Структура и фотокаталитические свойства наноплёнок диоксида титана, осаждённых методом реактивного магнетронного напыления
Диоксид титана – один из немногих фотокатализаторов, не наносящих ущерба окружающей среде. Кроме того, он имеет ряд других интересных и привлекательных свойств для использования в промышленности. Мы описываем реактивное осаждение нанослоёв TiO₂ в цилиндрическом газовом магнетроне постоянного тока. П...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Металлофизика и новейшие технологии |
|---|---|
| Дата: | 2014 |
| Автори: | , , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2014
|
| Теми: | |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/106944 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Структура и фотокаталитические свойства наноплёнок диоксида титана, осаждённых методом реактивного магнетронного напыления / А.А. Гончаров, А.Н. Добровольский, Е.Г. Костин, И.С. Петрик, Е.К. Фролова // Металлофизика и новейшие технологии. — 2014. — Т. 36, № 5. — С. 613–632. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1859862232429494272 |
|---|---|
| author | Гончаров, А.А. Добровольский, А.Н. Костин, Е.Г. Петрик, И.С. Фролова, Е.К. |
| author_facet | Гончаров, А.А. Добровольский, А.Н. Костин, Е.Г. Петрик, И.С. Фролова, Е.К. |
| citation_txt | Структура и фотокаталитические свойства наноплёнок диоксида титана, осаждённых методом реактивного магнетронного напыления / А.А. Гончаров, А.Н. Добровольский, Е.Г. Костин, И.С. Петрик, Е.К. Фролова // Металлофизика и новейшие технологии. — 2014. — Т. 36, № 5. — С. 613–632. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Металлофизика и новейшие технологии |
| description | Диоксид титана – один из немногих фотокатализаторов, не наносящих ущерба окружающей среде. Кроме того, он имеет ряд других интересных и привлекательных свойств для использования в промышленности. Мы описываем реактивное осаждение нанослоёв TiO₂ в цилиндрическом газовом магнетроне постоянного тока. Полученные плёнки наноразмерных толщин исследовались с использованием атомно-силовой микроскопии, рамановской спектроскопии, эллипсометрии и оптической спектроскопии. Полученные результаты показали существенное влияние условий осаждения плёнок на их структуру, морфологию и фотокаталитическую активность.
Діоксид титану — один з небагатьох фотокаталізаторів, які не завдають шкоду навколишньому середовищу. Крім цього, він має низку інших цікавих та привабливих властивостей для використання в промисловості. Ми описуємо реактивне осадження наношарів TiO₂ в циліндричному газовому магнетроні постійного струму. Одержані плівки нанорозмірних товщин досліджувались з використанням еліпсометрії, Раманової спектроскопії, атомно-силової мікроскопії та методів оптичної спектроскопії. Одержані результати показали істотний вплив умов осадження плівок на їх структуру, морфологію та фотокаталітичні властивості.
Titanium dioxide is the environmentally friendly photocatalyst with many interesting and attractive properties for industrial applications. We describe the reactive deposition of TiO₂ nanofilms by inverted gas cylindrical DC magnetron. The obtained samples are characterized by means of ellipsometry, Raman spectroscopy, AFM, and optical spectroscopy. The results show that structure, morphology, and photocatalytic activity of films vary with the variation of deposition conditions.
|
| first_indexed | 2025-12-07T15:46:27Z |
| format | Article |
| fulltext |
613
PACS numbers:68.37.Ps, 68.47.Gh,68.55.J-,78.20.Ci,78.30.Hv,81.15.Gh, 82.50.-m
Структура и фотокаталитические свойства наноплёнок
диоксида титана, осаждённых методом реактивного
магнетронного напыления
А. А. Гончаров, А. Н. Добровольский, Е. Г. Костин
*, И. С. Петрик
**,
Е. К. Фролова
Институт физики НАН Украины,
пр. Науки, 46,
03028 Киев, Украина
*Институт ядерных исследований НАН Украины,
пр. Науки, 47,
03680 Киев, Украина
**Институт химии поверхности им. А. А. Чуйко НАН Украины,
ул. Генерала Наумова, 17,
03164 Киев, Украина
Диоксид титана – один из немногих фотокатализаторов, не наносящих
ущерба окружающей среде. Кроме того, он имеет ряд других интересных
и привлекательных свойств для использования в промышленности. Мы
описываем реактивное осаждение нанослоёв TiO2 в цилиндрическом газо-
вом магнетроне постоянного тока. Полученные плёнки наноразмерных
толщин исследовались с использованием атомно-силовой микроскопии,
рамановской спектроскопии, эллипсометрии и оптической спектроско-
пии. Полученные результаты показали существенное влияние условий
осаждения плёнок на их структуру, морфологию и фотокаталитическую
активность.
Діоксид титану — один з небагатьох фотокаталізаторів, які не завдають
шкоду навколишньому середовищу. Крім цього, він має низку інших ці-
кавих та привабливих властивостей для використання в промисловості.
Ми описуємо реактивне осадження наношарів TiO2 в циліндричному га-
зовому магнетроні постійного струму. Одержані плівки нанорозмірних
товщин досліджувались з використанням еліпсометрії, Раманової спект-
роскопії, атомно-силової мікроскопії та методів оптичної спектроскопії.
Одержані результати показали істотний вплив умов осадження плівок на
їх структуру, морфологію та фотокаталітичні властивості.
Titanium dioxide is the environmentally friendly photocatalyst with many
Металлофиз. новейшие технол. / Metallofiz. Noveishie Tekhnol.
2014, т. 36, № 5, сс. 613—632
Оттиски доступны непосредственно от издателя
Фотокопирование разрешено только
в соответствии с лицензией
2014 ИМФ (Институт металлофизики
им. Г. В. Курдюмова НАН Украины)
Напечатано в Украине.
614 А. А. ГОНЧАРОВ, А. Н. ДОБРОВОЛЬСКИЙ, Е. Г. КОСТИН и др.
interesting and attractive properties for industrial applications. We describe
the reactive deposition of TiO2 nanofilms by inverted gas cylindrical DC
magnetron. The obtained samples are characterized by means of ellipsome-
try, Raman spectroscopy, AFM, and optical spectroscopy. The results show
that structure, morphology, and photocatalytic activity of films vary with
the variation of deposition conditions.
Ключевые слова: наноплёнки, покрытия из диоксида титана, реактивное
магнетронное осаждение, фотокатализ.
(Получено 4 декабря 2013 г.)
1. ВВЕДЕНИЕ
В настоящее время становится совершенно ясным, что тонкие
пленки диоксида титана (TiО2) разных модификаций, благодаря
уникальным оптическим, химическим, электрофизическим и бак-
терицидным свойствам, имеют несомненную перспективу в новей-
ших технологиях 21 столетия и, прежде всего, в нанотехнологии.
Синтез пленок TiО2 возможен различными CVD (chemical vapour
deposition) и PVD (physical vapour deposition) методами, среди ко-
торых магнетронные методы напыления имеют безусловную пер-
спективу адаптации к синтезу наноразмерных пленок бинарных
соединений химически активных металлов [1]. В работе [2] газовый
разряд обращенного цилиндрического магнетрона постоянного то-
ка был использован для синтеза тонких пленок нитрида титана и
впервые был использован спектральный мониторинг параметров
плазмы в реальном масштабе времени. Данная работа является
адаптацией идей и методов, использованных в [2], с целью синтеза
наноразмерных пленок TiО2 с заданными функциональными свой-
ствами. В найденных экспериментальных условиях, обеспечиваю-
щих осаждение стехиометрического диоксида титана в обращенном
цилиндрическом газовом магнетроне, было рассмотрено влияние
плазмодинамических и плазмохимических параметров на структу-
ру и фотокаталитические свойства синтезируемых нанослоев. Оце-
нено влияние давления плазмообразующего газа и температуры
подложки на морфологию и структуру слоя. Измерена фотокатали-
тическая активность полученных образцов.
2. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ УСТАНОВКА И МЕТОДЫ
Эксперименты выполнены на лабораторном стенде с оригиналь-
ным, обращенным цилиндрическим газомагнетроном (ЦМ) посто-
янного тока. Схема экспериментальной установки с ЦМ представ-
лена на рис. 1. Вакуум в камере 1 обеспечивает вакуумный пост из
СТРУКТУРА И ФОТОКАТАЛИТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА НАНОПЛЁНОК 615
форвакуумной сборки АВР-60Р со скоростью откачки 60 л/с и вы-
соковакуумного турбомолекулярного безмасляного насоса ТМН-
500 с производительностью 500 л/с. Предельное значение вакуума в
камере составляло 1,3310
4
Па. ЦМ имеет цилиндрический катод
4, смонтированный жестко к стенкам камеры. При этом катод
электрически изолирован от камеры. Анодная 5 и магнитные 2 си-
стемы вращаются с одинаковой частотой 6 об/мин посредством
привода 6. Рабочее давление в камере в пределах 0,133—1,33 Па со-
здавалось системой напуска 7. Предусмотрен напуск в камеру одно-
временно нескольких газов. Можно напускать, например, рабочий
газ (аргон) одновременно с одним из реактивных газов: азотом или
кислородом. Напыляемый образец 8 опускается на время напыления
системой подачи образца 9 из зоны предварительного прогрева в
центр катодной полости магнетрона. Свечение активной зоны разря-
да 10 попадает на поворотный тубус 11. Со стороны разряда тубус
имеет защитную диафрагму с отверстием диаметром 2 мм, это защи-
щает поворотное зеркало от загрязнения материалом мишени. Такая
система позволяет вести исследования спектра плазмы в течение не-
скольких десятков часов. После прохождения тубуса свет попадает на
входное отверстие оптического волокна 12 выводящего сигнал на
оригинальный оптический прибор Plasma Spect 13. Полученные в
цифровом формате спектры передаются по универсальной, последо-
вательной шине (Universal Serial Bus, USB) 14 в электронную вычис-
лительную машину (ЭВМ) 15, где специально разработанная для ра-
боты с оптическими спектрами плазмы компьютерная программа
позволяет анализировать оптическое излучение газового разряда
магнетронного типа. Также, по USB-протоколу осуществляется
управление и настройка оптического прибора «Plasma Spect». Под-
ложки для нанесения пленок 8 во время напыления находятся в цен-
тральной части катодной полости ЦМ вблизи оси вращательной сим-
метрии.
Цилиндрический водоохлаждаемый катод из титана имеет внут-
ренний диаметр 230 мм и высоту 200 мм. Анодная система состоит
из 9 стержней диаметром 6 мм и высотой 140 мм, расположенных
на вращающемся основании. Анодная система выполнена из не-
магнитных материалов (молибдена (Mo) или нержавеющей стали).
Расстояние между катодом и анодами составляет 50 мм. Анодная
система электрически изолирована от камеры установки. На анод-
ном вращающемся основании находится электрически изолиро-
ванная магнитная система. Магнитная система имеет сложную
оригинальную конструкцию. Она состоит из постоянных SmCo
магнитов (101010 мм) марки КС-37, расположенных на цилин-
дрическом магнитопроводе, изготовленном из малоуглеродистой
стали Ст3. Необходимая конфигурация силовых линий магнитного
поля арочного типа над поверхностью катода обеспечивалась осо-
616 А. А. ГОНЧАРОВ, А. Н. ДОБРОВОЛЬСКИЙ, Е. Г. КОСТИН и др.
бым, зубчато-гребенчатым способом укладки магнитов. Два блока
магнитов в виде гребенки были вставлены друг в друга, что обеспе-
чивает образование интенсивной замкнутой многопетлевой плазмы
над поверхностью мишени. С учетом синфазного вращения магнит-
ной и анодной систем коэффициент эффективного использования
материала катода повышается в 2—3 раза по сравнению с аналогами
планарного типа. Катодная и анодная системы электрически изо-
лированы как от вакуумной камеры, так и от магнитной системы.
Максимальная мощность системы питания ЦМ 8 кВт при макси-
мальном постоянном токе 20 А. Система питания ЦМ настроена на
поддержание постоянного тока разряда.
Спектроскопические исследования плазмы магнетронного разря-
да были основаны на получении эмиссионных оптических спектров в
видимом диапазоне с помощью обзорного спектрометра с линейкой
из ПЗС-элементов. Оцифрованный таким образом спектр излучения
Рис. 1. Схема экспериментальной вакуумной установки цилиндрического
технологического магнетрона: 1 – вакуумная камера, 2 – магнитная си-
стема, 3 – ЦТМ, 4 – цилиндрический катод, 5 – анодная система, 6 –
привод вращения анодной и магнитной систем, 7 – система напуска газов,
8 – напыляемый образец, 9 – привод подачи образца, 10 – зона интенсив-
ного свечения разряда, 11 – поворотный тубус, 12 – оптическое волокно,
13 – оптический прибор «Plasma Spect», 14 – USB-кабель, 15 – ЭВМ.
СТРУКТУРА И ФОТОКАТАЛИТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА НАНОПЛЁНОК 617
передается для дальнейшей обработки на ЭВМ. Прибор позволяет
аппаратно исследовать спектр в диапазоне от 350 до 820 нм с разре-
шением 0,6 нм и временем экспозиции от 5 мс до 10 с (есть возмож-
ность аппаратного усреднения получаемого спектра в серии измере-
ний). Прибор имеет входную щель шириной 50 мкм, дифракцион-
ную решетку с 600 штрихами на миллиметр, фокусное расстояние
75 мм, детектор ILX554B (Sony ПЗС-линейка с 2048 пикселями).
Для анализа спектра магнетронной плазмы используется специ-
альное программное обеспечение собственной разработки. Помимо
стандартных для этого класса программ функций, наше программное
обеспечение позволяет отслеживать поведение четырёх выбранных
линий спектра во времени и от заданных параметров разряда. Слеже-
ние за выбранными линиями можно было производить как по пико-
вой, так и по интегральной интенсивности выбранных линий, что
оказалось весьма плодотворным нововведением в случае мониторинга
магнетронной плазмы, особенно в режиме реактивного магнетронно-
го напыления. Кроме того, имеется возможность контроля отклоне-
ния интенсивности выбранных, характерных для процесса напыле-
ния, линий от их заданной интенсивности с течением времени.
Измерение спектров комбинационного рассеяния пленок выпол-
нялось на спектрометре T-64000 Horiba Jobin-Yvon в геометрии об-
ратного рассеяния при комнатной температуре. Для возбуждения
колебаний использовалась линия 488,0 нм Ar—Kr ионного лазера.
Морфология поверхности пленок и ее шероховатость изучались на
атомно-силовом микроскопе NanoScope IIIa Dimension 3000. Толщи-
на и показатель преломления пленок измерялись методом многоуг-
ловой эллипсометрии на эллипсометре ЛЕФ-3М-1 ( 632,8 нм). Фо-
токаталитические характеристики пленок оценивались по скоро-
сти реакции восстановления шестивалентного хрома до трехва-
лентного. Фотореакцию осуществляли в кварцевом реакторе с во-
дяным контуром и термостатом при УФ излучении ртутной лампы
высокого давления ПРК-1000 и постоянной температуре 20C. Вод-
ный раствор K2Cr2O7 (210
4
моль/л) и донора электронов ЕДТА
(10
4
моль/л) перед фотореакцией доводили до рН 1, прикапывая к
нему HClO4. При данном рН отсутствует адсорбция ионов хрома на
поверхность пленки ТіО2. Эффективность реакции оценивали по па-
дению интенсивности полосы поглощения ионов Cr(6) ( 350 нм) в
оптическом спектре облучаемого раствора. Кинетические кривые
строили как зависимость отношения интенсивности полосы погло-
щения 350 нм в процессе фотореакции к ее интенсивности до об-
лучения от времени фотореакции (А/А0 f(t)).
