Определение условий осаждения переходных металлов из их карбонилов методом моделирования LCVD-процесса

Определение условий осаждения переходных металлов из их карбонилов методом моделирования LCVD-процесса

В рамках математической модели, которая учитывает конвективный теплообмен с поверхностью образующегося осадка в условиях лазерного CVD-процесса, рассчитаны распределения температурного поля и определены условия формирования осадка на диэлектрической подложке при пиролитическом разложении тетракарбон...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Металлофизика и новейшие технологии
Datum:2014
Hauptverfasser: Кирпенко, К.В., Недоля, А.В., Титов, И.Н.
Format: Artikel
Sprache:Russian
Veröffentlicht: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2014
Schlagworte:
Металлические поверхности и плёнки
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/106953
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Определение условий осаждения переходных металлов из их карбонилов методом моделирования LCVD-процесса / К.В. Кирпенко, А.В. Недоля, И.Н. Титов // Металлофизика и новейшие технологии. — 2014. — Т. 36, № 6. — С. 735-743. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-106953
record_format dspace
spelling Кирпенко, К.В.
Недоля, А.В.
Титов, И.Н.
2016-10-09T16:44:46Z
2016-10-09T16:44:46Z
2014
Определение условий осаждения переходных металлов из их карбонилов методом моделирования LCVD-процесса / К.В. Кирпенко, А.В. Недоля, И.Н. Титов // Металлофизика и новейшие технологии. — 2014. — Т. 36, № 6. — С. 735-743. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.
1024-1809
PACS: 02.60.Lj, 68.55.jd, 81.15.Aa, 81.15.Fg, 81.15.Gh, 81.16.Mk
DOI: http://dx.doi.org/10.15407/mfint.36.06.0735
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/106953
В рамках математической модели, которая учитывает конвективный теплообмен с поверхностью образующегося осадка в условиях лазерного CVD-процесса, рассчитаны распределения температурного поля и определены условия формирования осадка на диэлектрической подложке при пиролитическом разложении тетракарбонила никеля и карбонилов других переходных металлов. Методом конечных элементов рассчитаны профили осадков металлов, которые хорошо согласуются с экспериментальными данными. Определены параметры лазерного излучения, при которых реализуется пиролиз карбонилов и осаждение металлов на подложку, а также размерные параметры осадков переходных металлов.
В рамках математичної моделі, що враховує конвекційний теплообмін з поверхнею утвореного осаду в умовах лазерного CVD-процесу, розраховано розподіли температурного поля та визначено умови формування осаду на діелектричному підложжі під час піролітичного розкладу тетракарбонілу нікелю та карбонілів інших перехідних металів. Методою скінченних елементів розраховано профілі осадів металів, що добре узгоджуються з експериментальними даними. Визначено параметри лазерного випромінення, за яких має місце піроліз карбонілів та осадження металів на підложжя, а також розмірні параметри осадів перехідних металів.
Within the scope of the mathematical model, which takes into account convective heat transfer to the surface of the precipitate formed in the laser CVD-process, the distribution of temperature field is calculated and the conditions for the formation of precipitate on the dielectric substrate during pyrolytic decomposition of nickel tetracarbonyl and carbonyls of other transition metals are determined. The finite element method is used to calculate precipitation profiles of metals, which are in a good agreement with experimental data. Parameters of the laser radiation, at which the pyrolysis of carbonyls and deposition of metal onto a substrate take place, are calculated. The dimensional parameters of the precipitates of transition metals are predicted.
ru
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
Металлофизика и новейшие технологии
Металлические поверхности и плёнки
Определение условий осаждения переходных металлов из их карбонилов методом моделирования LCVD-процесса
Визначення умов осадження перехідних металів з їх карбонілів методом моделювання LCVD-процесу
Determination of Conditions for Transition-Metals’ Deposition from Their Carbonyls by Means of the LCVD-Process Simulation
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Определение условий осаждения переходных металлов из их карбонилов методом моделирования LCVD-процесса
spellingShingle Определение условий осаждения переходных металлов из их карбонилов методом моделирования LCVD-процесса
Кирпенко, К.В.
Недоля, А.В.
Титов, И.Н.
Металлические поверхности и плёнки
