Розмірна залежність механічних напружень у металічних конденсатах на кремнії

В роботі експериментально досліджено зовнішній і внутрішній розмірні ефекти, що реалізуються у внутрішніх (власних) і термічних напруженнях мідних конденсатів на підложжях монокристалічного кремнію. Вивчено поведінку максимальних внутрішніх напружень зі зміною товщини плівки та швидкости осадження....

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Datum:	2014
Hauptverfasser:	Коман, Б.П., Юзевич, В.М.
Format:	Artikel
Sprache:	Ukrainian
Veröffentlicht:	Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2014
Schriftenreihe:	Металлофизика и новейшие технологии
Schlagworte:	Металлические поверхности и плёнки
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/106999
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Розмірна залежність механічних напружень у металічних конденсатах на кремнії / Б.П. Коман, В.М. Юзевич // Металлофизика и новейшие технологии. — 2014. — Т. 36, № 8. — С. 1113-1128. — Бібліогр.: 27 назв. — укр.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

id	nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-106999
record_format	dspace
spelling	nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-1069992025-02-09T22:05:08Z Розмірна залежність механічних напружень у металічних конденсатах на кремнії Размерная зависимость механических напряжений в металлических конденсатах на кремнии Size Dependence of Mechanical Stresses in the Metal Condensates on Silicon Коман, Б.П. Юзевич, В.М. Металлические поверхности и плёнки В роботі експериментально досліджено зовнішній і внутрішній розмірні ефекти, що реалізуються у внутрішніх (власних) і термічних напруженнях мідних конденсатів на підложжях монокристалічного кремнію. Вивчено поведінку максимальних внутрішніх напружень зі зміною товщини плівки та швидкости осадження. Формування внутрішніх напружень пояснюється з позиції міжфазної взаємодії в системі конденсат—підложжя та в структурі конденсату. Показано, що процес конденсації металу на підложжя супроводжується орієнтаційною зміною енергетичних параметрів міжфазної взаємодії: міжфазної енергії, міжфазного натягу, енергії адгезійних зв’язків і роботи адгезії на стадіях наноконденсату (поверхня кремнію—металічний наноконденсат) і суцільної плівки (попередній шар—наступний шар). Досліджено вплив розмірної залежности механічних параметрів плівки на термічну компоненту механічних напружень. В работе экспериментально исследованы внешний и внутренний размерные эффекты, реализуемые во внутренних (собственных) и термических напряжениях медных конденсатов на подложках монокристаллического кремния. Изучено поведение максимальных внутренних напряжений с изменением толщины плёнки и скорости осаждения. Формирование внутренних напряжений объясняется с позиции межфазного взаимодействия в системе конденсат—подложка и в структуре конденсата. Показано, что процесс конденсации металла на подложку сопровождается ориентационным изменением энергетических параметров межфазного взаимодействия: межфазной энергии, межфазного натяжения, энергии адгезионных связей и работы адгезии на стадиях наноконденсата (поверхность кремния—металлический наноконденсат) и сплошной плёнки (предыдущий слой—следующий слой). Исследовано влияние размерной зависимости механических параметров плёнки на термическую компоненту механических напряжений. This paper experimentally examines the external and internal size effects implemented in the internal (intrinsic) and thermal stresses of copper condensates on the silicon single-crystal substrates. The behaviours of maximum tension with changing film thickness and deposition rate are studied. Formation of internal stresses is caused by the position of the interfacial interaction in the condensate system—substrate and the very structure of the condensate. As shown, the process of condensation on the metal substrate is accompanied by a change in orientation of interfacial interaction energy parameters: interfacial energy, interfacial tension, adhesion-bonds’ energy, and work of adhesion at the nanocondensate stages (silicon surface—metallic nanocondensate) and continuous film (previous layer—next layer). The influence of the size dependence of film mechanical parameters on the thermal component of mechanical stress is investigated. 2014 Article Розмірна залежність механічних напружень у металічних конденсатах на кремнії / Б.П. Коман, В.М. Юзевич // Металлофизика и новейшие технологии. — 2014. — Т. 36, № 8. — С. 1113-1128. — Бібліогр.: 27 назв. — укр. 1024-1809 PACS: 68.35.bd, 68.35.Gy, 68.35.Md, 68.35.Np, 68.55.J-, 81.07.Bc, 81.15.Gh DOI: http://dx.doi.org/10.15407/mfint.36.08.1113 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/106999 uk Металлофизика и новейшие технологии application/pdf Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
institution	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection	DSpace DC
language	Ukrainian
topic	Металлические поверхности и плёнки Металлические поверхности и плёнки
spellingShingle	Металлические поверхности и плёнки Металлические поверхности и плёнки Коман, Б.П. Юзевич, В.М. Розмірна залежність механічних напружень у металічних конденсатах на кремнії Металлофизика и новейшие технологии
description	В роботі експериментально досліджено зовнішній і внутрішній розмірні ефекти, що реалізуються у внутрішніх (власних) і термічних напруженнях мідних конденсатів на підложжях монокристалічного кремнію. Вивчено поведінку максимальних внутрішніх напружень зі зміною товщини плівки та швидкости осадження. Формування внутрішніх напружень пояснюється з позиції міжфазної взаємодії в системі конденсат—підложжя та в структурі конденсату. Показано, що процес конденсації металу на підложжя супроводжується орієнтаційною зміною енергетичних параметрів міжфазної взаємодії: міжфазної енергії, міжфазного натягу, енергії адгезійних зв’язків і роботи адгезії на стадіях наноконденсату (поверхня кремнію—металічний наноконденсат) і суцільної плівки (попередній шар—наступний шар). Досліджено вплив розмірної залежности механічних параметрів плівки на термічну компоненту механічних напружень.
format	Article
author	Коман, Б.П. Юзевич, В.М.
author_facet	Коман, Б.П. Юзевич, В.М.
author_sort	Коман, Б.П.
