Кинетика диспергирования—коагуляции при отжиге металлических наноплёнок, нанесённых на поверхность неметаллических материалов
Исследована кинетика процессов диспергирования—коагулирования наноплёнок различных металлов (Ag, Au, Cu, Nb, Hf) толщиной 100 нм, нанесённых на оксидные и неоксидные подложки и отожжённых в широком диапазоне температур от 600 до 1600°C. Предложено объяснение механизма распада металлических наноплёно...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Металлофизика и новейшие технологии |
|---|---|
| Дата: | 2014 |
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2014
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/106935 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Кинетика диспергирования—коагуляции при отжиге металлических наноплёнок, нанесённых на поверхность неметаллических материалов / Ю.В. Найдич, И.И. Габ, Т.В. Стецюк, Б.Д. Костюк // Металлофизика и новейшие технологии. — 2014. — Т. 36, № 4. — С. 519-530. — Бібліогр.: 19 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1859865480891727872 |
|---|---|
| author | Найдич, Ю.В. Габ, И.И. Стецюк, Т.В. Костюк, Б.Д. |
| author_facet | Найдич, Ю.В. Габ, И.И. Стецюк, Т.В. Костюк, Б.Д. |
| citation_txt | Кинетика диспергирования—коагуляции при отжиге металлических наноплёнок, нанесённых на поверхность неметаллических материалов / Ю.В. Найдич, И.И. Габ, Т.В. Стецюк, Б.Д. Костюк // Металлофизика и новейшие технологии. — 2014. — Т. 36, № 4. — С. 519-530. — Бібліогр.: 19 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Металлофизика и новейшие технологии |
| description | Исследована кинетика процессов диспергирования—коагулирования наноплёнок различных металлов (Ag, Au, Cu, Nb, Hf) толщиной 100 нм, нанесённых на оксидные и неоксидные подложки и отожжённых в широком диапазоне температур от 600 до 1600°C. Предложено объяснение механизма распада металлических наноплёнок с учётом процессов, происходящих на межфазной границе плёнка—твердофазная основа.
Досліджено кінетику процесів дисперґування—коаґулювання наноплівок різних металів (Ag, Au, Cu, Nb, Hf) завтовшки у 100 нм, яких нанесено на оксидні та неоксидні підложжя та відпалено в широкому діапазоні температур від 600 до 1600°C. Запропоновано пояснення механізму розпаду металевих наноплівок з урахуванням процесів, які відбуваються на міжфазній межі плівка—твердофазна основа.
Kinetics of dispergation—coagulation processes of various metal (Ag, Au, Cu, Nb, Hf) nanofilms of 100 nm thickness, which are deposited onto oxide and nonoxide substrates and are annealed in a wide range of temperatures from 600 up to 1600°C, is investigated. The explanation of metal-nanofilm decomposition mechanism with regard to the processes occurring in film—solid base interphase boundary is proposed.
|
| first_indexed | 2025-12-07T15:48:12Z |
| format | Article |
| fulltext |
519
МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПОВЕРХНОСТИ И ПЛЁНКИ
PACS numbers:68.08.Bc, 68.35.Np,68.37.Hk,68.37.Ps,68.55.-a,81.15.Jj, 82.70.-y
Кинетика диспергирования—коагуляции при отжиге
металлических наноплёнок, нанесённых на поверхность
неметаллических материалов
Ю. В. Найдич, И. И. Габ, Т. В. Стецюк, Б. Д. Костюк
Институт проблем материаловедения им. И. Н. Францевича НАН Украины,
ул. Кржижановского, 3,
03142 Киев, Украина
Исследована кинетика процессов диспергирования—коагулирования на-
ноплёнок различных металлов (Ag, Au, Cu, Nb, Hf) толщиной 100 нм,
нанесённых на оксидные и неоксидные подложки и отожжённых в широ-
ком диапазоне температур от 600 до 1600С. Предложено объяснение ме-
ханизма распада металлических наноплёнок с учётом процессов, проис-
ходящих на межфазной границе плёнка—твердофазная основа.
Досліджено кінетику процесів дисперґування—коаґулювання наноплівок
різних металів (Ag, Au, Cu, Nb, Hf) завтовшки у 100 нм, яких нанесено на
оксидні та неоксидні підложжя та відпалено в широкому діапазоні темпе-
ратур від 600 до 1600С. Запропоновано пояснення механізму розпаду ме-
талевих наноплівок з урахуванням процесів, які відбуваються на міжфа-
зній межі плівка—твердофазна основа.
Kinetics of dispergation—coagulation processes of various metal (Ag, Au, Cu,
Nb, Hf) nanofilms of 100 nm thickness, which are deposited onto oxide and
nonoxide substrates and are annealed in a wide range of temperatures from
600 up to 1600C, is investigated. The explanation of metal-nanofilm decom-
position mechanism with regard to the processes occurring in film—solid base
interphase boundary is proposed.
Ключевые слова: кинетика диспергирования и коагуляции, отжиг, нано-
плёнки.
(Получено 28 ноября 2013 г.)
1. ВВЕДЕНИЕ
При соединении многих неметаллических материалов, в частности ок-
Металлофиз. новейшие технол. / Metallofiz. Noveishie Tekhnol.
2014, т. 36, № 4, сс. 519—530
Оттиски доступны непосредственно от издателя
Фотокопирование разрешено только
в соответствии с лицензией
2014 ИМФ (Институт металлофизики
им. Г. В. Курдюмова НАН Украины)
Напечатано в Украине.
