Исследование границ раздела фаз в периодических многослойных структурах Mo/Si с использованием метода масс-спектрометрии нейтральных частиц

Исследованы многослойные периодические структуры Мо/Si методами малоугловой рентгеновской дифракции, атомно-силовой микроскопии и масс-спектрометрии постионизированных нейтральных частиц. Досліджено багатошарові періодичні структури Мо/Si методами малокутової Рентґенової дифракції, атомово-силової м...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Металлофизика и новейшие технологии
Datum:2013
Hauptverfasser: Першин, Ю.П., Севрюкова, В.А., Зубарев, Е.Н., Оберемок, А.С., Мельник, В.П., Романюк, Б.Н., Попов, В.Г., Литвин, П.М.
Format: Artikel
Sprache:Russian
Veröffentlicht: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2013
Schlagworte:
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/104262
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Исследование границ раздела фаз в периодических многослойных структурах Mo/Si с использованием метода масс-спектрометрии нейтральных частиц / Ю.П. Першин, В.А. Севрюкова, Е.Н. Зубарев, А.С. Оберемок, В.П. Мельник, Б.Н. Романюк, В.Г. Попов, П.М. Литвин // Металлофизика и новейшие технологии. — 2013. — Т. 35, № 12. — С. 1617-1627. — Бібліогр.: 18 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-104262
record_format dspace
spelling Першин, Ю.П.
Севрюкова, В.А.
Зубарев, Е.Н.
Оберемок, А.С.
Мельник, В.П.
Романюк, Б.Н.
Попов, В.Г.
Литвин, П.М.
2016-07-06T15:21:27Z
2016-07-06T15:21:27Z
2013
Исследование границ раздела фаз в периодических многослойных структурах Mo/Si с использованием метода масс-спектрометрии нейтральных частиц / Ю.П. Першин, В.А. Севрюкова, Е.Н. Зубарев, А.С. Оберемок, В.П. Мельник, Б.Н. Романюк, В.Г. Попов, П.М. Литвин // Металлофизика и новейшие технологии. — 2013. — Т. 35, № 12. — С. 1617-1627. — Бібліогр.: 18 назв. — рос.
1024-1809
PACS numbers: 06.20.fb, 07.85.Fv, 68.37.Ps, 68.49.Sf, 68.55.Nq, 82.80.Ms
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/104262
Исследованы многослойные периодические структуры Мо/Si методами малоугловой рентгеновской дифракции, атомно-силовой микроскопии и масс-спектрометрии постионизированных нейтральных частиц.
Досліджено багатошарові періодичні структури Мо/Si методами малокутової Рентґенової дифракції, атомово-силової мікроскопії та масспектрометрії постйонізованих нейтральних частинок.
The Mo/Si multilayer periodic structures are investigated by a small-angle X-ray diffraction, atomic-force microscopy, and secondary neutral mass spectrometry.
ru
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
Металлофизика и новейшие технологии
Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов
Исследование границ раздела фаз в периодических многослойных структурах Mo/Si с использованием метода масс-спектрометрии нейтральных частиц
Investigation of the Phase Interfaces in Periodic Multilayer Mo/Si Structures, Using the Method of Mass-Spectrometry of Neutral Particles
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Исследование границ раздела фаз в периодических многослойных структурах Mo/Si с использованием метода масс-спектрометрии нейтральных частиц
spellingShingle Исследование границ раздела фаз в периодических многослойных структурах Mo/Si с использованием метода масс-спектрометрии нейтральных частиц
Першин, Ю.П.
Севрюкова, В.А.
Зубарев, Е.Н.
Оберемок, А.С.
Мельник, В.П.
Романюк, Б.Н.
Попов, В.Г.
Литвин, П.М.
Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов
title_short Исследование границ раздела фаз в периодических многослойных структурах Mo/Si с использованием метода масс-спектрометрии нейтральных частиц
title_full Исследование границ раздела фаз в периодических многослойных структурах Mo/Si с использованием метода масс-спектрометрии нейтральных частиц
title_fullStr Исследование границ раздела фаз в периодических многослойных структурах Mo/Si с использованием метода масс-спектрометрии нейтральных частиц
title_full_unstemmed Исследование границ раздела фаз в периодических многослойных структурах Mo/Si с использованием метода масс-спектрометрии нейтральных частиц
title_sort исследование границ раздела фаз в периодических многослойных структурах mo/si с использованием метода масс-спектрометрии нейтральных частиц
author Першин, Ю.П.
Севрюкова, В.А.
Зубарев, Е.Н.