title	Розмірна залежність механічних напружень у металічних конденсатах на кремнії
title_short	Розмірна залежність механічних напружень у металічних конденсатах на кремнії
title_full	Розмірна залежність механічних напружень у металічних конденсатах на кремнії
title_fullStr	Розмірна залежність механічних напружень у металічних конденсатах на кремнії
title_full_unstemmed	Розмірна залежність механічних напружень у металічних конденсатах на кремнії
title_sort	розмірна залежність механічних напружень у металічних конденсатах на кремнії
publisher	Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
publishDate	2014
topic_facet	Металлические поверхности и плёнки
url	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/106999
citation_txt	Розмірна залежність механічних напружень у металічних конденсатах на кремнії / Б.П. Коман, В.М. Юзевич // Металлофизика и новейшие технологии. — 2014. — Т. 36, № 8. — С. 1113-1128. — Бібліогр.: 27 назв. — укр.
series	Металлофизика и новейшие технологии
work_keys_str_mv	AT komanbp rozmírnazaležnístʹmehaníčnihnapruženʹumetalíčnihkondensatahnakremníí AT ûzevičvm rozmírnazaležnístʹmehaníčnihnapruženʹumetalíčnihkondensatahnakremníí AT komanbp razmernaâzavisimostʹmehaničeskihnaprâženiivmetalličeskihkondensatahnakremnii AT ûzevičvm razmernaâzavisimostʹmehaničeskihnaprâženiivmetalličeskihkondensatahnakremnii AT komanbp sizedependenceofmechanicalstressesinthemetalcondensatesonsilicon AT ûzevičvm sizedependenceofmechanicalstressesinthemetalcondensatesonsilicon
first_indexed	2025-12-01T07:21:23Z
last_indexed	2025-12-01T07:21:23Z
_version_	1850289616486137856
fulltext	1113 PACS numbers:68.35.bd, 68.35.Gy,68.35.Md,68.35.Np,68.55.J-,81.07.Bc, 81.15.Gh Розмірна залежність механічних напружень у металічних конденсатах на кремнії Б. П. Коман, В. М. Юзевич* Львівський національний університет ім. Івана Франка, факультет електроніки, вул. Драгоманова, 50, 79005 Львів, Україна *Фізико-механічний інститут ім. Г. В. Карпенка НАН України, вул. Наукова, 5, 79601 Львів, Україна В роботі експериментально досліджено зовнішній і внутрішній розмірні ефекти, що реалізуються у внутрішніх (власних) і термічних напружен- нях мідних конденсатів на підложжях монокристалічного кремнію. Ви- вчено поведінку максимальних внутрішніх напружень зі зміною товщини плівки та швидкости осадження. Формування внутрішніх напружень по- яснюється з позиції міжфазної взаємодії в системі конденсат—підложжя та в структурі конденсату. Показано, що процес конденсації металу на підложжя супроводжується орієнтаційною зміною енергетичних параме- трів міжфазної взаємодії: міжфазної енергії, міжфазного натягу, енергії адгезійних зв’язків і роботи адгезії на стадіях наноконденсату (поверхня кремнію—металічний наноконденсат) і суцільної плівки (попередній шар—наступний шар). Досліджено вплив розмірної залежности механіч- них параметрів плівки на термічну компоненту механічних напружень. В работе экспериментально исследованы внешний и внутренний размер- ные эффекты, реализуемые во внутренних (собственных) и термических напряжениях медных конденсатов на подложках монокристаллического кремния. Изучено поведение максимальных внутренних напряжений с изменением толщины плёнки и скорости осаждения. Формирование внутренних напряжений объясняется с позиции межфазного взаимодей- ствия в системе конденсат—подложка и в структуре конденсата. Показа- но, что процесс конденсации металла на подложку сопровождается ори- ентационным изменением энергетических параметров межфазного взаи- модействия: межфазной энергии, межфазного натяжения, энергии адге- зионных связей и работы адгезии на стадиях наноконденсата (поверх- ность кремния—металлический наноконденсат) и сплошной плёнки (предыдущий слой—следующий слой). Исследовано влияние размерной Металлофиз. новейшие технол. / Metallofiz. Noveishie Tekhnol. 2014, т. 36, № 8, сс. 1113—1128 Оттиски доступны непосредственно от издателя Фотокопирование разрешено только в соответствии с лицензией 2014 ИМФ (Институт металлофизики им. Г. В. Курдюмова НАН Украины) Напечатано в Украине. 1114 Б. П. КОМАН, В. М. ЮЗЕВИЧ зависимости механических параметров плёнки на термическую компо- ненту механических напряжений. This paper experimentally examines the external and internal size effects implemented in the internal (intrinsic) and thermal stresses of copper con- densates on the silicon single-crystal substrates. The behaviours of maximum tension with changing film thickness and deposition rate are studied. For- mation of internal stresses is caused by the position of the interfacial interac- tion in the condensate system—substrate and the very structure of the con- densate. As shown, the process of condensation on the metal substrate is ac- companied by a change in orientation of interfacial interaction energy pa- rameters: interfacial energy, interfacial tension, adhesion-bonds’ energy, and work of adhesion at the nanocondensate stages (silicon surface—metallic nanocondensate) and continuous film (previous layer—next layer). The influ- ence of the size dependence of film mechanical parameters on the thermal component of mechanical stress is investigated. Ключові слова: механічні напруження, міжфазна взаємодія, наноконденсат. (Отримано 26 липня 2013 р.; остаточний варіянт– 29 січня 2014 р.) 1. ВСТУП Постійне зростання рівня інтеґрації сучасних мікросхем на базово- му кристалі вимагає збільшення надійности та підвищення експлу- атаційних характеристик металізованих напівпровідників. Багатопланові дослідження властивостей тонких плівок виявили внутрішній та зовнішній розмірні ефекти для багатьох властивос- тей та їх відповідних параметрів, зокрема: кінетичних коефіцієн- тів, температурних коефіцієнтів опору (ТКО), коефіцієнтів тензо- чутливости, температури топлення, коефіцієнту дифузії та мартен- ситних перетворень [1—6]. Однак розмірні ефекти механічних влас- тивостей в металічних конденсатах досліджені лише фраґментар- но, зокрема для мікротвердости, внутрішнього тертя, та діяграм навантаження [7, 8—10]. Систематизовані дані такого плану для ме- ханічних напружень у вакуумних конденсатах на даний час відсут- ні. Аналогічно, відсутня інформація про природу та рівень механі- чних напружень в наноконденсатах. Серед низки металів, апробованих сучасною мікроелектронікою, мідь, алюміній та їхні стопи займають домінуюче становище при формуванні мікро- та наноелементів на кремнії. Причому мідь все більше розширює свої позиції завдяки притаманній їй технологіч- ності, високій електро- та теплопровідності, а також значній стій- кості до електроміґрації. Метою роботи було дослідження впливу розмірного фактору на закономірності формування механічних напружень в мідних кон- денсатах на монокристалічному кремнії, одержаних в різних тех- РОЗМІРНА ЗАЛЕЖНІСТЬ НАПРУЖЕНЬ У КОНДЕНСАТАХ НА КРЕМНІЇ 1115 нологічних умовах. 2. ВНУТРІШНІ НАПРУЖЕННЯ. РЕЗУЛЬТАТИ ЕКСПЕРИМЕНТІВ ТА ЇХ ОБГОВОРЕННЯ В роботі використовувалася методика синхронного вимірювання внутрішніх напружень у процесі осадження металу на монокриста- лічні підкладки Si, яка ґрунтується на консольному методі [7]. Ме- тодика вимірювань та розрахунку внутрішніх напружень детально приведена в роботі [11]. Особливістю даної методики є те, що вона дозволяє фіксувати в процесі осадження металу в основному внут- рішні (власні) напруження, зумовлені структурно-фазовими змі- нами безпосередньо в самому конденсаті. Загальною закономірністю кінетичних залежностей (d), як встановлено в [11], є двостадійний характер зміни внутрішніх на- пружень у процесі формування вакуумних металічних конденсатів на підкладках монокристалічного кремнію. Схематично такі зміни представлено на вставці рис. 1. Зокрема, спостерігається різке зрос- тання напружень на першій стадії до максимального значення max при заданій швидкості конденсації  і наступне їх зменшення з рос- том товщини на другій стадії. Згідно [12], на першій стадії сформо- Рис. 1. Залежність характерного механічного напруження (d  10 9 м) від швидкости осадження конденсатів: Cu, Au, Cr. На вставці схематично представлено кінетику внутрішніх напружень в мідних конденсатах на підкладках монокристалічного кремнію за даними [16]. 1116 Б. П. КОМАН, В. М. ЮЗЕВИЧ вана структура має властивості нанодисперсної системи, що склада- ється з великої кількости частинок (острівців), які контактують між собою, але не утворюють просторового каркасу. Тому екстраполяція першої стадії залежности (d) в напрямку до перетину з віссю  до- зволила визначити значення напруги 0, що відповідає характерній товщині наноконденсату  10 9 м (формування зародку) для всього діяпазону використовуваних швидкостей конденсації. На рисунку 1 наведено залежності 0() для конденсатів міді, одержані з кінетич- них кривих внутрішніх напружень на підкладках кремнію в інтер- валі швидкостей 0,03—2,0 нм/с. Як видно, в дуже вузькому діяпазо- ні швидкостей (0,03—0,2 нм/с) величина 0 стрімко зменшується, досягаючи в подальшому стаціонарного значення. Однак найбільш важливим результатом є практично збіг напружень 0 для всіх ме- талів Cu, Cr, Au та наявність саме при характерній швидкості 0,5 нм/с максимуму внутрішніх напружень. Деяку відмінність в цьому аспекті виявляють конденсати алюмінію [11]. Спостережувана незмінність 0 при швидкостях вищих 0,5 нм/с може свідчити про незалежність механізмів адсорбції атомів нано- конденсату від швидкости осадження. Останнє, очевидно, зумовле- но самоорганізуючим впливом підкладки кремнію на процеси заро- дкоутворення. Залежність внутрішніх напружень від швидкости осадження для трьох найбільш характерних товщин конденсатів міді (50, 100, 300 нм), які відповідають суттєво відмінним структурним станам, при- ведена на рис. 2. Як видно, при дуже малих швидкостях осадження (  0,2 нм/с) для вибраних товщин рівень внутрішніх напружень має високе значення, але стрімко спадає в невеликому інтервалі збільшення швидкостей (0,03—0,2 нм/с). В цьому інтервалі для то- вщини 300 нм залежність () є суттєво відмінною: існує локаль- ний максимум при швидкості 0,5 нм/с. В міру подальшого зростан- Рис. 2. Залежність внутрішніх напружень в конденсатах міді на кремнії від швидкости їх конденсації для товщин: 1 – 50, 2 – 100, 3 – 300 нм. РОЗМІРНА ЗАЛЕЖНІСТЬ НАПРУЖЕНЬ У КОНДЕНСАТАХ НА КРЕМНІЇ 1117 ня швидкости конденсації характерними є наступні особливості. Насамперед, для вибраних