Рентгеновская дифрактометрия структуры легированных лантаном железо-иттриевых гранатов после ионной имплантации

Рентгеновская дифрактометрия структуры легированных лантаном железо-иттриевых гранатов после ионной имплантации

Методами высокоразрешающей рентгеновской дифрактометрии проведены исследования структурных изменений в приповерхностных слоях эпитаксиальных плёнок Y₂,₉₅La₀,₀₅Fe₅O₁₂ до и после высокодозовой имплантации ионов азота. Проведено моделирование карт обратного пространства с использованием статистической...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Дата:2013
Автори: Фодчук, И.М., Довганюк, В.В., Гуцуляк, И.И., Яремий, И.П., Бончик, А.А., Савицкий, Г.В., Сыворотка, И.М., Скакунова, Е.Г.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2013
Назва видання:Металлофизика и новейшие технологии
Теми:
Дефекты кристаллической решётки
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/104212
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Рентгеновская дифрактометрия структуры легированных лантаном железо-иттриевых гранатов после ионной имплантации / И.М. Фодчук, В.В. Довганюк, И.И. Гуцуляк, И.П. Яремий, А.А. Бончик, Г.В. Савицкий, И.М. Сыворотка, Е.Г. Скакунова // Металлофизика и новейшие технологии. — 2013. — Т. 35, № 9. — С. 1209-1222. — Бібліогр.: 23 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-104212
record_format dspace
spelling nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-1042122025-02-09T09:50:17Z Рентгеновская дифрактометрия структуры легированных лантаном железо-иттриевых гранатов после ионной имплантации X-Ray Diffractometry of Lanthanum-Doped Iron—Yttrium Garnet Structures after Ion Implantation Фодчук, И.М. Довганюк, В.В. Гуцуляк, И.И. Яремий, И.П. Бончик, А.А. Савицкий, Г.В. Сыворотка, И.М. Скакунова, Е.Г. Дефекты кристаллической решётки Методами высокоразрешающей рентгеновской дифрактометрии проведены исследования структурных изменений в приповерхностных слоях эпитаксиальных плёнок Y₂,₉₅La₀,₀₅Fe₅O₁₂ до и после высокодозовой имплантации ионов азота. Проведено моделирование карт обратного пространства с использованием статистической кинематической теории дифракции. Определены количественные характеристики дефектной структуры плёнок. Показано, что распыление и аморфизация приповерхностного слоя в процессе высокодозовой имплантации ионами азота активирует диффузионные процессы, которые приводят к значительным изменениям магнитных свойств плёнок и существенному уменьшению ширины линии ферромагнитного резонанса. Методами високороздільної Х-хвильової дифрактометрії проведено дослідження структурних змін у приповерхневих шарах епітаксійних плівок Y₂,₉₅La₀,₀₅Fe₅O₁₂ до та після високодозової імплантації іонів азоту. Проведено моделювання мап оберненого простору з використанням статистичної кінематичної теорії дифракції. Визначено кількісні характеристики дефектної структури плівок. Показано, що розпорошення та аморфізація приповерхневого шару в процесі високодозової імплантації іонами азоту активує дифузійні процеси, які призводять до значних змін магнітних властивостей плівок і суттєвого зменшення ширини лінії феромагнітного резонансу. Structural changes of the surface layers of Y₂,₉₅La₀,₀₅Fe₅O₁₂ epitaxial films are studied by methods of high-resolution X-ray diffraction before and after the influence of high-dose implantation of nitrogen ions. The simulation of the reciprocal space maps is performed, using statistical kinematic theory of diffraction. The quantitative characteristics of the defect structure of films are obtained. As shown, the significant sputtering and amorphization of the surface layer during high-dose nitrogen-ions’ implantation activate diffusion processes, which lead to significant changes of magnetic properties of films and substantial reduction of the width of ferromagnetic resonance line. 2013 Article Рентгеновская дифрактометрия структуры легированных лантаном железо-иттриевых гранатов после ионной имплантации / И.М. Фодчук, В.В. Довганюк, И.И. Гуцуляк, И.П. Яремий, А.А. Бончик, Г.В. Савицкий, И.М. Сыворотка, Е.Г. Скакунова // Металлофизика и новейшие технологии. — 2013. — Т. 35, № 9. — С. 1209-1222. — Бібліогр.: 23 назв. — рос. 1024-1809 PACS numbers:61.72.Dd, 61.72.up,61.80.Jh,68.55.Ln,75.50.Dd,75.70.Ak, 81.40.Wx https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/104212 ru Металлофизика и новейшие технологии application/pdf Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Russian
topic Дефекты кристаллической решётки
Дефекты кристаллической решётки
spellingShingle Дефекты кристаллической решётки
Дефекты кристаллической решётки
Фодчук, И.М.
Довганюк, В.В.
Гуцуляк, И.И.
Яремий, И.П.
Бончик, А.А.
Савицкий, Г.В.
Сыворотка, И.М.
Скакунова, Е.Г.
Рентгеновская дифрактометрия структуры легированных лантаном железо-иттриевых гранатов после ионной имплантации
Металлофизика и новейшие технологии
description Методами высокоразрешающей рентгеновской дифрактометрии проведены исследования структурных изменений в приповерхностных слоях эпитаксиальных плёнок Y₂,₉₅La₀,₀₅Fe₅O₁₂ до и после высокодозовой имплантации ионов азота. Проведено моделирование карт обратного пространства с использованием статистической кинематической теории дифракции. Определены количественные характеристики дефектной структуры плёнок. Показано, что распыление и аморфизация приповерхностного слоя в процессе высокодозовой имплантации ионами азота активирует диффузионные процессы, которые приводят к значительным изменениям магнитных свойств плёнок и существенному уменьшению ширины линии ферромагнитного резонанса.
format Article
author Фодчук, И.М.
Довганюк, В.В.
Гуцуляк, И.И.
Яремий, И.П.
Бончик, А.А.
Савицкий, Г.В.
Сыворотка, И.М.
Скакунова, Е.Г.
author_facet Фодчук, И.М.
Довганюк, В.В.
Гуцуляк, И.И.
Яремий, И.П.
Бончик, А.А.
Савицкий, Г.В.
Сыворотка, И.М.
