Дослідження процесів релаксації у природно зістарених монокристалах кремнію
У роботі розглянуто вплив тривалого природнього старіння та відпалу при 270°C на поведінку температурно-кінетичних залежностей ефективного модуля зсуву Gef та низькочастотного внутрішнього тертя Q⁻¹ кремнію, вирощеного методою Чохральського. Розраховано відношення швидкостей руху дефектів, визнач...
Saved in:
| Published in: | Металлофизика и новейшие технологии |
|---|---|
| Date: | 2013 |
| Main Authors: | , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Ukrainian |
| Published: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2013
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/104270 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Дослідження процесів релаксації у природно зістарених монокристалах кремнію / Є.І. Курек, І.Г. Курек, А.В. Олійнич-Лисюк, М.Д. Раранський // Металлофизика и новейшие технологии. — 2013. — Т. 35, № 12. — С. 1717-1724. — Бібліогр.: 16 назв. — укр. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1859703883103731712 |
|---|---|
| author | Курек, Є.І. Курек, І.Г. Олійнич-Лисюк, А.В. Раранський, М.Д. |
| author_facet | Курек, Є.І. Курек, І.Г. Олійнич-Лисюк, А.В. Раранський, М.Д. |
| citation_txt | Дослідження процесів релаксації у природно зістарених монокристалах кремнію / Є.І. Курек, І.Г. Курек, А.В. Олійнич-Лисюк, М.Д. Раранський // Металлофизика и новейшие технологии. — 2013. — Т. 35, № 12. — С. 1717-1724. — Бібліогр.: 16 назв. — укр. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Металлофизика и новейшие технологии |
| description | У роботі розглянуто вплив тривалого природнього старіння та відпалу при
270°C на поведінку температурно-кінетичних залежностей ефективного модуля зсуву Gef та низькочастотного внутрішнього тертя Q⁻¹
кремнію, вирощеного методою Чохральського. Розраховано відношення швидкостей руху
дефектів, визначено енергії активації Ei їх руху в інтервалі ≈ 20—300°C та
проаналізовано можливі механізми релаксації дефектної підсистеми під
дією напружень, які виникають у кремнії при розпаді пересиченого твердо-
го розчину кисню. В околі 70°C виявлено зміну енергії активації з 0,51 еВ на
0,14 еВ, зумовлену закріпленням дислокаційних перегинів на точкових дефектах та їх комплексах. Запропоновано методику неруйнівного способу
дослідження мікромеханізмів руху дефектів у кремнії.
В работе рассмотрено влияние длительного естественного старения и отжига
при 270°C на поведение температурно-кинетических зависимостей эффективного модуля сдвига Gef и низкочастотного внутреннего трения Q⁻¹
кремния, выращенного методом Чохральского. Рассчитаны отношения скоростей движения дефектов, определены энергии активации Ei их движения в
интервале ≈ 20—300°C и проанализированы возможные механизмы релаксации дефектной подсистемы под действием напряжений, возникающих в
кремнии при распаде пересыщенного твёрдого раствора кислорода. При
температуре ≈ 70°C обнаружено изменение энергии активации с 0,51 эВ на
0,14 эВ, обусловленное закреплением дислокационных перегибов на точечных дефектах и их комплексах. Предложена методика неразрушающего
способа исследования микромеханизмов движения дефектов в кремнии.
In a given article, the influence of long-term natural ageing and annealing at
270°C on the behaviour of temperature—kinetic dependences of the effective
shear modulus Gef and the low-frequency internal friction Q⁻¹
of silicon grown by means of the Czochralski method is considered. The relations of motion velocities
of defects are calculated; certain activation energies Ei of their motion
in the interval ≈ 20—300°C are determined, and possible mechanisms of relaxation
of defect subsystem under the action of tensions that arise up in silicon at
decomposition of supersaturated solid solution of oxygen are analysed. Near
70°C, the change of activation energy from 0.51 eV to 0.14 eV caused by fixing
of dislocation bends on point defects and their complexes is revealed. The technique
of non-destructive testing of micromechanisms of defects’ motion in silicon is offered.
|
| first_indexed | 2025-12-01T01:51:29Z |
| format | Article |
| fulltext |
1717
PACS numbers: 61.72.Hh, 62.20.D-, 62.40.+i, 81.40.Cd, 81.40.Jj, 81.70.Bt
Дослідження процесів релаксації
у природно зістарених монокристалах кремнію
Є. І. Курек, І. Г. Курек, А. В. Олійнич-Лисюк, М. Д. Раранський
Чернівецький національний університет імені Юрія Федьковича,
вул. Коцюбинського, 2,
58000 Чернівці, Україна
У роботі розглянуто вплив тривалого природнього старіння та відпалу при
270C на поведінку температурно-кінетичних залежностей ефективного мо-
дуля зсуву Gef та низькочастотного внутрішнього тертя Q
1
кремнію, виро-
щеного методою Чохральського. Розраховано відношення швидкостей руху
дефектів, визначено енергії активації Ei їх руху в інтервалі 20—300C та
проаналізовано можливі механізми релаксації дефектної підсистеми під
дією напружень, які виникають у кремнії при розпаді пересиченого твердо-
го розчину кисню. В околі 70C виявлено зміну енергії активації з 0,51 еВ на
0,14 еВ, зумовлену закріпленням дислокаційних перегинів на точкових де-
фектах та їх комплексах. Запропоновано методику неруйнівного способу
дослідження мікромеханізмів руху дефектів у кремнії.
