минимальное и максимальное значение интенсив- ности исходного профиля I(x). Нормированные профили пригодны для сравнительного анализа и получения количественных пара- метров, характеризующих деформированное состояние решетки в локальном участке. При определенном выборе кристаллографической системы коор- динат из анализа распределения интенсивности для разных систем линий на одной картине Кикучи можно определить компоненты тензора деформаций ij по соотношению (6). Причем, как показано в [12], данное соотношение применимо при деформациях, не превы- шающих 0,3%. На рисунке 5 приведено характерное распределение интенсивно- сти профилей линий Кикучи для плоскостей (400) , (111) и (022) образцов алмазов CA и CA_Bor. Как следует из распределений ин- тенсивности, профили одной и той же полосы Кикучи на различных локальных участках сильно отличаются по форме и, соответствен- но, отличаются площадью под кривой распределения интенсивно- сти. Такое изменение значения интегральной интенсивности линий Кикучи может быть использовано в качестве показателя изменения величины деформации. В данном параграфе предлагается подход для определения ани- зотропии деформаций из анализа изменений профиля интенсивно- сти полос Кикучи, основанный на использовании метода гисто- грамм (рис. 6). Известно [14], что построение гистограмм использу- ется для получения оценки плотности распределения  определен- ной величины w. Этой величиной является площадь под профилем одной и той же линии Кикучи для каждого из участков образца. Для построения гистограммы определяют диапазон изменения 1144 М. Д. БОРЧА, С. В. БАЛОВСЯК, И. М. ФОДЧУК и др. величины w, который разбивают на несколько (n) интервалов (би- нов) и рассчитывают долю всех измерений, которая попадает в каждый из интервалов. Значения каждой доли и являются значе- ниями, которые считаются оценкой плотности распределения (w) на соответствующем интервале. Для построения гистограммы существенным является выбор оп- тимального разбиения, поскольку при увеличении интервалов сни- жается детализация оценки, а при их уменьшении падает точность оценки значения плотности распределения. Для выбора оптималь- Рис. 6. Гистограммы распределения плотности (w) на соответствующем интервале изменения w. ОПРЕДЕЛЕНИЕ СТРУКТУРНОЙ НЕОДНОРОДНОСТИ КРИСТАЛЛОВ 1145 ного количества интервалов n использовано правило Стерджеса [14]:   2 log 1,n N (8) где N – общее количество полученных значений w, т.е. количество исследованных участков образца. Таким образом, при N  17 n  5. Первичный анализ гистограмм на рис. 6 дает качественное пред- ставление об анизотропии распределения деформаций в разных кристаллографических направлениях, а также о влиянии наращен- ного слоя алмаза на деформационное состояние исходного кристал- ла алмаза. В частности, наиболее деформированными в образце ал- маза СА являются плоскости (111) , а наименее деформированными – (400) . В то же время, наращивание слоя алмаза, легированного бором (образец СА_Bor), приводит к увеличению деформаций во всех направлениях, но наиболее существенный прирост наблюдает- ся в направлении [022]. Что касается дифракции от плоскостей (400) , то характер (w) практически одинаков для обоих образцов. Это свидетельствует о том, что нанесение полупроводникового слоя существенно не по- влияло на изменение межплоскостных расстояний для данного ти- па плоскостей, а для плоскостей (111) увеличилось количество участков с меньшей площадью под профилем интенсивности линий Кикучи. Из этого следует, что для большинства участков возника- ют деформации сжатия в соответствующем направлении согласно соотношению 0 ln( / )hkl S S   [12]. Для плоскостей (022), наоборот, увеличилось количество участков с бóльшим значением w, т.