Скакунова, Е.Г.
author_sort Фодчук, И.М.
title Рентгеновская дифрактометрия структуры легированных лантаном железо-иттриевых гранатов после ионной имплантации
title_short Рентгеновская дифрактометрия структуры легированных лантаном железо-иттриевых гранатов после ионной имплантации
title_full Рентгеновская дифрактометрия структуры легированных лантаном железо-иттриевых гранатов после ионной имплантации
title_fullStr Рентгеновская дифрактометрия структуры легированных лантаном железо-иттриевых гранатов после ионной имплантации
title_full_unstemmed Рентгеновская дифрактометрия структуры легированных лантаном железо-иттриевых гранатов после ионной имплантации
title_sort рентгеновская дифрактометрия структуры легированных лантаном железо-иттриевых гранатов после ионной имплантации
publisher Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
publishDate 2013
topic_facet Дефекты кристаллической решётки
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/104212
citation_txt Рентгеновская дифрактометрия структуры легированных лантаном железо-иттриевых гранатов после ионной имплантации / И.М. Фодчук, В.В. Довганюк, И.И. Гуцуляк, И.П. Яремий, А.А. Бончик, Г.В. Савицкий, И.М. Сыворотка, Е.Г. Скакунова // Металлофизика и новейшие технологии. — 2013. — Т. 35, № 9. — С. 1209-1222. — Бібліогр.: 23 назв. — рос.
series Металлофизика и новейшие технологии
work_keys_str_mv AT fodčukim rentgenovskaâdifraktometriâstrukturylegirovannyhlantanomželezoittrievyhgranatovposleionnojimplantacii
AT dovganûkvv rentgenovskaâdifraktometriâstrukturylegirovannyhlantanomželezoittrievyhgranatovposleionnojimplantacii
AT guculâkii rentgenovskaâdifraktometriâstrukturylegirovannyhlantanomželezoittrievyhgranatovposleionnojimplantacii
AT âremijip rentgenovskaâdifraktometriâstrukturylegirovannyhlantanomželezoittrievyhgranatovposleionnojimplantacii
AT bončikaa rentgenovskaâdifraktometriâstrukturylegirovannyhlantanomželezoittrievyhgranatovposleionnojimplantacii
AT savickijgv rentgenovskaâdifraktometriâstrukturylegirovannyhlantanomželezoittrievyhgranatovposleionnojimplantacii
AT syvorotkaim rentgenovskaâdifraktometriâstrukturylegirovannyhlantanomželezoittrievyhgranatovposleionnojimplantacii
AT skakunovaeg rentgenovskaâdifraktometriâstrukturylegirovannyhlantanomželezoittrievyhgranatovposleionnojimplantacii
AT fodčukim xraydiffractometryoflanthanumdopedironyttriumgarnetstructuresafterionimplantation
AT dovganûkvv xraydiffractometryoflanthanumdopedironyttriumgarnetstructuresafterionimplantation
AT guculâkii xraydiffractometryoflanthanumdopedironyttriumgarnetstructuresafterionimplantation
AT âremijip xraydiffractometryoflanthanumdopedironyttriumgarnetstructuresafterionimplantation
AT bončikaa xraydiffractometryoflanthanumdopedironyttriumgarnetstructuresafterionimplantation
AT savickijgv xraydiffractometryoflanthanumdopedironyttriumgarnetstructuresafterionimplantation
AT syvorotkaim xraydiffractometryoflanthanumdopedironyttriumgarnetstructuresafterionimplantation
AT skakunovaeg xraydiffractometryoflanthanumdopedironyttriumgarnetstructuresafterionimplantation
first_indexed 2025-11-25T12:06:44Z
last_indexed 2025-11-25T12:06:44Z
_version_ 1849763992896012288
fulltext 1209 ДЕФЕКТЫ КРИСТАЛЛИЧЕСКОЙ РЕШЁТКИ PACS numbers:61.72.Dd, 61.72.up,61.80.Jh,68.55.Ln,75.50.Dd,75.70.Ak, 81.40.Wx Рентгеновская дифрактометрия структуры легированных лантаном железо-иттриевых гранатов после ионной имплантации И. М. Фодчук, В. В. Довганюк, И. И. Гуцуляк, И. П. Яремий *, А. Ю. Бончик **, Г. В. Савицкий **, И. М. Сыворотка ***, Е. С. Скакунова **** Черновицкий национальный университет имени Юрия Федьковича, ул. Коцюбинского, 2, 50012 Черновцы, Украина *Прикарпатский национальный университет имени Василия Стефаника, ул. Шевченко, 57, 76025 Ивано-Франковск, Украина **Институт прикладных проблем механики и математики им. Я. С. Подстригача НАН Украины, ул. Научная, 3-б, 79060 Львов, Украина ***Научно-производственное предприятие «Карат», ул. Стрийская, 202, 79031 Львов, Украина ****Институт металлофизики им. Г. В. Курдюмова НАН Украины, бульв. Акад. Вернадского, 36, 03680, ГСП, Киев-142, Украина Методами высокоразрешающей рентгеновской дифрактометрии проведе- ны исследования структурных изменений в приповерхностных слоях эпитаксиальных плёнок Y2,95La0,05Fe5O12 до и после высокодозовой им- плантации ионов азота. Проведено моделирование карт обратного про- странства с использованием статистической кинематической теории ди- фракции. Определены количественные характеристики дефектной струк- туры плёнок. Показано, что распыление и аморфизация приповерхност- ного слоя в процессе высокодозовой имплантации ионами азота активи- рует диффузионные процессы, которые приводят к значительным изме- нениям магнитных свойств плёнок и существенному уменьшению шири- ны линии ферромагнитного резонанса. Методами високороздільної Х-хвильової дифрактометрії проведено дос- лідження структурних змін у приповерхневих шарах епітаксійних плівок Y2,95La0,05Fe5O12 до та після високодозової імплантації іонів азоту. Прове- дено моделювання мап оберненого простору з використанням статистич- Металлофиз. новейшие технол. / Metallofiz. Noveishie Tekhnol. 2013, т. 35, № 9, сс. 1209—1222 Оттиски доступны непосредственно от издателя Фотокопирование разрешено только в соответствии с лицензией 2013 ИМФ (Институт металлофизики им. Г. В. Курдюмова НАН Украины) Напечатано в Украине. 