520 Ю. В. НАЙДИЧ, И. И. ГАБ, Т. В. СТЕЦЮК, Б. Д. КОСТЮК
сидной и неоксидной керамики, монокристаллов, углерода и материа-
лов на его основе часто используются металлические покрытия разных
толщин, нанесённые на неметаллические материалы [1—5]. Тонкие
плёнки металлов (в интервале нанотолщин), нанесённые на неметалли-
ческие неорганические материалы имеют первостепенное значение в
процессах соединения (пайки) неметаллов (керамика, стекло, моно-
кристаллы, углеродные материалы, сверхтвёрдые материалы). Метал-
лизация поверхностей таких материалов обеспечивает достаточное
смачивание их расплавленными металлами, что определяет саму тех-
нологическую возможность формирования паяного соединения, а так-
же обуславливает прочность и другие характеристики соединений.
Тонкие плёнки находят широкое применение в разных областях
науки и техники. По своей структуре и свойствам они могут суще-
ственным образом отличаться от своих массивных аналогов. Получе-
ние плёнок может быть выполнено различными методами, например,
химическим или электролитическим осаждением из раствора веще-
ства. В настоящей работе рассматриваются тонкие плёнки, получен-
ные при конденсации молекулярных (атомных) потоков вещества на
поверхности твёрдого тела [6]. Поскольку в процессе пайки или свар-
ки давлением детали, которые соединяются, должны быть нагретыми
до определённой температуры, важно знать характер поведения тон-
ких металлических плёнок при нагревании. Ранее мы исследовали
термодинамику процессов преобразования морфологии и структуры
металлических наноплёнок, нанесённых на оксидные и неоксидные
неметаллические материалы и отожжённых при разных температу-
рах [7—12], в результате чего было выявлено различие в поведении их
при отжиге. Первоначально сплошные металлические наноплёнки
могут оставаться таковыми и при высоких температурах, либо распа-
даться на отдельные фрагменты – островки, которые затем превра-
щаются в отдельные каплеобразные элементы, высота которых пре-
вышает первоначальную толщину исходной плёнки.
В данной работе исследовали кинетику, т.е. эволюцию во времени,
структурных изменений плёнки – от монолитного состояния к диспер-
гированию и дальнейшему коагулированию отдельных капель при от-
жиге плёнок ряда металлов (Cu, Ag, Au, Nb, Hf), которые были нанесе-
ны на разные оксидные и неоксидные материалы (алюмооксидная ке-
рамика, кварцевое стекло, сапфир, стеклоуглерод, нитрид кремния).
2. МАТЕРИАЛЫ И МЕТОДИКА ЭКСПЕРИМЕНТА
В данной работе использовали электронно-лучевой [13] метод нанесе-
ния плёнок серебра, золота, меди, ниобия и гафния толщиной 100 нм
на поверхности подложек, изготовленных из кварцевого стекла,
алюмооксидной керамики, технического лейкосапфира, стеклоугле-
рода и керамики на основе нитрида кремния. Поверхность неметал-
КИНЕТИКА ДИСПЕРГИРОВАНИЯ—КОАГУЛЯЦИИ НАНОПЛЁНОК 521
лических подложек полировали до шероховатости 0,01—0,02 мкм и
обезжиривали бензином и ацетоном. Подложки из оксидных матери-
алов отжигали на воздухе при температуре 1000С в течение часа. А
затем их вместе с подложками из стеклоуглерода и нитридокремние-
вой керамики отжигали в вакууме при такой же температуре также в
течение часа. Неметаллические образцы с нанесёнными на них метал-
лическими плёнками (кроме серебряных и золотых плёнок) отжигали
в вакууме 210
3
Па при температурах от 900С до 1600С в течение
разных промежутков времени от 2 мин до 20 мин. Образцы с серебря-
ными и золотыми плёнками отжигали на воздухе в интервале темпе-
ратур от 400С до 1100С, при этом время выдержки изменяли от 15 с
до 20 мин. Отожжённые металлические наноплёнки исследовали ме-
тодами оптической, электронной и атомно-силовой микроскопии, а
также методом измерения электропроводности плёнок, которому по-
свящён ряд работ [14—18]. Учитывая, что многие неметаллические
керамические материалы являются изоляторами с удельным электро-
сопротивлением 106—1012
Омм, удобным средством исследования
является измерение электропроводности плёнок металлов (неметал-
лическая основа плёнки не шунтирует проводимость плёнки).
Исследование электропроводности плёнок выполняли на образцах
из оксидоалюминиевой керамики размерами 40104 мм
3, на поли-
рованную поверхность которых наносили плёнку серебра толщиной
100 нм, а на её торцах были припаяны серебросодержащим припоем
платиновые выводы, идущие к измерительному прибору (омметру).
Полученные с помощью сканирующего электронного микроско-
па микрофотографии обрабатывали планиметрическим методом, а
именно, взвешиванием вырезанных изображений металлических
фрагментов и капель с целью определения величины площади об-
разца, занятой этими фрагментами в зависимости от температуры и
времени, что затем было интерпретировано графически.
3. РЕЗУЛЬТАТЫ ЭКСПЕРИМЕНТА И ИХ ОБСУЖДЕНИЕ
В результате отжига на всех неметаллических подложках происходи-
ло сначала диспергирование металлических плёнок вплоть до их пол-
ного распада при высоких температурах и длительных временах вы-
держки. В ряде случаев при длительных отжигах наблюдали коагу-
лирование фрагментов плёнок. В результате чего мелкие фрагменты
(«капли») собирались в более крупные (речь идёт о твёрдых «каплях»
металлов, поскольку температура отжига была намного ниже темпе-
ратуры плавления металлов) даже с учётом влияния на неё размеров
«капель». Наиболее ярко эти процессы проявились при отжиге на воз-
духе серебряных наноплёнок, нанесённых на оксидные материалы
(сапфир, кварцевое стекло, алюмооксидная керамика). Минимальная
температура, при которой начинается распад серебряных плёнок, со-
522 Ю. В. НАЙДИЧ, И. И. ГАБ, Т. В. СТЕЦЮК, Б. Д. КОСТЮК
ставляет 400С, а при 600С происходит активное коагулирование ка-
пель уже после 15 с выдержки. И на протяжении первых минут отжи-
га этот процесс практически завершается (рис. 1, 2).