е. в направлении [022] имеет место растяжение. Для образца, синтезированного в системе Fe—Al—C, можно ска- зать, что область, охватывающая участки 12 и 13, является почти однородной, поскольку эти участки входят в один и тот же бин на рис. 6 для всех трех плоскостей дифракции. В то же время участок 11 (область между зонами 12 и 13) существенно отличается от участ- ка 12 и характеризуется такими деформациями: 400  1,9810 4,  111  0,3110 4, 022  0,8110 4. Максимальные значения |d/d|max для разных плоскостей (hkl) и образцов представлены в табл. 1. На рисунке 7 приведены значения средних объемных деформа- ций в каждом участке обоих образцов, определенные обеими мето- дами. Анализ рис. 7 показывает хорошее согласие между значени- ями деформации 0, полученными непосредственно из анализа про- филей интенсивности линий Кикучи и с помощью фурье-преобра- зования картин Кикучи. В целом существует корреляция между положением локальной области кристалла (рис. 1) и значениями деформации: для образца CA (рис. 7, а) деформации максимальны для участков № 1, 5 (выращенные кристаллы алмаза), для образца 1146 М. Д. БОРЧА, С. В. БАЛОВСЯК, И. М. ФОДЧУК и др. CA_Bor (рис. 7, б) деформации максимальны для центра выращен- ного кристалла (участки № 3, 6). Разницу между значениями 0, полученными на основании фурье-спектра и профиля интенсивности линий Кикучи, можно объяснить тем, что в случае анализа профиля сначала определяют- ся значения hkl отдельно для разных плоскостей дифракции (hkl), а потом – средняя объемная деформация 0, тогда как при использо- вании фурье-спектра сразу определяется 0. Удовлетворительное согласие между значениями 0 свидетельствует о корректности предложенной методики с использованием фурье-преобразования картины Кикучи. К преимуществам методики с использованием фурье-преобразо- вания можно отнести минимизацию субъективных факторов в про- цессе автоматической обработки изображений картин Кикучи. Од- нако, если необходимо получить значения деформаций hkl в разных кристаллографических направлениях, то следует использовать зна- ТАБЛИЦА 1. Максимальные значения |d/d|max для исследованных образ- цов алмаза. Образец |d/d|max для плоскостей (400) (111) (022) СА (Fe—Al—C) 8,5510 4 между 7 и 15* 12,2410 4 между 1 и 7 * 9,1310 4 между 5 и 4 * СА_Bor (Ni—Mn—C  слой системы Mg—C  бор) 9,1610 4 между 6 и 15* 16,1910 4 между 6 и 10* 18,9510 4 между 7 и 13* * Участки, указанные на рис. 1. а б Рис. 7. Зависимость локальной деформации  от номера области N: кри- сталл CA (а), кристалл CA_Bor (б). Результаты получены на основании анализа фурье-спектра и профиля интенсивности линии Кикучи. ОПРЕДЕЛЕНИЕ СТРУКТУРНОЙ НЕОДНОРОДНОСТИ КРИСТАЛЛОВ 1147 чения интегральных интенсивностей по профилю полос Кикучи. Таким образом, использование комплекса методов определения локальных деформаций и разработанное соответствующее програм- мное обеспечение, позволяют проводить сравнительный анализ рас- пределения деформаций в локальных участках кристаллических объектов и, одновременно, определять распределение деформаций по кристаллографическим направлениям в каждом из них. 5. ВЫВОДЫ 1. Предложена комплексная методика определения деформаций из картин дифракции отраженных электронов (картин Кикучи), по- лученных на сканирующем растровом электронном микроскопе «Zeiss» EVO-50 с использованием CCD-детектора. Использование двухмерного прямого дискретного фурье-преобразования картин Кикучи одновременно с анализом интегральных значений интен- сивности по различным полосам Кикучи с применением метода ги- стограмм, позволило провести сравнительный анализ распределе- ния деформаций в локальных участках кристаллов алмаза и, одно- временно, определить распределение деформаций по кристалло- графическим направлениям в каждом из них. 2. Определено распределение деформаций в двух образцах алмаза, один из которых получен методом температурного градиента в си- стеме Fe—Al—C, а второй – в системе Mg—C  бор методом наращива- ния на монокристалл алмаза, синтезированный в системе Ni—Mn—C. Наиболее деформированными в первом образце алмаза являются плоскости (111) , а наименее деформированными – (400) . В то же время, наращивание слоя алмаза, легированного бором (второй обра- зец), приводит к увеличению деформаций по всем направлениям, но наиболее существенный прирост наблюдается в направлении [022]. 