Влияние состава квазибинарного сечения системы Ti—W—C на фазообразование, структуру и субструктуру полученных на её основе ионно-плазменных наноструктурных покрытий

Изучены закономерности формирования фазового состава, структуры и субструктуры в покрытиях квазибинарного сечения системы Ti—W—C, полученных в неравновесных условиях из ионно-плазменных потоков. Вивчено закономірності формування фазового складу, структури й субструктури в покриттях квазибінарного пе...

Full description

Saved in:

Bibliographic Details
Published in:	Металлофизика и новейшие технологии
Date:	2014
Main Authors:	Соболь, О.В., Шовкопляс, О.А.
Format:	Article
Language:	Russian
Published:	Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2014
Subjects:	Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов
Online Access:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/106872
Tags:	Add Tag No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:	Влияние состава квазибинарного сечения системы Ti—W—C на фазообразование, структуру и субструктуру полученных на её основе ионно-плазменных наноструктурных покрытий / О.В. Соболь, О.А. Шовкопляс // Металлофизика и новейшие технологии. — 2014. — Т. 36, № 1. — С. 49-62. — Бібліогр.: 13 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

_version_	1859993494821535744
author	Соболь, О.В. Шовкопляс, О.А.
author_facet	Соболь, О.В. Шовкопляс, О.А.
citation_txt	Влияние состава квазибинарного сечения системы Ti—W—C на фазообразование, структуру и субструктуру полученных на её основе ионно-плазменных наноструктурных покрытий / О.В. Соболь, О.А. Шовкопляс // Металлофизика и новейшие технологии. — 2014. — Т. 36, № 1. — С. 49-62. — Бібліогр.: 13 назв. — рос.
collection	DSpace DC
container_title	Металлофизика и новейшие технологии
description	Изучены закономерности формирования фазового состава, структуры и субструктуры в покрытиях квазибинарного сечения системы Ti—W—C, полученных в неравновесных условиях из ионно-плазменных потоков. Вивчено закономірності формування фазового складу, структури й субструктури в покриттях квазибінарного перерізу системи Ti—W—C, одержаних у нерівноважних умовах з йонно-плазмових потоків. Regularities of phase composition, structure, and substructure in coatings of quasi-binary Ti—W—C system fabricated in non-equilibrium conditions from ion and plasma flows are studied.
first_indexed	2025-12-07T16:33:35Z
format	Article
fulltext	49 СТРОЕНИЕ И СВОЙСТВА НАНОРАЗМЕРНЫХ И МЕЗОСКОПИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ PACS numbers: 61.05.cp, 64.60.My, 64.70.Nd, 68.55.jm, 81.07.Bc, 81.15.Cd Влияние состава квазибинарного сечения системы Ti—W—C на фазообразование, структуру и субструктуру полученных на её основе ионно-плазменных наноструктурных покрытий О. В. Соболь, О. А. Шовкопляс* Национальный технический университет «ХПИ», ул. Фрунзе, 21, 61002 Харьков, Украина Сумский государственный университет, ул. Римского-Корсакова, 2, 40007 Сумы, Украина Изучены закономерности формирования фазового состава, структуры и субструктуры в покрытиях квазибинарного сечения системы Ti—W—C, полученных в неравновесных условиях из ионно-плазменных потоков. Показано, что использование в качестве составляющих квазибинарной системы фаз с разной теплотой образования (TiC с относительно большой теплотой образования 183,8 кДж/моль и WC со сравнительно низкой теп- лотой образования 37,7 кДж/моль) позволяет изменять фазовый состав от монокарбида, стабильного до высоких температур, до многофазного со- стояния из фаз низших карбидов. Увеличение температуры подложки при осаждении приводит к анизотропному росту кристаллитов с преиму- щественным ростом в направлении падения частиц. С повышением со- держания TiC-составляющей с высокой энергией связи средний размер кристаллитов увеличивается. В то же время большое содержание WC- составляющей позволяет перевести структурное состояние материала на наноуровень с размером кристаллитов 4—20 нм. Вивчено закономірності формування фазового складу, структури й суб- структури в покриттях квазибінарного перерізу системи Ti—W—C, одер- жаних у нерівноважних умовах з йонно-плазмових потоків. Показано, що використання в якості складових квазибінарної системи фаз з різною те- плотою утворення (TiC з відносно великою теплотою утворення 183,8 кДж/моль та WC з відносно низькою теплотою утворення 37,7 кДж/моль) уможливлює змінювати фазовий склад від монокарбіду, стабільного до високих температур, до багатофазного стану з фаз нижчих карбідів. Збі- льшення температури підложжя при осаджуванні призводить до анізот- Металлофиз. новейшие технол. / Metallofiz. Noveishie Tekhnol. 2014, т. 36, № 1, сс. 49—62 Оттиски доступны непосредственно от издателя Фотокопирование разрешено только в соответствии с лицензией 2014 ИМФ (Институт металлофизики им. Г. В. Курдюмова НАН Украины) Напечатано в Украине. 50 О. В. СОБОЛЬ, О. А. ШОВКОПЛЯС ропного росту кристалітів з переважним ростом у напрямку падіння час- тинок. З підвищенням вмісту TiC-складової з високою енергією зв’язку середній розмір кристалітів збільшується. В той же час великий вміст WC-складової уможливлює перевести структурний стан матеріялу на на- норівень з розміром кристалітів у 4—20 нм. Regularities of phase composition, structure, and substructure in coatings of quasi-binary Ti—W—C system fabricated in non-equilibrium conditions from ion and plasma flows are studied. As shown, if phases with different warmth of formation (TiC with rather high warmth of formation 183.8 kJ/mol and WC with rather low warmth of formation of 37.7 kJ/mol) are used as compo- nents of quasi-binary system, then it makes possible to change phase struc- ture from monocarbide stable to high temperatures to a multiphase state, which consists of phases of the lowest carbides. The increase of substrate temperature during deposition leads to the anisotropic growth of crystallites with prior growth along the direction of particles falling. With increase of TiC content with high binding energy, the average size of crystallites in- creases. At the same time, the high WC content allows to transfer a structur- al condition of a material to a nanolevel