В данной работе было исследовано изменение проводимости се-
ребряной наноплёнки толщиной 100 нм на керамике Al2O3 при от-
жиге на воздухе в зависимости от температуры отжига (рис. 3, а), а
также кинетика изменения проводимости плёнки при разных тем-
пературах (рис. 3, б).
Следует отметить стремительное уменьшение площади керами-
ки, покрытой плёнкой, в первые секунды-минуты отжига (рис. 2),
что практически совпадает со столь же резким падением проводи-
мости плёнки (рис. 3, б).
Медная (рис. 4, 5, а) и золотая (рис. 5, б) наноплёнки интенсивно
диспергируют при отжиге в вакууме лишь в интервале температур
900—1000С на всех исследованных неметаллах.
Ниобиевые (рис. 6, 7, а) и гафниевые (рис. 7, в) наноплёнки на
оксидах при отжиге в вакууме начинают распадаться только при
высоких температурах (1500С и выше). Эти плёнки на стеклоугле-
роде и нитридокремниевой керамике сохраняют свою сплошность
до температуры 1200С, а при дальнейшем повышении температу-
Рис. 1. Отожжённая на воздухе при 600С в течение различных времён плён-
ка серебра толщиной 100 нм на сапфире под сканирующим (а, б, г) 3000 и
атомно-силовым микроскопами (в): а– 30 с, б и в– 5мин, г– 20 мин.
КИНЕТИКА ДИСПЕРГИРОВАНИЯ—КОАГУЛЯЦИИ НАНОПЛЁНОК 523
ры отжига в них наблюдаются структурные изменения, очевидно в
результате взаимодействия металлов с поверхностями подложек.
В настоящей работе внимание было сосредоточено на анализе тер-
модинамических и кинетических свойств контактных систем плёнка
металла—неметаллическая основа. Рассмотрение ведётся преимуще-
ственно относительно адгезионного взаимодействия металл плёнки—
неметаллическое твёрдое тело. Если адгезия металла к неметалличе-
скому материалу WA меньше, чем когезия самого металла WK, со-
стояние сплошной плёнки на неметаллической поверхности термо-
динамически неустойчиво. По аналогии с жидким металлом устой-
чивость или неустойчивость плёнки определяется коэффициентом
растекания (KР) (по Гаркинсу):
KР WA WK; (1)
плёнка устойчива, если KР 0.
Металлические расплавы характеризуются в целом высоким по-
верхностным натяжением, и требуется весьма высокая адгезия,
чтобы смачиваемость неметалла металлическим расплавом была
достаточно хороша. Ряд металлов типа Cu, Ag, Au, Ni и др. образу-
ют достаточно большие краевые углы смачивания () оксидных ма-
териалов.
Вообще возможны такие случаи: 0, KР 0 – сплошная плёнка
металла на твёрдой поверхности устойчива; 0, краевой угол мо-
жет достигать 90 и более – плёнка неустойчива.
Работа адгезии жидкого металла записывается:
WA жг(1 cos), (2)
Рис. 2. Зависимость дисперсионно-коагуляционных процессов от времени
отжига в серебряных наноплёнках толщиной 100 нм, нанесённых на оксид-
ные материалы и отожжённыхпри 600Сна воздухе.
524 Ю. В. НАЙДИЧ, И. И. ГАБ, Т. В. СТЕЦЮК, Б. Д. КОСТЮК
где жг – величина поверхностного натяжения на границе раздела
жидкость—газ.
В свою очередь работа когезии записывается следующим образом:
WK 2жг. (3)
Исходя из формул (2) и (3) получаем формулу для определения
коэффициента растекания:
KР WA WK жг(cos 1). (4)
Все сказанное можно применить и к металлам в твёрдом состоя-
нии при условии достаточной подвижности их атомов, что реализу-
ется при повышенной температуре. При длительной выдержке кон-
тактной системы неметаллическая подкладка—металл, в конце
Рис. 3. Зависимость проводимости серебряной наноплёнки 100 нм толщи-
ной на Al2O3: а – от температуры отжига, б – от времени выдержки при
определённой температуре.
КИНЕТИКА ДИСПЕРГИРОВАНИЯ—КОАГУЛЯЦИИ НАНОПЛЁНОК 525
концов, должно установиться равновесное состояние (употребляет-
ся термин «твёрдое смачивание»). Эти соображения были рассмот-
рены нами ранее [8, 10] при исследовании морфологии плёнок с ис-
пользованием электронно-микроскопических методов.
Возможную причину резкого (в начале) падения электропровод-
Рис. 4. Плёнка меди толщиной 100 нм на сапфире, отожжённая в вакууме,
под сканирующим (а, в) 3000 и атомно-силовым микроскопами (б): а, б –
950С, 20 мин; в – 1000С, 5мин.
Рис. 5. Зависимость площади сапфира, покрытой металлической плёнкой, от
времени отжига при разных температурах (800—1100С):а–медь, б – золото.
526 Ю. В. НАЙДИЧ, И. И. ГАБ, Т. В. СТЕЦЮК, Б. Д. КОСТЮК
ности тонкой плёнки металла, нанесённой на поверхность неметал-
лического материала, при отжиге можно объяснить следующим об-
разом. При нанесении (электронно-лучевое испарение) металла и
его осаждении на твёрдой холодной поверхности и при достижении
толщины плёнки 100 нм уже наблюдается поликристаллическое
зёренное строение плёнки (данные электронографии).