1210 И. М. ФОДЧУК, В. В. ДОВГАНЮК, И. И. ГУЦУЛЯК и др. ної кінематичної теорії дифракції. Визначено кількісні характеристики дефектної структури плівок. Показано, що розпорошення та аморфізація приповерхневого шару в процесі високодозової імплантації іонами азоту активує дифузійні процеси, які призводять до значних змін магнітних властивостей плівок і суттєвого зменшення ширини лінії феромагнітного резонансу. Structural changes of the surface layers of Y2.95La0.05Fe5O12 epitaxial films are studied by methods of high-resolution X-ray diffraction before and after the influence of high-dose implantation of nitrogen ions. The simulation of the reciprocal space maps is performed, using statistical kinematic theory of dif- fraction. The quantitative characteristics of the defect structure of films are obtained. As shown, the significant sputtering and amorphization of the sur- face layer during high-dose nitrogen-ions’ implantation activate diffusion processes, which lead to significant changes of magnetic properties of films and substantial reduction of the width of ferromagnetic resonance line. Ключевые слова: дефектная структура, высокодозовая имплантация, эпитаксиальные плёнки, железо-иттриевые гранаты, рентгеновская ди- фракция, карты обратного пространства. (Получено 23 августа 2013 г.) 1. ВВЕДЕНИЕ Одним из основных инструментов модификации свойств припо- верхностных слоев монокристаллических пленок феррит-гранатов является ионная имплантация. При этом определяющим в измене- нии микрокристаллической структуры пленки на этапе импланта- ции является количество и тип генерируемых налетающим ионом дефектов [1, 2]. Эпитаксиальные пленки железо-иттриевого грана- та (ЖИГ) обладают уникальным набором структурных и магнит- ных свойств, что дает возможность их широкого применения в ка- честве активной среды электронных устройств, например в каче- стве приборов сверхвысокочастотной техники, планарных волно- водных структур и лазеров и т.д. [3—5]. Магнитные параметры пле- нок, такие как намагниченность насыщения (4Ms), ширина линии 2Н ферромагнитного резонанса (ФМР), поле анизотропии зависят от распределения катионов между подрешетками, присутствия кислородных вакансий, ионов двухвалентного железа, механиче- ских напряжений [6]. Чем меньше параметр 2Н, тем меньше элек- тромагнитные потери [6]. Структурное совершенство пленки ухуд- шается дефектами, наличием примесей ионов и кислородных ва- кансий, неоднородностью толщины, что приводит к уширению ли- нии ФМР и возрастанию электромагнитных потерь. При анализе процессов, происходящих при имплантации ионов, возникают некоторые трудности, ведь радиационное дефектообра- РЕНТГЕНОВСКАЯ ДИФРАКТОМЕТРИЯ ЖЕЛЕЗО-ИТТРИЕВЫХ ГРАНАТОВ 1211 зование в многокомпонентных гетероэпитаксиальных пленках, по сравнению с массивными полупроводниками, имеет ряд характер- ных особенностей. Это связано с наличием в гетероструктуре упру- гих деформаций, обусловленных несовпадением периодов решеток пленки и подложки, и существованием нескольких кристаллогра- фических и магнитных подрешеток. В ряде случаев следует также учитывать изменение элементарной ячейки граната с кубической на ромбоэдрическую за счет несоответствия постоянных решеток деформированного и ненарушенного слоев [7]. В данной работе для анализа структурных изменений в поверх- ностных слоях эпитаксиальных пленок легированного лантаном железо-иттриевого граната после высокодозовой имплантации ионов азота использованы методы двух- и многокристальной высо- коразрешающей дифрактометрии, а также методы численного мо- делирования процессов кинематического и динамического рассея- ния рентгеновских лучей. 2. ОБЪЕКТЫ ИССЛЕДОВАНИЙ Эпитаксиальные пленки феррогранатов состава Y2,95La0,05Fe5O12 вы- ращивались в НПП «Карат» (г. Львов) методом изотермической жидкофазной эпитаксии из переохлажденного раствора гранат- образующих компонент (La2O3, Y2O3 и Fe2O3) в расплаве растворите- ля на горизонтальную вращающуюся подложку (111) Gd3Ga5O12 [8]. Основой растворителя была эвтектическая композиция PbO  15,6% мол. B2O3. Процессы выращивания проводились в темпера- турном диапазоне 940—950C при скорости роста пленок 0,35 мкм/мин. Подложка в процессе роста вращалась вокруг экватори- альной оси со скоростью 60 мин 1. Ионы La3, которые имеют боль- ший ионный радиус по сравнению с ионами Y 3, вводились в пленку для уменьшения разницы параметров кристаллической решетки пленки и подложки (для Gd3Ga5O12 a  12,383 Å, для Y3Fe5O12 a  12,376 Å). Толщины выращенных пленок составляли 21,9 мкм (образец № 1) и 74,6 мкм (образец № 2). Для модификации поверхности эпитаксиальных слоев Y2,95La0,05Fe5O12 применялась высокодозовая имплантация ионов азота. Энергия имплантации ионов составляла Е  50 кэВ, доза об- лучения образцов толщиной 21,9 мкм: 0,51018 ион/см 2 (№ 1а), 51018 ион/см 2 (№ 1б), а образцов толщиной 76,4 мкм – 1,51018 ион/см2 (№ 2а). Ширина линии ферромагнитного резонанса измерялась на ФМР спектрометре ААЖС.468213.002 (НПП «Карат», Львов) с исполь- зованием метода локального возбуждения резонансного поглоще- ния (метод «магнитной ямы») на частоте 3,1 ГГц (рис. 1). После вы- сокодозовой ионной имплантации произошло значительное изме- 1212 И. М. ФОДЧУК, В. В. ДОВГАНЮК, И. И. ГУЦУЛЯК и др. нение полуширины линии ФМР: для пленки № 1б она уменьшилась более чем в 2 раза, для пленки № 2а – на 18%. Такое уменьшение полуширины линии ферромагнитного резонанса после импланта- ции азота очень важно при использовании пленок как элементов сверхвысокочастотных приборов [9, 10]. 3. РЕЗУЛЬТАТЫ ИССЛЕДОВАНИЙ С помощью двух- и трехкристальной дифрактометрии получено кривые дифракционного отражения (КДО) и карты распределения интенсивности в координатах обратного пространства для рефлек- сов (444) и (888) CuK-излучения (рис. 2, 3). Экспериментальные исследования были проведены на установке XRD 3003 PTS в уни- верситете города Зиген (Германия). Для образцов меньшей толщины на картах обратного простран- ства (КОП) в области узла (444) (рис. 2, а, б) наблюдается некоторое уширение максимума интенсивности в направлении координаты обратного пространства qx, причем увеличение дозы имплантации ведет к увеличению ширины (почти вдвое) и интенсивности этого уширения. Это свидетельствует о значительных нарушениях в при- поверхностном слое пленок вплоть до образования скрытого нару- шенного слоя в пленке. Для карт интенсивности обратного пространства пленок № 1а и № 1б в области узла обратной решетки (888) характерно наличие дополнительных областей интенсивности (рис. 3, а, б, нижняя часть карт), которые отвечают за вклад подложки