In a given article, the influence of long-term natural ageing and annealing at
270C on the behaviour of temperature—kinetic dependences of the effective
shear modulus Gef and the low-frequency internal friction Q
1
of silicon grown
by means of the Czochralski method is considered. The relations of motion ve-
locities of defects are calculated; certain activation energies Ei of their motion
in the interval 20—300C are determined, and possible mechanisms of relaxa-
tion of defect subsystem under the action of tensions that arise up in silicon at
decomposition of supersaturated solid solution of oxygen are analysed. Near
70C, the change of activation energy from 0.51 eV to 0.14 eV caused by fixing
of dislocation bends on point defects and their complexes is revealed. The tech-
nique of non-destructive testing of micromechanisms of defects’ motion in sili-
con is offered.
В работе рассмотрено влияние длительного естественного старения и отжига
при 270C на поведение температурно-кинетических зависимостей эффек-
тивного модуля сдвига Gef и низкочастотного внутреннего трения Q
1
крем-
ния, выращенного методом Чохральского. Рассчитаны отношения скоро-
стей движения дефектов, определены энергии активации Ei их движения в
интервале 20—300C и проанализированы возможные механизмы релак-
Металлофиз. новейшие технол. / Metallofiz. Noveishie Tekhnol.
2013, т. 35, № 12, сс. 1717—1724
Оттиски доступны непосредственно от издателя
Фотокопирование разрешено только
в соответствии с лицензией
2013 ИМФ (Институт металлофизики
им. Г. В. Курдюмова НАН Украины)
Напечатано в Украине.
1718 Є. І. КУРЕК, І. Г. КУРЕК, А. В. ОЛІЙНИЧ-ЛИСЮК, М. Д. РАРАНСЬКИЙ
сации дефектной подсистемы под действием напряжений, возникающих в
кремнии при распаде пересыщенного твёрдого раствора кислорода. При
температуре 70C обнаружено изменение энергии активации с 0,51 эВ на
0,14 эВ, обусловленное закреплением дислокационных перегибов на точеч-
ных дефектах и их комплексах. Предложена методика неразрушающего
способа исследования микромеханизмов движения дефектов в кремнии.
Ключові слова: кремній Чохральського, природнє старіння, швидкість ру-
ху дефектів, ефективний модуль зсуву, внутрішнє тертя.
(Отримано 12 листопада 2013 р.)
1. ВСТУП
Широке використання кремнію в сучасній мікроелектроніці та со-
нячній енергетиці зробило його одним із найбільш досліджуваних
матеріалів. Суттєва зміна електрофізичних властивостей кремнію,
вирощеного методом Чохральського (Cz-Si), зазвичай починається
при досить високих температурах ( 500C), оскільки підвищення
температури збільшує рухливість атомів, наслідком чого є приско-
рення у кремнії різноманітних процесів [1, 2].
Проте існують роботи, в яких показано, що істотна зміна власти-
востей Cz-Si можлива і при температурах нижче 300C, наприклад,
зростання коефіцієнта лінійного розширення при 300C, різке зро-
стання відносного видовження при 225C, зменшення твердості за
Віккерсом в інтервалі 20—250C, із подальшим зміцненням мате-
ріалу при 250—350C, аномальна поведінка електропровідності в
інтервалі 180—230C [3] і т. д. Така зміна властивостей може бути
пов’язана не тільки з особливостями будови самого кремнію, але й з
початком розпаду у ньому пересиченого твердого розчину кисню
(ПТРК), який розпочинається вже при температурах 250C.
Так в роботі [4] показано, що легування воднем приводить до збі-
льшення швидкості генерації та квазістаціонарних концентрацій
малих кисневих кластерів вже при температурах 280—375C. У ро-
боті [5] при дослідженні зміни температурних спектрів внутрішньо-
го тертя та ефективного модуля зсуву в монокристалічному кремнії
в інтервалі 20—400C, в залежності від часу відпалу при 400C, були
виявлені стійкі максимуми поглинання, зумовлені міграцією точ-
кових дефектів та їх комплексів (термодонорів I-го типу). Крім того,
в роботах [6, 7] при дослідженні Cz-Si був виявлений «обернений гіс-
терезис» ефективного модуля зсуву та аномального, не релаксацій-
ного, внутрішнього тертя в інтервалі температур 20—200C, який
пов’язували з наявністю у ньому політипних перетворень.