товщин плівки при швидкості 0,5 нм/с рівень внутрішніх напружень досягає максимальних значень і на- буває найбільшої величини при товщині конденсату 100 нм. Однак найбільш цікавим і практично важливим результатом є наявність, як видно, характерної швидкости осадження (1,0 нм/с), при якій рівень внутрішніх напружень є однаковим для всіх вибраних тов- щин плівки. Тому задача про мінімізацію напружень в реальній си- стемі конденсат міді—монокристалічний кремній в даному випадку має однозначний розв’язок. Характерним фактом також є те, що збільшення швидкости вище 1,0 нм/с для товщин 100 і 200 нм не супроводжується зміною рівня напружень, однак для товщини 300 нм його значення виявляє тенденцію до подальшого зростання. Важливим в практичному аспекті є рівень максимальних на- пружень max, що досягається в системі конденсат—підкладка при неперервній конденсації з постійною швидкістю в діяпазоні зада- них товщин. Рисунок 3 демонструє залежність максимальних вну- трішніх напружень від швидкости осадження. Очевидним є те, що швидкість є суттєвим технологічним фактором, який впливає на максимальні значення внутрішніх напружень. Зокрема, max змен- шується на порядок знову в невеликому інтервалі швидкостей (0,03—0,2 нм/с), досягаючи найбільшого значення при швидкості 0,5 нм/с, і в подальшому (0,5—1,0 нм/с) релаксує при незначній те- нденції до зростання. Встановлено також, що max немонотонно змінюється з товщиною осаджуваної плівки (рис. 4). Зокрема, стрімко спадає в області тов- щин до 50 нм, досягає найбільшого значення при 120 нм та зменшу- ється, досягаючи відносного мінімуму при товщині плівки 240 нм. Рис. 3. Залежність максимальних внутрішніх напружень в конденсатах міді на кремнії від швидкости їх осадження. 1118 Б. П. КОМАН, В. М. ЮЗЕВИЧ Таким чином, одержані закономірності зміни внутрішніх на- пружень в конденсатах свідчать про акомодаційний характер про- цесів, відповідальних за формування напружень різного рівня, сут- тєву роль нерівноважних процесів упродовж всіх стадій формуван- ня плівки, а також вклад приповерхневого шару підкладки в про- цеси самоорганізації наноконденсату на початкових стадіях оса- дження. Розуміння природи внутрішніх напружень в конденсатах сього- дні ґрунтується на відомих представленнях про структуру та про- цеси формування конденсатів. Встановлено, що внутрішні напру- ження є відображенням структури плівки і залежать від товщини, швидкости конденсації, температури підкладки та інших техноло- гічних параметрів і зумовлені наявністю структурних недосконало- стей типу дислокацій, пор, меж зерен, зміни хімічного і фазового складів по товщині та об’єму плівки та ін. У низці робіт [7, 12, 13] показано, що структура металічних плі- вок, одержаних в нерівноважних умовах, характеризується мали- ми розмірами зерен і блоків, великою густиною дислокацій і суттє- вими значеннями орієнтованих мікродеформацій. Джерелом таких мікродеформацій в конденсатах згідно [13] є розміщені переважно в площині плівки дислокаційні петлі, утворені в результаті загарту- вання вакансій при формуванні плівки з пари на холодних підкла- дках. Крім того, джерелом локальних деформацій можуть бути та- кож процеси самоорганізації дислокацій в дислокаційних ансамб- лях і утворення різних неоднорідних дислокаційних структур [14]. Оскільки формування плівок міді проходить в різко нерівноважних умовах, то концентрація вакансій в них значно перевищує значен- ня, характерне для масивних матеріялів, і може сягати величини 10 2—10 3 [12]. Тому для таких структур властивим є також коалес- Рис. 4. Розподіл максимальних внутрішніх напружень за товщиною мідних конденсатів на кремнії в інтервалішвидкостей осадження (0,03—2,0 нм/с). РОЗМІРНА ЗАЛЕЖНІСТЬ НАПРУЖЕНЬ У КОНДЕНСАТАХ НА КРЕМНІЇ 1119 ценція вакансій у каверни і мікропори. Вважається, що всі ці дефе- кти приводять до збільшення питомого об’єму конденсату і, як на- слідок, до зростання внутрішніх напружень, природа яких має структурний характер. Деякі структурні аспекти формування вну- трішніх напружень у вакуумних конденсатах досліджувалися в ранніх роботах [7, 8, 13]. Відомі також інші моделі [15] формування внутрішніх напру- жень, що ґрунтуються на структурних недосконалостях: поверхне- вому розупорядкуванні, зерномежовій релаксації, рості зерен та домішковій моделі. Для обґрунтування поведінки розмірних залежностей механічних напружень та впливу технологічних факторів необхідно виходити насамперед з термодинамічних засад формування плівок. В існую- чих представленнях [16], що ґрунтуються на зародковому механізмі, визначальним параметром є поверхнева енергія. На стадії, коли по- ведінка острівкових конденсованих фаз визначається саме поверх- невою енергією (змочування, адгезійна взаємодія, утворення зарод- ків конденсованої фази) визначальним буде вплив розмірного факто- ру. Дійсно, дослідження в рамках феноменологічної теорії вказують на існування розмірних залежностей поверхневої енергії в нанодис- персних системах в залежності не лише від форми і розміру нано- об’єктів, але й від кількости частинок в них [17, 18]. Тому зміна по- верхневої енергії в процесі нашарування конденсату з одночасною трансформацією субструктури