Резонансный метод определения толщин вакуумно-осажденных тонких пленок
В данной работе рассмотрен метод измерения толщины нанесённой плёнки и скорости её напыления методом кварцевого
 датчика. Установлено, что при помощи резонансного метода может быть осуществлен непрерывный контроль толщин тонких пленок в диапазоне 10-100 нм. Определена структура пленок никеля...
Gespeichert in:
| Datum: | 2008 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Інститут радіофізики і електроніки ім. А.Я. Усикова НАН України
2008
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/10576 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Резонансный метод определения толщин вакуумно-осажденных тонких пленок / А.В. Кузьмин, В.Е. Семененко, Н.Г. Стервоедов, А.С. Посухов // Радіофізика та електроніка. — 2008. — Т. 13, № 2. — С. 214-217. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862626023835697152 |
|---|---|
| author | Кузьмин, А.В. Семененко, В.Е. Стервоедов, Н.Г. Посухов, А.С. |
| author_facet | Кузьмин, А.В. Семененко, В.Е. Стервоедов, Н.Г. Посухов, А.С. |
| citation_txt | Резонансный метод определения толщин вакуумно-осажденных тонких пленок / А.В. Кузьмин, В.Е. Семененко, Н.Г. Стервоедов, А.С. Посухов // Радіофізика та електроніка. — 2008. — Т. 13, № 2. — С. 214-217. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| description | В данной работе рассмотрен метод измерения толщины нанесённой плёнки и скорости её напыления методом кварцевого
датчика. Установлено, что при помощи резонансного метода может быть осуществлен непрерывный контроль толщин тонких пленок в диапазоне 10-100 нм. Определена структура пленок никеля и зависимость их толщин от резонансной частоты кварцевого
кристалла.
У роботі розглянуто метод визначення товщини
плівки та швидкості її нанесення методом кварцового датчика.
Встановлено, що за допомогою резонансного методу стає
можливим здійснення безперервного контролю товщин тонких плівок у діапазоні 10-100 нм. Визначена структура плівок
нікелю та залежність їх товщин від резонансної частоти кварцового кристалу.
This work deals with the methods of thickness measuring
of the coated film by means of a quartz sensor. Nickel
films thickness dependence on quartz crystal resonance frequency
were obtained and graphically presented.
|
| first_indexed | 2025-12-07T13:36:19Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-10576 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1028-821X |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T13:36:19Z |
| publishDate | 2008 |
| publisher | Інститут радіофізики і електроніки ім. А.Я. Усикова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Кузьмин, А.В. Семененко, В.Е. Стервоедов, Н.Г. Посухов, А.С. 2010-08-04T09:30:04Z 2010-08-04T09:30:04Z 2008 Резонансный метод определения толщин вакуумно-осажденных тонких пленок / А.В. Кузьмин, В.Е. Семененко, Н.Г. Стервоедов, А.С. Посухов // Радіофізика та електроніка. — 2008. — Т. 13, № 2. — С. 214-217. — Бібліогр.: 10 назв. — рос. 1028-821X https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/10576 539.234:548 В данной работе рассмотрен метод измерения толщины нанесённой плёнки и скорости её напыления методом кварцевого
 датчика. Установлено, что при помощи резонансного метода может быть осуществлен непрерывный контроль толщин тонких пленок в диапазоне 10-100 нм. Определена структура пленок никеля и зависимость их толщин от резонансной частоты кварцевого
 кристалла. У роботі розглянуто метод визначення товщини
 плівки та швидкості її нанесення методом кварцового датчика.
 Встановлено, що за допомогою резонансного методу стає
 можливим здійснення безперервного контролю товщин тонких плівок у діапазоні 10-100 нм. Визначена структура плівок
 нікелю та залежність їх товщин від резонансної частоти кварцового кристалу. This work deals with the methods of thickness measuring
 of the coated film by means of a quartz sensor. Nickel
 films thickness dependence on quartz crystal resonance frequency
 were obtained and graphically presented. ru Інститут радіофізики і електроніки ім. А.Я. Усикова НАН України Радиофизика твердого тела и плазмы Резонансный метод определения толщин вакуумно-осажденных тонких пленок Резонансний метод визначення товщин вакуумно-осаджених тонких плівок Thickness determining of vacuum evaporated thin films by resonance method Article published earlier |
| spellingShingle | Резонансный метод определения толщин вакуумно-осажденных тонких пленок Кузьмин, А.В. Семененко, В.Е. Стервоедов, Н.Г. Посухов, А.С. Радиофизика твердого тела и плазмы |
| title | Резонансный метод определения толщин вакуумно-осажденных тонких пленок |
| title_alt | Резонансний метод визначення товщин вакуумно-осаджених тонких плівок Thickness determining of vacuum evaporated thin films by resonance method |
| title_full | Резонансный метод определения толщин вакуумно-осажденных тонких пленок |
| title_fullStr | Резонансный метод определения толщин вакуумно-осажденных тонких пленок |
| title_full_unstemmed | Резонансный метод определения толщин вакуумно-осажденных тонких пленок |
| title_short | Резонансный метод определения толщин вакуумно-осажденных тонких пленок |
| title_sort | резонансный метод определения толщин вакуумно-осажденных тонких пленок |
| topic | Радиофизика твердого тела и плазмы |
| topic_facet | Радиофизика твердого тела и плазмы |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/10576 |
| work_keys_str_mv | AT kuzʹminav rezonansnyimetodopredeleniâtolŝinvakuumnoosaždennyhtonkihplenok AT semenenkove rezonansnyimetodopredeleniâtolŝinvakuumnoosaždennyhtonkihplenok AT stervoedovng rezonansnyimetodopredeleniâtolŝinvakuumnoosaždennyhtonkihplenok AT posuhovas rezonansnyimetodopredeleniâtolŝinvakuumnoosaždennyhtonkihplenok AT kuzʹminav rezonansniimetodviznačennâtovŝinvakuumnoosadženihtonkihplívok AT semenenkove rezonansniimetodviznačennâtovŝinvakuumnoosadženihtonkihplívok AT stervoedovng rezonansniimetodviznačennâtovŝinvakuumnoosadženihtonkihplívok AT posuhovas rezonansniimetodviznačennâtovŝinvakuumnoosadženihtonkihplívok AT kuzʹminav thicknessdeterminingofvacuumevaporatedthinfilmsbyresonancemethod AT semenenkove thicknessdeterminingofvacuumevaporatedthinfilmsbyresonancemethod AT stervoedovng thicknessdeterminingofvacuumevaporatedthinfilmsbyresonancemethod AT posuhovas thicknessdeterminingofvacuumevaporatedthinfilmsbyresonancemethod |