Такі роботи свідчать про те, що розпад ПТРК у Cz-Si розпочина-
ється при температурах нижче 300C. При температурах, близьких
до кімнатних, Cz-Si є сильно термодинамічно нестабільним через
ДОСЛІДЖЕННЯ ПРОЦЕСІВ РЕЛАКСАЦІЇ У МОНОКРИСТАЛАХ КРЕМНІЮ 1719
надмірну кількість кисню, який перебуває у пересиченому твердо-
му розчині, та його низьку дифузійну рухливість. Розпад ПТРК при
таких температурах призводить до виникнення значних механіч-
них напруг, руху дефектів, утворення кластерів, дислокаційних
петель, дрібних термодонорів внаслідок чого змінюються механічні
властивості кристалу [8]. У таких випадках виникає необхідність
вивчення динаміки дефектної підсистеми у зразку для того, щоб
спрогнозувати поведінку різного типу дефектів у кристалі при екс-
плуатації пристроїв, не руйнуючи сам кристал.
Отже, мета нашої роботи полягає у дослідженні процесів релак-
сації у природно зістарених монокристалах Cz-кремнію при темпе-
ратурах близьких до кімнатних.
2. ЗРАЗКИ ТА МЕТОДИКА ЕКСПЕРИМЕНТУ
Досліджувались монокристали високо досконалого Cz-кремнію р-
типу провідності, вирощеного у напрямку <111> (щільність дисло-
кацій, визначена методом вибіркового травлення 104
см
2). Зразки
у вигляді паралелепіпедів, розмірами 11(70—90) мм
3
вирізали
так, щоб площини (111) збігались із однією із довгих граней зразка
[9]. Після виготовлення зразки хімічно полірували (за стандартною
методикою), зістарювали при кімнатних температурах на протязі
одного року і відпалювали при 270C упродовж 1 години. Дослі-
джувались температурні і температурно-кінетичні залежності
пружніх (ефективний модуль кручення Gef) і непружніх (внутрішнє
тертя Q
1) характеристик. Вимірювання вище зазначених характе-
ристик проводили на напівавтоматичному релаксометрі у вакуумі
10
3
Па в інтервалі температур 20—200C при відносних деформаці-
ях кручення (1—3)104.
Для кількісного аналізу впливу механічного та температурного
полів на монокристали кремнію було використано модель Бейкера,
описана в [10]. У цій моделі запропоновано простий алгоритм ви-
значення середніх швидкостей руху дислокацій з амплітудних за-
лежностей внутрішнього тертя. Бейкер скористався пропорційніс-
тю амплітудно-залежного декремента h та дефекту модуля пруж-
ності (M/M)h
,)/( hh MMr (1)
а також виразом для дислокаційної деформації dm:
,/h0dm r (2)
де r – коефіцієнт пропорційності, 0 – відносна деформація в амп-
літудно-незалежній області [10].
1720 Є. І. КУРЕК, І. Г. КУРЕК, А. В. ОЛІЙНИЧ-ЛИСЮК, М. Д. РАРАНСЬКИЙ
Швидкість дислокаційної деформації d пропорційна величині
дислокаційної деформації dm:
,4 dm0d f (3)
де f0 – частота власних крутильних коливань. Тоді середню швид-
кість дислокацій Vav можна одержати за допомогою співвідношення
Орована:
.avd bV (4)
Ця модель зв’язує дислокаційну деформацію з дефектом модуля пру-
жності d 0(M/M), а швидкість зміни дислокаційної деформації
d00d0d 44 bV
M
M
ff (5)
– зі швидкістю руху дислокацій Vd під дією зовнішнього механіч-
ного поля.
Використовуючи дані співвідношення, можна записати формулу
для оцінки швидкості руху дислокацій
,
/4 22
00
d
b
fff
V
(6)
де – густина дислокацій, b – вектор Бюрґерса. Ця теорія неод-
норазово використовувалася для пояснення результатів експери-
ментальних досліджень для діамагнітних металів [11, 12].
Ми спробували адаптувати дану теорію для напівпровідникових
кристалів, врахувавши те, що крім дислокаційних перегинів у кре-
мнії рухаються також точкові дефекти та їх комплекси: кімнатних
температур та прикладених механічних напруг не вистачає для то-
го, щоб спровокувати рух дислокацій в цілому (подолання бар’єра
Пайєрлса I роду). Проте при температурах, близьких до кімнатних,
рухомими залишаються дислокаційні перегини, які долають
бар’єри Пайєрлса II роду, починає розпадатись ПТРК, в результаті
чого в кристалі утворюються нові дефекти та їх об’єднання. Рух та-
ких дефектів спричиняє мікропластичну деформацію кристалу,
що, в свою чергу, не може не відобразитись на ефективних модулях
пружності (наприклад, на Gef).
