Исследование границ раздела фаз в периодических многослойных структурах Mo/Si с использованием метода масс-спектрометрии нейтральных частиц
Исследованы многослойные периодические структуры Мо/Si методами малоугловой рентгеновской дифракции, атомно-силовой микроскопии и масс-спектрометрии постионизированных нейтральных частиц. Досліджено багатошарові періодичні структури Мо/Si методами малокутової Рентґенової дифракції, атомово-силової м...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Металлофизика и новейшие технологии |
|---|---|
| Datum: | 2013 |
| Hauptverfasser: | , , , , , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russian |
| Veröffentlicht: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2013
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/104262 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Исследование границ раздела фаз в периодических многослойных структурах Mo/Si с использованием метода масс-спектрометрии нейтральных частиц / Ю.П. Першин, В.А. Севрюкова, Е.Н. Зубарев, А.С. Оберемок, В.П. Мельник, Б.Н. Романюк, В.Г. Попов, П.М. Литвин // Металлофизика и новейшие технологии. — 2013. — Т. 35, № 12. — С. 1617-1627. — Бібліогр.: 18 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-104262 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Першин, Ю.П. Севрюкова, В.А. Зубарев, Е.Н. Оберемок, А.С. Мельник, В.П. Романюк, Б.Н. Попов, В.Г. Литвин, П.М. 2016-07-06T15:21:27Z 2016-07-06T15:21:27Z 2013 Исследование границ раздела фаз в периодических многослойных структурах Mo/Si с использованием метода масс-спектрометрии нейтральных частиц / Ю.П. Першин, В.А. Севрюкова, Е.Н. Зубарев, А.С. Оберемок, В.П. Мельник, Б.Н. Романюк, В.Г. Попов, П.М. Литвин // Металлофизика и новейшие технологии. — 2013. — Т. 35, № 12. — С. 1617-1627. — Бібліогр.: 18 назв. — рос. 1024-1809 PACS numbers: 06.20.fb, 07.85.Fv, 68.37.Ps, 68.49.Sf, 68.55.Nq, 82.80.Ms https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/104262 Исследованы многослойные периодические структуры Мо/Si методами малоугловой рентгеновской дифракции, атомно-силовой микроскопии и масс-спектрометрии постионизированных нейтральных частиц. Досліджено багатошарові періодичні структури Мо/Si методами малокутової Рентґенової дифракції, атомово-силової мікроскопії та масспектрометрії постйонізованих нейтральних частинок. The Mo/Si multilayer periodic structures are investigated by a small-angle X-ray diffraction, atomic-force microscopy, and secondary neutral mass spectrometry. ru Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України Металлофизика и новейшие технологии Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов Исследование границ раздела фаз в периодических многослойных структурах Mo/Si с использованием метода масс-спектрометрии нейтральных частиц Investigation of the Phase Interfaces in Periodic Multilayer Mo/Si Structures, Using the Method of Mass-Spectrometry of Neutral Particles Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Исследование границ раздела фаз в периодических многослойных структурах Mo/Si с использованием метода масс-спектрометрии нейтральных частиц |
| spellingShingle |
Исследование границ раздела фаз в периодических многослойных структурах Mo/Si с использованием метода масс-спектрометрии нейтральных частиц Першин, Ю.П. Севрюкова, В.А. Зубарев, Е.Н. Оберемок, А.С. Мельник, В.П. Романюк, Б.Н. Попов, В.Г. Литвин, П.М. Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов |
| title_short |
Исследование границ раздела фаз в периодических многослойных структурах Mo/Si с использованием метода масс-спектрометрии нейтральных частиц |
| title_full |
Исследование границ раздела фаз в периодических многослойных структурах Mo/Si с использованием метода масс-спектрометрии нейтральных частиц |
| title_fullStr |
Исследование границ раздела фаз в периодических многослойных структурах Mo/Si с использованием метода масс-спектрометрии нейтральных частиц |
| title_full_unstemmed |
Исследование границ раздела фаз в периодических многослойных структурах Mo/Si с использованием метода масс-спектрометрии нейтральных частиц |
| title_sort |
исследование границ раздела фаз в периодических многослойных структурах mo/si с использованием метода масс-спектрометрии нейтральных частиц |
| author |
Першин, Ю.П. Севрюкова, В.А. Зубарев, Е.Н. Оберемок, А.С. Мельник, В.П. Романюк, Б.Н. Попов, В.Г. Литвин, П.М. |
| author_facet |
Першин, Ю.П. Севрюкова, В.А. Зубарев, Е.Н. Оберемок, А.С. Мельник, В.П. Романюк, Б.Н. Попов, В.Г. Литвин, П.М. |
| topic |
Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов |
| topic_facet |
Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов |
| publishDate |
2013 |
| language |
Russian |
| container_title |
Металлофизика и новейшие технологии |
| publisher |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Investigation of the Phase Interfaces in Periodic Multilayer Mo/Si Structures, Using the Method of Mass-Spectrometry of Neutral Particles |
| description |
Исследованы многослойные периодические структуры Мо/Si методами малоугловой рентгеновской дифракции, атомно-силовой микроскопии и масс-спектрометрии постионизированных нейтральных частиц.