При нагревании такой контактной системы плёнка—подкладка
до определённой температуры (ниже температуры плавления ме-
талла даже с учётом влияния размерного фактора – снижение тем-
пературы плавления малых по размеру частиц вещества) происхо-
дит процесс диспергирования плёнки металла. Причина – нерав-
новесное, неустойчивое состояние сплошной плёнки металла (меди,
серебра), т.е. KР 0, а краевой угол не равен нулю или даже больше
90. Механизм – при нагреве диффузионная подвижность атомов
металла приводит к образованию разрывов в плёнке, формирова-
нию отдельных утолщённых участков, а затем твёрдых «капель»
металла.
По аналогии со спеканием порошков, при котором в начальной
стадии происходит консолидация отдельных участков, объединя-
Рис. 6. Плёнка ниобия толщиной 100 нм на сапфире, отожжённая в вакуу-
ме, под сканирующим (а, б, в) и атомно-силовым микроскопами (г): а –
1500С, 5 мин, 3000; б – 1500С, 10 мин, 3000; в, г – 1600С, 20 мин,
10000.
КИНЕТИКА ДИСПЕРГИРОВАНИЯ—КОАГУЛЯЦИИ НАНОПЛЁНОК 527
ющих группу частиц и разуплотнение, нарушение контактов меж-
ду различными группами – это зональное групповое обособление
частиц. При этом пористость внутри группы [19] может быть нуле-
вая, а межгрупповая пористость – велика. Это приводит к разры-
вам между отдельными группами частиц. Необходимо заметить,
что рассматриваемые процессы происходят в твёрдой фазе (металл
плёнки), поэтому слово «капли» взято в кавычки. Вовсе не обяза-
тельно полагать, что нарушение сплошности плёнки происходит
только при её плавлении, как это предполагается в работе [18].
Кроме того немаловажным фактором в процессе разрушения пер-
воначальной целостности плёнки является существенное различие
в термических коэффициентах линейного расширения (ТКЛР) ме-
таллов и неметаллов, что проявляет себя при нагреве. Так, напри-
мер, ТКЛР серебра составляет 19,510
6
С1, а керамики Al2O3 –
810
6
С1.
Таким образом, следует считать, что в нашей работе предложен
отвечающей действительности механизм изменения электропро-
водности наноплёнок при отжиге их до температуры, при которой
диффузионная подвижность атомов металла достаточно велика.
При этом учитывается как основной адгезионно-капиллярно-твер-
дофазный фактор, так и дополнительный – поведение частиц спе-
кающегося тела в порошково-металлургических процессах (груп-
повое обособление многих частиц) и определённое отделение групп
частиц друг от друга.
Для практики очень важным является то обстоятельство, что ни-
обиевая и гафниевая наноплёнки на оксидных материалах сохра-
няют свою целостность вплоть до температуры 1400С. Это делает её
Рис. 7. Зависимость площади сапфира, покрытой плёнками тугоплавких ме-
таллов, от времени отжига при разных температурах (1400—1600С): а – нио-
бий, б – гафний.
528 Ю. В. НАЙДИЧ, И. И. ГАБ, Т. В. СТЕЦЮК, Б. Д. КОСТЮК
пригодной для металлизации керамических материалов с целью их
последующей высокотемпературной пайки и высокотемпературной
эксплуатации при рабочих температурах 1500С и выше.
4. ВЫВОДЫ
Установлено, что характер разрушения при отжиге всех исследо-
ванных плёнок практически одинаков. Он заключается в дисперги-
ровании первоначально сплошных плёнок на относительно круп-
ные фрагменты неправильной формы, которые затем дробятся на
более мелкие фрагменты и твёрдые капли, растущие ввысь и при-
обретающие все более правильную округлую форму. Это хорошо
видно на снимках, сделанных с помощью атомно-силового микро-
скопа (рис. 1, в и 4, б).
Исследование изменения проводимости при отжиге серебряных
наноплёнок показало, что проводимость последних находится прак-
тически в полном соответствии со степенью диспергирования плёнок
и соответственно функцией площади образца покрытой металлом.
Полученные результаты по диспергированию и коагулированию
металлических наноплёнок на неметаллических подложках явля-
ются значимыми при разработке технологических процессов со-
единения – пайки неметаллических материалов с металлами.
ЦИТИРОВАННАЯ ЛИТЕРАТУРА
1. G. Elssner, W. Diem, and J. Wallace, Materials of 17 University Conference on
Ceramics (July 28—August 1, 1980, Berkeley, California) (New York—London:
1981), p. 629.
2. W. X. Pan, T. Okamoto, and X. S. Ning, J. Mater. Sci., 29, No. 6: 1436 (1994).
3. B. J. Dalgleish, A. P. Tomsia, K. Nakashima, M. R. Locatelli, and A. M. Glae-
ser, Scr. Met. et Mater., 31, No 8: 1043 (1994).
4. M. Z.-C. Hu, R. D. Hunt, E. A. Payzant, and C. R. Hubbard, J. Amer. Ceram.
Soc., 82, No. 9: 2313 (1999).
5. R. R. Piticescu, C. Monty, D. Taloi, A. Motoc, and S. Axinte, J. Eur. Ceram.
Soc., 21, Iss. 10—11: 2057 (2001).
6. В. В. Новиков, Теоретические основы микроэлектроники (Москва: Высшая
школа: 1972).
7. Ю. В. Найдич, И. И. Габ, Б. Д. Костюк, Т. В. Стецюк, Д. И. Куркова, С. В.
Дукаров, В. Ю. Куликовский, А. А. Оноприенко, Адгезия расплавов и пайка
материалов, № 38: 69 (2005).
8. Ю. В. Найдич, И. И. Габ, Б. Д. Костюк, Т. В. Стецюк, Д. И. Куркова, С. В.