Добре відомо, що
,dHef GGG (7)
де GH і Gd – модуль Гука та модуль, пов’язаний з рухом дефектів,
відповідно. Через те, що
d ef ef
/G G , за формулами, аналогічними
ДОСЛІДЖЕННЯ ПРОЦЕСІВ РЕЛАКСАЦІЇ У МОНОКРИСТАЛАХ КРЕМНІЮ 1721
до (5), (6), можна визначити швидкість руху мікродефектів, які
спричиняють мікропластичну деформацію.
Враховуючи те, що
Gef f
2, (8)
ми розрахували та побудували температурні залежності відношен-
ня швидкостей руху дефектів VT/Vr за формулою
,
r
2
0
2
0
2
2
0
2
0
2
r
f
ff
f
ff
V
V TT (9)
де VT – швидкість руху дефектів при певній температурі T, а Vr –
швидкість їх руху при кімнатній температурі, f0, f – початкова та
поточна частота власних згасаючих крутильних коливань зразка
відповідно.
3. РЕЗУЛЬТАТИ ТА ЇХ ОБГОВОРЕННЯ
Для виявлення особливостей поведінки дефектної підсистеми у дос-
ліджуваних зразках вивчали температурно-кінетичні залежності
пружніх та непружніх характеристик монокристалічного кремнію.
На рисунку 1 представлено температурні залежності Gef (а), від-
ношення швидкостей рух дефектів VT/Vr (б) та ln(VT/Vr) (в) у Cz-
кремнії після виготовлення зразків, хімічного полірування для ви-
далення пошкодженого шару та тривалого природного старіння.
Як видно з рисунку 1, із зростанням температури залежність
Gef(T) (див. (8)) вище 70C відхиляється від лінійної (рис. 1, а). Від-
мітимо, що залежність коефіцієнтів термічного розширення відхи-
лялась при нагріванні від лінійної залежності при значно вищих
температурах [3]. Нелінійність кривої Gef(T) свідчить про інтенсив-
ний рух дефектів у кремнії в досліджуваному інтервалі температур
та значний внесок деформаційної складової Gd в модуль пружності.
При цьому вузька петля гістерезису на температурних залежностях
Gef вказує на те, що при нагріванні та охолодженні характер руху
дефектів дещо відрізняється.
Енергії активації руху дефектів у кремнії можна розрахувати, вра-
хувавши те, що температурні залежності швидкості їх руху практич-
но для всіх типів дефектів мають експоненційний характер [13, 14]:
i
r
E
T kT
V
e
V
, (10)
1722 Є. І. КУРЕК, І. Г. КУРЕК, А. В. ОЛІЙНИЧ-ЛИСЮК, М. Д. РАРАНСЬКИЙ
де k – Больцманнова стала, а Ei – енергії активації, яких можна
визначити, прологарифмувавши (10).
Наявність двох ділянок (з різними кутами нахилу) на температу-
рних залежностях ln(VT/Vr) може свідчити про зміну характеру ру-
ху дефектів у кремнії поблизу 70C із зменшенням енергії активації
з 0,51 еВ на 0,14 еВ (рис. 1, в).
Отримані значення енергій активації дозволяють припустити,
що при температурах, нижчих за 70C, рухаються дислокаційні пе-
регини, які при підвищенні температури поступово закріплюються
на точкових дефектах, оскільки енергія активації руху дислока-
ційних перегинів через бар’єри Пайєрлса II роду в кремнії стано-
вить 0,5 еВ [15], а енергія активації відриву дислокаційних переги-
нів від точкових дефектів – 0,1 еВ [16].
Відпал при 270C (рис. 2) призводить до повного блокування дис-
локаційних перегинів, які активувалися нижче 70C: і при нагрі-
а б
в
Рис. 1. Температурні залежності Gef f
2
(а), відношення швидкостей руху
дефектів VT/Vr (б) та ln(VT/Vr) (в) у кремнії після хімічного полірування та
1 року природного старіння.Крива 1 – нагрівання, 2 – охолодження.
ДОСЛІДЖЕННЯ ПРОЦЕСІВ РЕЛАКСАЦІЇ У МОНОКРИСТАЛАХ КРЕМНІЮ 1723
ванні, і при охолодженні зміна енергії активації руху деформацій-
них дефектів не перевищує 0,15 еВ. Тобто, після відпалу при 270C
в усьому досліджуваному інтервалі температур дислокаційні пере-
гини рухаються в оточенні точкових дефектів, відриваючись або
закріплюючись на них.
Основною причиною такого руху, скоріш за все, є значні механі-
чні напруги, які виникають в результаті розпаду ПТРК в кремнії
при температурах, близьких до кімнатних [11]. Про це свідчать та-
кож максимуми на кривих Q
1(T) (рис. 2, г). Такий рух дефектів у
свою чергу створює умови для релаксації цих напруг. Справді, роз-
пад ПТРК зазвичай починається поблизу дефектних місць (напри-
клад, дислокацій) за рахунок підвищення концентрації атомів кис-
ню. Тому рух дислокаційних перегинів, який спостерігається при
повторному нагріванні, контролюється точковими дефектами.