плівки буде приводити до зміни внут- рішніх напружень в плівці та інших її механічних параметрів. Розмірна залежність поверхневої енергії згідно з Ґіббсовою термо- динамікою гетерофазних систем є, як відомо [11, 16], загальним явищем і зумовлена викривленням поверхні розділу фаз. Зрозуміло, що при формуванні меж зерен в процесі їх конденсації міжзеренні межі будуть володіти надлишковою поверхневою енергією. Тому зміна поверхневої енергії в процесі нашарування конденсату з одно- часною зміною субструктури плівки супроводжуватиметься зміною внутрішніх напружень в конденсаті, а також інших його механічних параметрів, наприклад, модуля Юнґа. Отож на експерименті особ- ливо чутливими до змін енергетичних параметрів є механічні влас- тивості плівок, насамперед внутрішні механічні напруження. На ри- сунку 5 наведено залежності модуля Юнґа від товщини конденсату (рис. 5, а) та від швидкости осадження плівки (рис. 5, б), розраховані з експериментально одержаних кінетичних кривих (d). Перша ві- дображає зовнішній розмірний ефект модуля Юнґа, друга – опосе- редковано внутрішній, оскільки, як встановлено, швидкість оса- дження є ефективним способом зміни субструктури плівки [12, 13]. Загалом внутрішні напруження є результатом міжфазної взає- модії в системі конденсат—підкладка, а також в самому конденсаті. Тому формування такої взаємодії буде визначатися стадією процесу напорошення, зокрема, аґреґатним станом конденсату, а значить 1120 Б. П. КОМАН, В. М. ЮЗЕВИЧ характером міжмолекулярної взаємодії в системах конденсат—під- кладка та в самій структурі конденсату. Проаналізуємо міжфазну взаємодію в системі підкладка—конден- сат. З цією метою використаємо методику, що ґрунтується на рів- няннях нерівноважної термодинаміки та фізики поверхні [19, 20], які зв’язують, зокрема, механічні напруження і заряди при наяв- ності відповідних крайових умов (поверхня, міжфазна межа), і ап- робовану в [10]. Оцінимо наступні параметри енергетичної взаємо- дії в системі металічний конденсат—підкладка: міжфазну енергію m, міжфазний натяг m, енергію адгезійних зв’язків ad та роботу адгезії Aad. Для моделі, в якій міжфазний шар складається з двох частин, мі- жфазну енергію m і міжфазний натяг m на межі розділу підкладка кремнію—металічний конденсат визначимо зі співвідношень [10, 11]: m , , H y y z H dx        m  e  ms, e e s s , . H H H H w dx w dx        Тут x  0 відповідає межі розділу, y, z – нормальні механічні на- пруження по відношенню до площин y, z відповідно (МПа), e, s – електрична і механічна складові міжфазної енергії (Дж/м2), m – фізична характеристика міжфазного шару, 2H – його ефективна товщина, we, ws – питомі електрична і механічна складові міжфаз- а б Рис. 5. Розмірна залежність модуля Юнґа в мідних конденсатах, осадже- них з різними швидкостями (а): 1 – 0,03, 2 – 0,09, 3 – 0,2, 4 – 0,5, 5 – 1,0, 6 – 2,0 нм/с. Залежність модуля Юнґа від швидкости осадження конденсатів для різних товщин (б): 1 – 50, 2 – 100, 3 – 200, 4 – 300 нм. РОЗМІРНА ЗАЛЕЖНІСТЬ НАПРУЖЕНЬ У КОНДЕНСАТАХ НА КРЕМНІЇ 1121 ної енергії: 2 0 e 2         x w , EE w yyxx 2 s )1( 2 )4(     ; E,  – мо- дуль Юнґа і Пуассонів коефіцієнт матеріялу міжфазного шару,  – електростатичний потенціял (потенціял електричного поля в між- фазному шарі). Умову квазирівноваги міжфазного шару запишемо у вигляді [20]: e m sm 0 ( ) 0, / ,k C k k              де  – густина матеріялу, C – питома електромісткість, 0   8,8510 12 Ф/м – електрична постійна, 1/k – величина, що чисе- льно дорівнює відстані, при якій густина електричного заряду (ві- льного для металу і зв’язаного для діелектрика) при віддаленні від поверхні розділу зменшується в е раз. Роботу адгезії Aad і енергію адгезійних зв’язків ad визначимо на основі співвідношень [20]: ad h dh m ad d m , ,A              де dh, d – поверхневі натяг і енергія кремнію, контактуючого з по- вітрям, h,  – поверхневі натяг і енергія металу, контактуючого з повітрям. Детально методика розрахунків описана в [10, 11], а основні фі- зичні константи взаємодіючих матеріялів використані з [21]. При описі кінетики формування металічної плівки на підкладці виходитимемо з того, що формування конденсату в процесі оса- дження не описується простою моделлю з послідовним накладан- ням шарів, що структурно повторюють один одного і відрізняються лише набором відповідних модулів Е1, , Еn (згідно з розмірною залежністю модуля Юнґа; рис. 5, а). Найбільш ймовірною, на нашу думку, є модель хаотично розміщених мікрообластей, розупоряд- кованих деформаційно відносно підкладки (на стадії наноконденса- ту) чи наступних шарів конденсату розвернутих відповідно один відносно одного в процесі осадження. Зокрема, кінетика процесу осадження передбачає, що кожний наступний шар в процесі конденсації формується на попередньо на- правлено деформований підшар, що включає хаотично розміщені мікродеформації в об’ємах зерен, здійснені в напрямках легкого ковзання, характерних для даної кристалічної структури плівки. Джерела таких деформацій, виникаючих внаслідок нерівноважно- сти процесу осадження, описані вище. Для початкового етапу конденсації при врахуванні орієнтаційної залежности модуля Юнґа по куту  між напрямами