with a size of crystallites of 4— 20 nanometers. Ключевые слова: ионно-плазменные покрытия, нанокристаллические материалы, рентгеноструктурный анализ, квазибинарное сечение, систе- ма Ti—W—C, метастабильные фазы, текстура. (Получено 23 октября 2013 г.) 1. ВВЕДЕНИЕ Применение пленочных карбидных покрытий в новой технике и устройствах в условиях воздействия мощных потоков электромаг- нитного излучения энергетических частиц, повышенных темпера- тур и давлений предъявляет особые требования к радиационной и термической стабильности структуры таких материалов. Среди карбидов переходных металлов наибольшую теплоту образо- вания, а потому наибольшую стабильность к терморадиационному воз- действию, имеют карбиды металлов четвертой группы элементов, а наименьшая теплота образования присуща карбидам металлов шестой группы [1]. В температурном диапазоне 293—1170 К в равновесном состоянии карбиды металлов четвертой группы имеют простую кубическую кристаллическую решетку структурного типа NaCl. В то время как карбиды металлов шестой группы имеют более сложные типы кри- сталлических решеток (орторомбическую или гексагональную). Кубическая кристаллическая решетка типа NaCl характерна лишь для высокотемпературной (более 2270 К) области равновесной диа- граммы. ВЛИЯНИЕ СОСТАВА КВАЗИБИНАРНОГО СЕЧЕНИЯ СИСТЕМЫ Ti—W—C 51 При неравновесных условиях получения материалов катодным распылением из-за высокой скорости термализации энергии оса- ждаемых частиц преимущественно стабилизируется более простая кубическая кристаллическая структура типа NaCl, в которой ато- мы одного сорта располагаются в октаэдрическом окружении ато- мов другого сорта. Отметим, что появление в этом случае фаз со структурным типом NaCl зачастую либо не соответствует темпера- турному интервалу, либо вообще не может быть предсказано исходя из равновесной диаграммы состояния. Устойчивость такой струк- туры, где в первой координационной сфере атомы металла находят- ся в окружении 6 узлов из неметаллических атомов, обеспечивается тем, что связи, создающиеся электронами неметалла и электронами переходного металла, направлены из центра от металлического атома к вершинам октаэдра из неметаллических атомов. Особенностью кубической решетки типа NaCl является высокая устойчивость структуры к нестехиометрии. Этим объясняется стабили- зация фаз со структурным типом NaCl при отклонении от стехиометрии под действием радиационно-стимулированных процессов при осажде- нии покрытий на основе фаз внедрения из ионно-плазменных потоков. Объединение карбидов металлов четвертой (TiC) и шестой групп (WC) в квазибинарную систему WC—TiC позволяет получить при оса- ждении уникальное сочетание в одном сплаве компонент, находящих- ся в термодинамически стабильном (TiC) и метастабильном (WC) фазо- вом состоянии. Такое сочетание может быть положено в основу полу- чения материалов с уникальными структурным состоянием и высоки- ми функциональными (прежде всего механическими) свойствами. Целью данной работы было изучить влияние термического фак- тора на процесс формирования фазового состава, структуры и суб- структурного состояния в ионно-плазменных покрытиях квазиби- нарной системы WC—TiC с разным молярным содержанием состав- ляющих бинарных компонент. 2. МЕТОДИКА ЭКСПЕРИМЕНТА Мишени для распыления изготовляли методом горячего прессова- ния при температуре Тгп  1900 К [2]. Мишени для случая квазиби- нарных систем были двухфазные и содержали фазы TiC с кубиче- ской решеткой структурного типа NaCl и -WC фазу с простой гек- сагональной решеткой. В работе использовали мишени составов 85% мол. WC—15% мол. TiC, 80% мол. WC—20% мол. TiC, 70% мол. WC—30% мол. TiC, 25% мол. WC—75% мол. TiC, 10% мол. WC—90% мол. TiC, а также состоящие только из TiC или WC. На рисунке 1 приведен характерный спектр от мишени со средним со- держанием карбида титана 30% мол. Покрытия получали ионным распылением мишени – катода. 52 О. В. СОБОЛЬ, О. А. ШОВКОПЛЯС Для распыления использовалась планарная магнетронная схема ионного распыления. Распыление осуществляли в среде инертного газа Ar при давлении 0,2—0,3 Па. Подаваемое распыляющее напряжение 320—400 В обеспечивало плотность потока осаждаемых металлических атомов jMe  (2—9)1015 см 2с1. Температура осажде- ния (Тк) менялась в интервале 350—1200 К путем контролируемого нагрева специально сконструированного столика для образцов. Толщина покрытий составляла 1,0—1,4 мкм. В качестве подложек использовали алюминиевую фольгу, бериллий, пластины из нике- ля и ситалла, полированный монокристаллический кремний. Отжиг образцов выполнялся в вакуумной камере при давлении 10 4 Па в течение 60 мин при температурах отжига 1025 К, 1075 К и 1470 К. Рентгенодифракционные исследования образцов осуществляли на дифрактометре ДРОН-3 в излучении CuK при регистрации рас- сеяния в дискретном режиме съемки с шагом сканирования, изме- няющимся в интервале (2)  0,01—0,05 град в зависимости от по- луширины и интенсивности дифракционных линий. Время экспо- зиции в точке составляло 20—100 с. Объемная доля фаз в пленке рассчитывалась по стандартной методике, учитывающей инте- гральную интенсивность и отражательную способность нескольких линий каждой из фаз. Анализ фазового состава покрытий выпол- няли с использованием картотеки ASTM. Субструктурные характе- ристики определялись методом аппроксимации [3]. Рис. 1. Участок дифракционного спектра мишени состава 30% мол. TiC— 70% мол. WC. ВЛИЯНИЕ СОСТАВА КВАЗИБИНАРНОГО СЕЧЕНИЯ СИСТЕМЫ Ti—W—C 53 Процентное содержание элементов определяли методом рентгено- флуоресцентного анализа (РФА). В качестве первичного возбуждающе- го излучения использовали излучение рентгеновской трубки про- стрельного типа с Ag анодом при возбуждающем напряжении 42 кВ. 3. РЕЗУЛЬТАТЫ И ИХ ОБСУЖДЕНИЕ Закономерным для невысоких температур осаждения покрытий карбида вольфрама при использовании магнетронной схемы распы- ления является формирование метастабильной высокотемператур- ной -WC фазы с кубической решеткой структурного типа NaCl [4— 6]. Покрытия, полученные при jМе  (8—9)1015 см 2с1, характеризо- вались сильной текстурой [100]. Ширина на полувысоте дифракци- онного пика от плоскости (200) при -сканировании составила 12— 14 град. При этом угол между осью текстуры и нормалью к поверх- ности  достигал значения 5—6 град (рис. 2). Вакуумный отжиг, переводящий систему в более равновесное со- стояние, сопровождался фазовыми изменениями, в значительной сте- пени обусловленными исходным, постконденсационным состоянием покрытия. В не имеющих преимущественной ориентации роста по- крытиях, полученных при сравнительно невысокой плотности потока осаждаемых частиц (менее 31015 см 2с1), уже при температуре отжи- га 1020 К наблюдается прямой и полный переход в стабильную -WC фазу (рис. 3, а). В этом случае дальнейшее увеличение температуры отжига сопровождалось лишь небольшим уменьшением периодов ре- шетки -фазы от а  0,2906 нм, с  0,2839 нм (1070 К) до а  0,2904 нм и с  0,2836 нм (1470 К) при неизменном фазовом составе пленок. По- явление текстуры в образцах, что характерно для высоких скоростей Рис. 2. Зависимость угла между осью текстуры и нормалью к поверхности покрытия от плотности потока осаждаемых частиц. 54 О. В. СОБОЛЬ, О. А. ШОВКОПЛЯС нанесения, приводит к формированию двух фаз: -W2C и -WC при отжиге до температуры 1020 К. Причем повышение концентрации - W2C фазы после отжига соответствовало увеличению доли текстури- рованной -WC фазы в образцах. При этом плоскость текстуры (100) в исходной -WC фазе наследуется плоскостью (101) -W2C фазы. О высокой плотности вакансий в углеродной подрешетке конден- сатов, полученных осаждением при относительно высокой плотно- сти потока jMе  (8—9)1015 см 2с1, свидетельствуют результаты от- жига, проводимого при разном давлении остаточной атмосферы. Отжиг в интервале температур 1070—1120 К при низком давлении остаточной атмосферы (Рост  10 3 Па) приводит к перестройке кри- сталлической решетки от кубической типа NaCl к гексагональной плотноупакованной решетке формируемой -W2C фазы. В то же время отжиг при более высоком давлении (Рост  10 1 Па) со- провождается сильным обезуглероживанием карбида и образованием помимо кристаллитов -W2C фазы, кристаллитов -W фазы (средний размер кристаллитов 4,7 нм, преимущественная ориентация (110)). Наиболее обоснованным механизмом обеднения пленок по углерод- ным атомам в этом случае является механизм, связанный с диффу- зией этих атомов к поверхности и реакции с кислородом, идущей с образованием летучего и удаляемого с поверхности окисла. Таким образом, в зависимости от исходной структуры и темпера- а б в Рис. 3. Участки рентгенодифрактометрических спектров от пленок карби- да вольфрама, полученных при jMe: 1,51015 см 2с1 (а), 3,51015 см 2с1 (б), 71015 см 2с1 (в); 1 – исходное состояние, 2 – после часового отжига при 1020 К. ВЛИЯНИЕ СОСТАВА КВАЗИБИНАРНОГО СЕЧЕНИЯ СИСТЕМЫ Ti—W—C 55 туры отжига существуют несколько путей структурной перестрой- ки кристаллической решетки карбида вольфрама. В процессе термообработки (вакуумного отжига) до Т  0,35Тпл (Тпл – температура плавления) при отсутствии существенной диф- фузии углерода в вольфраме [6] кооперативное движение атомов типа мартенситного превращения является единственно возмож- ным механизмом превращения в кристаллах, сильно отклоненных от равновесия из-за наличия примесных атомов и высоких дефор- маций решетки [7]. В этом случае перестройку решетки при образо- вании новой фазы можно представить как деформацию решетки с инвариантной плоскостью, являющейся границей между когерент- ными областями новой и исходной фаз. Действительно, для образ- цов, полученных при jMе  (8—9)1015 см 2с1, структура которых ха- рактеризовалась наличием текстуры типа [100], в случае -WC  - W2C-перехода прослеживается взаимосвязь решеток: преимуще- ственное расположение кристаллов с плоскостью (100)-WC парал- лельной поверхности наследуется плоскостью CW2 )101(  . ГЦК-(- WC) и ГПУ-(-W2C) решетки отличаются только последовательно- стью укладки плотноупакованных слоев: решетка ГЦК – трех- слойная, с чередованием слоев типа АВСАВС, а ГПУ – двухслой- ная типа АВАВ. Перестройку решетки из трехслойной в двухслой- ную упаковку описывают [8, 9] как сдвиг на 1/6 трансляции в направлении <211> по каждой второй из последовательностей плотноупакованных плоскостей. Дефект упаковки, образующийся при таком расщеплении, уже представляет собой слой гексагональ- ной упаковки. Добавление TiC-составляющей в распыляемую мишень стабили- зирует (W, Ti)C твердый раствор с кубической кристаллической решеткой типа NaCl до более высокой температуры [10]. На рисунке 4 приведены дифракционные спектры от покрытий, по- лученных на кремниевой подложке при различных температурах оса- ждения для двух составов: 15% мол. TiC—85% мол. WC и 30% мол. TiC— 70% мол. WC. Видно, что с увеличением TiC составляющей (W, Ti)C твердый раствор становится более устойчивым к распаду. В то же время при большом удельном содержании WC составляющей уже при Тк  1120 К происходит сильное обезуглероживание покрытий, сопро- вождающееся образованием -W2C и -W фаз (спектр 3 на рис. 4). В обобщенном виде схематическая диаграмма фазового состава для содержания TiC составляющей от 0 до 30% мол. приведена на рис. 5. Из рисунка видно, что при распылении чистой -WC мишени мы можем получать одно из трех состояний: метастабильную -WC фазу при отно- сительно низкой Tк (менее 970—990 К); смесь метастабильной -WC и стабильной, но с недостатком по углероду, -W2C фаз при Tк  1000— 1060 К; практически только -W2C фазу при Tк более 1070 К. Добавление TiC составляющей в распыляемую мишень приводит 56 О. В. СОБОЛЬ, О. А. ШОВКОПЛЯС к формированию (Ti, W)C твердого раствора в температурной обла- сти 1, смеси -W2C  (Ti, W)C фаз в области 2 и образованию много- фазного -W2C  -W  -WC  TiC состояния в высокотемператур- ной области 3. Отметим, что в случае распыления мишени монокарбида -WC формирование равновесной для исследуемого температурного ин- тервала -WC фазы с гексагональной решеткой не было обнаруже- но; формирование -фазы происходило только в температурной об- ласти 3, причем с меньшим содержанием углерода (-W2C). Это обу- словлено сравнительно слабой W—C связью (теплота образования - WC достаточно низка и составляет 37,7 кДж/моль [1]), что создаёт условия для обезуглероживания