а б
в г
Рис. 2. Температурні залежності Gef (а), відношення швидкостей руху де-
фектів VT/Vr (б), ln(VT/Vr) (в) та Q
1
(г) у кремнії після хімічного поліруван-
ня, природного старіння впродовж одного року та відпалу при 270C
впродовж 1 години. Крива 1 – нагрівання, 2 – охолодження.
1724 Є. І. КУРЕК, І. Г. КУРЕК, А. В. ОЛІЙНИЧ-ЛИСЮК, М. Д. РАРАНСЬКИЙ
4. ВИСНОВКИ
Таким чином, в роботі запропонована методика неруйнівного спосо-
бу дослідження руху дефектів у Cz-кремнії при температурах, бли-
зьких до кімнатних, на основі аналізу його пружніх та непружніх
характеристик. Показано, що при цих температурах у Cz-кремнії
відбувається рух дислокаційних перегинів, які долають бар’єри
Пайєрлса II роду, та закріплення їх на точкових дефектах, утворе-
них в результаті розпаду пересиченого твердого розчину кисню.
ЦИТОВАНА ЛІТЕРАТУРА
1. M. Lanno and E. Burguen, Tochechnyye Defekty v Poluprovodnikakh: Teoriya
(Point Defects in Semiconductors: Theory) (Moscow: Mir: 1984) (Russian
translation).
2. O. V. Panchenko, V. P. Ivaschenko, I. F. Chervonyu, and L. P. Osipova, Teoriya
i Praktika Metallurgii, No. 1/2: 78 (2011) (in Russian).
3. V. M. Glazov, V. B. Koltsov, V. Z. Kutsova, and A. R. Regel, Fizika i Tekhnika
Poluprovodnikov, 25, No. 4: 588 (1991) (in Russian).
4. V. P. Markevich, L. P. Murin, J. L. Lindström, and M. Suezawa, Fizika i
Tekhnika Poluprovodnikov, 34, No. 9: 1039 (2000) (in Russian).
5. V. V. Motskin, A. V. Oleynich-Lysuk, N. D. Rarans’ky, and I. M. Fodchuk,
Fizika i Tekhnika Poluprovodnikov, 36, No. 9: 1035 (2002) (in Russian).
6. A. V. Oleynich-Lysuk, N. P. Bewley, and I. M. Fodchuk, Fizika i Tekhnika
Polyprovodnikov, 37, No. 11: 1337 (2003) (in Russian).
7. A. V. Oleynich-Lysuk, B. I. Gutsulyak, and I. M. Fodchuk, Fizika i Tekhnika
Poluprovodnikov, 39, No. 7: 769 (2005) (in Russian).
8. V. M. Babich, N. I. Bletskan, and E. F. Venger, Kislorod v Monokristallakh
Kremniya (Oxygen in Single Crystals of Silicon) (Kiev: Inter LTD: 1997) (in
Russian).
9. B. I. Gutsulyak, A. V. Oleynich-Lysuk, and I. M. Fodchuk, Naukovyy Visnyk
Chernivets’kogo Universytetu. Fizyka. Elektronika, No. 268: 5 (2005) (in
Ukrainian).
10. A. B. Lebedev, Fizika Tverdogo Tela, 41, No. 7: 1214 (1999) (in Russian).
11. A. V. Oleynich-Lysuk and N. D. Rarans’ky, Fizika Tverdogo Tela, 54, No. 3:
417 (2012) (in Russian).
12. E. I. Kurek, A. V. Oleynich-Lysuk, and N. D. Rarans’ky, Pis’ma v Zhurnal
Ehksperimentalnoi i Teoreticheskoi Fiziki, 37, No. 24: 1 (2011) (in Russian).
13. E. I. Kurek, I. G. Kurek, A. V. Oleynich-Lysuk, and N. D. Rarans’ky, Fizika
Tverdogo Tela, 55, No. 10: 1897 (2013) (in Russian).
14. V. V. Kveder, Yu. A. Osip’yan, and A. I. Shalukin, Zhurnal Eksperimentalnoi i
Teoreticheskoi Fiziki, 83, No. 2: 699 (1982) (in Russian).
15. A. A. Skvortsov, A. M. Orlov, V. A. Frolov, and A. A. Solov’ev, Fizika Tverdogo
Tela, 42, No. 11: 1998 (2000) (in Russian).
16. L. N. Aleksandrov and M. I. Zotov, Vnutrennee Trenie v Poluprovodnikakh
(Internal Friction in Semiconductors) (Novosibirsk: Nauka: 1979) (in Russian).