Дукаров, В. Ю. Куликовский, А. А. Оноприенко, Наноструктурное мате-
риаловедение, № 1: 31 (2006).
9. И. И. Габ, Б. Д. Костюк, Т. В. Стецюк, С. В. Дукаров, А. П. Крышталь, О. С.
Литвин, В. В. Пасичный, Адгезия расплавов и пайка материалов, № 40: 46
(2007).
КИНЕТИКА ДИСПЕРГИРОВАНИЯ—КОАГУЛЯЦИИ НАНОПЛЁНОК 529
10. Ю. В. Найдич, И. И. Габ, Б. Д. Костюк, Т. В. Стецюк, Д. И. Куркова, С. В.
Дукаров, Техника машиностроения, № 4: 13 (2006).
11. Ю. В. Найдич, И. И. Габ, Б. Д. Костюк, Т. В. Стецюк, Д. И. Куркова, С. В.
Дукаров, Доповіді Академії наук, № 35: 97 (2007).
12. Ю. В. Найдич, И. И. Габ, Б. Д. Костюк, Наносистеми, наноматеріали,
нанотехнології, 6, вип. 4: 1185 (2008).
13. С. Метфессель, Тонкие плёнки, их изготовление и измерение (Москва—
Ленинград: Госэнергоиздат: 1963).
14. С. В. Рябцев, О. А. Чувенкова, А. Е. Попов, Ф. М. Чернышев, Н. С. Рябцева,
Э. П. Домашевская, Конденсированные среды и межфазные границы, 14,
№ 3: 328 (2012).
15. Г. М. Абрамова, Н. И. Киселев, Г. С. Патрин, Г. А. Петраковский, Физика
твёрдого тела, 41, вып. 3: 380 (1999).
16. Ю. А. Быков, С. Д. Карпухин, Е. И. Газукина, Металловедение и термиче-
ская обработка металлов, № 6: 45 (2000).
17. М. А. Гавриленко, Н. А. Филатова, М. С. Бурметьева, Известия Томского
политехнического университета, 322, № 3: 42 (2013).
18. Д. Г. Громов, С. А. Гаврилов, Е. Н. Редичев, Р. М. Амосов, Физика твёрдого
тела, 49, вып. 1: 172 (2007).
19. М. Ю. Бальшин, С. С. Кипарисов, Основы порошковой металлургии
(Москва: Металлургия: 1978).
REFERENCES
1. G. Elssner, W. Diem, and J. Wallace, Materials of 17 University Conference on
Ceramics (July 28—August 1, 1980, Berkeley, California) (New York—London:
1981), p. 629.
2. W. X. Pan, T. Okamoto, and X. S. Ning, J. Mater. Sci., 29, No. 6: 1436 (1994).
3. B. J. Dalgleish, A. P. Tomsia, K. Nakashima, M. R. Locatelli, and
A. M. Glaeser, Scr. Met. et Mater., 31, No. 8: 1043 (1994).
4. M. Z.-C. Hu, R. D. Hunt, E. A. Payzant, and C. R. Hubbard, J. Amer. Ceram.
Soc., 82, No. 9: 2313 (1999).
5. R. R. Piticescu, C. Monty, D. Taloi, A. Motoc, and S. Axinte, J. Eur. Ceram.
Soc., 21, Iss. 10—11: 2057 (2001).
6. V. V. Novikov, Teoreticheskie Osnovy Mikroelektroniki (Moscow: Vysshaya
Shkola: 1972) (in Russian).
7. Yu. V. Naydich, I. I. Gab, B. D. Kostyuk, T. V. Stetsyuk, D. I. Kurkova,
S. V. Dukarov, V. Yu. Kulikovskiy, and A. A. Onoprienko, Adheziya Rasplavov
i Payka Materialov, No. 38: 69 (2005) (in Russian).
8. Yu. V. Naydich, I. I. Gab, B. D. Kostyuk, T. V. Stetsyuk, D. I. Kurkova,
S. V. Dukarov, V. Yu. Kulikovskiy, and A. A. Onoprienko, Nanostrukturnoe
Materialovedenie, No. 1: 31 (2006) (in Russian).
9. I. I. Gab, B. D. Kostyuk, T. V. Stetsyuk, S. V. Dukarov, A. P. Kryshtal’,
O. S. Litvin, and V. V. Pasichnyy, Adheziya Rasplavov i Payka Materialov,
No. 40: 46 (2007) (in Russian).
10. Yu. V. Naydich, I. I. Gab, B. D. Kostyuk, T. V. Stetsyuk, D. I. Kurkova, and
S. V. Dukarov, Tekhnika Mashinostroeniya, No. 4: 13 (2006) (in Russian).
11. Yu. V. Naydich, I. I. Gab, B. D. Kostyuk, T. V. Stetsyuk, D. I. Kurkova, and
530 Ю. В. НАЙДИЧ, И. И. ГАБ, Т. В. СТЕЦЮК, Б. Д. КОСТЮК
S. V. Dukarov, Dopovidi Akademiyi Nauk, No. 35: 97 (2007) (in Russian).
12. Yu. V. Naydich, I. I. Gab, and B. D. Kostyuk, Nanosistemi, Nanomateriali,
Nanotehnologii, 6, No. 4: 1185 (2008) (in Ukrainian).
13. S. Metfessel’, Tonkie Plenki, Ikh Izgotovlenie i Izmerenie (Moscow—Leningrad:
Gosehnergoizdat: 1963) (in Russian).
14. S. V. Ryabtsev, O. A. Chuvenkova, A. E. Popov, F. M. Chernyshev,
N. S. Ryabtseva, and E. P. Domashevskaya, Kondensirovannye Sredy i Mezh-
faznye Granitsy, 14, No. 3: 328 (2012) (in Russian).