в дифракцион- ную картину. На полученных в режиме трехкристальной спектро- метрии /2-сканах для рефлекса (888) от неимплантированного а б Рис. 1. Спектры ФМР пленок La:ЖИГ № 2а (а) и № 1б (б) до и после ионной имплантации азота. РЕНТГЕНОВСКАЯ ДИФРАКТОМЕТРИЯ ЖЕЛЕЗО-ИТТРИЕВЫХ ГРАНАТОВ 1213 образца (рис. 4, б) между пиком интенсивности от пленки и мало- интенсивным пиком от подложки есть еще один, соизмеримый по интенсивности с пиком от подложки наплыв интенсивности, кото- рый не наблюдается на картах от соответствующих по толщине им- плантированных образцов. Вероятно, природа этого наплыва ин- тенсивности состоит в отражении рентгеновских лучей от переход- ного слоя воздух—пленка [10], который деформируется, аморфизи- руется и распыляется при высокодозовой ионной имплантации. В то же время, для пленки № 2а (рис. 2, в) такое уширение на а б в Рис. 2. Карты распределения интенсивности в координатах обратного про- странства в области узла (444): образец№ 1а (а),№ 1б (б),№ 2а (в). а б в Рис. 3. Карты обратного пространства в области узла (888): образец № 1а (а), № 1б (б),№ 2а (в). 1214 И. М. ФОДЧУК, В. В. ДОВГАНЮК, И. И. ГУЦУЛЯК и др. КОП слабо выражено, что, вероятно, связано с особенностями структуры толстых пленок. Для КОП на рис. 3, в области, отвеча- ющей за вклад подложки в дифракционную картину, не наблюдает- ся из-за слишком большой толщины пленки. Для оценки рассеянной интенсивности в области узла обратной решетки (рис. 2, 3) могут быть использованы различные подходы кинематической теории, основанные на решениях системы уравне- ний Такаги [11]. В частности в работе [12] применен формализм, основанный на функции взаимной когерентности, для исследова- ния дефектов в эпитаксиальных слоях. Модифицированное кине- матическое приближение Кривоглаза [13] использовано в работе [14] для оценки интенсивности диффузного рассеяния в обратном пространстве от гетероэпитаксиальных структур с дислокациями несоответствия. Если в поверхностном слое есть искажения струк- туры (например, микродефекты), то функцию атомных смещений а б в г Рис. 4. Профили деформации (а) для неимплантированных пленок № 1 и № 2. Теоретические (пунктирные линии) и экспериментальные (сплошные линии) КДО ( в угл. сек.) пленок до имплантации: № 1 (888) (б), № 2 (444) (в) и № 2 (888) (г). РЕНТГЕНОВСКАЯ ДИФРАКТОМЕТРИЯ ЖЕЛЕЗО-ИТТРИЕВЫХ ГРАНАТОВ 1215 можно представить в виде суммы u(r)  <u(r)>  u(r), где первое слагаемое описывает усредненные смещения, а второе – случайные отклонения от среднего [12—18]. При наличии дефектов в поверх- ностном слое интенсивность дифрагированной волны состоит из ко- герентной и диффузной компонент [12—18]. Если линейные разме- ры дефектов малы по сравнению с расстоянием, на котором волно- вые функции значительно меняются, то это позволяет ввести кор- реляционную функцию [15]: 2 2( , ) { exp( [ ( ) ( )]) ( )}/[1 ( )],G i f f         r h u r u r r r  (1) и корреляционный объем 2 2 2 ( , ) ( ) /(4 [1 ( )]),D C f   r q q r (2) ],)(exp[)()exp(d)(   ruhrqrrq iDiD (3) где   r  r,  )](exp[)( ruhr if – статический фактор Дебая—Вал- лера, h – вектор обратной решетки, C – концентрация дефектов. Для сферических кластеров в рамках теории упругости для изо- тропной среды функция случайных смещений имеет вид [16] d 3 d произв. вел., , ( ) , , R A r R      r u r r r где А определяется внутренним радиусом кластера Rd и его мощно- стью , 3 dRA  . Мощность дефекта, в свою очередь, пропорцио- нальна изменению объема кристалла в результате внедрения де- фекта в кристалл. С учетом функции атомных смещений статический фактор Де- бая—Валлера f запишется в виде [15]: 3 d 3 1/2 1/2 exp( (4 /15){3sin( )/ 2cos( ) 4 sin( ) 4(2 ) Fresnel [(2 / ) ]}), f C R A A A A A A C A                 (4) где 2 d /A A R h , а интеграл Френеля определяется выражением: 2 0 Fresnel ( ) cos d . 2 x C x t t       (5) При Rdh 1, точные выражения для D(r) и D(q) принимают вид [15]:        ,),( ,1, )( d 3 d RriA R D rhr r r (6) 1216 И. М. ФОДЧУК, В. В. ДОВГАНЮК, И. И. ГУЦУЛЯК и др. 3 cl d d d d 3 d d ( ) 3[sin( ) cos( )]/( ) [4 ( )/ ][sin( )/ ], D V qR qR qR qR A q qR R      q hq (7) где функция D(r) зависит от поля упругих деформаций и описывает локальные нарушения кристаллической решетки, а D(q) – Фурье- образ функции D(r). Для определения и уточнения толщинного профиля деформаций по КДО (рис. 4, 6) использовано сочетание двух подходов, основан- ных на подгонке кривых качания, – это численное решение урав- нений Такаги [11, 19] и теории, развитой в работе [16]. Расчеты ко- эффициентов Фурье поляризуемости проводились по алгоритму, разработанному в [17]. Минимизация отклонения теоретически рассчитанных КДО от экспериментальных проводилась одновре- менно для двух отражений (444) и (888) путем целенаправленного изменения параметров профиля деформации с помощью градиент- ных методов. Моделирование КОП проводилось для эпитаксиальной пленки № 1а (рис. 5, б) с толщиной h  21,9 мкм и дозой имплантации 0,51018 ион/см 2. В качестве доминирующих типов микродефектов были выбраны мелкие и крупные сферические кластеры с характе- ристиками, приведенными в табл. 1. При моделировании использо- валось предположение, что различные поля смещения точечных микродефектов не перекрываются. Тогда деформации вне микро- дефектов вызывают появление второй составляющей в D(q) (7), ко- торая имеет особенность в точке 0q . Это устраняется, если пред- положить, что деформационные поля сферических кластеров исче- зают на каком-то среднем расстоянии RI от центра микродефекта. На основании проведенного сравнения установлено, что высоко- дозовая имплантация приводит к перераспределению примесей из приповерхностного слоя вглубь пленки с одновременным измель- чением доминирующих микродефектов. Это позволяет предполо- жить, что исследуемые эпитаксиальные пленки La:ЖИГ имеют сложную слоистую структуру [10]. Основная часть пленки является монокристаллической, а приповерхностный слой имеет мозаичную структуру. Оказалось, что «хвост» интенсивности, направленный