Резонансный метод определения толщин вакуумно-осажденных тонких пленок

• Дата: 2008
• Автори: Кузьмин, А.В., Семененко, В.Е., Стервоедов, Н.Г., Посухов, А.С.
• Формат: Стаття
• Мова: Russian
• Опубліковано: Інститут радіофізики і електроніки ім. А.Я. Усикова НАН України 2008
• Теми: Радиофизика твердого тела и плазмы
• Онлайн доступ: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/10576
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Цитувати: Резонансный метод определения толщин вакуумно-осажденных тонких пленок / А.В. Кузьмин, В.Е. Семененко, Н.Г. Стервоедов, А.С. Посухов // Радіофізика та електроніка. — 2008. — Т. 13, № 2. — С. 214-217. — Бібліогр.: 10 назв. — рос.

В данной работе рассмотрен метод измерения толщины нанесённой плёнки и скорости её напыления методом кварцевого датчика. Установлено, что при помощи резонансного метода может быть осуществлен непрерывный контроль толщин тонких пленок в диапазоне 10-100 нм. Определена структура пленок никеля и завис...