15. G. M. Abramova, N. I. Kiselev, G. S. Patrin, and G. A. Petrakovskiy, Fizika
Tvyordogo Tela, 41, No. 3: 380 (1999) (in Russian).
16. Ju. A. Bykov, S. D. Karpukhin, and E. I. Gazukina, Metallovedenie i Termich-
eskaya Obrabotka Metallov, No. 6: 45 (2000) (in Russian).
17. M. A. Gavrilenko, N. A. Filatova, and M. S. Burmet’eva, Izvestiya Tomskogo
Politekhnicheskogo Universiteta, 322, No. 3: 42 (2013) (in Russian).
18. D. G. Gromov, S. A. Gavrilov, E. N. Redichev, and R. M. Amosov, Fizika
Tvyordogo Tela, 49, No. 1: 172 (2007) (in Russian).
19. M. Yu. Bal’shin and S. S. Kiparisov, Osnovy Poroshkovoy Metallurgii (Moscow:
Metallurgiya: 1978) (in Russian).
<<
/ASCII85EncodePages false
/AllowTransparency false
/AutoPositionEPSFiles true
/AutoRotatePages /None
/Binding /Left
/CalGrayProfile (Dot Gain 20%)
/CalRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1)
/CalCMYKProfile (U.S. Web Coated \050SWOP\051 v2)
/sRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1)
/CannotEmbedFontPolicy /Error
/CompatibilityLevel 1.4
/CompressObjects /Tags
/CompressPages true
/ConvertImagesToIndexed true
/PassThroughJPEGImages true
/CreateJobTicket false
/DefaultRenderingIntent /Default
/DetectBlends true
/DetectCurves 0.0000
/ColorConversionStrategy /CMYK
/DoThumbnails false
/EmbedAllFonts true
/EmbedOpenType false
/ParseICCProfilesInComments true
/EmbedJobOptions true
/DSCReportingLevel 0
/EmitDSCWarnings false
/EndPage -1
/ImageMemory 1048576
/LockDistillerParams false
/MaxSubsetPct 100
/Optimize true
/OPM 1
/ParseDSCComments true
/ParseDSCCommentsForDocInfo true
/PreserveCopyPage true
/PreserveDICMYKValues true
/PreserveEPSInfo true
/PreserveFlatness true
/PreserveHalftoneInfo false
/PreserveOPIComments true
/PreserveOverprintSettings true
/StartPage 1
/SubsetFonts true
/TransferFunctionInfo /Apply
/UCRandBGInfo /Preserve
/UsePrologue false
/ColorSettingsFile ()
/AlwaysEmbed [ true
]
/NeverEmbed [ true
]
/AntiAliasColorImages false
/CropColorImages true
/ColorImageMinResolution 300
/ColorImageMinResolutionPolicy /OK
/DownsampleColorImages true
/ColorImageDownsampleType /Bicubic
/ColorImageResolution 300
/ColorImageDepth -1
/ColorImageMinDownsampleDepth 1
/ColorImageDownsampleThreshold 1.50000
/EncodeColorImages true
/ColorImageFilter /DCTEncode
/AutoFilterColorImages true
/ColorImageAutoFilterStrategy /JPEG
/ColorACSImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/ColorImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/JPEG2000ColorACSImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/JPEG2000ColorImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/AntiAliasGrayImages false
/CropGrayImages true
/GrayImageMinResolution 300
/GrayImageMinResolutionPolicy /OK
/DownsampleGrayImages true
/GrayImageDownsampleType /Bicubic
/GrayImageResolution 300
/GrayImageDepth -1
/GrayImageMinDownsampleDepth 2
/GrayImageDownsampleThreshold 1.50000
/EncodeGrayImages true
/GrayImageFilter /DCTEncode
/AutoFilterGrayImages true
/GrayImageAutoFilterStrategy /JPEG
/GrayACSImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/GrayImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/JPEG2000GrayACSImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/JPEG2000GrayImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/AntiAliasMonoImages false
/CropMonoImages true
/MonoImageMinResolution 1200
/MonoImageMinResolutionPolicy /OK
/DownsampleMonoImages true
/MonoImageDownsampleType /Bicubic
/MonoImageResolution 1200
/MonoImageDepth -1
/MonoImageDownsampleThreshold 1.50000
/EncodeMonoImages true
/MonoImageFilter /CCITTFaxEncode
/MonoImageDict <<
/K -1
>>
/AllowPSXObjects false
/CheckCompliance [
/None
]
/PDFX1aCheck false
/PDFX3Check false
/PDFXCompliantPDFOnly false
/PDFXNoTrimBoxError true
/PDFXTrimBoxToMediaBoxOffset [
0.00000
0.00000
0.00000
0.00000
]
/PDFXSetBleedBoxToMediaBox true
/PDFXBleedBoxToTrimBoxOffset [
0.00000
0.00000
0.00000
0.00000
]
/PDFXOutputIntentProfile ()
/PDFXOutputConditionIdentifier ()
/PDFXOutputCondition ()
/PDFXRegistryName ()
/PDFXTrapped /False
/CreateJDFFile false
/Description <<
/ARA <FEFF06270633062A062E062F0645002006470630064700200627064406250639062F0627062F0627062A002006440625064606340627062100200648062B062706260642002000410064006F00620065002000500044004600200645062A064806270641064206290020064406440637062806270639062900200641064A00200627064406450637062706280639002006300627062A0020062F0631062C0627062A002006270644062C0648062F0629002006270644063906270644064A0629061B0020064A06450643064600200641062A062D00200648062B0627062606420020005000440046002006270644064506460634062306290020062806270633062A062E062F062706450020004100630072006F0062006100740020064800410064006F006200650020005200650061006400650072002006250635062F0627063100200035002E0030002006480627064406250635062F062706310627062A0020062706440623062D062F062B002E0635062F0627063100200035002E0030002006480627064406250635062F062706310627062A0020062706440623062D062F062B002E>
/BGR <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>
/CHS <FEFF4f7f75288fd94e9b8bbe5b9a521b5efa7684002000410064006f006200650020005000440046002065876863900275284e8e9ad88d2891cf76845370524d53705237300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c676562535f00521b5efa768400200050004400460020658768633002>
/CHT <FEFF4f7f752890194e9b8a2d7f6e5efa7acb7684002000410064006f006200650020005000440046002065874ef69069752865bc9ad854c18cea76845370524d5370523786557406300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c4f86958b555f5df25efa7acb76840020005000440046002065874ef63002>
/CZE <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>
/DAN <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>
/DEU <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>
/ESP <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>
/ETI <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>
/FRA <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>
/GRE <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>
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
/HRV (Za stvaranje Adobe PDF dokumenata najpogodnijih za visokokvalitetni ispis prije tiskanja koristite ove postavke. Stvoreni PDF dokumenti mogu se otvoriti Acrobat i Adobe Reader 5.0 i kasnijim verzijama.)