3. РЕЗУЛЬТАТЫ И ОБСУЖДЕНИЕ
В ходе реактивного магнетронного синтеза бинарных соединений
618 А. А. ГОНЧАРОВ, А. Н. ДОБРОВОЛЬСКИЙ, Е. Г. КОСТИН и др.
металлов с химически активными газами могут существенно ме-
няться условия в разрядном промежутке и, как следствие, условия
синтеза покрытия. Для получения качественных покрытий малой
толщины, особенно в нанометровом диапазоне, очень важно иметь
метод контроля условий в разряде в реальном режиме времени с
минимальной инерционностью. Контроль давления реактивного га-
за с помощью вакуумметра в этом случае затруднен, так как оно по-
чти на порядок меньше, чем давление инертного плазмообразующего
газа. Кроме того, манометрические методы имеют инерционность,
связанную со стабилизацией переходных процессов в измеритель-
ных цепях и электрических датчиках давления. В то же время, хо-
рошо известно, что контролировать концентрацию газов в разряде
можно по интенсивности излучения определенных линий спектра
плазмы в оптическом диапазоне. Учитывая практически отсутству-
ющую инерционность в случае работы с оптическими сигналами, мы
получаем необходимый бесконтактный метод в виде метода кон-
троля эмиссионных спектров газового магнетронного разряда.
С помощью описанной выше методики нами были исследованы
эмиссионные спектры плазмы газового разряда в обращенном цилин-
дрическом газовом магнетроне постоянного тока. В ходе эксперимен-
тов были обнаружены зависимости между составом спектра и харак-
теристиками получаемых пленок, а также связь между значением
интенсивности линий излучения и плазмодинамическими условиями
в разряде. Так установлено наличие гистерезиса интенсивности излу-
чения линий Tі, O, Ar при изменении тока разряда в присутствии до-
бавок кислорода. Гистерезис наблюдается также для вольт-амперных
характеристик (ВАХ) разряда. На рисунке 2 представлен пример ги-
стерезиса ВАХ обращенного цилиндрического магнетрона в присут-
ствии добавок кислорода, а на рис. 3 – гистерезис интенсивности из-
лучения линий Tі, O, Ar от тока разряда. Поток кислорода указан в
относительных единицах пропускного отверстия клапана напуска
газа. Стрелками указано направление изменения тока разряда. Зна-
чение потока кислорода в отн. ед. отвечает парциальному давлению
кислорода в отсутствии разряда: 4 (60 отн. ед.) – 2,510
4
торр, 3 (58
отн. ед.) – 2,310
4
торр, 2 (56,5 отн. ед.) – 2,110
4
торр. Кривая 1
(0 отн. ед.) отвечает ВАХ в тренированной системе без напуска кис-
лорода. Видно, что при отсутствии кислорода гистерезиса нет.
Из рисунка 2 видно, что со снижением разрядного тока напряже-
ние на разряде не снижается (кривые для потоков кислорода 60, 58, и
56,5 отн. ед.), как это происходит на ВАХ в отсутствии кислорода
(кривая 1). Наоборот, при достаточном снижении разрядного тока,
напряжение скачкообразно возрастает до максимума, после прохож-
дения которого снижается вместе с разрядным током. В момент про-
хождения максимума Up происходит также скачок давления кисло-
рода и рост интенсивности излучения линии атомарного кислорода
СТРУКТУРА И ФОТОКАТАЛИТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА НАНОПЛЁНОК 619
777,2 нм, что регистрирует оптический спектрометр (см. рис. 3).
Рост интенсивности излучения линии атомарного кислорода
возможен при условии роста парциального давления кислорода в
Рис. 2. ВАХ обращенного цилиндрического магнетрона, которые демон-
стрируют гистерезис при различных потоках кислорода в вакуумную ка-
меру: 1 – без напуска кислорода, 2 – 56,5 отн. ед., 3 – 58 отн. ед., 4 –
60 отн. ед. Заполненные маркеры на кривых – для направления в сторону
уменьшения Ір, пустые маркеры – для направления в сторону увеличения
Ір. Направление изменения тока дополнительно указано стрелками.
Рис. 3. Гистерезис интенсивности излучения линий Tі – 465,6 нм, ато-
марного кислорода O – 777,2 нм, Ar(1) – 812,9 нм, Ar(2) – 753,7 нм и
напряжения разряда Up от тока разряда для потока кислорода 56,5 отн. ед.
Остальные обозначения как на рис. 2.
620 А. А. ГОНЧАРОВ, А. Н. ДОБРОВОЛЬСКИЙ, Е. Г. КОСТИН и др.
камере и свидетельствует об окончании насыщения кислородом
осаждаемой пленки (т.е. образованию в пленке соединения TіО2,
которое является высшим окислом) и одновременном прекращении
откачки кислорода этой пленкой. Резкое падение интенсивности
излучения линии титана в этом же месте ВАХ свидетельствует о
снижении концентрации атомов Tі в плазме. Такая ситуация может
быть вызвана несколькими факторами. Известно, что хемосорбция
кислорода на поверхности катода сильно уменьшает [3] коэффици-
ент распыления атомов Ti с окисленной поверхности. Согласно [3],
коэффициент распыления атомов Tі составляет 0,3 атома/ион и
0,015 атома/ион для распыления металлического титана и его ди-
оксида соответственно, при энергии ионов аргона 300 эВ. Это вы-
звано более высокой энергией связи Ti—О, чем Ti—Ti.
Ионы кислорода, участвуя в формировании тока разряда, сни-
жают эффективность распыления титана из катода. Их атомная
масса меньше, чем у ионов аргона (масса аргона – 40 а.е.м., кисло-
рода – 32 а.е.м.). При замене части ионов на ионы меньшей массы
происходит уменьшение коэффициента распыления, который зави-
сит от массы бомбардирующих ионов. И, наконец, атомы кислорода
подвергаются преимущественному выбиванию из поверхности
окисленного катода, так как они, в свою очередь, легче атомов ти-
тана. Это установлено, в частности, в работе [4] во время распыле-
ния TіО2 в Ar при энергиях 10 В—2 кВ. Перечисленные факторы
уменьшают относительное количество титана в плазме.
Таким образом, при снижении величины тока после момента
прохождения максимума напряжения, катод является окисленным
и изменяется его коэффициент вторичной ионно-электронной эмис-
сии (ВИЭЭ). Коэффициент ВИЭЭ окисленного Tі меньше, чем ме-
таллического ( 0,06 и 0,114 соответственно) [5]. Уменьшение ко-
личества вторичных электронов, которые создают ионизацию, ве-
дет к уменьшению концентрации ионов в разрядном промежутке.
Вследствие уменьшения носителей тока растет сопротивление раз-
рядного промежутка. Поддержка постоянного разрядного тока в
данном случае приводит к росту Uр.
Из рисунка 2 видно, что напряжение при окисленном катоде (после
момента прохождения максимума напряжения) всегда выше, чем при
отсутствии кислорода. Расхождение в напряжениях для неокисленно-
го и окисленного катода из-за изменения коэффициента ВИЭЭ удается
выявить вследствие реакции источника питания, настроенного на ре-
жим поддержания разрядного тока. В случае источника питания, ста-
билизированного по мощности, такая картина не наблюдается.
Если после полного окисления катода, которое на рисунке 2
наблюдается при наименьших токах разряда, идти от малых значе-
ний Ір в сторону увеличения тока, то напряжение разряда растет с
током почти одинаково (обратный ход кривых 2—4 на рис. 2) для
СТРУКТУРА И ФОТОКАТАЛИТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА НАНОПЛЁНОК 621
всех потоков кислорода, и кривые близки друг к другу вплоть до
момента начала очищения поверхности катода от окисла. Это сви-
детельствует, вероятно, об одинаковом состоянии окисленной по-
верхности катода. Начало очищения поверхности катода от окисла
происходит при большем токе, чем больше поток кислорода.