вверх на КОП пленки № 2 (рис. 2, в и 3, в), связан с изменениями структуры ТАБЛИЦА 1. Размерные и концентрационные характеристики дефектной структуры. Сферические кластеры Мелкие Крупные Размер R1  68 нм R2  3,5 мкм Концентрация С1  6107 см 3 С2  1105 см 3 РЕНТГЕНОВСКАЯ ДИФРАКТОМЕТРИЯ ЖЕЛЕЗО-ИТТРИЕВЫХ ГРАНАТОВ 1217 пленки в приповерхностном слое, точнее плавным уменьшением деформации к поверхности в слое толщиной около 1800 Å (рис. 4, а). Этот слой формировался в термодинамически неравно- весных условиях при вытягивании пленки из раствора-расплава и ее быстрого вращения вокруг нормальной к поверхности пленки вертикальной оси. Следует отметить, что некоторое увеличение ин- тенсивности справа от главного брэгговского пика на эксперимен- тальных КДО также отображено и на теоретических зависимостях (рис. 4, в, г). Это свидетельствует об адекватности выбранной моде- ли дефектного слоя «пленка—воздух», существование которого обу- словлено самим методом выращивания пленок и для железо- иттриевых гранатов было изучено в [10]. Также на профиль дефор- мации может влиять образование характерной для пленок ЖИГ с толщиной более 36 мкм колональной микроструктуры, которая ве- дет к образованию на поверхности магнитных страйп-структур [20]. Применение вышеуказанной модели приповерхностного слоя к а б Рис. 5. Карты обратного пространства (CuK (444)) для кристалла № 1а: экспериментальная (а), рассчитанная (б). 1218 И. М. ФОДЧУК, В. В. ДОВГАНЮК, И. И. ГУЦУЛЯК и др. пленке № 1 дает хорошее совпадение для отражений (444) и (888) на участке слева от рефлексов пленки (более высокий пик), однако увеличения интенсивности между рефлексами пленки и подложки на теоретических зависимостях не наблюдается, как и в случае ионно-имплантированных пленок (рис. 6, в). Для пленки № 1 моделирование соответствующих КДО показало (рис. 4, б), что кроме слоя со структурой, аналогичной структуре толстой пленки, существует еще один слой с положительной, отно- сительно пленки деформацией (рис. 4, а). Толщина этого слоя 1500 Å. Он полностью аморфизируется при D  0,51018 ион/см2 и поэтому рефлекс от него отсутствует на КДО имплантированных пленок (рис. 6, в). Такая сложная структура приповерхностных об- ластей в пленках толщиной  21,9 мкм может быть объяснена а б в Рис. 6. Экспериментальные (сплошная линия) и теоретические (пунктир) КДО (отражение (444), -сканирование,  в угл. сек.) и распределения деформации: а) № 1а (D  0,51018 ион/см 2, dmax/d  1,810 4, zmax  2200 Å, толщина нарушенного слоя L  2900 Å); б) № 1б (D  51018 ион/см 2, dmax/d  2,410 4, zmax  2200 Å, L  3200 Å); в) № 2а (D  1,51018 ион/см 2, dmax/d  7,310 4, zmax  2200Å, L  2950Å). РЕНТГЕНОВСКАЯ ДИФРАКТОМЕТРИЯ ЖЕЛЕЗО-ИТТРИЕВЫХ ГРАНАТОВ 1219 наличием в ней мозаичного приповерхностного слоя [21] и специ- фикой формирования на нем в неравновесных условиях переходно- го слоя «пленка—воздух». При ионной имплантации радиационные дефекты приводят к изменению межплоскостного расстояния в приповерхностных сло- ях пленок, что проявляется в появлении дополнительных осцилля- ций и наплывов на КДО (рис. 6, а, б). Стоит заметить, что для наименьшей и последующих доз имплантации дополнительные наплывы интенсивности наблюдаются по обе стороны от главного брэгговского пика «идеальной» части пленки (рис. 6, а, б), что мо- жет свидетельствовать о наличии как положительных, так и отри- цательных деформаций в нарушенном слое. Отрицательные дефор- мации связанны с выбиванием атомов матрицы с поверхности пленки. В процессе имплантации ионы азота выбивают около 60% атомов кислорода из решетки, увеличивая долю ионов железа Fe2 и изменяя таким образом магнитные свойства [21—23]. Поскольку при данной дозе облучения распыление поверхности еще не являет- ся значительным (125 Å), и, соответственно, максимально дефор- мированный слой смещается на это же расстояние, основной вклад в деформацию, очевидно, будут вносить внедренные ионы азота. При облучении образца № 2а происходит распыление нарушен- ного слоя толщиной  400 Å (рис. 6, в), смещение максимума де- формации в область с максимальной концентрацией азота и окон- чательная аморфизация всего деформированного (в том числе и из- за наличия внедренных ионов N  ) нарушенного слоя. Для образца № 1б (рис. 6, б) при дозе облучения 51018 ион/см 2 наблюдается полное распыление нарушенного слоя (1300 Å) и продвижение деформированной области в глубину пленки. Это, в свою очередь, приводит к возникновению максимальных деформа- ций на глубинах 1500—3000 Å. В отличие от первого этапа деформа- ции приповерхностного слоя, когда имплантация происходила по всей толщине нарушенного слоя, при дозах больших 1,51018 ион/см2, продвижение максимума распределения ионов N  и гене- рируемых ими дефектов происходит последовательно, по мере рас- пыления поверхности. На экспериментальных КДО от образцов № 1а и № 1б (рис. 6, а, б) имеются интенсивные наплывы по бокам от главного брэгговского пика «идеальной» части пленки. При этом наблюдается удовлетво- рительная корреляция между кривыми /2- и -сканирования с КОП в окрестности соответствующих узлов обратной решетки (рис. 2). Следует отметить, что /2-КДО, полученные в режиме трехкристальной спектрометрии и двухкристальной спектромет- рии с широко открытым окном перед детектором существенно от- личаются. На трехкристальных КДО вышеуказанные наплывы от- сутствуют. Для объяснения такого несоответствия необходимо рас- 1220 И. М. ФОДЧУК, В. В. ДОВГАНЮК, И. И. ГУЦУЛЯК и др. смотреть особенности сканирования для указанных случаев. При получении трехкристальных КДО сканирование осуществ- ляется вдоль направления qz и экспериментальная КДО для ре- флекса (444) состоит из асимметрического пика, а для рефлекса (888) еще и из малоинтенсивного пика подложки (рис. 4, б). При получении КДО с помощью двухкристального спектрометра с широко открытым окном перед детектором происходит интегри- рование интенсивности по дуге, наклоненной относительно КОП под определенным углом. На КОП как имплантированных, так