материала при высоких темпера- турах. В случае твердого раствора на основе карбида вольфрама при его высокотемпературном распаде обезуглероживание проявляется в формировании -W2C, -W, -WC и TiC-фаз. Как показали экспе- рименты [11], фаза -WC может быть получена в ионно-плазменном покрытии, когда наряду с дополнительным источником углерода в мишени используется более высоковольтное распыление (напри- мер, трехэлектродная схема с потенциалом распыления 1,5 кВ). В этом случае формированию равновесной -WC фазы в покрытии способствует радиационный фактор (больший потенциал распыле- ния приводит к увеличению средней энергии осаждаемых частиц), приводящий к усилению не только дефектообразования, но и по- вышению интенсивности релаксационных процессов в осаждаемых Рис. 4. Участки дифракционных спектров конденсатов, полученных рас- пылением мишеней составов: 15% мол. TiC—85% мол. WC (Тк, К: 350 (1), 1120 (3)) и 30% мол. TiC—70%мол. WC (Тк,К: 520 (2), 1120 (4)). ВЛИЯНИЕ СОСТАВА КВАЗИБИНАРНОГО СЕЧЕНИЯ СИСТЕМЫ Ti—W—C 57 поверхностных слоях покрытия. Таким образом, с увеличением содержания TiC повышается область стабильности фазы с кубической решеткой и расширяется концентра- ционный интервал, в котором происходит распад твердого раствора. Отметим, что при содержании TiC составляющей более 35% мол. (W, Ti)C твердый раствор остается однофазным (стабильным) вплоть до максимально достигаемой в работе температуры осаждения 1240 К. Известно, что формирование низших по углероду фаз по сравне- нию с исходным монокарбидом осуществляется путем упорядоче- ния вакансионной подсистемы в углеродной подрешетке при появ- лении недостатка в ней углеродных атомов [1]. Как видно из рис. 3, 4, такой процесс наиболее интенсивно протекает в текстурирован- ных конденсатах с осью [100], осажденных на гладкую поверх- ность, например, из кремния, на которой угол рассеяния при столкновении осаждаемых атомов с поверхностью достаточно мал. Таким образом, планарность осаждаемого покрытия и высокая по- движность углеродных атомов при температуре конденсации выше 700C приводит к их интенсивному реиспарению и уходу из области осаждения конденсата. Наиболее выражено этот процесс происхо- дит в обогащенных атомами вольфрама областях, в которых обед- нение по углероду имеет место вплоть до образования кристалли- тов, сильная металлическая связь которых стимулирует формиро- вание свойственной чистому вольфраму кубической ОЦК-решетки. Тот факт, что в результате распада твердого раствора (Ti, W)C с не- достатком по углероду формируются кристаллиты монокарбида ти- тана, а помимо монокарбида вольфрама образуется еще и низший по углероду карбид вольфрама и вольфрам (рис. 4), свидетельствует о большей прочности связей Ti—C по сравнению с W—C. Это предпо- ложение находится в хорошем согласии с диаграммой состояния системы Ti—W—C: твердый раствор (Ti, W)C, не насыщенный по уг- лероду, распадается на две фазы – -W и (Ti, W)C, а не на два про- стых карбида [8]. При более высокой температуре осаждения (Tк  570 К) и малом содержании TiC-составляющей (менее 40% мол.), на гладких шли- фованных подложках из никеля и полированных подложках из си- талла и кремния происходит формирование преимущественно ори- ентированных кристаллитов с осью [100], перпендикулярной плос- кости роста (см. рис. 4). На спектрах, полученных путем - сканирования покрытий, осажденных при температурах 870— 970 К, наблюдается резкое уменьшение полуширины дифракцион- ных пиков  (табл. 1), что свидетельствует об уменьшении угловой разориентации кристаллитов относительно оси текстуры [100] (по- вышение степени совершенства текстуры). Причем, при увеличе- нии толщины покрытия совершенство текстуры повышается. В таблице 1 приведены данные для покрытий толщиной около 58 О. В. СОБОЛЬ, О. А. ШОВКОПЛЯС 1 мкм, а также результат для покрытия толщиной 0,5 мкм, полу- ченного при Тк  1070 К (помечен звездочкой). При большем содержании TiC-составляющей преимущественной ориентацией при низкой температуре осаждения (Tк  770 К) явля- лась плоскость (111) кристаллитов, параллельная поверхности ро- ста. Однако в отличие от текстуры (100), характерной для низкого содержания TiC-составляющей, с увеличением температуры оса- ждения до 1170 К степень совершенства текстуры (111) понижа- лась, а для состава 90% мол. TiC—10% мол. WC уже при температу- ре осаждения 970—1070 К происходит смена текстуры на преиму- щественную ориентацию (220) (рис. 6). По данным [11] в TiC-покрытиях к преимущественной ориента- ции [100] приводит недостаток по углероду, а переход к текстуре [111] наблюдается при повышении относительного содержания уг- лерода в пленке. В частности, в работе [11] это достигалось путем увеличения давления реактивного газа С2Н2 или путем интенсифи- Рис. 5. Схематическая диаграмма фазового состава для разного содержа- ния TiC-составляющей при толщине покрытий около 1мкм. ТАБЛИЦА 1. Изменение степени совершенства текстуры [100] в покры- тиях толщиной 1 мкм, осажденных на кремниевую подложку при распы- лении мишени состава 15% мол. TiC—85% мол. WC. Тк, К 350 570 770 870 1070 , рад 0,62 0,41 0,33 0,25 0,12/0,23 ВЛИЯНИЕ СОСТАВА КВАЗИБИНАРНОГО СЕЧЕНИЯ СИСТЕМЫ Ti—W—C 59 кации реакции карбидообразования на поверхности путем нагрева подложки до температуры, превышающей 720 К. Образование текстуры [110] по данным [11] отвечает некоторому ба- лансу между энергией деформации и поверхностной энергией, так как оба этих параметра для плоскости (110) по своим значениям находятся между соответствующими значениями для плоскостей (111) и (200). Таким образом, обобщая полученные для текстурного состояния покрытий данные, можно отметить, что текстура (111) с повышени- ем температуры подложки теряет свое совершенство, переходя в более устойчивую (110) или (100). Текстура (100) присуща покры- тиям с высоким содержанием карбида вольфрама. Ее появление в этом случае определяется деформационным фактором (минимумом энергии деформации кристаллической решетки при недостатке по углеродным атомам) [12]. Это, в частности, подтверждается повы- шением степени текстурированности (100) перед переходом в фазу с недостатком по углеродным атомам -W2C. При этом с увеличением Тк происходит усиление текстуры. В связи с незначительными изменениями атомного соотношения в пленках при большом содержании TiC-составляющей в темпера- турном интервале 570—970 К все наблюдаемые в них структурные изменения можно связать с кинетикой диффузионных процессов при осаждении. Это, в частности, подтверждается и тем фактом, что а б Рис. 6. Участки дифракционных спектров ионно-плазменных покрытий, полученных распылением мишеней состава 75% мол. TiC—25% мол. WC (а) и 90% мол. TiC—10% мол. WC (б), осажденных на полированную Si под- ложку при Тк, К: 1 – 570, 2 – 770, 3 – 970, 4 – 1070. 