Из рисунка 2 видно, что особые точки на всех кривых совпадают
по току разряда. Это указывает на возможность контролировать
процесс осаждения пленки по таким кривым. Для заданного значе-
ния потока кислорода можно определить, при каких токах разряда
будут осаждаться пленки с недостатком кислорода или окисленные
полностью (стехиометрические).
Отметим одну особенность поведения интенсивностей линий из-
лучения аргона на рис. 2. Значения интенсивности линии излуче-
ния для неокисленного катода меньше, чем для окисленного при
одинаковых разрядных токах. Этот факт можно объяснить пусть и
слабой, но не равной нулю, откачкой аргона титаном при распыле-
нии неокисленного катода. По мере восстановления металлическо-
го состояния катода при больших токах обе кривые для аргона сли-
ваются. Такое поведение линий аргона указывает на то, что при-
вязка интенсивности излучения других линий к интенсивности ли-
ний аргона, может привести к возникновению неоднозначности.
Кроме гистерезиса зависимостей от тока разряда, в цилиндриче-
ском магнетроне наблюдается и гистерезис интенсивности излуче-
ния линий Tі, O, Ar и напряжения на разряде Up от потока кислоро-
да. На рисунке 4 представлен гистерезис напряжения на разряде от
потока кислорода в условиях удержания постоянного тока разряда.
Стрелки показывают направление изменения потока кислорода.
При осаждении стехиометрических пленок диоксида титана,
Рис. 4. Гистерезис напряжения на разряде от потока кислорода в камеру.
622 А. А. ГОНЧАРОВ, А. Н. ДОБРОВОЛЬСКИЙ, Е. Г. КОСТИН и др.
прежде всего, была определена зависимость между толщиной плен-
ки и временем напыления для фиксированных условий осаждения.
Условия соответствуют получению высшего оксида титана. Резуль-
тат, полученный методами эллипсометрии, представлен на рис. 5.
Из результатов измерений видно, что толщина пленки с хорошей точ-
ностью пропорциональна времени напыления. Скорость набора тол-
щины для всех временных промежутков составляет примерно
5 нм/мин. Такая скорость напыления позволяет довольно точно изме-
нять толщину образцов и помогает при последующих расчетах харак-
теристик полученных слоев. Для анализа однородности пленок изме-
ряли n и d в нескольких точках на поверхности образца. Значения n и
d, обычно, совпадали с точностью не хуже 0,8% для n и не расходи-
лись более чем на 1,2% для d, для образцов площадью 33 см
2. На
плоских образцах с большей площадью ошибка могла быть значи-
тельно большей, что связано с сильным изменением расстояния до ка-
тода ЦМ для разных точек подложки. Осаждение пленок выполня-
лось на подложки, находящиеся при комнатной температуре и выше.
Анализ фазового состава и оценка усредненного размера зерна в на-
но-TiO2-пленках, полученных при напылении на разные подложки
(стекло, кварц), выполнялись путем обработки раман-спектров образ-
цов, полученных в соответствующих экспериментальных условиях.
На рисунке 6 представлены два характерных рамановских спек-
тра рассеяния света TiO2-пленками на стекле, осажденными при
одинаковых условиях в разряде, но при разных температурах под-
ложек. Первый – бесструктурный – практически совпадает со
спектром аморфных порошков двуокиси титана [6], а второй имеет
хорошо выраженную структуру, соответствующую кристалличе-
Рис. 5. Зависимость толщины пленки TiO2 от времени напыления.
СТРУКТУРА И ФОТОКАТАЛИТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА НАНОПЛЁНОК 623
ской форме TiO2-анатазу (см. ниже).
Мы исследовали влияние давления газовой смеси в разряде на
характеристики получаемых пленок в диапазоне давлений от 310
3
до 1310
3
торр. Поскольку для пленок, осажденных при комнатной
температуре, характерна аморфная фаза оксида титана, влияние
давления на структуру и свойства пленок мы исследовали для тем-
ператур подложки от 400C и выше. При изучении влияния темпе-
ратуры подложки на свойства пленок все образцы после окончания
процесса до полного остывания выдерживались в той же газовой
среде по давлению кислорода, что и при осаждении. Так поступали,
чтобы избежать изменения количества кислорода в образце TiO2 из-
за его нахождения в вакууме в разогретом состоянии.
На рисунке 7 представлены рамановские спектры рассеяния це-
ликом (а) и вырезка (б) части спектра в области частотного положе-
ния линии Eg(1). Спектры получены для пленок TiO2, осажденных
на подогретую до 400C подложку и давлении аргона 310
3, 510
3,
Рис. 6. Рамановские спектры образцов для пленок диоксида титана.
Спектр пленки TіО2, осажденной при температуре окружающей среды:
спектр аморфной пленки без спектра стеклянной подложки (нижняя кри-
вая), спектр пленки TіО2 осажденный в тех же условиях на подложку с
температурой выше 380C (верхняя кривая).
624 А. А. ГОНЧАРОВ, А. Н. ДОБРОВОЛЬСКИЙ, Е. Г. КОСТИН и др.
910
3
торр. Эти спектры очень похожи на спектр массивного моно-
кристалла анатаза с характерными для этой модификации линия-
ми Eg(1) вблизи 144 см
1, Eg(3) вблизи 639 см
1, B1g(1) вблизи
399 см
1, B1g(2) вблизи 519 см
1, A1g вблизи 513 см
1. B1g(2) и A1g
образуют совместный пик (B1g(2) A1g) около 516 см
1, который не
разделяется при комнатной температуре. Пик Eg(2) в районе
197 см
1
имеет малую интенсивность и для наноразмерных объектов
не проявляется. Однако точного совпадения нет, а наблюдается
«синий» сдвиг в положении всех зарегистрированных линий, и этот
сдвиг уменьшается с уменьшением давления (см. ниже). Последнее
характерно для ситуации мелкозернистой кристаллизации образ-
ца. Полученные значения для частоты линии и ее полуширина G
для Eg(1) выглядят следующим образом:
PAr 310
3
торр, 153,3 см
1, G 26,9 см
1,
PAr 510
3
торр, 156,5 см
1, G 27 см
1,
PAr 910
3
торр, 156,5 см
1, G 27,3 см
1.
Уменьшение фона под линией Eg(1) и одновременное уменьшение
«синего» сдвига с уменьшением давления можно объяснить тем, что
доля объемной части аморфной фазы в пленке уменьшается, пленка
становится более плотной, с одновременным укрупнением кристалли-
тов. Оценочные размеры кристаллитов, полученные из ширины и по-
ложения линии Eg(1) находятся в пределах от 2 до 6 нм. Видно, что
более заметное изменение в значении с изменением давления проис-
ходит при снижении давления аргона PAr от 510
3
до 310
3
торр.
Исходя из положений газокинетической теории, можно оценить
а б
Рис. 7. Рамановские спектры пленок TiO2, полученных при 400C и давле-
нии аргона 310
3, 510
3, 910
3
торр: полные спектры (а), часть спектров в
области частотного положения линии Eg(1) (б).
СТРУКТУРА И ФОТОКАТАЛИТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА НАНОПЛЁНОК 625
количество атомов титана достигающих подложки без столкнове-
ний (в нашем случае подложка расположена на расстоянии 8 см от
источника). Для температуры газа аргона 300 К мы получим сле-
дующие значения: 4,6% для 2,510
3
торр, 0,21% для 510
3
торр и
0,0015% для 910
3
торр. Таким образом, заметный вклад в форми-
рование структуры пленки кинетическая энергия частиц будет вно-
сить лишь для давлений ниже 2,510
3
торр. Это может пояснить
разницу в изменении «синего» сдвига линии Eg(1).
В ситуации разогрева газа до 500 К имеем уже другую картину. Нуж-
но так же отметить, что в отсутствии внешнего подогрева, подложка в
разряде имеет близкую температуру. Те же оценки уже дадут значения:
15,8% для 2,510
3
торр, 2,5% для 510
3
торр и 0,13% для 910
3
торр.