и не имплантированных пленок № 1 у основного максимума наблюда- ются два сателлита (рис. 2, 3). При интегрировании интенсивности по дуге сначала фиксируется один сателлит, затем главный брэг- говский пик, а потом другой сателлит. Различное расстояние меж- ду наплывами интенсивности также связано с направлением ска- нирования и согласуется с вышеуказанным объяснением. Из полу- ченных распределений деформации вытекает, что на формирование КДО значительно влияют неоднородное распределение легирующей компоненты по толщине, смещенные ионы матрицы, а также де- формации на границе раздела воздух—пленка. Напряжения, возникающие в каскадах атомных столкновений, являются источниками микродефектов (например, сферических кластеров и дислокационных петель) с их последующим движением вглубь кристалла. Дислокационные петли могут появляться и как результат взаимодействия точечных дефектов, в основном вакан- сий, причем устойчивые вакансионные петли имеют размер 1 нм, а вероятность образования петель на один каскад находится в преде- лах 0,1—5% [17, 19]. Скорость рекомбинации дефектов с увеличени- ем дозы облучения возрастает и пропорциональна, чаще всего, их концентрации, которая с ростом дозы также непрерывно растет. В целом, в имплантированной ионами зоне можно условно выде- лить три слоя: эмиссионный (толщиной до 10 Å), измененный (в нем внедрены ионы имплантаты) и возбужденный. В возбужденном слое происходит образование напряжений и процессы радиацион- но-стимулированной диффузии. Толщина возбужденного слоя в нашем случае существенно превышает проективный пробег ионов, а его свойства определяются процессами, которые происходят в из- мененном, и даже в эмиссионном слоях. 4. ВЫВОДЫ 1. Методами высокоразрешающей рентгеновской дифрактометрии проведены исследования структурных изменений в приповерх- ностных слоях эпитаксиальных пленок Y2,95La0,05Fe5O12 до и после высокодозовой имплантации ионов азота. Определены физические параметры, необходимые для расчета кривых качания и карт об- РЕНТГЕНОВСКАЯ ДИФРАКТОМЕТРИЯ ЖЕЛЕЗО-ИТТРИЕВЫХ ГРАНАТОВ 1221 ратного пространства и их сопоставления с экспериментальными данными. Проведено моделирование карт обратного пространства с использованием статистической кинематической теории дифрак- ции, определены количественные характеристики дефектной структуры пленок, а именно, обнаружены мелкие и крупные сфе- рические кластеры размерами 68 нм и 3,5 мкм с концентрациями 6107 см 3 и 1105 см 3 соответственно. 2. Для пленки № 2 (до имплантации) характерно плавное уменьше- ние деформации к поверхности в слое толщиной 1800 Å. Такой профиль деформации может быть обусловлен колональной микро- структурой ЖИГ. Для образца № 2а (D  1,51018 ион/см 2) происхо- дит распыление нарушенного слоя толщиной 400 Å, смещение максимума деформации в область с максимальной концентрацией азота и окончательная аморфизация всего деформированного нарушенного слоя. 3. На поверхности La:ЖИГ № 1 (до имплантации) обнаружен слой толщиной 1500 Å с положительной относительно пленки дефор- мацией. Этот слой полностью аморфизируется в процессе ионной имплантации. Для пленки № 1а распыление поверхности не явля- ется значительным (125 Å), основной вклад в деформацию вносят внедренные ионы азота. Для пленки № 1б (D  51018 ион/см 2) наблюдается полное распыление нарушенного слоя на глубину  1300 Å и продвижение максимума деформации вглубь пленки. Это приводит к возникновению максимальных деформаций на глу- бинах 1500—3000 Å. Значительное распыление и аморфизация при- поверхностного слоя активируют диффузионные процессы, что приводит к значительным изменениям магнитных свойств пленок и существенному уменьшению ширины линии ФМР. ЦИТИРОВАННАЯ ЛИТЕРАТУРА 1. P. Gerard, Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., 19/20: 843 (1987). 2. Б. К. Остафийчук, В. А. Олейник, В. М. Пылыпив, Б. Т. Семен, Л. М. Смеркло, Б. И. Яворский, В. И. Кравец, И. В. Коваль, Кристаллическая и магнитная структура имплантированных слоёв монокристаллических плёнок железо-иттриевого граната (Киев: 1991) (Препр. 1.91/ Институт металлофизики АН Украины, 1991). 3. А. Г. Гуревич, Г. А. Мелков, Магнитные колебания и волны (Москва: Наука: 1994). 4. Х. Л. Глас, Труды института инженеров по электронике и радиоэлектро- нике, 76, № 2: 64 (1988). 5. А. М. Прохоров, Г. А. Смоленский, А. Н. Агеев, Успехи физ. наук, 143, № 1: 33 (1984). 6. С. И. Ющук, В. О. Коцюбинский, С. О. Юр’єв, И. П. Яремий, Фізика і хімія твердого тіла, 2, № 4: 735 (2001). 7. Б. К. Остафийчук, И. П. Яремий, В. И. Кравец, С. Я. Клюка, С. И. Яремий, 1222 И. М. ФОДЧУК, В. В. ДОВГАНЮК, И. И. ГУЦУЛЯК и др. Фізика і хімія твердого тіла, 7, № 3: 436 (2006). 8. С. О. Юр’єв, В. Й. Николайчук, С. И. Ющук, П. С. Костюк, Вестник ДУ «Львовская политехника». Элементы теории и примеры твердотельной электроники, 393: 37 (2000). 9. В. В. Рандошкин, А. Я. Червоненкис, Прикладная магнитооптика (Москва: Энергоатомиздат: 1990). 10. С. И. Ющук, Журн. техн. физ., 69, № 12: 62 (1999). 11. S. Takagi, J. Phys. Soc. Jpn., 26, No. 5: 1239 (1969). 12. V. Holy, K. Wolf, M. Kastner, H. Stanzl, and W. Gebhardt, J. Appl. Crystal- logr., 27: 551 (1994). 13. M. A. Krivoglaz, X-Ray and Neutron Diffraction in Nonideal Crystals (Berlin: Springer-Verlag: 1996). 14. V. M. Kaganer, R. Kohler, M. Schmidbauer, R. Opitz, and B. Jenichen, Phys. Rev. B, 55: 1793 (1997). 15. Y. I. Nesterets and V. I. Punegov, Acta Crystallogr. A, 56: 540 (2000). 16. C. Teodosiu, Elastic Models of Crystal Defects (Berlin: Springer-Verlag: 1982). 17. S. I. Olikhovskii, V. B. Molodkin, E. N. Kislovskii, E. G. Len, and E. V. Pervak, phys. status solidi (b), 231: 199 (2002). 18. Є. М. Кисловский, С. Й. Олиховский, В. Б. Молодкин, Б. К. Остафийчук, Т. П. Владимирова, Є. Г. Лень, Металлофиз. новейшие технол., 27, № 2: 217 (2005). 19. A. Authіer, Dynamical Theory of X-Ray Diffraction (Oxford: Science Publica- tions: 2001). 20. N. Amos, R. Fernandez, R. Ikkawi, B. Lee, A. Lavrenov, A. Krichevsky, D. Litvinov, and S. Khizroev, J. Appl. Phys., 103: 07E732 (2008). 