Оберемок, А.С.
Мельник, В.П.
Романюк, Б.Н.
Попов, В.Г.
Литвин, П.М.
author_facet Першин, Ю.П.
Севрюкова, В.А.
Зубарев, Е.Н.
Оберемок, А.С.
Мельник, В.П.
Романюк, Б.Н.
Попов, В.Г.
Литвин, П.М.
topic Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов
topic_facet Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов
publishDate 2013
language Russian
container_title Металлофизика и новейшие технологии
publisher Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
format Article
title_alt Investigation of the Phase Interfaces in Periodic Multilayer Mo/Si Structures, Using the Method of Mass-Spectrometry of Neutral Particles
description Исследованы многослойные периодические структуры Мо/Si методами малоугловой рентгеновской дифракции, атомно-силовой микроскопии и масс-спектрометрии постионизированных нейтральных частиц. Досліджено багатошарові періодичні структури Мо/Si методами малокутової Рентґенової дифракції, атомово-силової мікроскопії та масспектрометрії постйонізованих нейтральних частинок. The Mo/Si multilayer periodic structures are investigated by a small-angle X-ray diffraction, atomic-force microscopy, and secondary neutral mass spectrometry.
issn 1024-1809
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/104262
citation_txt Исследование границ раздела фаз в периодических многослойных структурах Mo/Si с использованием метода масс-спектрометрии нейтральных частиц / Ю.П. Першин, В.А. Севрюкова, Е.Н. Зубарев, А.С. Оберемок, В.П. Мельник, Б.Н. Романюк, В.Г. Попов, П.М. Литвин // Металлофизика и новейшие технологии. — 2013. — Т. 35, № 12. — С. 1617-1627. — Бібліогр.: 18 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT peršinûp issledovaniegranicrazdelafazvperiodičeskihmnogosloinyhstrukturahmosisispolʹzovaniemmetodamassspektrometriineitralʹnyhčastic
AT sevrûkovava issledovaniegranicrazdelafazvperiodičeskihmnogosloinyhstrukturahmosisispolʹzovaniemmetodamassspektrometriineitralʹnyhčastic
AT zubareven issledovaniegranicrazdelafazvperiodičeskihmnogosloinyhstrukturahmosisispolʹzovaniemmetodamassspektrometriineitralʹnyhčastic
AT oberemokas issledovaniegranicrazdelafazvperiodičeskihmnogosloinyhstrukturahmosisispolʹzovaniemmetodamassspektrometriineitralʹnyhčastic
AT melʹnikvp issledovaniegranicrazdelafazvperiodičeskihmnogosloinyhstrukturahmosisispolʹzovaniemmetodamassspektrometriineitralʹnyhčastic
AT romanûkbn issledovaniegranicrazdelafazvperiodičeskihmnogosloinyhstrukturahmosisispolʹzovaniemmetodamassspektrometriineitralʹnyhčastic
AT popovvg issledovaniegranicrazdelafazvperiodičeskihmnogosloinyhstrukturahmosisispolʹzovaniemmetodamassspektrometriineitralʹnyhčastic
AT litvinpm issledovaniegranicrazdelafazvperiodičeskihmnogosloinyhstrukturahmosisispolʹzovaniemmetodamassspektrometriineitralʹnyhčastic
AT peršinûp investigationofthephaseinterfacesinperiodicmultilayermosistructuresusingthemethodofmassspectrometryofneutralparticles
AT sevrûkovava investigationofthephaseinterfacesinperiodicmultilayermosistructuresusingthemethodofmassspectrometryofneutralparticles
AT zubareven investigationofthephaseinterfacesinperiodicmultilayermosistructuresusingthemethodofmassspectrometryofneutralparticles
AT oberemokas investigationofthephaseinterfacesinperiodicmultilayermosistructuresusingthemethodofmassspectrometryofneutralparticles
AT melʹnikvp investigationofthephaseinterfacesinperiodicmultilayermosistructuresusingthemethodofmassspectrometryofneutralparticles
AT romanûkbn investigationofthephaseinterfacesinperiodicmultilayermosistructuresusingthemethodofmassspectrometryofneutralparticles
AT popovvg investigationofthephaseinterfacesinperiodicmultilayermosistructuresusingthemethodofmassspectrometryofneutralparticles
AT litvinpm investigationofthephaseinterfacesinperiodicmultilayermosistructuresusingthemethodofmassspectrometryofneutralparticles
first_indexed 2025-12-07T20:04:31Z
last_indexed 2025-12-07T20:04:31Z
_version_ 1850881208560386048