На рисунке 8 представлены нормированные на максимум линии
Eg(1) рамановских спектров рассеяния света от пленок анатаза,
осажденных при температурах подложки 400, 470 и 520C. Из ри-
сунка 8 можно видеть, что с ростом температуры происходит относи-
тельное уменьшение вклада фона, и уменьшается сдвиг линии Eg(1).
Уменьшается и ее полуширина. После очистки спектров, в предпо-
ложении, что линия описывается лоренцианом, видно, что полуши-
рина линии меняется с 27 до 26 см
1, а частотное положение – с
154 до 153 см
1. Уменьшение фона здесь так же можно связать с
уменьшением объемной части аморфной фазы в пленке, а уменьшение
сдвига в положении линии с укрупнением размеров кристаллитов.
Спектральные зависимости показателя преломления определяли
по измеренным спектрам пропускания, используя компьютерную
обработку, согласно [7, 8]. На рисунке 9 показаны примеры кривых
пропускания Т для кварцевой подложки и подложки с пленкой при
Рис. 8. Нормированные рамановские спектры пленок TіО2, осажденных при
температуре подложки: 400,470и520C;давлениепоаргону2,510
3
торр.
626 А. А. ГОНЧАРОВ, А. Н. ДОБРОВОЛЬСКИЙ, Е. Г. КОСТИН и др.
температуре осаждения 520C для двух давлений аргона.
На рисунке 10 показаны рассчитанные по оптическому пропуска-
нию коэффициенты преломления пленок TіО2, синтезированных при
температуре осаждения 400C и 520C при двух давлениях аргона для
каждой температуры. Из рисунка видно, что при меньших давлениях
аргона пленки имеют более высокий показатель преломления. Так
как величина показателя преломления связана с пористостью плен-
ки, то можно сделать вывод, что при меньших давлениях рабочего
газа синтезируются менее пористые пленки. Это хорошо согласуется
с тем фактом, что чем меньше рассеяние атомов титана в рабочей сме-
си газов, тем с большей кинетической энергией они приходят на под-
ложку. Имея некоторый «запас» энергии они способны мигрировать
по поверхности и достраивать плотную упорядоченную структуру.
Заметим, что все эти результаты согласуются и с данными по ра-
мановскому рассеянию света, где видно уменьшение вклада разу-
порядоченной фазы и рост размеров кристаллитов с уменьшением
давления аргона и увеличением температуры подложки.
Изменение условий осаждения пленок оказывает влияние и на
морфологию поверхности. Результаты сканирования образцов на
атомно-силовом микроскопе показывают заметные различия для
разных условий синтеза. Реконструкция состояния поверхности по
данным атомно-силового микроскопа показана на рис. 11. Тут
можно увидеть влияние давления рабочих газов на морфологию
пленок при температуре осаждения 400C. На рисунке 11, а и б по-
казаны поверхности слоев анатаза, размер окна наблюдения 11
Рис. 9. Кривые пропускания Т для кварцевой подложки и подложки с
пленкой TіО2; температура осаждения 520C при двух давлениях аргона
2,510
3и 510
3
торр.
СТРУКТУРА И ФОТОКАТАЛИТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА НАНОПЛЁНОК 627
мкм, для давлений аргона 310
3
и 910
3
торр.
Для давления 910
3
торр видна более рыхлая структура с малым
размером образований. Согласно показанного выше, ей отвечает
меньший показатель преломления. На рисунке 12, а и б показано
состояние поверхности пленок анатаза, осажденных при темпера-
туре подложки 520C и давлении аргона 2,510
3
и 510
3
торр соот-
ветственно.
а б
Рис. 11. Влияние давления разрядной среды на морфологию пленок при
температуре осаждения 400C: пленка анатаза, полученная при давлении
310
3
торр и температуре подложки 400C (а), пленка анатаза при давле-
нии 910
3
торр и температуре подложки 400C (б).
а б
Рис. 10. Коэффициенты преломления при температуре осаждения 400C
(а) и 520C (б) при двух давлениях для каждой температуры осаждения.
628 А. А. ГОНЧАРОВ, А. Н. ДОБРОВОЛЬСКИЙ, Е. Г. КОСТИН и др.
Можно видеть, что для подогретой до 520C подложки, появляет-
ся выбранное направление роста образований при более глубоком
вакууме. При температуре подложки 640C заметен значительный
рост размеров образований на поверхности. Рельеф более развитый,
с относительно большими глобулами (см. рис. 13). Все это дополня-
ет вышеприведенные результаты и согласуется с ними.
а б
Рис. 12. Влияние давления рабочей смеси на морфологию пленок. Осажде-
ние пленок проводилось при температуре подложки 520C и давлении
2,510
3
торр (а) и 510
3
торр (б); окно наблюдения 11мкм.
а б
Рис. 13. Влияние температуры подложки на морфологию нанослоя анатаза
(изображение 11 мкм): давление смеси 510
3
торр и температура под-
ложки 640C (а); давление 510
3 торр и температура подложки 520C (б).
СТРУКТУРА И ФОТОКАТАЛИТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА НАНОПЛЁНОК 629
Функциональные покрытия на основе TiO2 активно используют-
ся в производстве электрохромных окон, фотокатализаторов и био-
сенсоров [9, 10]. В основе данного применения лежит способность
диоксида титана вступать в фотореакции в качестве как окислите-
ля, так и восстановителя, а так же его химическая устойчивость и
нетоксичность. В реакции фотовосстановления ионов Cr(6) до Cr(3)
пленки, нанесенные на холодную подложку, не проявляли фотока-
талитической активности, что характерно для аморфного диоксида
титана. Скорость реакции в присутствии этих пленок не отличалась
от скорости реакции, когда в качестве образца присутствовала под-
ложка без покрытия.
После отжига при 400C на протяжении 1 часа аморфные пленки
кристаллизуются и проявляют фотокаталитическую активность,
соизмеримую с аналогичными пленками анатаза. Активны оказа-
лись и пленки, нанесенные на подложки, температура которых бы-
ла 400C и выше. Как видно из рисунка 14, скорость фотореакции
возрастает с увеличением толщины покрытия, которую, при усло-
вии получения пленок методом реактивного магнетронного напы-
ления, можно динамично контролировать. Кинетические кривые
фотореакции усредняются экспоненциальными зависимостями
первого порядка. Это свидетельствует о том, что в процессе реакции
отсутствуют долгоживущие промежуточные продукты разложе-
ния. Ионы Cr(5) и Cr(4), получаемые в процессе трехэлектронной
реакции восстановления, короткоживущие и не имеют влияния на
спектр поглощения растворов и кинетические зависимости на
рис. 14, а. Для практического использования важным фактором яв-
а б
Рис. 14. Кинетические кривые реакции фотовосстановления Cr(6) до Cr(3)
в присутствии пленок, полученных при 400C: 1 – без пленки, 2 – для
пленки TіО2 толщиной 29 нм, 3 – для пленки TіО2 толщиной 71 нм, 4 –
для пленки TіО2 толщиной 172 нм (а); 1 – золь-гель методом, 2 – методом
реактивного магнетронного напыления (б).
630 А. А. ГОНЧАРОВ, А. Н. ДОБРОВОЛЬСКИЙ, Е. Г. КОСТИН и др.
ляется возможность многократного применения покрытий. Для
этого была исследована фотокаталитическая активность пленок
при повторном их использовании в аналогичной реакции. Пленка
между циклами фотокатализа промывалась дистиллированной во-
дой и не проходила каких-либо дополнительных химических или
термических обработок. Активность пленок при пятикратном по-
вторении цикла фотовосстановления не менялась, константа скоро-
сти реакции оставалась постоянной и составляла 4,910
5
с
1.