21. И. М. Фодчук, И. И. Гуцуляк, Р. А. Заплитный, И. В. Яремий, А. Ю. Бон- чик, И. И. Сыворотка, Металлофиз. новейшие технол., 35, № 7: 999 (2013). 22. І. М. Фодчук, Р. А. Заплітний, І. І. Гуцуляк, І. П. Яремій, О. Ю. Бончик, Г. В. Савицький, У. О. Томин, Фізика і хімія твердого тіла, 14, № 3: 547 (2013). 23. Б. К. Остафийчук, И. М. Будзуляк, И. П. Яремий, Л. С. Яблонь, Фізика і хімія твердого тіла, 9, № 1: 19 (2008). << /ASCII85EncodePages false /AllowTransparency false /AutoPositionEPSFiles true /AutoRotatePages /None /Binding /Left /CalGrayProfile (Dot Gain 20%) /CalRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1) /CalCMYKProfile (U.S. Web Coated \050SWOP\051 v2) /sRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1) /CannotEmbedFontPolicy /Error /CompatibilityLevel 1.4 /CompressObjects /Tags /CompressPages true /ConvertImagesToIndexed true /PassThroughJPEGImages true /CreateJobTicket false /DefaultRenderingIntent /Default /DetectBlends true /DetectCurves 0.0000 /ColorConversionStrategy /CMYK /DoThumbnails false /EmbedAllFonts true /EmbedOpenType false /ParseICCProfilesInComments true /EmbedJobOptions true /DSCReportingLevel 0 /EmitDSCWarnings false /EndPage -1 /ImageMemory 1048576 /LockDistillerParams false /MaxSubsetPct 100 /Optimize true /OPM 1 /ParseDSCComments true /ParseDSCCommentsForDocInfo true /PreserveCopyPage true /PreserveDICMYKValues true /PreserveEPSInfo true /PreserveFlatness true /PreserveHalftoneInfo false /PreserveOPIComments true /PreserveOverprintSettings true /StartPage 1 /SubsetFonts true /TransferFunctionInfo /Apply /UCRandBGInfo /Preserve /UsePrologue false /ColorSettingsFile () /AlwaysEmbed [ true ] /NeverEmbed [ true ] /AntiAliasColorImages false /CropColorImages true /ColorImageMinResolution 300 /ColorImageMinResolutionPolicy /OK /DownsampleColorImages true /ColorImageDownsampleType /Bicubic /ColorImageResolution 300 /ColorImageDepth -1 /ColorImageMinDownsampleDepth 1 /ColorImageDownsampleThreshold 1.50000 /EncodeColorImages true /ColorImageFilter /DCTEncode /AutoFilterColorImages true /ColorImageAutoFilterStrategy /JPEG /ColorACSImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /ColorImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /JPEG2000ColorACSImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /JPEG2000ColorImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /AntiAliasGrayImages false /CropGrayImages true /GrayImageMinResolution 300 /GrayImageMinResolutionPolicy /OK /DownsampleGrayImages true /GrayImageDownsampleType /Bicubic /GrayImageResolution 300 /GrayImageDepth -1 /GrayImageMinDownsampleDepth 2 /GrayImageDownsampleThreshold 1.50000 /EncodeGrayImages true /GrayImageFilter /DCTEncode /AutoFilterGrayImages true /GrayImageAutoFilterStrategy /JPEG /GrayACSImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /GrayImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /JPEG2000GrayACSImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /JPEG2000GrayImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /AntiAliasMonoImages false /CropMonoImages true /MonoImageMinResolution 1200 /MonoImageMinResolutionPolicy /OK /DownsampleMonoImages true /MonoImageDownsampleType /Bicubic /MonoImageResolution 1200 /MonoImageDepth -1 /MonoImageDownsampleThreshold 1.50000 /EncodeMonoImages true /MonoImageFilter /CCITTFaxEncode /MonoImageDict << /K -1 >> /AllowPSXObjects false /CheckCompliance [ /None ] /PDFX1aCheck false /PDFX3Check false /PDFXCompliantPDFOnly false /PDFXNoTrimBoxError true /PDFXTrimBoxToMediaBoxOffset [ 0.00000 0.00000 0.00000 0.00000 ] /PDFXSetBleedBoxToMediaBox true /PDFXBleedBoxToTrimBoxOffset [ 0.00000 0.00000 0.00000 0.00000 ] /PDFXOutputIntentProfile () /PDFXOutputConditionIdentifier () /PDFXOutputCondition () /PDFXRegistryName () /PDFXTrapped /False /CreateJDFFile false /Description << /ARA <FEFF06270633062A062E062F0645002006470630064700200627064406250639062F0627062F0627062A002006440625064606340627062100200648062B062706260642002000410064006F00620065002000500044004600200645062A064806270641064206290020064406440637062806270639062900200641064A00200627064406450637062706280639002006300627062A0020062F0631062C0627062A002006270644062C0648062F0629002006270644063906270644064A0629061B0020064A06450643064600200641062A062D00200648062B0627062606420020005000440046002006270644064506460634062306290020062806270633062A062E062F062706450020004100630072006F0062006100740020064800410064006F006200650020005200650061006400650072002006250635062F0627063100200035002E0030002006480627064406250635062F062706310627062A0020062706440623062D062F062B002E0635062F0627063100200035002E0030002006480627064406250635062F062706310627062A0020062706440623062D062F062B002E> /BGR <FEFF04180437043f043e043b043704320430043904420435002004420435043704380020043d0430044104420440043e0439043a0438002c00200437043000200434043000200441044a0437043404300432043004420435002000410064006f00620065002000500044004600200434043e043a0443043c0435043d04420438002c0020043c0430043a04410438043c0430043b043d043e0020043f044004380433043e04340435043d04380020043704300020043204380441043e043a043e043a0430044704350441044204320435043d0020043f04350447043004420020043704300020043f044004350434043f0435044704300442043d04300020043f043e04340433043e0442043e0432043a0430002e002000200421044a04370434043004340435043d043804420435002000500044004600200434043e043a0443043c0435043d044204380020043c043e0433043004420020043404300020044104350020043e0442043204300440044f0442002004410020004100630072006f00620061007400200438002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e00300020043800200441043b0435043404320430044904380020043204350440044104380438002e> /CHS <FEFF4f7f75288fd94e9b8bbe5b9a521b5efa7684002000410064006f006200650020005000440046002065876863900275284e8e9ad88d2891cf76845370524d53705237300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c676562535f00521b5efa768400200050004400460020658768633002> /CHT <FEFF4f7f752890194e9b8a2d7f6e5efa7acb7684002000410064006f006200650020005000440046002065874ef69069752865bc9ad854c18cea76845370524d5370523786557406300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c4f86958b555f5df25efa7acb76840020005000440046002065874ef63002> /CZE <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> /DAN <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> /DEU <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> /ESP <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> /ETI <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> /FRA <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> /GRE <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a stvaranje Adobe PDF dokumenata najpogodnijih za visokokvalitetni ispis prije tiskanja koristite ove postavke. Stvoreni PDF dokumenti mogu se otvoriti Acrobat i Adobe Reader 5.0 i kasnijim verzijama.) /HUN <FEFF004b0069007600e1006c00f30020006d0069006e0151007300e9006701710020006e0079006f006d00640061006900200065006c0151006b00e90073007a00ed007401510020006e0079006f006d00740061007400e100730068006f007a0020006c006500670069006e006b00e1006200620020006d0065006700660065006c0065006c0151002000410064006f00620065002000500044004600200064006f006b0075006d0065006e00740075006d006f006b0061007400200065007a0065006b006b0065006c0020006100200062006500e1006c006c00ed007400e10073006f006b006b0061006c0020006b00e90073007a00ed0074006800650074002e0020002000410020006c00e90074007200650068006f007a006f00740074002000500044004600200064006f006b0075006d0065006e00740075006d006f006b00200061007a0020004100630072006f006200610074002000e9007300200061007a002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e0030002c0020007600610067007900200061007a002000610074007400f3006c0020006b00e9007301510062006200690020007600650072007a006900f3006b006b0061006c0020006e00790069007400680061007400f3006b0020006d00650067002e> /ITA <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> /JPN <FEFF9ad854c18cea306a30d730ea30d730ec30b951fa529b7528002000410064006f0062006500200050004400460020658766f8306e4f5c6210306b4f7f75283057307e305930023053306e8a2d5b9a30674f5c62103055308c305f0020005000440046002030d530a130a430eb306f3001004100630072006f0062006100740020304a30883073002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee5964d3067958b304f30533068304c3067304d307e305930023053306e8a2d5b9a306b306f30d530a930f330c8306e57cb30818fbc307f304c5fc59808306730593002> /KOR <FEFFc7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c5ec0020ace0d488c9c80020c2dcd5d80020c778c1c4c5d00020ac00c7a50020c801d569d55c002000410064006f0062006500200050004400460020bb38c11cb97c0020c791c131d569b2c8b2e4002e0020c774b807ac8c0020c791c131b41c00200050004400460020bb38c11cb2940020004100630072006f0062006100740020bc0f002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e00300020c774c0c1c5d0c11c0020c5f40020c2180020c788c2b5b2c8b2e4002e> /LTH <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> /LVI <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> /NLD (Gebruik deze instellingen om Adobe PDF-documenten te maken die zijn geoptimaliseerd voor prepress-afdrukken van hoge kwaliteit. De gemaakte PDF-documenten kunnen worden geopend met Acrobat en Adobe Reader 5.0 en hoger.) /NOR <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> /POL <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> /PTB <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> /RUM <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> /RUS <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> /SKY <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> /SLV <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> /SUO <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> /SVE <FEFF0041006e007600e4006e00640020006400650020006800e4007200200069006e0073007400e4006c006c006e0069006e006700610072006e00610020006f006d002000640075002000760069006c006c00200073006b006100700061002000410064006f006200650020005000440046002d0064006f006b0075006d0065006e007400200073006f006d002000e400720020006c00e4006d0070006c0069006700610020006600f60072002000700072006500700072006500730073002d007500740073006b00720069006600740020006d006500640020006800f600670020006b00760061006c0069007400650074002e002000200053006b006100700061006400650020005000440046002d0064006f006b0075006d0065006e00740020006b0061006e002000f600700070006e00610073002000690020004100630072006f0062006100740020006f00630068002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e00300020006f00630068002000730065006e006100720065002e> /TUR <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> /UKR <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> /ENU (Use these settings to create Adobe PDF documents best suited for high-quality prepress printing. Created PDF documents can be opened with Acrobat and Adobe Reader 5.0 and later.) >> /Namespace [ (Adobe) (Common) (1.0) ] /OtherNamespaces [ << /AsReaderSpreads false /CropImagesToFrames true /ErrorControl /WarnAndContinue /FlattenerIgnoreSpreadOverrides false /IncludeGuidesGrids false /IncludeNonPrinting false /IncludeSlug false /Namespace [ (Adobe) (InDesign) (4.0) ] /OmitPlacedBitmaps false /OmitPlacedEPS false /OmitPlacedPDF false /SimulateOverprint /Legacy >> << /AddBleedMarks false /AddColorBars false /AddCropMarks false /AddPageInfo false /AddRegMarks false /ConvertColors /ConvertToCMYK /DestinationProfileName () /DestinationProfileSelector /DocumentCMYK /Downsample16BitImages true /FlattenerPreset << /PresetSelector /MediumResolution >> /FormElements false /GenerateStructure false /IncludeBookmarks false /IncludeHyperlinks false /IncludeInteractive false /IncludeLayers false /IncludeProfiles false /MultimediaHandling /UseObjectSettings /Namespace [ (Adobe) (CreativeSuite) (2.0) ] /PDFXOutputIntentProfileSelector /DocumentCMYK /PreserveEditing true /UntaggedCMYKHandling /LeaveUntagged /UntaggedRGBHandling /UseDocumentProfile /UseDocumentBleed false >> ] >> setdistillerparams << /HWResolution [2400 2400] /PageSize [612.000 792.000] >> setpagedevice

Схожі ресурси