попередньої деформації і виникаючими напруженнями [22] система кремній— 1122 Б. П. КОМАН, В. М. ЮЗЕВИЧ конденсат міді демонструє значну орієнтаційну залежність енерге- тичних параметрів міжфазної взаємодії. Зокрема, міжфазна енер- гія в межах кута дезорієнтації (0—90) має банеподібний вигляд, до- сягаючи максимального значення при куті, рівному 45. Цілком протилежно, але закономірно, симетрично змінюється енергія ад- гезійних зв’язків, досягаючи мінімуму при , рівному 45 (рис. 6). Поведінка інших енергетичних параметрів (m, Aad) також характе- ризується описаними закономірностями (див. таблицю). Результуючий напрям механічного напруження верхнього шару визначатиметься статистичними процесами коалесценції нерівно- важних вакансій, міжфазною межею «деформований нижній шар— напружений наступний шар» та утвореними дислокаційними пет- лями і загалом не співпадатиме з просторовим напрямом поперед- ньої деформації нижнього підшару. Таким чином, виникає орієн- таційна залежність міжфазних енергетичних параметрів (по куту ) в локальних областях осаджуваного конденсату. Отож, в площи- ні конденсату формуватиметься статистичний набір дезорієнтова- них одна відносно одної областей, що володіють певними локаль- ними механічними напруженнями з різним просторовим упоряд- куванням. Сумарне напруження, що реєструється на експерименті є інтеґральним результатом статистично розподілених по площині Рис. 6. Анізотропія міжфазної енергії (1) та енергії адгезійних зв’язків (2) в конденсатах міді на кремнії. РОЗМІРНА ЗАЛЕЖНІСТЬ НАПРУЖЕНЬ У КОНДЕНСАТАХ НА КРЕМНІЇ 1123 плівки локальних напружень, зумовлених анізотропією енергетич- них параметрів міжфазної взаємодії в межах площини конденсату. 3. ТЕРМІЧНІ НАПРУЖЕННЯ Прийнято вважати, що термічна компонента механічних напру- жень виникає внаслідок відмінностей коефіцієнтів лінійного роз- ширення підкладки і плівки та температур осадження і експлуата- ції структури [7, 23]. Зокрема, чисельно її визначають з рівняння: 1 тер M Si п 0( )( )(1 ) ,E T T         (1) де  – Пуассонів коефіцієнт, M  Si – ріжниця коефіцієнтів лі- нійного розширення металу та підкладки, E – модуль Юнґа, Tп – температура підкладки в процесі напорошення, T0 – робоча темпе- ратура структури. Однак розраховані за рівнянням (1) значення термічної компоне- нти узгоджуються з експериментальними результатами далеко не завжди. Це зумовлено тим, що в розрахунках традиційно викорис- товують фізичні параметри матеріялів підкладки і конденсату при фіксованих температурах, а також без врахування структурних осо- бливостей матеріялів (як правило, використовуючи «об’ємні» зна- чення параметрів). Однак, вакуумні конденсати, як відомо, мають характерні фізичні параметри, які істотно відрізняються від їхніх значень для об’ємних матеріялів чи виміряних після технологічних обробок. Отож, використання об’ємних параметрів апріорі вносить похибку у розраховані значення термічної компоненти напружень. Тому для підвищення точности розрахунків необхідно враховувати насамперед структурні особливості конденсатів, зокрема, розмірну залежність фізичних параметрів (зовнішній розмірний ефект), що входять в рівняння (1), а також швидкість осадження (внутрішній розмірний ефект) та температурні залежності коефіцієнтів лінійно- ТАБЛИЦЯ. Анізотропія енергетичних характеристик конденсатів міді на кремнійовій підкладці.  0 15 30 45 60 75 90 m, Н/м 0,676 0,700 0,787 0,882 0,792 0,704 0,682 Aad, Н/м 2,812 2,788 2,701 2,606 2,696 2,784 2,806 zad  Aad/ad 1,036 1,033 1,023 1,012 1,023 1,033 1,036 zm  m/m 1,470 1,471 1,471 1,470 1,469 1,470 1,467 z1  m/ad 0,169 0,176 0,203 0,213 0,205 0,178 0,172 z2  m/Aad 0,240 0,251 0,291 0,338 0,294 0,253 0,243 1124 Б. П. КОМАН, В. М. ЮЗЕВИЧ го розширення підкладки і металічного конденсату. З фізичних параметрів це насамперед стосується модуля Юнґа, оскільки Пуассонів коефіцієнт є незначно структурно чутливим параметром. В нашому випадку залежности модуля Юнґа від тов- щини мідної плівки, розраховані з використанням експеримента- льної кінетики внутрішніх напружень, приведені на рис. 5. Зокре- ма, зміна товщини плівки та швидкости її осадження може супро- воджуватися зміною величини модуля Юнґа на один—два порядки. Отож, очевидним є факт необхідности врахування при розрахунку термічної компоненти механічних напружень залежности E(d), що враховує конкретне значення модуля Юнґа для певної товщини конденсату, одержаного при заданій швидкості осадження. На ри- сунку 7 наведено залежності термічних напружень в мідних кон- денсатах на кремнійовій монокристалічній підкладці від темпера- тури підкладки в процесі осадження, розраховані за формулою (1) з врахуванням розмірної залежности модуля Юнґа та температурної залежности коефіцієнтів лінійного розширення плівки та підклад- ки (значення останніх використані з [21] та розраховані через кож- ні 10C за допомогою методу кусково-лінійної інтерполяції:           1 1 1 ( )( ) ( )i i i i i iT T T T ). Як видно, відмінність у зна- ченнях тер при використанні модуля Юнґа для об’ємного та плівко- вого матеріялів може сягати більше двох порядків. Оскільки для практичних цілей стоїть задача мінімізації терміч- них напружень в системі