title_short Определение условий осаждения переходных металлов из их карбонилов методом моделирования LCVD-процесса
title_full Определение условий осаждения переходных металлов из их карбонилов методом моделирования LCVD-процесса
title_fullStr Определение условий осаждения переходных металлов из их карбонилов методом моделирования LCVD-процесса
title_full_unstemmed Определение условий осаждения переходных металлов из их карбонилов методом моделирования LCVD-процесса
title_sort определение условий осаждения переходных металлов из их карбонилов методом моделирования lcvd-процесса
author Кирпенко, К.В.
Недоля, А.В.
Титов, И.Н.
author_facet Кирпенко, К.В.
Недоля, А.В.
Титов, И.Н.
topic Металлические поверхности и плёнки
topic_facet Металлические поверхности и плёнки
publishDate 2014
language Russian
container_title Металлофизика и новейшие технологии
publisher Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
format Article
title_alt Визначення умов осадження перехідних металів з їх карбонілів методом моделювання LCVD-процесу
Determination of Conditions for Transition-Metals’ Deposition from Their Carbonyls by Means of the LCVD-Process Simulation
description В рамках математической модели, которая учитывает конвективный теплообмен с поверхностью образующегося осадка в условиях лазерного CVD-процесса, рассчитаны распределения температурного поля и определены условия формирования осадка на диэлектрической подложке при пиролитическом разложении тетракарбонила никеля и карбонилов других переходных металлов. Методом конечных элементов рассчитаны профили осадков металлов, которые хорошо согласуются с экспериментальными данными. Определены параметры лазерного излучения, при которых реализуется пиролиз карбонилов и осаждение металлов на подложку, а также размерные параметры осадков переходных металлов. В рамках математичної моделі, що враховує конвекційний теплообмін з поверхнею утвореного осаду в умовах лазерного CVD-процесу, розраховано розподіли температурного поля та визначено умови формування осаду на діелектричному підложжі під час піролітичного розкладу тетракарбонілу нікелю та карбонілів інших перехідних металів. Методою скінченних елементів розраховано профілі осадів металів, що добре узгоджуються з експериментальними даними. Визначено параметри лазерного випромінення, за яких має місце піроліз карбонілів та осадження металів на підложжя, а також розмірні параметри осадів перехідних металів. Within the scope of the mathematical model, which takes into account convective heat transfer to the surface of the precipitate formed in the laser CVD-process, the distribution of temperature field is calculated and the conditions for the formation of precipitate on the dielectric substrate during pyrolytic decomposition of nickel tetracarbonyl and carbonyls of other transition metals are determined. The finite element method is used to calculate precipitation profiles of metals, which are in a good agreement with experimental data. Parameters of the laser radiation, at which the pyrolysis of carbonyls and deposition of metal onto a substrate take place, are calculated. The dimensional parameters of the precipitates of transition metals are predicted.
issn 1024-1809
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/106953
citation_txt Определение условий осаждения переходных металлов из их карбонилов методом моделирования LCVD-процесса / К.В. Кирпенко, А.В. Недоля, И.Н. Титов // Металлофизика и новейшие технологии. — 2014. — Т. 36, № 6. — С. 735-743. — Бібліогр.: 9 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT kirpenkokv opredelenieusloviiosaždeniâperehodnyhmetallovizihkarbonilovmetodommodelirovaniâlcvdprocessa
AT nedolâav opredelenieusloviiosaždeniâperehodnyhmetallovizihkarbonilovmetodommodelirovaniâlcvdprocessa
AT titovin opredelenieusloviiosaždeniâperehodnyhmetallovizihkarbonilovmetodommodelirovaniâlcvdprocessa
AT kirpenkokv viznačennâumovosadžennâperehídnihmetalívzíhkarbonílívmetodommodelûvannâlcvdprocesu
AT nedolâav viznačennâumovosadžennâperehídnihmetalívzíhkarbonílívmetodommodelûvannâlcvdprocesu
AT titovin viznačennâumovosadžennâperehídnihmetalívzíhkarbonílívmetodommodelûvannâlcvdprocesu
AT kirpenkokv determinationofconditionsfortransitionmetalsdepositionfromtheircarbonylsbymeansofthelcvdprocesssimulation
AT nedolâav determinationofconditionsfortransitionmetalsdepositionfromtheircarbonylsbymeansofthelcvdprocesssimulation
AT titovin determinationofconditionsfortransitionmetalsdepositionfromtheircarbonylsbymeansofthelcvdprocesssimulation
first_indexed 2025-12-07T19:09:23Z
last_indexed 2025-12-07T19:09:23Z
_version_ 1850877740093276160

Ähnliche Einträge