60 О. В. СОБОЛЬ, О. А. ШОВКОПЛЯС при нанесении на шероховатую бериллиевую подложку вплоть до максимально используемой в этом случае температуры подложки 970 К образование какого либо типа текстуры не наблюдается. Во всем температурном диапазоне отмечено формирование поликри- сталлических пленок без преимущественной ориентации роста. По угловой зависимости ширины дифракционных линий для кратных отражений был выполнен анализ субструктурных харак- теристик конденсированных материалов (размера кристаллитов – L, микродеформации – <>). Определение субструктурных характеристик для разных направлений дифракционного вектора возможно при использова- нии двух режимов съемки: «на отражение» и «на просвет» [13]. При использовании съемки «на отражение» покрытий среднего со- става 25% мол. WC—75% мол. TiC на бериллиевой подложке (когда дифракционный вектор перпендикулярен плоскости пленки, и мы получаем значение а), установлено, что при повышении темпера- туры осаждения покрытия от 570 до 970 К происходит увеличение размера кристаллитов в направлении падения пленкообразующих частиц от 6 нм при 570 К до 17 нм при 970 К. В то же время при съемке «на просвет» (когда дифракционный вектор лежит в плос- кости роста, и мы получаем значение a, т.е. в плоскости роста), значение размера кристаллитов в этом температурном интервале изменяется мало и находится в пределах 5,7—6,7 нм. Таким образом, наиболее чувствительным в области температур осаждения 570—970 К является размер кристаллитов в направле- нии падения пленкообразующего пучка частиц. В таблице 2 приве- дены характеристики субструктурного состояния покрытий тол- щиной около 1 мкм, полученных по схеме «на отражение» на крем- ниевых подложках для температур осаждения 520 и 870—970 К. Видно, что с ростом содержания TiC-составляющей происходит практически монотонное увеличение размера кристаллитов в ТАБЛИЦА 2. Субструктурные характеристики покрытий квазибинарной системы WC—TiC при разной температуре осаждения и разном составе. Тк, К WC 85% мол. WC— 15% мол. TiC 80% мол. WC— 20% мол. TiC 70% мол. WC— 30% мол. TiC 25% мол. WC— 75% мол. TiC 10% мол. WC— 90% мол. TiC L, нм <>, % L, нм <>, % L, нм <>, % L, нм <>, % L, нм <>, % L, нм <>, % 520 9 1,25 5,1 0,95 7,5 0,8 10 0,4 77 0,3 145 0,4 870— 970 4,1 0,88 4,5 0,8 22 0,7 70 0,3 57 0,25 200 0,4 ВЛИЯНИЕ СОСТАВА КВАЗИБИНАРНОГО СЕЧЕНИЯ СИСТЕМЫ Ti—W—C 61 направлении падения пленкообразующих частиц, т.е. развивается более совершенная волокнистая структура. С повышением темпе- ратуры осаждения этот процесс происходит более выражено, что проявляется в большей величине кристаллитов. Микродеформация как в случае относительно низкой, так и высокой температур оса- ждения имеет тенденцию к уменьшению с увеличением содержа- ния TiC-составляющей. 4. ВЫВОДЫ 1. Повышение относительного содержания атомов титана приводит к увеличению верхней границы температурной стабильности одно- фазного ((W, Ti)C твердый раствор) состояния конденсата, которая при соотношении атомов Ti/W  0,35 может превышать 1220 К. При температуре осаждения выше 1070 К и соотношении атомов Ti/W  0,25 происходит формирование многофазного конденсата, в котором кроме фаз -WC и TiC, образующихся в результате распада (W, Ti)C твердого раствора, содержатся и низшие по элементу внед- рения фазы на основе вольфрама, как элемента с наименьшей теп- лотой образования карбидов. 2. Для высокого содержания TiC-составляющей в квазибинарной системе WC—TiC, начиная с достаточно низкой температуры оса- ждения 570 К, что для указанных систем меньше 0,2Тпл, происхо- дит формирование текстуры с осью [111], перпендикулярной плос- кости роста. Увеличение температуры осаждения приводит к фор- мированию другого типа текстуры [110]. Этот процесс проходит че- рез стадию поликристаллического состояния пленки. В случае ма- лого содержания TiC-составляющей происходит формирование тек- стуры [100], степень совершенства которой повышается с увеличе- нием температуры осаждения. 3. Кристаллиты в покрытиях анизомерны. Повышение температу- ры осаждения стимулирует увеличение размера кристаллитов в направлении падения пленкообразующего пучка. 4. При увеличении от 10 до 85% мол. содержания WC-составляющей наноструктурное состояние характеризуется уменьшением размера кристаллитов от 145 до 5 нм и увеличением микродеформации с 0,4 до 0,95%. ЦИТИРОВАННАЯ ЛИТЕРАТУРА 1. Г. В. Самсонов, Г. Ш. Упадхая, В. С. Нешпор, Физическое материаловедение карбидов (Киев: Наукова думка: 1974). 2. І. Ф. Михайлов, О. М. Григор’єв, Ю. Г. Гогоці, А. Т. Пугачов, О. В. Соболь, З. І. Колупаева, Фундаментальні орієнтири науки (ФОН): Хімія та наукові основи перспективних технологій (Київ: Академперіодика: 2005), с. 327. 62 О. В. СОБОЛЬ, О. А. ШОВКОПЛЯС 3. Л. С. Палатник, М. Я. Фукс, В. М. Косевич, Механизм образования и суб- структура конденсированных пленок (Москва: Наука: 1972). 4. J. E. Krzanowski and J. L. Endrino, Mater. Lett., 58, No. 5: 3437 (2004). 5. L. I. Gladkikh, O. V. Sobol’, E. A. Sobol’, and A. A. Podteleznikov, Abstracts of Materials Research Society 2001 Fall Meeting (April 16—20, 2001) (San Francis- co: MRS: 2001), р. 274. 6. H. Romanus, V. Cimalla, J. A. Schaefer et al., Thin Solid Films, 359: 146 (2000). 7. O. V. Sobol, E. A. Sobol, L. I. Gladkikh, and A. N. Gladkikh, Functional Materi- als, 9, No. 3: 486 (2002). 8. Т. Б. Горбачева, Рентгенография твердых сплавов (Москва: Металлургия: 1986). 9. Г. В. Самсонов, И. Ф. Прядко, Л. Ф. Прядко, Конфигурационная модель веще- ства (Киев: Наукова думка: 1971). 