<<
/ASCII85EncodePages false
/AllowTransparency false
/AutoPositionEPSFiles true
/AutoRotatePages /None
/Binding /Left
/CalGrayProfile (Dot Gain 20%)
/CalRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1)
/CalCMYKProfile (U.S. Web Coated \050SWOP\051 v2)
/sRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1)
/CannotEmbedFontPolicy /Error
/CompatibilityLevel 1.4
/CompressObjects /Tags
/CompressPages true
/ConvertImagesToIndexed true
/PassThroughJPEGImages true
/CreateJobTicket false
/DefaultRenderingIntent /Default
/DetectBlends true
/DetectCurves 0.0000
/ColorConversionStrategy /CMYK
/DoThumbnails false
/EmbedAllFonts true
/EmbedOpenType false
/ParseICCProfilesInComments true
/EmbedJobOptions true
/DSCReportingLevel 0
/EmitDSCWarnings false
/EndPage -1
/ImageMemory 1048576
/LockDistillerParams false
/MaxSubsetPct 100
/Optimize true
/OPM 1
/ParseDSCComments true
/ParseDSCCommentsForDocInfo true
/PreserveCopyPage true
/PreserveDICMYKValues true
/PreserveEPSInfo true
/PreserveFlatness true
/PreserveHalftoneInfo false
/PreserveOPIComments true
/PreserveOverprintSettings true
/StartPage 1
/SubsetFonts true
/TransferFunctionInfo /Apply
/UCRandBGInfo /Preserve
/UsePrologue false
/ColorSettingsFile ()
/AlwaysEmbed [ true
]
/NeverEmbed [ true
]
/AntiAliasColorImages false
/CropColorImages true
/ColorImageMinResolution 300
/ColorImageMinResolutionPolicy /OK
/DownsampleColorImages true
/ColorImageDownsampleType /Bicubic
/ColorImageResolution 300
/ColorImageDepth -1
/ColorImageMinDownsampleDepth 1
/ColorImageDownsampleThreshold 1.50000
/EncodeColorImages true
/ColorImageFilter /DCTEncode
/AutoFilterColorImages true
/ColorImageAutoFilterStrategy /JPEG
/ColorACSImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/ColorImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/JPEG2000ColorACSImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/JPEG2000ColorImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/AntiAliasGrayImages false
/CropGrayImages true
/GrayImageMinResolution 300
/GrayImageMinResolutionPolicy /OK
/DownsampleGrayImages true
/GrayImageDownsampleType /Bicubic
/GrayImageResolution 300
/GrayImageDepth -1
/GrayImageMinDownsampleDepth 2
/GrayImageDownsampleThreshold 1.50000
/EncodeGrayImages true
/GrayImageFilter /DCTEncode
/AutoFilterGrayImages true
/GrayImageAutoFilterStrategy /JPEG
/GrayACSImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/GrayImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/JPEG2000GrayACSImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/JPEG2000GrayImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/AntiAliasMonoImages false
/CropMonoImages true
/MonoImageMinResolution 1200
/MonoImageMinResolutionPolicy /OK
/DownsampleMonoImages true
/MonoImageDownsampleType /Bicubic
/MonoImageResolution 1200
/MonoImageDepth -1
/MonoImageDownsampleThreshold 1.50000
/EncodeMonoImages true
/MonoImageFilter /CCITTFaxEncode
/MonoImageDict <<
/K -1
>>
/AllowPSXObjects false
/CheckCompliance [
/None
]
/PDFX1aCheck false
/PDFX3Check false
/PDFXCompliantPDFOnly false
/PDFXNoTrimBoxError true
/PDFXTrimBoxToMediaBoxOffset [
0.00000
0.00000
0.00000
0.00000
]
/PDFXSetBleedBoxToMediaBox true
/PDFXBleedBoxToTrimBoxOffset [
0.00000
0.00000
0.00000
0.00000
]
/PDFXOutputIntentProfile ()
/PDFXOutputConditionIdentifier ()
/PDFXOutputCondition ()
/PDFXRegistryName ()
/PDFXTrapped /False
/CreateJDFFile false
/Description <<
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
/BGR <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>
/CHS <FEFF4f7f75288fd94e9b8bbe5b9a521b5efa7684002000410064006f006200650020005000440046002065876863900275284e8e9ad88d2891cf76845370524d53705237300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c676562535f00521b5efa768400200050004400460020658768633002>
/CHT <FEFF4f7f752890194e9b8a2d7f6e5efa7acb7684002000410064006f006200650020005000440046002065874ef69069752865bc9ad854c18cea76845370524d5370523786557406300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c4f86958b555f5df25efa7acb76840020005000440046002065874ef63002>
/CZE <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>
/DAN <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>
/DEU <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>
/ESP <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>
/ETI <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>
/FRA <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>
/GRE <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>
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
/HRV (Za stvaranje Adobe PDF dokumenata najpogodnijih za visokokvalitetni ispis prije tiskanja koristite ove postavke. Stvoreni PDF dokumenti mogu se otvoriti Acrobat i Adobe Reader 5.0 i kasnijim verzijama.)