На рисунке 14, б приведены кинетические кривые пленок TiO2,
полученных золь-гель методом [12] и методом реактивного магне-
тронного напыления с сопоставимыми толщинами 64 нм и 71 нм
соответственно. Золь-гель пленка имела структуру анатаза с разме-
ром кристаллов 8 нм, а магнетронным распылением — от 2 до 6 нм.
Как видно, их активности в фотореакции также сопоставимы. Оба
метода имеют свои преимущества при получении TiO2-покрытий с
заданными свойствами, что делает их перспективными в практиче-
ском применении в зависимости от поставленных задач.
4. ВЫВОДЫ
В настоящей работе продемонстрирована связь между условиями
осаждения нанослоев и их свойствами, а также возможность полу-
чения слоев с высокой фотокаталитической активностью, пригод-
ных для очистки окружающей среды от неорганических загрязни-
телей. Оптическая спектрометрия показала высокую прозрачность
полученных образцов. Методом рамановской спектроскопии было
установлено, что в исследованном диапазоне изменения давления
плазмообразующего газа и температуры подложки образуется либо
аморфный TiO2, либо TiO2 в модификация анатаза. Для холодных
подложек, ниже 380C, всегда синтезируются пленки аморфного
диоксида титана. Для подложек, прогретых до 650C, образуется
исключительно анатаз. Анализ полученных спектров позволил
оценить влияние условий осаждения на размер зерна и плотность
пленки. Более высокий вакуум позволяет получать более плотные
пленки с большим размером зерна. Увеличение температуры под-
ложки тоже ведет к укрупнению зерна в пленке. АСМ-измерения
позволили оценить влияние условий осаждения на морфологию
осаждаемых покрытий. Вышеуказанные данные подтверждают
выводы, сделанные при помощи остальных методик. Уменьшение
давления смеси рабочих газов в магнетронном разряде в пределах
от 10
3
до 10
2
торр вызывает уменьшение доли аморфной фазы в
осажденной пленке TiO2. Увеличение давления приводит к терма-
лизации ионно-паровой смеси в разрядном промежутке и падению
энергии частиц, которые достигают подложки. Это способствует об-
разованию более рыхлой пленки с развитой поверхностью, что из-
СТРУКТУРА И ФОТОКАТАЛИТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА НАНОПЛЁНОК 631
меняет фотокаталитические свойства пленок. Полученные предло-
женным методом поликристаллические пленки диоксида титана
обладают фотокаталитической активностью, не уступающей ак-
тивности пленок, получаемых золь-гель методом, и хорошей стой-
костью. Они имеют высокую однородность по толщине и могут быть
нанесены на подложки сложной объемной формы в длительном не-
прерывном технологическом процессе. Полученные покрытия мо-
гут быть многократно использованы в фотокаталитических реак-
циях без использования дополнительных процессов их активации и
восстановления.
Работа была частично поддержана грантом Президиума НАН
Украины № 86-Н-13. Авторы выражают признательность сотруд-
никам центра коллективного пользования при Институте физики
полупроводников им. В. Е. Лашкарёва НАН Украины за помощь в
получении результатов атомно-силовой микроскопии. Авторы бла-
годарны А. В. Демчишину и его сотрудникам за неоценимый вклад
в создание цилиндрического магнетрона и напылительной установ-
ки. Авторы также выражают благодарность И. В. Блонскому и его
сотрудникам за решающий вклад в создание оптического спектро-
метра и его программного обеспечения.
ЦИТИРОВАННАЯ ЛИТЕРАТУРА
1. S. Tanemura, L. Miao, W. Wunderlich, M. Tanemura, Yu. Mori, Sh. Toh, and
K. Kaneko, Sci. Technol. Adv. Mat., 6: 11 (2005).
2. И. В. Блонский, А. А. Гончаров, А. В. Демчишин, А. Н. Евсюков,
Е. Г. Костин, В. А. Сальников, А. Г. Терещенко, Л. Н. Ткаченко, Журнал
технической физики, 79, № 7: 127 (2009).
3. Y. H. Han, S. J. Jung, and J. J. Lee, Surf. Coat. Technol., 201, Nos. 9—11: 5387
(2007).
4. S. Hashimoto and A. Tanaka, Surf. Interface Anal., 34, No. 1: 262 (2002).
5. K. Ellmer and R. Mientus, Proc. of 11 Conf. on High Vacuum, Interfaces and
Thin Films (March 7—11, 1994, Dresden), p. 131.
6. R. J. Gonzalez, Raman Infrared, X-Ray and EELS Studies of Nanophase
Titania (Thesis of Disser. for PhD) (Blacksburg: Virginia Polytechnic Institute
and State University: 1996).
7. R. Swanepoel, J. Phys. E: Sci. Instrum., 16: 1214 (1983).
8. A. Valeev, Opt. Spektrosk., 15: 269 (1963).
9. S. K. Deb, R. Ellingson, S. Ferrere, A. J. Frank, B. A. Gregg, A. J. Nozik,
N. Park, and G. Schlichthorl, World Conference and Exhibition on Photovoltaic
Solar Energy Conversion (July 6—10, 1998, Vienna), p. 6.
10. U. Diebold, Surf. Sci. Rep., 48: 53 (2003).
11. І. С. Петрик, Н. П. Смірнова, О. К. Фролова, O. В. Турчин, Г. М. Єременко,
Хімія, фізика та технологія поверхні, 10: 90 (2004).
12. І. С. Петрик, Н. П. Смірнова, А. М. Єременко, О. К. Фролова, О. І. Оранська,
Фізика і хімія твердого тіла, 13, № 2: 242 (2012).
632 А. А. ГОНЧАРОВ, А. Н. ДОБРОВОЛЬСКИЙ, Е. Г. КОСТИН и др.
REFERENCES
1. S. Tanemura, L. Miao, W. Wunderlich, M. Tanemura, Yu. Mori, Sh. Toh, and
K. Kaneko, Sci. Technol. Adv. Mat., 6: 11 (2005).
2. I. V. Blonskij, A. A. Goncharov, A. V. Demchishin, A. N. Evsjukov,
E. G. Kostin, V. A. Sal’nikov, A. G. Tereshhenko, and L. N. Tkachenko,
Zhurnal Tekhnicheskoi Fiziki, 79, No. 7: 127 (2009).
3. Y. H. Han, S. J. Jung, and J. J. Lee, Surf. Coat. Technol., 201, Nos. 9—11: 5387
(2007).
4. S. Hashimoto and A. Tanaka, Surf. Interface Anal., 34, No. 1: 262 (2002).
5. K. Ellmer and R. Mientus, Proc. of 11 Conf. on High Vacuum, Interfaces and
Thin Films (March 7—11, 1994, Dresden), p. 131.
6. R. J. Gonzalez, Raman Infrared, X-Ray and EELS Studies of Nanophase
Titania (Thesis of Disser. for PhD) (Blacksburg: Virginia Polytechnic Institute
and State University: 1996).
7. R. Swanepoel, J. Phys. E: Sci. Instrum., 16: 1214 (1983).
8. A. Valeev, Opt. Spektrosk., 15: 269 (1963).
9. S. K. Deb, R. Ellingson, S. Ferrere, A. J. Frank, B. A. Gregg, A. J. Nozik,
N. Park, and G. Schlichthorl, World Conference and Exhibition on Photovoltaic
Solar Energy Conversion (July 6—10, 1998, Vienna), p. 6.
10. U. Diebold, Surf. Sci. Rep., 48: 53 (2003).
11. I. S. Petryk, N. P. Smirnova, O. K. Frolova, O. V. Turchyn, and
H. M. Yeremenko, Khimiya, Fizyka ta Tekhnolohiya Poverkhni (Chemistry,
Physics and Technology of Surface), 10: 90 (2004) (in Ukrainian).
12. I. S. Petryk, N. P. Smirnova, A. M. Yeremenko, O. K. Frolova, and
O. I. Orans’ka, Fizyka i Khimiya Tverdoho Tila (Physics and Chemistry of Solid
State), 13, No. 2: 242 (2012) (in Ukrainian).