плівка—підкладка, то при прогнозуванні в плівках заданого рівня таких напружень слід враховувати не лише температуру підкладки, але й товщину конденсату, що визначає конкретне значення модуля Юнґа. Тому ця задача може бути вирі- шена не лише шляхом пониження температури підкладки в процесі осадження (зменшення ріжниці (Tп  Т0) згідно з рівнянням (1)), але й оптимізацією відповідних товщин плівок та швидкостей конден- сації згідно 3D-діяграм тер(d, T) (рис. 7). Доречно відзначити, що рекомендація по зниженню температури підкладки не завжди є те- хнологічно можливою, оскільки для конкретних структур необхід- но забезпечити відповідні термодинамічні умови формування кон- денсату та його належну адгезію до підкладки. Демонстративним також є той факт, що згідно наведених діяграм рівень термічних напружень у значному діяпазоні товщин плівки та температур підкладки є суттєво відмінним від значень, розрахо- ваних з використанням «об’ємного» модуля Юнґа (горизонтальна рисочка на осях тер). Резюмуючи, відзначимо, що в контексті розмірних залежностей механічних напружень в системі металічний конденсат—підкладка підвищення точности оцінки термічної компоненти може бути пов- ністю реалізоване, очевидно, лише з урахуванням розмірної залеж- ности коефіцієнта лінійного розширення конденсату в усьому дос- ліджуваному інтервалі температур. Особливо це важливо в наноме- РОЗМІРНА ЗАЛЕЖНІСТЬ НАПРУЖЕНЬ У КОНДЕНСАТАХ НА КРЕМНІЇ 1125 тровому діяпазоні товщин конденсатів, де цей параметр може за- знавати суттєвих змін. Однак, авторам невідомі будь-які числові дані в цьому аспекті, що робить неможливим на даний час кількіс- ну оцінку вкладу такого фактору у величину термічної компоненти напружень. Загалом, з проблеми механічних напружень в кремнійових стру- ктурах мікроелектроніки доцільно відмітити, що значення сумар- них напружень, які виникають в металічних конденсатах на крем- нії, співмірні за величиною з аналогічними деформаціями в реаль- них шарах SiO2 на кремнії ((2—6)108 Па [24]). Відповідно, напру- ження в підкладках кремнію, що виникають в таких двохшарових структурах, сягають значень 107 Па. Останні є далекі від межі руй- нування кремнію ((2—4)109 Па [25]), але близькі до початку процесу Рис. 7. Залежність термічної компоненти механічних напружень в кон- денсатах міді від температури осадження та їх товщини з урахуванням розмірної залежности модуля Юнґа для швидкостей: 0,03 (а), 0,09 (б), 0,2 (в), 0,5 (г), 1,0 (д), 2,0 (е) нм/с. 1126 Б. П. КОМАН, В. М. ЮЗЕВИЧ мікропластичности його поверхневих шарів [26]), що є небезпечним фактором для мікроелектронних приладів на основі кремнію. Тому, використовуючи розмірні залежності (d) для систем «металічний конденсат—підкладка кремнію», можна створювати прогнозовані напруження (деформації) для реалізації в поверхневих шарах «на- пруженого» кремнію і відповідної зміни його зонної структури. Остання ідея використовується сьогодні в технології мікроелектро- ніки для створення МОН-транзисторів з підвищеною рухливістю носіїв засобом введення в канал провідности механічних напру- жень (транзистори з «напруженим» кремнійом) [27]. Таким чином, завдяки відносно простій технології створення на- пруженого кремнію в приповерхневій області підкладки з викорис- танням металізованих кремнійових поверхонь, яким притаманна прогнозованість напружень, дана методика може бути альтернати- вою відомим складним технологіям із застосуванням шарів SiO2— Si3N4, структур «кремній на ізоляторі» та епітаксіяльних шарів Si— Ge [27]. 4. ВИСНОВКИ 1. Досліджено розмірні залежності внутрішніх та термічних ком- понент механічних напружень в мідних конденсатах на монокрис- талічному кремнії. 2. Встановлено: а) залежність внутрішніх напружень в міді від швидкости конденсації має максимум при швидкості 0,5 нм/с для всіх характерних товщин конденсату (50, 100, 300 нм ); б) при шви- дкості осадження 1,0 нм/с всі конденсати незалежно від товщини мають однаковий рівень внутрішніх напружень. 3. Результуючі внутрішні напруження в мідних конденсатах, що реєструються на експерименті консольним методом, є інтеґральним результатом дії статистично розподілених по площині плівки лока- льних напружень, зумовлених анізотропією енергетичних параме- трів міжфазної взаємодії в площині конденсату. 4. Для адекватного розрахунку термічної компоненти напружень необхідне врахування розмірної залежности механічних парамет- рів конденсату, зокрема його модуля Юнґа, температурної залеж- ности коефіцієнтів лінійного розширення плівки та підкладки, а також розмірної залежности коефіцієнта лінійного розширення ме- талічного конденсату. ЦИТОВАНА ЛІТЕРАТУРА 1. Ю. Ф. Комник, Физика металлических пленок. Размерные и структурные эффекты (Москва: Атомиздат: 1979). 2. О. А. Білоус, Л. В. Дехтярук, А. М. Чорноус, Металлофиз. новейшие технол., РОЗМІРНА ЗАЛЕЖНІСТЬ НАПРУЖЕНЬ У КОНДЕНСАТАХ НА КРЕМНІЇ 1127 23, № 1: 43 (2001). 3. Л. В. Дегтярук, Є. О. Забіла, С. І. Проценко, А. М. Чорноус, Металлофиз. но- вейшие технол., 26, № 10: 1333 (2004). 4. З. В. Стасюк, Р. І. Бігун, Металлофиз. новейшие технол., 29, № 6: 781 (2007). 5. Е. Н. Блинова, A. M. Глезер, В. А. Жорин, Н. Б. Дьяконова, Известия РАН. Сер. физическая, 65, № 10: 1444 (2001). 