3. Использование фурье-преобразования картин Кикучи для опре- деления локальных деформаций позволяет минимизировать субъ- ективные факторы автоматической обработки изображений. В то же время, анализ значений интегральных интенсивностей по про- филю полос Кикучи дает значения деформаций hkl в разных кри- сталлографических направлениях. Получено удовлетворительное согласие между значениями деформации , полученными непосред- ственно из анализа профилей интенсивности линий Кикучи и с ис- пользованием метода дискретного двухмерного фурье-преобразо- вания картин Кикучи. ЦИТИРОВАННАЯ ЛИТЕРАТУРА 1. T. B. Britton and A. J. Wilkinson, Ultramicroscopy, 114: 82 (2012). 2. A. J. Wilkinson and T. B. Britton, Materials Today, 15, No. 9: 366 (2012). 1148 М. Д. БОРЧА, С. В. БАЛОВСЯК, И. М. ФОДЧУК и др. 3. I. M. Fodchuk, V. M. Tkach, V. G. Ralchenko, A. P. Bolshakov, E. E. Ashkina- zi, I. I. Vlasov, Y. D. Garabazhiv, S. V. Balovsyak, S. V. Tkach, and O. M. Kutsay, Diamond Relat. Mater., 19: 409 (2010). 4. I. Fodchuk, S. Balovsyak, M. Borcha, Ya. Garabazhiv, and V. Tkach, physica status solidi (a), 208, No. 11: 2591 (2011). 5. I. Fodchuk, S. Balovsyak, M. Borcha, Ya. Garabazhiv, and V. Tkach, Semicond. Physics, Quantum Electronics and Optoelectronics, 13, No. 1: 262 (2010). 6. М. Д. Борча, С. В. Баловсяк, И. М. Фодчук, В. Ю. Хоменко, В. М. Ткач, Сверхтвердые материалы, № 4: 34 (2013). 7. D. L. Davidson, J. Mater. Sci. Lett., 1, No. 6: 236 (1982). 8. Y. Yoshitomi, K. Ohta, J. Harase, and Y. Suga, Textures and Microstructures, 22: 199 (1994). 9. Р. Гонсалес, Р. Вудс, Цифровая обработка изображений (Москва: Техно- сфера: 2005). 10. Р. Гонсалес, Р. Вудс, С. Эддинс, Цифровая обработка изображений в среде MatLab (Москва: Техносфера: 2006). 11. SPIP (Scanning Probe Image Processor), www.ImageMet.com 12. Y. Sasaki, M. Igushi, and M. Hino, Key Eng. Mater., 326—328: 237 (2006). 13. A. Olsen, Lattice Parameter Determination Using Kikuchi-Line Intersections: Application to Olivine and Feldspar (Oslo: Institute of Physics, University of Oslo: 1975), р. 9. 14. D. W. Scott, Wiley Interdisciplinary Reviews: Computational Statistics, 1, No. 3: 303 (2009). << /ASCII85EncodePages false /AllowTransparency false /AutoPositionEPSFiles true /AutoRotatePages /None /Binding /Left /CalGrayProfile (Dot Gain 20%) /CalRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1) /CalCMYKProfile (U.S. Web Coated \050SWOP\051 v2) /sRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1) /CannotEmbedFontPolicy /Error /CompatibilityLevel 1.4 /CompressObjects /Tags /CompressPages true /ConvertImagesToIndexed true /PassThroughJPEGImages true /CreateJobTicket false /DefaultRenderingIntent /Default /DetectBlends true /DetectCurves 0.0000 /ColorConversionStrategy /CMYK /DoThumbnails false /EmbedAllFonts true /EmbedOpenType false /ParseICCProfilesInComments true /EmbedJobOptions true /DSCReportingLevel 0 /EmitDSCWarnings false /EndPage -1 /ImageMemory 1048576 /LockDistillerParams false /MaxSubsetPct 100 /Optimize true /OPM 1 /ParseDSCComments true /ParseDSCCommentsForDocInfo true /PreserveCopyPage true /PreserveDICMYKValues true /PreserveEPSInfo true /PreserveFlatness true /PreserveHalftoneInfo false /PreserveOPIComments true /PreserveOverprintSettings true /StartPage 1 /SubsetFonts true /TransferFunctionInfo /Apply /UCRandBGInfo /Preserve /UsePrologue false /ColorSettingsFile () /AlwaysEmbed [ true ] /NeverEmbed [ true ] /AntiAliasColorImages false /CropColorImages true /ColorImageMinResolution 300 /ColorImageMinResolutionPolicy /OK /DownsampleColorImages true /ColorImageDownsampleType /Bicubic /ColorImageResolution 300 /ColorImageDepth -1 /ColorImageMinDownsampleDepth 1 /ColorImageDownsampleThreshold 1.50000 /EncodeColorImages true /ColorImageFilter /DCTEncode /AutoFilterColorImages true /ColorImageAutoFilterStrategy /JPEG /ColorACSImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /ColorImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /JPEG2000ColorACSImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /JPEG2000ColorImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /AntiAliasGrayImages false /CropGrayImages true /GrayImageMinResolution 300 /GrayImageMinResolutionPolicy /OK /DownsampleGrayImages true /GrayImageDownsampleType /Bicubic /GrayImageResolution 300 /GrayImageDepth -1 /GrayImageMinDownsampleDepth 2 /GrayImageDownsampleThreshold 1.50000 /EncodeGrayImages true /GrayImageFilter /DCTEncode /AutoFilterGrayImages true /GrayImageAutoFilterStrategy /JPEG /GrayACSImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /GrayImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /JPEG2000GrayACSImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /JPEG2000GrayImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /AntiAliasMonoImages false /CropMonoImages true /MonoImageMinResolution 1200 /MonoImageMinResolutionPolicy /OK /DownsampleMonoImages true /MonoImageDownsampleType /Bicubic /MonoImageResolution 1200 /MonoImageDepth -1 /MonoImageDownsampleThreshold 1.50000 /EncodeMonoImages true /MonoImageFilter /CCITTFaxEncode /MonoImageDict << /K -1 >> /AllowPSXObjects false /CheckCompliance [ /None ] /PDFX1aCheck false /PDFX3Check false /PDFXCompliantPDFOnly false /PDFXNoTrimBoxError true /PDFXTrimBoxToMediaBoxOffset [ 0.00000 0.00000 0.00000 0.00000 ] /PDFXSetBleedBoxToMediaBox true /PDFXBleedBoxToTrimBoxOffset [ 0.00000 0.00000 0.00000 0.00000 ] /PDFXOutputIntentProfile () /PDFXOutputConditionIdentifier () /PDFXOutputCondition () /PDFXRegistryName () /PDFXTrapped /False /CreateJDFFile false /Description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> /CHS <FEFF4f7f75288fd94e9b8bbe5b9a521b5efa7684002000410064006f006200650020005000440046002065876863900275284e8e9ad88d2891cf76845370524d53705237300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c676562535f00521b5efa768400200050004400460020658768633002> /CHT <FEFF4f7f752890194e9b8a2d7f6e5efa7acb7684002000410064006f006200650020005000440046002065874ef69069752865bc9ad854c18cea76845370524d5370523786557406300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c4f86958b555f5df25efa7acb76840020005000440046002065874ef63002> /CZE <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> /DAN <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> /DEU <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> /ESP <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> /ETI <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> /FRA <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> /GRE <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a stvaranje Adobe PDF dokumenata najpogodnijih za visokokvalitetni ispis prije tiskanja koristite ove postavke. Stvoreni PDF dokumenti mogu se otvoriti Acrobat i Adobe Reader 5.0 i kasnijim verzijama.) /HUN <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> /ITA <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> /JPN <FEFF9ad854c18cea306a30d730ea30d730ec30b951fa529b7528002000410064006f0062006500200050004400460020658766f8306e4f5c6210306b4f7f75283057307e305930023053306e8a2d5b9a30674f5c62103055308c305f0020005000440046002030d530a130a430eb306f3001004100630072006f0062006100740020304a30883073002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee5964d3067958b304f30533068304c3067304d307e305930023053306e8a2d5b9a306b306f30d530a930f330c8306e57cb30818fbc307f304c5fc59808306730593002> /KOR <FEFFc7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c5ec0020ace0d488c9c80020c2dcd5d80020c778c1c4c5d00020ac00c7a50020c801d569d55c002000410064006f0062006500200050004400460020bb38c11cb97c0020c791c131d569b2c8b2e4002e0020c774b807ac8c0020c791c131b41c00200050004400460020bb38c11cb2940020004100630072006f0062006100740020bc0f002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e00300020c774c0c1c5d0c11c0020c5f40020c2180020c788c2b5b2c8b2e4002e> /LTH <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> /LVI <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> /NLD (Gebruik deze instellingen om Adobe PDF-documenten te maken die zijn geoptimaliseerd voor prepress-afdrukken van hoge kwaliteit. De gemaakte PDF-documenten kunnen worden geopend met Acrobat en Adobe Reader 5.0 en hoger.) /NOR <FEFF004200720075006b00200064006900730073006500200069006e006e007300740069006c006c0069006e00670065006e0065002000740069006c002000e50020006f0070007000720065007400740065002000410064006f006200650020005000440046002d0064006f006b0075006d0065006e00740065007200200073006f006d00200065007200200062006500730074002000650067006e0065007400200066006f00720020006600f80072007400720079006b006b0073007500740073006b00720069006600740020006100760020006800f800790020006b00760061006c0069007400650074002e0020005000440046002d0064006f006b0075006d0065006e00740065006e00650020006b0061006e002000e50070006e00650073002000690020004100630072006f00620061007400200065006c006c00650072002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000200065006c006c00650072002000730065006e006500720065002e> /POL <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> /PTB <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> /RUM <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> /RUS <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> /SKY <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> /SLV <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> /SUO <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> /SVE <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> /TUR <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> /UKR <FEFF04120438043a043e0440043804410442043e043204430439044204350020044604560020043f043004400430043c043504420440043800200434043b044f0020044104420432043e04400435043d043d044f00200434043e043a0443043c0435043d044204560432002000410064006f006200650020005000440046002c0020044f043a04560020043d04300439043a04400430044904350020043f045604340445043e0434044f0442044c00200434043b044f0020043204380441043e043a043e044f043a04560441043d043e0433043e0020043f0435044004350434043404400443043a043e0432043e0433043e0020043404400443043a0443002e00200020042104420432043e04400435043d045600200434043e043a0443043c0435043d0442043800200050004400460020043c043e0436043d04300020043204560434043a0440043804420438002004430020004100630072006f006200610074002004420430002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e0030002004300431043e0020043f04560437043d04560448043e04570020043204350440044104560457002e> /ENU (Use these settings to create Adobe PDF documents best suited for high-quality prepress printing. Created PDF documents can be opened with Acrobat and Adobe Reader 5.0 and later.) >> /Namespace [ (Adobe) (Common) (1.0) ] /OtherNamespaces [ << /AsReaderSpreads false /CropImagesToFrames true /ErrorControl /WarnAndContinue /FlattenerIgnoreSpreadOverrides false /IncludeGuidesGrids false /IncludeNonPrinting false /IncludeSlug false /Namespace [ (Adobe) (InDesign) (4.0) ] /OmitPlacedBitmaps false /OmitPlacedEPS false /OmitPlacedPDF false /SimulateOverprint /Legacy >> << /AddBleedMarks false /AddColorBars false /AddCropMarks false /AddPageInfo false /AddRegMarks false /ConvertColors /ConvertToCMYK /DestinationProfileName () /DestinationProfileSelector /DocumentCMYK /Downsample16BitImages true /FlattenerPreset << /PresetSelector /MediumResolution >> /FormElements false /GenerateStructure false /IncludeBookmarks false /IncludeHyperlinks false /IncludeInteractive false /IncludeLayers false /IncludeProfiles false /MultimediaHandling /UseObjectSettings /Namespace [ (Adobe) (CreativeSuite) (2.0) ] /PDFXOutputIntentProfileSelector /DocumentCMYK /PreserveEditing true /UntaggedCMYKHandling /LeaveUntagged /UntaggedRGBHandling /UseDocumentProfile /UseDocumentBleed false >> ] >> setdistillerparams << /HWResolution [2400 2400] /PageSize [612.000 792.000] >> setpagedevice

Similar Items