<<
/ASCII85EncodePages false
/AllowTransparency false
/AutoPositionEPSFiles true
/AutoRotatePages /None
/Binding /Left
/CalGrayProfile (Dot Gain 20%)
/CalRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1)
/CalCMYKProfile (U.S. Web Coated \050SWOP\051 v2)
/sRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1)
/CannotEmbedFontPolicy /Error
/CompatibilityLevel 1.4
/CompressObjects /Tags
/CompressPages true
/ConvertImagesToIndexed true
/PassThroughJPEGImages true
/CreateJobTicket false
/DefaultRenderingIntent /Default
/DetectBlends true
/DetectCurves 0.0000
/ColorConversionStrategy /CMYK
/DoThumbnails false
/EmbedAllFonts true
/EmbedOpenType false
/ParseICCProfilesInComments true
/EmbedJobOptions true
/DSCReportingLevel 0
/EmitDSCWarnings false
/EndPage -1
/ImageMemory 1048576
/LockDistillerParams false
/MaxSubsetPct 100
/Optimize true
/OPM 1
/ParseDSCComments true
/ParseDSCCommentsForDocInfo true
/PreserveCopyPage true
/PreserveDICMYKValues true
/PreserveEPSInfo true
/PreserveFlatness true
/PreserveHalftoneInfo false
/PreserveOPIComments true
/PreserveOverprintSettings true
/StartPage 1
/SubsetFonts true
/TransferFunctionInfo /Apply
/UCRandBGInfo /Preserve
/UsePrologue false
/ColorSettingsFile ()
/AlwaysEmbed [ true
]
/NeverEmbed [ true
]
/AntiAliasColorImages false
/CropColorImages true
/ColorImageMinResolution 300
/ColorImageMinResolutionPolicy /OK
/DownsampleColorImages true
/ColorImageDownsampleType /Bicubic
/ColorImageResolution 300
/ColorImageDepth -1
/ColorImageMinDownsampleDepth 1
/ColorImageDownsampleThreshold 1.50000
/EncodeColorImages true
/ColorImageFilter /DCTEncode
/AutoFilterColorImages true
/ColorImageAutoFilterStrategy /JPEG
/ColorACSImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/ColorImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/JPEG2000ColorACSImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/JPEG2000ColorImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/AntiAliasGrayImages false
/CropGrayImages true
/GrayImageMinResolution 300
/GrayImageMinResolutionPolicy /OK
/DownsampleGrayImages true
/GrayImageDownsampleType /Bicubic
/GrayImageResolution 300
/GrayImageDepth -1
/GrayImageMinDownsampleDepth 2
/GrayImageDownsampleThreshold 1.50000
/EncodeGrayImages true
/GrayImageFilter /DCTEncode
/AutoFilterGrayImages true
/GrayImageAutoFilterStrategy /JPEG
/GrayACSImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/GrayImageDict <<
/QFactor 0.15
/HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1]
>>
/JPEG2000GrayACSImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/JPEG2000GrayImageDict <<
/TileWidth 256
/TileHeight 256
/Quality 30
>>
/AntiAliasMonoImages false
/CropMonoImages true
/MonoImageMinResolution 1200
/MonoImageMinResolutionPolicy /OK
/DownsampleMonoImages true
/MonoImageDownsampleType /Bicubic
/MonoImageResolution 1200
/MonoImageDepth -1
/MonoImageDownsampleThreshold 1.50000
/EncodeMonoImages true
/MonoImageFilter /CCITTFaxEncode
/MonoImageDict <<
/K -1
>>
/AllowPSXObjects false
/CheckCompliance [
/None
]
/PDFX1aCheck false
/PDFX3Check false
/PDFXCompliantPDFOnly false
/PDFXNoTrimBoxError true
/PDFXTrimBoxToMediaBoxOffset [
0.00000
0.00000
0.00000
0.00000
]
/PDFXSetBleedBoxToMediaBox true
/PDFXBleedBoxToTrimBoxOffset [
0.00000
0.00000
0.00000
0.00000
]
/PDFXOutputIntentProfile ()
/PDFXOutputConditionIdentifier ()
/PDFXOutputCondition ()
/PDFXRegistryName ()
/PDFXTrapped /False
/CreateJDFFile false
/Description <<
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
/BGR <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>
/CHS <FEFF4f7f75288fd94e9b8bbe5b9a521b5efa7684002000410064006f006200650020005000440046002065876863900275284e8e9ad88d2891cf76845370524d53705237300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c676562535f00521b5efa768400200050004400460020658768633002>
/CHT <FEFF4f7f752890194e9b8a2d7f6e5efa7acb7684002000410064006f006200650020005000440046002065874ef69069752865bc9ad854c18cea76845370524d5370523786557406300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c4f86958b555f5df25efa7acb76840020005000440046002065874ef63002>
/CZE <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>
/DAN <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>
/DEU <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>
/ESP <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>
/ETI <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>
/FRA <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>
/GRE <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>
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
/HRV (Za stvaranje Adobe PDF dokumenata najpogodnijih za visokokvalitetni ispis prije tiskanja koristite ove postavke. Stvoreni PDF dokumenti mogu se otvoriti Acrobat i Adobe Reader 5.0 i kasnijim verzijama.)
/HUN <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>
/ITA <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>
/JPN <FEFF9ad854c18cea306a30d730ea30d730ec30b951fa529b7528002000410064006f0062006500200050004400460020658766f8306e4f5c6210306b4f7f75283057307e305930023053306e8a2d5b9a30674f5c62103055308c305f0020005000440046002030d530a130a430eb306f3001004100630072006f0062006100740020304a30883073002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee5964d3067958b304f30533068304c3067304d307e305930023053306e8a2d5b9a306b306f30d530a930f330c8306e57cb30818fbc307f304c5fc59808306730593002>
/KOR <FEFFc7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c5ec0020ace0d488c9c80020c2dcd5d80020c778c1c4c5d00020ac00c7a50020c801d569d55c002000410064006f0062006500200050004400460020bb38c11cb97c0020c791c131d569b2c8b2e4002e0020c774b807ac8c0020c791c131b41c00200050004400460020bb38c11cb2940020004100630072006f0062006100740020bc0f002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e00300020c774c0c1c5d0c11c0020c5f40020c2180020c788c2b5b2c8b2e4002e>
/LTH <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>
/LVI <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>
/NLD (Gebruik deze instellingen om Adobe PDF-documenten te maken die zijn geoptimaliseerd voor prepress-afdrukken van hoge kwaliteit. De gemaakte PDF-documenten kunnen worden geopend met Acrobat en Adobe Reader 5.0 en hoger.)
/NOR <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>
/POL <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>
/PTB <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>
/RUM <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>
/RUS <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>
/SKY <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>
/SLV <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>
/SUO <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>
/SVE <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>
/TUR <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>
/UKR <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>
/ENU (Use these settings to create Adobe PDF documents best suited for high-quality prepress printing. Created PDF documents can be opened with Acrobat and Adobe Reader 5.0 and later.)