/HUN <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>
/ITA <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>
/JPN <FEFF9ad854c18cea306a30d730ea30d730ec30b951fa529b7528002000410064006f0062006500200050004400460020658766f8306e4f5c6210306b4f7f75283057307e305930023053306e8a2d5b9a30674f5c62103055308c305f0020005000440046002030d530a130a430eb306f3001004100630072006f0062006100740020304a30883073002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee5964d3067958b304f30533068304c3067304d307e305930023053306e8a2d5b9a306b306f30d530a930f330c8306e57cb30818fbc307f304c5fc59808306730593002>
/KOR <FEFFc7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c5ec0020ace0d488c9c80020c2dcd5d80020c778c1c4c5d00020ac00c7a50020c801d569d55c002000410064006f0062006500200050004400460020bb38c11cb97c0020c791c131d569b2c8b2e4002e0020c774b807ac8c0020c791c131b41c00200050004400460020bb38c11cb2940020004100630072006f0062006100740020bc0f002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e00300020c774c0c1c5d0c11c0020c5f40020c2180020c788c2b5b2c8b2e4002e>
/LTH <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>
/LVI <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>
/NLD (Gebruik deze instellingen om Adobe PDF-documenten te maken die zijn geoptimaliseerd voor prepress-afdrukken van hoge kwaliteit. De gemaakte PDF-documenten kunnen worden geopend met Acrobat en Adobe Reader 5.0 en hoger.)
/NOR <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>
/POL <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>
/PTB <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>
/RUM <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>
/RUS <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>
/SKY <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>
/SLV <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>
/SUO <FEFF004b00e40079007400e40020006e00e40069007400e4002000610073006500740075006b007300690061002c0020006b0075006e0020006c0075006f00740020006c00e400680069006e006e00e4002000760061006100740069007600610061006e0020007000610069006e006100740075006b00730065006e002000760061006c006d0069007300740065006c00750074007900f6006800f6006e00200073006f00700069007600690061002000410064006f0062006500200050004400460020002d0064006f006b0075006d0065006e007400740065006a0061002e0020004c0075006f0064007500740020005000440046002d0064006f006b0075006d0065006e00740069007400200076006f0069006400610061006e0020006100760061007400610020004100630072006f0062006100740069006c006c00610020006a0061002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e0030003a006c006c00610020006a006100200075007500640065006d006d0069006c006c0061002e>
/SVE <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>
/TUR <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>
/UKR <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>
/ENU (Use these settings to create Adobe PDF documents best suited for high-quality prepress printing. Created PDF documents can be opened with Acrobat and Adobe Reader 5.0 and later.)
>>
/Namespace [
(Adobe)
(Common)
(1.0)
]
/OtherNamespaces [
<<
/AsReaderSpreads false
/CropImagesToFrames true
/ErrorControl /WarnAndContinue
/FlattenerIgnoreSpreadOverrides false
/IncludeGuidesGrids false
/IncludeNonPrinting false
/IncludeSlug false
/Namespace [
(Adobe)
(InDesign)
(4.0)
]
/OmitPlacedBitmaps false
/OmitPlacedEPS false
/OmitPlacedPDF false
/SimulateOverprint /Legacy
>>
<<
/AddBleedMarks false
/AddColorBars false
/AddCropMarks false
/AddPageInfo false
/AddRegMarks false
/ConvertColors /ConvertToCMYK
/DestinationProfileName ()
/DestinationProfileSelector /DocumentCMYK
/Downsample16BitImages true
/FlattenerPreset <<
/PresetSelector /MediumResolution
>>
/FormElements false
/GenerateStructure false
/IncludeBookmarks false
/IncludeHyperlinks false
/IncludeInteractive false
/IncludeLayers false
/IncludeProfiles false
/MultimediaHandling /UseObjectSettings
/Namespace [
(Adobe)
(CreativeSuite)
(2.0)
]
/PDFXOutputIntentProfileSelector /DocumentCMYK
/PreserveEditing true
/UntaggedCMYKHandling /LeaveUntagged
/UntaggedRGBHandling /UseDocumentProfile
/UseDocumentBleed false
>>
]
>> setdistillerparams
<<
/HWResolution [2400 2400]
/PageSize [612.000 792.000]
>> setpagedevice
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-104270 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1024-1809 |
| language | Ukrainian |
| last_indexed | 2025-12-01T01:51:29Z |
| publishDate | 2013 |