10. O. V. Sobol’, Functional Materials, 14, No. 4: 436 (2007). 11. O. V. Sobol’, E. A. Sobol’, A. A. Podtelezhnikov, and S. T. Roshchenko, Func- tional Materials, 7, No. 2: 305 (2000). 12. О. В. Соболь, А. А. Андреев, С. Н. Григорьев и др., Металлофиз. новейшие технол., 35, № 4: 943 (2013). 13. O. V. Sobol’ and O. A. Shovkoplyas, Tech. Phys. Lett., 39, No. 6: 536 (2013). REFERENCES 1. G. V. Samsonov, G. Sh. Upadkhaya, and V. S. Neshpor, Fizicheskoe Materi- alovedenie Karbidov (Kiev: Naukova Dumka: 1974) (in Russian). 2. I. F. Mykhaylov, O. M. Hryhor’yev, Yu. H. Hohotsi, A. T. Puhachov, O. V. Sobol’, Z. I. Kolupaeva, Fundamental’ni Oriyentyry Nauky (FON): Khimiya тa Naukovi Osnovy Perspektyvnykh Tekhnolohiy (Kyiv: Akademperiodyka: 2005), р. 327 (in Ukrainian). 3. L. S. Palatnik, M. Ya. Fuks, and V. M. Kosevich, Mekhanizm Obrazovaniya i Substruktura Kondensirovannykh Plenok (Moscow: Nauka: 1972) (in Russian). 4. J. E. Krzanowski and J. L. Endrino, Mater. Lett., 58, No. 5: 3437 (2004). 5. L. I. Gladkikh, O. V. Sobol’, E. A. Sobol’, and A. A. Podteleznikov, Abstracts of Materials Research Society 2001 Fall Meeting (April 16—20, 2001) (San Francis- co: MRS: 2001), р. 274. 6. H. Romanus, V. Cimalla, J. A. Schaefer et al., Thin Solid Films, 359: 146 (2000). 7. O. V. Sobol, E. A. Sobol, L. I. Gladkikh, and A. N. Gladkikh, Functional Materi- als, 9, No. 3: 486 (2002). 8. T. B. Gorbacheva, Rentgenografiya Tvyordykh Splavov (Moscow: Metallurgiya: 1986) (in Russian). 9. G. V. Samsonov, I. F. Pryadko, L. F. Pryadko, Konfiguratsionnaya Model’ Veshchestva (Kiev: Naukova Dumka: 1971) (in Russian). 10. O. V. Sobol’, Functional Materials, 14, No. 4: 436 (2007). 11. O. V. Sobol’, E. A. Sobol’, A. A. Podtelezhnikov, and S. T. Roshchenko, Func- tional Materials, 7, No. 2: 305 (2000). 12. O. V. Sobol’, A. A. Andreev, S. N. Grigor’ev et al., Metallofiz. Noveishie Tekhnol., 35, No. 4: 943 (2013) (in Russian). 13. O. V. Sobol’ and O. A. Shovkoplyas, Tech. Phys. Lett., 39, No. 6: 536 (2013). << /ASCII85EncodePages false /AllowTransparency false /AutoPositionEPSFiles true /AutoRotatePages /None /Binding /Left /CalGrayProfile (Dot Gain 20%) /CalRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1) /CalCMYKProfile (U.S. Web Coated \050SWOP\051 v2) /sRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1) /CannotEmbedFontPolicy /Error /CompatibilityLevel 1.4 /CompressObjects /Tags /CompressPages true /ConvertImagesToIndexed true /PassThroughJPEGImages true /CreateJobTicket false /DefaultRenderingIntent /Default /DetectBlends true /DetectCurves 0.0000 /ColorConversionStrategy /CMYK /DoThumbnails false /EmbedAllFonts true /EmbedOpenType false /ParseICCProfilesInComments true /EmbedJobOptions true /DSCReportingLevel 0 /EmitDSCWarnings false /EndPage -1 /ImageMemory 1048576 /LockDistillerParams false /MaxSubsetPct 100 /Optimize true /OPM 1 /ParseDSCComments true /ParseDSCCommentsForDocInfo true /PreserveCopyPage true /PreserveDICMYKValues true /PreserveEPSInfo true /PreserveFlatness true /PreserveHalftoneInfo false /PreserveOPIComments true /PreserveOverprintSettings true /StartPage 1 /SubsetFonts true /TransferFunctionInfo /Apply /UCRandBGInfo /Preserve /UsePrologue false /ColorSettingsFile () /AlwaysEmbed [ true ] /NeverEmbed [ true ] /AntiAliasColorImages false /CropColorImages true /ColorImageMinResolution 300 /ColorImageMinResolutionPolicy /OK /DownsampleColorImages true /ColorImageDownsampleType /Bicubic /ColorImageResolution 300 /ColorImageDepth -1 /ColorImageMinDownsampleDepth 1 /ColorImageDownsampleThreshold 1.50000 /EncodeColorImages true /ColorImageFilter /DCTEncode /AutoFilterColorImages true /ColorImageAutoFilterStrategy /JPEG /ColorACSImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /ColorImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /JPEG2000ColorACSImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /JPEG2000ColorImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /AntiAliasGrayImages false /CropGrayImages true /GrayImageMinResolution 300 /GrayImageMinResolutionPolicy /OK /DownsampleGrayImages true /GrayImageDownsampleType /Bicubic /GrayImageResolution 300 /GrayImageDepth -1 /GrayImageMinDownsampleDepth 2 /GrayImageDownsampleThreshold 1.50000 /EncodeGrayImages true /GrayImageFilter /DCTEncode /AutoFilterGrayImages true /GrayImageAutoFilterStrategy /JPEG /GrayACSImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /GrayImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /JPEG2000GrayACSImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /JPEG2000GrayImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /AntiAliasMonoImages false /CropMonoImages true /MonoImageMinResolution 1200 /MonoImageMinResolutionPolicy /OK /DownsampleMonoImages true /MonoImageDownsampleType /Bicubic /MonoImageResolution 1200 /MonoImageDepth -1 /MonoImageDownsampleThreshold 1.50000 /EncodeMonoImages true /MonoImageFilter /CCITTFaxEncode /MonoImageDict << /K -1 >> /AllowPSXObjects false /CheckCompliance [ /None ] /PDFX1aCheck false /PDFX3Check false /PDFXCompliantPDFOnly false /PDFXNoTrimBoxError true /PDFXTrimBoxToMediaBoxOffset [ 0.00000 0.00000 0.00000 0.00000 ] /PDFXSetBleedBoxToMediaBox true /PDFXBleedBoxToTrimBoxOffset [ 0.00000 0.00000 0.00000 0.00000 ] /PDFXOutputIntentProfile () /PDFXOutputConditionIdentifier () /PDFXOutputCondition () /PDFXRegistryName () /PDFXTrapped /False /CreateJDFFile false /Description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> /CHS <FEFF4f7f75288fd94e9b8bbe5b9a521b5efa7684002000410064006f006200650020005000440046002065876863900275284e8e9ad88d2891cf76845370524d53705237300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c676562535f00521b5efa768400200050004400460020658768633002> /CHT <FEFF4f7f752890194e9b8a2d7f6e5efa7acb7684002000410064006f006200650020005000440046002065874ef69069752865bc9ad854c18cea76845370524d5370523786557406300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c4f86958b555f5df25efa7acb76840020005000440046002065874ef63002> /CZE <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> /DAN <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> /DEU <FEFF00560065007200770065006e00640065006e0020005300690065002000640069006500730065002000450069006e007300740065006c006c0075006e00670065006e0020007a0075006d002000450072007300740065006c006c0065006e00200076006f006e002000410064006f006200650020005000440046002d0044006f006b0075006d0065006e00740065006e002c00200076006f006e002000640065006e0065006e002000530069006500200068006f006300680077006500720074006900670065002000500072006500700072006500730073002d0044007200750063006b0065002000650072007a0065007500670065006e0020006d00f60063006800740065006e002e002000450072007300740065006c006c007400650020005000440046002d0044006f006b0075006d0065006e007400650020006b00f6006e006e0065006e0020006d006900740020004100630072006f00620061007400200075006e0064002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e00300020006f0064006500720020006800f600680065007200200067006500f600660066006e00650074002000770065007200640065006e002e> /ESP <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> /ETI <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> /FRA <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> /GRE <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a stvaranje Adobe PDF dokumenata najpogodnijih za visokokvalitetni ispis prije tiskanja koristite ove postavke. Stvoreni PDF dokumenti mogu se otvoriti Acrobat i Adobe Reader 5.0 i kasnijim verzijama.) /HUN <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> /ITA <FEFF005500740069006c0069007a007a006100720065002000710075006500730074006500200069006d0070006f007300740061007a0069006f006e00690020007000650072002000630072006500610072006500200064006f00630075006d0065006e00740069002000410064006f00620065002000500044004600200070006900f900200061006400610074007400690020006100200075006e00610020007000720065007300740061006d0070006100200064006900200061006c007400610020007100750061006c0069007400e0002e0020004900200064006f00630075006d0065006e007400690020005000440046002000630072006500610074006900200070006f00730073006f006e006f0020006500730073006500720065002000610070006500720074006900200063006f006e0020004100630072006f00620061007400200065002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000200065002000760065007200730069006f006e006900200073007500630063006500730073006900760065002e> /JPN <FEFF9ad854c18cea306a30d730ea30d730ec30b951fa529b7528002000410064006f0062006500200050004400460020658766f8306e4f5c6210306b4f7f75283057307e305930023053306e8a2d5b9a30674f5c62103055308c305f0020005000440046002030d530a130a430eb306f3001004100630072006f0062006100740020304a30883073002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee5964d3067958b304f30533068304c3067304d307e305930023053306e8a2d5b9a306b306f30d530a930f330c8306e57cb30818fbc307f304c5fc59808306730593002> /KOR <FEFFc7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c5ec0020ace0d488c9c80020c2dcd5d80020c778c1c4c5d00020ac00c7a50020c801d569d55c002000410064006f0062006500200050004400460020bb38c11cb97c0020c791c131d569b2c8b2e4002e0020c774b807ac8c0020c791c131b41c00200050004400460020bb38c11cb2940020004100630072006f0062006100740020bc0f002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e00300020c774c0c1c5d0c11c0020c5f40020c2180020c788c2b5b2c8b2e4002e> /LTH <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> /LVI <FEFF0049007a006d0061006e0074006f006a00690065007400200161006f00730020006900650073007400610074012b006a0075006d00750073002c0020006c0061006900200076006500690064006f00740075002000410064006f00620065002000500044004600200064006f006b0075006d0065006e007400750073002c0020006b006100730020006900720020012b00700061016100690020007000690065006d01130072006f00740069002000610075006700730074006100730020006b00760061006c0069007401010074006500730020007000690072006d007300690065007300700069006501610061006e006100730020006400720075006b00610069002e00200049007a0076006500690064006f006a006900650074002000500044004600200064006f006b0075006d0065006e007400750073002c0020006b006f002000760061007200200061007400760113007200740020006100720020004100630072006f00620061007400200075006e002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e0030002c0020006b0101002000610072012b00200074006f0020006a00610075006e0101006b0101006d002000760065007200730069006a0101006d002e> /NLD (Gebruik deze instellingen om Adobe PDF-documenten te maken die zijn geoptimaliseerd voor prepress-afdrukken van hoge kwaliteit. De gemaakte PDF-documenten kunnen worden geopend met Acrobat en Adobe Reader 5.0 en hoger.) /NOR <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> /POL <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> /PTB <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> /RUM <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> /RUS <FEFF04180441043f043e043b044c04370443043904420435002004340430043d043d044b04350020043d0430044104420440043e0439043a043800200434043b044f00200441043e043704340430043d0438044f00200434043e043a0443043c0435043d0442043e0432002000410064006f006200650020005000440046002c0020043c0430043a04410438043c0430043b044c043d043e0020043f043e04340445043e0434044f04490438044500200434043b044f00200432044b0441043e043a043e043a0430044704350441044204320435043d043d043e0433043e00200434043e043f0435044704300442043d043e0433043e00200432044b0432043e04340430002e002000200421043e043704340430043d043d044b04350020005000440046002d0434043e043a0443043c0435043d0442044b0020043c043e0436043d043e0020043e0442043a0440044b043204300442044c002004410020043f043e043c043e0449044c044e0020004100630072006f00620061007400200438002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e00300020043800200431043e043b043504350020043f043e04370434043d043804450020043204350440044104380439002e> /SKY <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> /SLV <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> /SUO <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> /SVE <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> /TUR <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> /UKR <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> /ENU (Use these settings to create Adobe PDF documents best suited for high-quality prepress printing. Created PDF documents can be opened with Acrobat and Adobe Reader 5.0 and later.) >> /Namespace [ (Adobe) (Common) (1.0) ] /OtherNamespaces [ << /AsReaderSpreads false /CropImagesToFrames true /ErrorControl /WarnAndContinue /FlattenerIgnoreSpreadOverrides false /IncludeGuidesGrids false /IncludeNonPrinting false /IncludeSlug false /Namespace [ (Adobe) (InDesign) (4.0) ] /OmitPlacedBitmaps false /OmitPlacedEPS false /OmitPlacedPDF false /SimulateOverprint /Legacy >> << /AddBleedMarks false /AddColorBars false /AddCropMarks false /AddPageInfo false /AddRegMarks false /ConvertColors /ConvertToCMYK /DestinationProfileName () /DestinationProfileSelector /DocumentCMYK /Downsample16BitImages true /FlattenerPreset << /PresetSelector /MediumResolution >> /FormElements false /GenerateStructure false /IncludeBookmarks false /IncludeHyperlinks false /IncludeInteractive false /IncludeLayers false /IncludeProfiles false /MultimediaHandling /UseObjectSettings /Namespace [ (Adobe) (CreativeSuite) (2.0) ] /PDFXOutputIntentProfileSelector /DocumentCMYK /PreserveEditing true /UntaggedCMYKHandling /LeaveUntagged /UntaggedRGBHandling /UseDocumentProfile /UseDocumentBleed false >> ] >> setdistillerparams << /HWResolution [2400 2400] /PageSize [612.000 792.000] >> setpagedevice
id	nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-106872
institution	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn	1024-1809
language	Russian
last_indexed	2025-12-07T16:33:35Z
publishDate	2014
publisher	Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
record_format	dspace
spelling	Соболь, О.В. Шовкопляс, О.А. 2016-10-08T08:55:42Z 2016-10-08T08:55:42Z 2014 Влияние состава квазибинарного сечения системы Ti—W—C на фазообразование, структуру и субструктуру полученных на её основе ионно-плазменных наноструктурных покрытий / О.В. Соболь, О.А. Шовкопляс // Металлофизика и новейшие технологии. — 2014. — Т. 36, № 1. — С. 49-62. — Бібліогр.: 13 назв. — рос. 1024-1809 PACS numbers: 61.05.cp, 64.60.My, 64.70.Nd, 68.55.jm, 81.07.Bc, 81.15.Cd DOI: http://dx.doi.org/10.15407/mfint.36.01.0049 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/106872 Изучены закономерности формирования фазового состава, структуры и субструктуры в покрытиях квазибинарного сечения системы Ti—W—C, полученных в неравновесных условиях из ионно-плазменных потоков. Вивчено закономірності формування фазового складу, структури й субструктури в покриттях квазибінарного перерізу системи Ti—W—C, одержаних у нерівноважних умовах з йонно-плазмових потоків. Regularities of phase composition, structure, and substructure in coatings of quasi-binary Ti—W—C system fabricated in non-equilibrium conditions from ion and plasma flows are studied. ru Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України Металлофизика и новейшие технологии Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов Влияние состава квазибинарного сечения системы Ti—W—C на фазообразование, структуру и субструктуру полученных на её основе ионно-плазменных наноструктурных покрытий Вплив складу квазибінарного перерізу системи Ti-W-C на фазоутворення, структуру і субструктуру отриманих на її основі йонно-плазмових наноструктурних покриттів Influence of Composition of Quasi-Binary Section of Ti—W—C System on Phase Formation, Structure, and Substructure of the Ion—Plasma Nanostructured Coatings Fabricated on Its Base Article published earlier
spellingShingle	Влияние состава квазибинарного сечения системы Ti—W—C на фазообразование, структуру и субструктуру полученных на её основе ионно-плазменных наноструктурных покрытий Соболь, О.В. Шовкопляс, О.А. Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов
title	Влияние состава квазибинарного сечения системы Ti—W—C на фазообразование, структуру и субструктуру полученных на её основе ионно-плазменных наноструктурных покрытий
title_alt	Вплив складу квазибінарного перерізу системи Ti-W-C на фазоутворення, структуру і субструктуру отриманих на її основі йонно-плазмових наноструктурних покриттів Influence of Composition of Quasi-Binary Section of Ti—W—C System on Phase Formation, Structure, and Substructure of the Ion—Plasma Nanostructured Coatings Fabricated on Its Base
title_full	Влияние состава квазибинарного сечения системы Ti—W—C на фазообразование, структуру и субструктуру полученных на её основе ионно-плазменных наноструктурных покрытий
title_fullStr	Влияние состава квазибинарного сечения системы Ti—W—C на фазообразование, структуру и субструктуру полученных на её основе ионно-плазменных наноструктурных покрытий
title_full_unstemmed	Влияние состава квазибинарного сечения системы Ti—W—C на фазообразование, структуру и субструктуру полученных на её основе ионно-плазменных наноструктурных покрытий
title_short	Влияние состава квазибинарного сечения системы Ti—W—C на фазообразование, структуру и субструктуру полученных на её основе ионно-плазменных наноструктурных покрытий
title_sort	влияние состава квазибинарного сечения системы ti—w—c на фазообразование, структуру и субструктуру полученных на её основе ионно-плазменных наноструктурных покрытий
topic	Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов
topic_facet	Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов
url	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/106872
work_keys_str_mv	AT sobolʹov vliâniesostavakvazibinarnogosečeniâsistemytiwcnafazoobrazovaniestrukturuisubstrukturupolučennyhnaeeosnoveionnoplazmennyhnanostrukturnyhpokrytii AT šovkoplâsoa vliâniesostavakvazibinarnogosečeniâsistemytiwcnafazoobrazovaniestrukturuisubstrukturupolučennyhnaeeosnoveionnoplazmennyhnanostrukturnyhpokrytii AT sobolʹov vplivskladukvazibínarnogopererízusistemitiwcnafazoutvorennâstrukturuísubstrukturuotrimanihnaííosnovíionnoplazmovihnanostrukturnihpokrittív AT šovkoplâsoa vplivskladukvazibínarnogopererízusistemitiwcnafazoutvorennâstrukturuísubstrukturuotrimanihnaííosnovíionnoplazmovihnanostrukturnihpokrittív AT sobolʹov influenceofcompositionofquasibinarysectionoftiwcsystemonphaseformationstructureandsubstructureoftheionplasmananostructuredcoatingsfabricatedonitsbase AT šovkoplâsoa influenceofcompositionofquasibinarysectionoftiwcsystemonphaseformationstructureandsubstructureoftheionplasmananostructuredcoatingsfabricatedonitsbase

Institution

Similar Items