/HUN <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>
/ITA <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>
/JPN <FEFF9ad854c18cea306a30d730ea30d730ec30b951fa529b7528002000410064006f0062006500200050004400460020658766f8306e4f5c6210306b4f7f75283057307e305930023053306e8a2d5b9a30674f5c62103055308c305f0020005000440046002030d530a130a430eb306f3001004100630072006f0062006100740020304a30883073002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee5964d3067958b304f30533068304c3067304d307e305930023053306e8a2d5b9a306b306f30d530a930f330c8306e57cb30818fbc307f304c5fc59808306730593002>
/KOR <FEFFc7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c5ec0020ace0d488c9c80020c2dcd5d80020c778c1c4c5d00020ac00c7a50020c801d569d55c002000410064006f0062006500200050004400460020bb38c11cb97c0020c791c131d569b2c8b2e4002e0020c774b807ac8c0020c791c131b41c00200050004400460020bb38c11cb2940020004100630072006f0062006100740020bc0f002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e00300020c774c0c1c5d0c11c0020c5f40020c2180020c788c2b5b2c8b2e4002e>
/LTH <FEFF004e006100750064006f006b0069007400650020016100690075006f007300200070006100720061006d006500740072007500730020006e006f0072011700640061006d00690020006b0075007200740069002000410064006f00620065002000500044004600200064006f006b0075006d0065006e007400750073002c0020006b00750072006900650020006c0061006200690061007500730069006100690020007000720069007400610069006b007900740069002000610075006b01610074006f00730020006b006f006b007900620117007300200070006100720065006e006700740069006e00690061006d00200073007000610075007300640069006e0069006d00750069002e0020002000530075006b0075007200740069002000500044004600200064006f006b0075006d0065006e007400610069002000670061006c006900200062016b007400690020006100740069006400610072006f006d00690020004100630072006f006200610074002000690072002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e0030002000610072002000760117006c00650073006e0117006d00690073002000760065007200730069006a006f006d00690073002e>
/LVI <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>
/NLD (Gebruik deze instellingen om Adobe PDF-documenten te maken die zijn geoptimaliseerd voor prepress-afdrukken van hoge kwaliteit. De gemaakte PDF-documenten kunnen worden geopend met Acrobat en Adobe Reader 5.0 en hoger.)
/NOR <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>
/POL <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>
/PTB <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>
/RUM <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>
/RUS <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>
/SKY <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>
/SLV <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>
/SUO <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>
/SVE <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>
/TUR <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>
/UKR <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>
/ENU (Use these settings to create Adobe PDF documents best suited for high-quality prepress printing. Created PDF documents can be opened with Acrobat and Adobe Reader 5.0 and later.)
>>
/Namespace [
(Adobe)
(Common)
(1.0)
]
/OtherNamespaces [
<<
/AsReaderSpreads false
/CropImagesToFrames true
/ErrorControl /WarnAndContinue
/FlattenerIgnoreSpreadOverrides false
/IncludeGuidesGrids false
/IncludeNonPrinting false
/IncludeSlug false
/Namespace [
(Adobe)
(InDesign)
(4.0)
]
/OmitPlacedBitmaps false
/OmitPlacedEPS false
/OmitPlacedPDF false
/SimulateOverprint /Legacy
>>
<<
/AddBleedMarks false
/AddColorBars false
/AddCropMarks false
/AddPageInfo false
/AddRegMarks false
/ConvertColors /ConvertToCMYK
/DestinationProfileName ()
/DestinationProfileSelector /DocumentCMYK
/Downsample16BitImages true
/FlattenerPreset <<
/PresetSelector /MediumResolution
>>
/FormElements false
/GenerateStructure false
/IncludeBookmarks false
/IncludeHyperlinks false
/IncludeInteractive false
/IncludeLayers false
/IncludeProfiles false
/MultimediaHandling /UseObjectSettings
/Namespace [
(Adobe)
(CreativeSuite)
(2.0)
]
/PDFXOutputIntentProfileSelector /DocumentCMYK
/PreserveEditing true
/UntaggedCMYKHandling /LeaveUntagged
/UntaggedRGBHandling /UseDocumentProfile
/UseDocumentBleed false
>>
]
>> setdistillerparams
<<
/HWResolution [2400 2400]
/PageSize [612.000 792.000]
>> setpagedevice
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-106935 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1024-1809 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T15:48:12Z |
| publishDate | 2014 |