| publisher | Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Курек, Є.І. Курек, І.Г. Олійнич-Лисюк, А.В. Раранський, М.Д. 2016-07-06T15:39:51Z 2016-07-06T15:39:51Z 2013 Дослідження процесів релаксації у природно зістарених монокристалах кремнію / Є.І. Курек, І.Г. Курек, А.В. Олійнич-Лисюк, М.Д. Раранський // Металлофизика и новейшие технологии. — 2013. — Т. 35, № 12. — С. 1717-1724. — Бібліогр.: 16 назв. — укр. 1024-1809 PACS numbers: 61.72.Hh, 62.20.D-, 62.40.+i, 81.40.Cd, 81.40.Jj, 81.70.Bt https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/104270 У роботі розглянуто вплив тривалого природнього старіння та відпалу при 270°C на поведінку температурно-кінетичних залежностей ефективного модуля зсуву Gef та низькочастотного внутрішнього тертя Q⁻¹ кремнію, вирощеного методою Чохральського. Розраховано відношення швидкостей руху дефектів, визначено енергії активації Ei їх руху в інтервалі ≈ 20—300°C та проаналізовано можливі механізми релаксації дефектної підсистеми під дією напружень, які виникають у кремнії при розпаді пересиченого твердо- го розчину кисню. В околі 70°C виявлено зміну енергії активації з 0,51 еВ на 0,14 еВ, зумовлену закріпленням дислокаційних перегинів на точкових дефектах та їх комплексах. Запропоновано методику неруйнівного способу дослідження мікромеханізмів руху дефектів у кремнії. В работе рассмотрено влияние длительного естественного старения и отжига при 270°C на поведение температурно-кинетических зависимостей эффективного модуля сдвига Gef и низкочастотного внутреннего трения Q⁻¹ кремния, выращенного методом Чохральского. Рассчитаны отношения скоростей движения дефектов, определены энергии активации Ei их движения в интервале ≈ 20—300°C и проанализированы возможные механизмы релаксации дефектной подсистемы под действием напряжений, возникающих в кремнии при распаде пересыщенного твёрдого раствора кислорода. При температуре ≈ 70°C обнаружено изменение энергии активации с 0,51 эВ на 0,14 эВ, обусловленное закреплением дислокационных перегибов на точечных дефектах и их комплексах. Предложена методика неразрушающего способа исследования микромеханизмов движения дефектов в кремнии. In a given article, the influence of long-term natural ageing and annealing at 270°C on the behaviour of temperature—kinetic dependences of the effective shear modulus Gef and the low-frequency internal friction Q⁻¹ of silicon grown by means of the Czochralski method is considered. The relations of motion velocities of defects are calculated; certain activation energies Ei of their motion in the interval ≈ 20—300°C are determined, and possible mechanisms of relaxation of defect subsystem under the action of tensions that arise up in silicon at decomposition of supersaturated solid solution of oxygen are analysed. Near 70°C, the change of activation energy from 0.51 eV to 0.14 eV caused by fixing of dislocation bends on point defects and their complexes is revealed. The technique of non-destructive testing of micromechanisms of defects’ motion in silicon is offered. uk Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України Металлофизика и новейшие технологии Дефекты кристаллической решётки Дослідження процесів релаксації у природно зістарених монокристалах кремнію Исследование процессов релаксации в естественно состаренных монокристаллах кремния Investigation of Relaxation Processes in Naturally-Aged Single Crystals of Silicon Article published earlier |
| spellingShingle | Дослідження процесів релаксації у природно зістарених монокристалах кремнію Курек, Є.І. Курек, І.Г. Олійнич-Лисюк, А.В. Раранський, М.Д. Дефекты кристаллической решётки |
| title | Дослідження процесів релаксації у природно зістарених монокристалах кремнію |
| title_alt | Исследование процессов релаксации в естественно состаренных монокристаллах кремния Investigation of Relaxation Processes in Naturally-Aged Single Crystals of Silicon |
| title_full | Дослідження процесів релаксації у природно зістарених монокристалах кремнію |
| title_fullStr | Дослідження процесів релаксації у природно зістарених монокристалах кремнію |
| title_full_unstemmed | Дослідження процесів релаксації у природно зістарених монокристалах кремнію |
| title_short | Дослідження процесів релаксації у природно зістарених монокристалах кремнію |
| title_sort | дослідження процесів релаксації у природно зістарених монокристалах кремнію |
| topic | Дефекты кристаллической решётки |
| topic_facet | Дефекты кристаллической решётки |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/104270 |
| work_keys_str_mv | AT kurekêí doslídžennâprocesívrelaksacííuprirodnozístarenihmonokristalahkremníû AT kurekíg doslídžennâprocesívrelaksacííuprirodnozístarenihmonokristalahkremníû AT olíiničlisûkav doslídžennâprocesívrelaksacííuprirodnozístarenihmonokristalahkremníû AT raransʹkiimd doslídžennâprocesívrelaksacííuprirodnozístarenihmonokristalahkremníû AT kurekêí issledovanieprocessovrelaksaciivestestvennosostarennyhmonokristallahkremniâ AT kurekíg issledovanieprocessovrelaksaciivestestvennosostarennyhmonokristallahkremniâ AT olíiničlisûkav issledovanieprocessovrelaksaciivestestvennosostarennyhmonokristallahkremniâ AT raransʹkiimd issledovanieprocessovrelaksaciivestestvennosostarennyhmonokristallahkremniâ AT kurekêí investigationofrelaxationprocessesinnaturallyagedsinglecrystalsofsilicon AT kurekíg investigationofrelaxationprocessesinnaturallyagedsinglecrystalsofsilicon AT olíiničlisûkav investigationofrelaxationprocessesinnaturallyagedsinglecrystalsofsilicon AT raransʹkiimd investigationofrelaxationprocessesinnaturallyagedsinglecrystalsofsilicon |