>>
/Namespace [
(Adobe)
(Common)
(1.0)
]
/OtherNamespaces [
<<
/AsReaderSpreads false
/CropImagesToFrames true
/ErrorControl /WarnAndContinue
/FlattenerIgnoreSpreadOverrides false
/IncludeGuidesGrids false
/IncludeNonPrinting false
/IncludeSlug false
/Namespace [
(Adobe)
(InDesign)
(4.0)
]
/OmitPlacedBitmaps false
/OmitPlacedEPS false
/OmitPlacedPDF false
/SimulateOverprint /Legacy
>>
<<
/AddBleedMarks false
/AddColorBars false
/AddCropMarks false
/AddPageInfo false
/AddRegMarks false
/ConvertColors /ConvertToCMYK
/DestinationProfileName ()
/DestinationProfileSelector /DocumentCMYK
/Downsample16BitImages true
/FlattenerPreset <<
/PresetSelector /MediumResolution
>>
/FormElements false
/GenerateStructure false
/IncludeBookmarks false
/IncludeHyperlinks false
/IncludeInteractive false
/IncludeLayers false
/IncludeProfiles false
/MultimediaHandling /UseObjectSettings
/Namespace [
(Adobe)
(CreativeSuite)
(2.0)
]
/PDFXOutputIntentProfileSelector /DocumentCMYK
/PreserveEditing true
/UntaggedCMYKHandling /LeaveUntagged
/UntaggedRGBHandling /UseDocumentProfile
/UseDocumentBleed false
>>
]
>> setdistillerparams
<<
/HWResolution [2400 2400]
/PageSize [612.000 792.000]
>> setpagedevice
|
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-106944 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1024-1809 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T15:46:27Z |
| publishDate | 2014 |
| publisher | Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Гончаров, А.А. Добровольский, А.Н. Костин, Е.Г. Петрик, И.С. Фролова, Е.К. 2016-10-09T14:27:36Z 2016-10-09T14:27:36Z 2014 Структура и фотокаталитические свойства наноплёнок диоксида титана, осаждённых методом реактивного магнетронного напыления / А.А. Гончаров, А.Н. Добровольский, Е.Г. Костин, И.С. Петрик, Е.К. Фролова // Металлофизика и новейшие технологии. — 2014. — Т. 36, № 5. — С. 613–632. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. 1024-1809 PACS: 68.37.Ps, 68.47.Gh, 68.55.J-, 78.20.Ci, 78.30.Hv, 81.15.Gh, 82.50.-m DOI: http://dx.doi.org/10.15407/mfint.36.05.0613 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/106944 Диоксид титана – один из немногих фотокатализаторов, не наносящих ущерба окружающей среде. Кроме того, он имеет ряд других интересных и привлекательных свойств для использования в промышленности. Мы описываем реактивное осаждение нанослоёв TiO₂ в цилиндрическом газовом магнетроне постоянного тока. Полученные плёнки наноразмерных толщин исследовались с использованием атомно-силовой микроскопии, рамановской спектроскопии, эллипсометрии и оптической спектроскопии. Полученные результаты показали существенное влияние условий осаждения плёнок на их структуру, морфологию и фотокаталитическую активность. Діоксид титану — один з небагатьох фотокаталізаторів, які не завдають шкоду навколишньому середовищу. Крім цього, він має низку інших цікавих та привабливих властивостей для використання в промисловості. Ми описуємо реактивне осадження наношарів TiO₂ в циліндричному газовому магнетроні постійного струму. Одержані плівки нанорозмірних товщин досліджувались з використанням еліпсометрії, Раманової спектроскопії, атомно-силової мікроскопії та методів оптичної спектроскопії. Одержані результати показали істотний вплив умов осадження плівок на їх структуру, морфологію та фотокаталітичні властивості. Titanium dioxide is the environmentally friendly photocatalyst with many interesting and attractive properties for industrial applications. We describe the reactive deposition of TiO₂ nanofilms by inverted gas cylindrical DC magnetron. The obtained samples are characterized by means of ellipsometry, Raman spectroscopy, AFM, and optical spectroscopy. The results show that structure, morphology, and photocatalytic activity of films vary with the variation of deposition conditions. Работа была частично поддержана грантом Президиума НАН Украины № 86-Н-13. Авторы выражают признательность сотрудникам центра коллективного пользования при Институте физики полупроводников им. В. Е. Лашкарёва НАН Украины за помощь в получении результатов атомно-силовой микроскопии. Авторы благодарны А. В. Демчишину и его сотрудникам за неоценимый вклад в создание цилиндрического магнетрона и напылительной установки. Авторы также выражают благодарность И. В. Блонскому и его сотрудникам за решающий вклад в создание оптического спектрометра и его программного обеспечения. ru Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України Металлофизика и новейшие технологии Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов Структура и фотокаталитические свойства наноплёнок диоксида титана, осаждённых методом реактивного магнетронного напыления Структура та фотокаталітичні властивості наноплівок діоксиду титану, осаджених методом реактивного магнетронного напилення Structure and Photocatalytic Properties of Titania Nanofilms Deposited by Reactive Magnetron Sputtering Article published earlier |
| spellingShingle | Структура и фотокаталитические свойства наноплёнок диоксида титана, осаждённых методом реактивного магнетронного напыления Гончаров, А.А. Добровольский, А.Н. Костин, Е.Г. Петрик, И.С. Фролова, Е.К. Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов |
| title | Структура и фотокаталитические свойства наноплёнок диоксида титана, осаждённых методом реактивного магнетронного напыления |
| title_alt | Структура та фотокаталітичні властивості наноплівок діоксиду титану, осаджених методом реактивного магнетронного напилення Structure and Photocatalytic Properties of Titania Nanofilms Deposited by Reactive Magnetron Sputtering |
| title_full | Структура и фотокаталитические свойства наноплёнок диоксида титана, осаждённых методом реактивного магнетронного напыления |
| title_fullStr | Структура и фотокаталитические свойства наноплёнок диоксида титана, осаждённых методом реактивного магнетронного напыления |
| title_full_unstemmed | Структура и фотокаталитические свойства наноплёнок диоксида титана, осаждённых методом реактивного магнетронного напыления |
| title_short | Структура и фотокаталитические свойства наноплёнок диоксида титана, осаждённых методом реактивного магнетронного напыления |
| title_sort | структура и фотокаталитические свойства наноплёнок диоксида титана, осаждённых методом реактивного магнетронного напыления |
| topic | Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов |
| topic_facet | Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/106944 |
| work_keys_str_mv | AT gončarovaa strukturaifotokatalitičeskiesvoistvananoplenokdioksidatitanaosaždennyhmetodomreaktivnogomagnetronnogonapyleniâ AT dobrovolʹskiian strukturaifotokatalitičeskiesvoistvananoplenokdioksidatitanaosaždennyhmetodomreaktivnogomagnetronnogonapyleniâ AT kostineg strukturaifotokatalitičeskiesvoistvananoplenokdioksidatitanaosaždennyhmetodomreaktivnogomagnetronnogonapyleniâ AT petrikis strukturaifotokatalitičeskiesvoistvananoplenokdioksidatitanaosaždennyhmetodomreaktivnogomagnetronnogonapyleniâ AT frolovaek strukturaifotokatalitičeskiesvoistvananoplenokdioksidatitanaosaždennyhmetodomreaktivnogomagnetronnogonapyleniâ AT gončarovaa strukturatafotokatalítičnívlastivostínanoplívokdíoksidutitanuosadženihmetodomreaktivnogomagnetronnogonapilennâ AT dobrovolʹskiian strukturatafotokatalítičnívlastivostínanoplívokdíoksidutitanuosadženihmetodomreaktivnogomagnetronnogonapilennâ AT kostineg strukturatafotokatalítičnívlastivostínanoplívokdíoksidutitanuosadženihmetodomreaktivnogomagnetronnogonapilennâ AT petrikis strukturatafotokatalítičnívlastivostínanoplívokdíoksidutitanuosadženihmetodomreaktivnogomagnetronnogonapilennâ AT frolovaek strukturatafotokatalítičnívlastivostínanoplívokdíoksidutitanuosadženihmetodomreaktivnogomagnetronnogonapilennâ AT gončarovaa structureandphotocatalyticpropertiesoftitaniananofilmsdepositedbyreactivemagnetronsputtering AT dobrovolʹskiian structureandphotocatalyticpropertiesoftitaniananofilmsdepositedbyreactivemagnetronsputtering AT kostineg structureandphotocatalyticpropertiesoftitaniananofilmsdepositedbyreactivemagnetronsputtering AT petrikis structureandphotocatalyticpropertiesoftitaniananofilmsdepositedbyreactivemagnetronsputtering AT frolovaek structureandphotocatalyticpropertiesoftitaniananofilmsdepositedbyreactivemagnetronsputtering |