| publisher | Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Найдич, Ю.В. Габ, И.И. Стецюк, Т.В. Костюк, Б.Д. 2016-10-09T12:43:41Z 2016-10-09T12:43:41Z 2014 Кинетика диспергирования—коагуляции при отжиге металлических наноплёнок, нанесённых на поверхность неметаллических материалов / Ю.В. Найдич, И.И. Габ, Т.В. Стецюк, Б.Д. Костюк // Металлофизика и новейшие технологии. — 2014. — Т. 36, № 4. — С. 519-530. — Бібліогр.: 19 назв. — рос. 1024-1809 PACS: 68.08.Bc, 68.35.Np, 68.37.Hk, 68.37.Ps, 68.55.-a, 81.15.Jj, 82.70.-y DOI: http://dx.doi.org/10.15407/mfint.36.04.0519 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/106935 Исследована кинетика процессов диспергирования—коагулирования наноплёнок различных металлов (Ag, Au, Cu, Nb, Hf) толщиной 100 нм, нанесённых на оксидные и неоксидные подложки и отожжённых в широком диапазоне температур от 600 до 1600°C. Предложено объяснение механизма распада металлических наноплёнок с учётом процессов, происходящих на межфазной границе плёнка—твердофазная основа. Досліджено кінетику процесів дисперґування—коаґулювання наноплівок різних металів (Ag, Au, Cu, Nb, Hf) завтовшки у 100 нм, яких нанесено на оксидні та неоксидні підложжя та відпалено в широкому діапазоні температур від 600 до 1600°C. Запропоновано пояснення механізму розпаду металевих наноплівок з урахуванням процесів, які відбуваються на міжфазній межі плівка—твердофазна основа. Kinetics of dispergation—coagulation processes of various metal (Ag, Au, Cu, Nb, Hf) nanofilms of 100 nm thickness, which are deposited onto oxide and nonoxide substrates and are annealed in a wide range of temperatures from 600 up to 1600°C, is investigated. The explanation of metal-nanofilm decomposition mechanism with regard to the processes occurring in film—solid base interphase boundary is proposed. ru Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України Металлофизика и новейшие технологии Металлические поверхности и плёнки Кинетика диспергирования—коагуляции при отжиге металлических наноплёнок, нанесённых на поверхность неметаллических материалов Кінетика дисперґування—коаґуляції при відпалі металевих наноплівок, нанесених на поверхню неметалічних матеріалів Kinetics of Dispersion—Coagulation at Annealing of Metal Nanofilms Deposited on the Surface of Non-Metallic Materials Article published earlier |
| spellingShingle | Кинетика диспергирования—коагуляции при отжиге металлических наноплёнок, нанесённых на поверхность неметаллических материалов Найдич, Ю.В. Габ, И.И. Стецюк, Т.В. Костюк, Б.Д. Металлические поверхности и плёнки |
| title | Кинетика диспергирования—коагуляции при отжиге металлических наноплёнок, нанесённых на поверхность неметаллических материалов |
| title_alt | Кінетика дисперґування—коаґуляції при відпалі металевих наноплівок, нанесених на поверхню неметалічних матеріалів Kinetics of Dispersion—Coagulation at Annealing of Metal Nanofilms Deposited on the Surface of Non-Metallic Materials |
| title_full | Кинетика диспергирования—коагуляции при отжиге металлических наноплёнок, нанесённых на поверхность неметаллических материалов |
| title_fullStr | Кинетика диспергирования—коагуляции при отжиге металлических наноплёнок, нанесённых на поверхность неметаллических материалов |
| title_full_unstemmed | Кинетика диспергирования—коагуляции при отжиге металлических наноплёнок, нанесённых на поверхность неметаллических материалов |
| title_short | Кинетика диспергирования—коагуляции при отжиге металлических наноплёнок, нанесённых на поверхность неметаллических материалов |
| title_sort | кинетика диспергирования—коагуляции при отжиге металлических наноплёнок, нанесённых на поверхность неметаллических материалов |
| topic | Металлические поверхности и плёнки |
| topic_facet | Металлические поверхности и плёнки |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/106935 |
| work_keys_str_mv | AT naidičûv kinetikadispergirovaniâkoagulâciipriotžigemetalličeskihnanoplenoknanesennyhnapoverhnostʹnemetalličeskihmaterialov AT gabii kinetikadispergirovaniâkoagulâciipriotžigemetalličeskihnanoplenoknanesennyhnapoverhnostʹnemetalličeskihmaterialov AT stecûktv kinetikadispergirovaniâkoagulâciipriotžigemetalličeskihnanoplenoknanesennyhnapoverhnostʹnemetalličeskihmaterialov AT kostûkbd kinetikadispergirovaniâkoagulâciipriotžigemetalličeskihnanoplenoknanesennyhnapoverhnostʹnemetalličeskihmaterialov AT naidičûv kínetikadisperguvannâkoagulâcííprivídpalímetalevihnanoplívoknanesenihnapoverhnûnemetalíčnihmateríalív AT gabii kínetikadisperguvannâkoagulâcííprivídpalímetalevihnanoplívoknanesenihnapoverhnûnemetalíčnihmateríalív AT stecûktv kínetikadisperguvannâkoagulâcííprivídpalímetalevihnanoplívoknanesenihnapoverhnûnemetalíčnihmateríalív AT kostûkbd kínetikadisperguvannâkoagulâcííprivídpalímetalevihnanoplívoknanesenihnapoverhnûnemetalíčnihmateríalív AT naidičûv kineticsofdispersioncoagulationatannealingofmetalnanofilmsdepositedonthesurfaceofnonmetallicmaterials AT gabii kineticsofdispersioncoagulationatannealingofmetalnanofilmsdepositedonthesurfaceofnonmetallicmaterials AT stecûktv kineticsofdispersioncoagulationatannealingofmetalnanofilmsdepositedonthesurfaceofnonmetallicmaterials AT kostûkbd kineticsofdispersioncoagulationatannealingofmetalnanofilmsdepositedonthesurfaceofnonmetallicmaterials |