Досліджено багатошарові періодичні структури Мо/Si методами малокутової Рентґенової дифракції, атомово-силової мікроскопії та масспектрометрії постйонізованих нейтральних частинок.
The Mo/Si multilayer periodic structures are investigated by a small-angle X-ray diffraction, atomic-force microscopy, and secondary neutral mass spectrometry.
|
| issn |
1024-1809 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/104262 |
| citation_txt |
Исследование границ раздела фаз в периодических многослойных структурах Mo/Si с использованием метода масс-спектрометрии нейтральных частиц / Ю.П. Першин, В.А. Севрюкова, Е.Н. Зубарев, А.С. Оберемок, В.П. Мельник, Б.Н. Романюк, В.Г. Попов, П.М. Литвин // Металлофизика и новейшие технологии. — 2013. — Т. 35, № 12. — С. 1617-1627. — Бібліогр.: 18 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT peršinûp issledovaniegranicrazdelafazvperiodičeskihmnogosloinyhstrukturahmosisispolʹzovaniemmetodamassspektrometriineitralʹnyhčastic AT sevrûkovava issledovaniegranicrazdelafazvperiodičeskihmnogosloinyhstrukturahmosisispolʹzovaniemmetodamassspektrometriineitralʹnyhčastic AT zubareven issledovaniegranicrazdelafazvperiodičeskihmnogosloinyhstrukturahmosisispolʹzovaniemmetodamassspektrometriineitralʹnyhčastic AT oberemokas issledovaniegranicrazdelafazvperiodičeskihmnogosloinyhstrukturahmosisispolʹzovaniemmetodamassspektrometriineitralʹnyhčastic AT melʹnikvp issledovaniegranicrazdelafazvperiodičeskihmnogosloinyhstrukturahmosisispolʹzovaniemmetodamassspektrometriineitralʹnyhčastic AT romanûkbn issledovaniegranicrazdelafazvperiodičeskihmnogosloinyhstrukturahmosisispolʹzovaniemmetodamassspektrometriineitralʹnyhčastic AT popovvg issledovaniegranicrazdelafazvperiodičeskihmnogosloinyhstrukturahmosisispolʹzovaniemmetodamassspektrometriineitralʹnyhčastic AT litvinpm issledovaniegranicrazdelafazvperiodičeskihmnogosloinyhstrukturahmosisispolʹzovaniemmetodamassspektrometriineitralʹnyhčastic AT peršinûp investigationofthephaseinterfacesinperiodicmultilayermosistructuresusingthemethodofmassspectrometryofneutralparticles AT sevrûkovava investigationofthephaseinterfacesinperiodicmultilayermosistructuresusingthemethodofmassspectrometryofneutralparticles AT zubareven investigationofthephaseinterfacesinperiodicmultilayermosistructuresusingthemethodofmassspectrometryofneutralparticles AT oberemokas investigationofthephaseinterfacesinperiodicmultilayermosistructuresusingthemethodofmassspectrometryofneutralparticles AT melʹnikvp investigationofthephaseinterfacesinperiodicmultilayermosistructuresusingthemethodofmassspectrometryofneutralparticles AT romanûkbn investigationofthephaseinterfacesinperiodicmultilayermosistructuresusingthemethodofmassspectrometryofneutralparticles AT popovvg investigationofthephaseinterfacesinperiodicmultilayermosistructuresusingthemethodofmassspectrometryofneutralparticles AT litvinpm investigationofthephaseinterfacesinperiodicmultilayermosistructuresusingthemethodofmassspectrometryofneutralparticles |
| first_indexed |
2025-12-07T20:04:31Z |
| last_indexed |
2025-12-07T20:04:31Z |
| _version_ |
1850881208560386048 |