6. М. Я. Фукс, Известия АН СССР. Сер. физическая, 31, № 3: 422 (1967). 7. Технология тонких пленок: Справочник. В 2-х т. (Ред. Л. Майссел, Р. Глэнг) (Москва: Советское радио: 1977). 8. И. И. Солонович, Физ. мет. металловед., 40, вып. 3: 633 (1975). 9. Л. С. Палатник, А. И. Ильинский, Успехи физических наук, 95: 613 (1968). 10. В. М. Юзевич, Б. П. Коман, Металлофиз. новейшие технол., 25, № 6: 747 (2003). 11. Б. П. Коман, В. Н. Юзевич, Физика твёрдого тела, 54, вып. 7: 1335 (2012). 12. Л. С. Палатник, М. Я. Фукс, В. М. Косевич, Механизм образования и суб- структура конденсированных пленок (Москва: Наука: 1972). 13. М. Я. Фукс, А. А. Козьма, В. А. Дуткин, А. В. Аринкин, Физ. мет. металло- вед., 38, вып. 4: 773 (1974). 14. В. А. Малыгин, Успехи физических наук, 169, № 9: 979 (1999). 15. M. Laugier, J. Mater. Sci., 15: 1147 (1980). 16. В. В. Скороход, І. В. Уварова, А. В. Рагуля, Фізико-хімічна кінетика в нанос- труктурних системах (Київ: Академперіодика: 2001). 17. М. Н. Магомедов, Физика твёрдого тела, 46, вып. 5: 924 (2004). 18. М. Н. Магомедов, Альтернативная энергетика и экология, 86, No. 6: 82 (2010). 19. В. М. Юзевич, П. М. Сопрунюк, Діагностика матеріалів і середовищ. Енерге- тичні характеристики поверхневих шарів (Львів: Сполом: 2005). 20. N. Eustathopoulus and J.-C. Joud, Curr. Top. Mater. Sci., 4: 281 (1980). 21. Таблицы физических величин: Справочник (Москва: Атомиздат: 1972). 22. В. И. Сытин, В. Н. Воеводин, С. В. Шевченко, Н. Д. Рыбальченко, Вопросы атомной науки и техники. Серия: Физика радиационных повреждений и ра- диационное материаловедение, 6: 32 (2003). 23. А. С. Романов, В. В. Щеглова, Обзоры по электронной технике. Сер. Полупро- водниковые приборы, 6 (798): 3 (1981). 24. Е. Ф. Венгер, В. Е. Примаченко, С. И. Кириллова, В. А. Чернобай, Оптоэлек- троника и полупроводниковая техника, 38: 134 (2003). 25. Ю. А. Концевой, Ю. М. Литвинов, Э. А. Фаттахов, Пластичность и проч- ность полупроводниковых материалов и структур (Москва: Радио и связь: 1982). 26. В. П. Алехин, Физика прочности и пластичности поверхностных слоев ма- териалов (Москва: Наука: 1983). 27. И. Г. Неизвестный, В. А. Гридчин, Микроэлектроника, 38, № 2: 83 (2009). REFERENCES 1. Yu. F. Komnik, Fizika Metallicheskikh Plenok. Razmernye i Strukturnye Effekty (Moscow: Atomizdat: 1979) (in Russian). 2. O. A. Bilous, L. V. Dekhtyaruk, and A. M. Chornous, Metallofiz. Noveishie Tekhnol., 23, No. 1: 43 (2001) (in Ukrainian). 1128 Б. П. КОМАН, В. М. ЮЗЕВИЧ 3. L. V. Dekhtyaruk, Ye. O. Zabila, S. I. Protsenko, and A. M. Chornous, Metallofiz. Noveishie Tekhnol., 26, No. 10: 1333 (2004) (in Ukrainian). 4. Z. V. Stasyuk and R. I. Bigun, Metallofiz. Noveishie Tekhnol., 29, No. 6: 781 (2007) (in Ukrainian). 5. E. N. Blinova, A. M. Glezer, V. A. Zhorin, and N. B. D’yakonova, Izvestiya RAN. Ser. Fizicheskaya, 65, No. 10: 1444 (2001) (in Russian). 6. M. Ya. Fuks, Izvestiya AN SSSR, Ser. Fizicheskaya, 31, No. 3: 422 (1967) (in Russian). 7. Tekhnologiya Tonkikh Plenok: Spravochnik (Handbook of Thin Film Technology) (Eds. L. I. Maissel and R. Glang) (Moscow: Sovetskoe Radio: 1977) (Russian translation). 8. I. I. Solonovich, Fiz. Met. Metalloved., 40, Iss. 3: 633 (1975) (in Russian). 9. L. S. Palatnik and A. I. Il’inskiy, Uspekhi Fizicheskikh Nauk, 95: 613 (1968) (in Russian). 10. V. M. Yuzevych and B. P. Koman, Metallofiz. Noveishie Tekhnol., 25, No. 6: 747 (2003) (in Ukrainian). 11. B. P. Koman and V. N. Yuzevich, Fiz. Tverd. Tela, 54, Iss. 7: 1335 (2012) (in Russian). 12. L. S. Palatnik, M. Ya. Fuks, and V. M. Kosevich, Mekhanizm Obrazovaniya i Substruktura Kondensirovannykh Plenok (Moscow: Nauka: 1972) (in Russian). 13. M. Ya. Fuks, A. A. Koz’ma, V. A. Dutkin, and A. V. Arinkin, Fiz. Met. Metalloved., 38, Iss. 4: 773 (1974) (in Russian). 14. V. A. Malygin, Uspekhi Fizicheskikh Nauk, 169, No. 9: 979 (1999) (in Russian). 15. M. Laugier, J. Mater. Sci., 15: 1147 (1980). 16. V. V. Skorokhod, I. V. Uvarova, and A. V. Ragulya, Fizyko-Khimichna Kinetyka v Nanostrukturnykh Systemakh (Kyiv: Akademperiodika: 2001) (in Ukrainian). 17. M. N. Magomedov, Fiz. Tverd. Tela, 46, Iss. 5: 924 (2004) (in Russian). 18. M. N. Magomedov, Int. Sci. J. Alternative Energy and Ecology, 86, No. 6: 82 (2010). 19. V. M. Yuzevych and P. M. Soprunyuk, Diagnostyka Materialiv i Seredovyshch. Energetychni Kharakterystyky Poverkhnevykh Shariv (Lviv: Spolom: 2005) (in Ukrainian). 20. N. Eustathopoulus and J.-C. Joud, Curr. Top. Mater. Sci., 4: 281 (1980). 21. Tablitsy Fizicheskikh Velichin: Spravochnik (Moscow: Atomizdat: 1972) (in Russian). 22. V. I. Sytin, V. N. Voevodin, S. V. Shevchenko, and N. D. Rybal’chenko, Voprosy Atomnoy Nauki i Tekhniki. Ser.: Fizika Radiatsionnykh Povrezhdeniy i Radiatsionnoe Materialovedenie, 6: 32 (2003) (in Russian). 23. A. S. Romanov and V. V. Shcheglova, Obzory po Elektronnoy Tekhnike. Ser. Poluprovodnikovye Pribory, 6 (798): 3 (1981) (in Russian). 24. E. F. Venger, V. E. Primachenko, S. I. Kirillova, and V. A. Chernobay, Optoelektronika i Poluprovodnikovaya Tekhnika, 38: 134 (2003) (in Russian). 25. Yu. A. Kontsevoy, Yu. M. Litvinov, and E. A. Fattakhov, Plastichnost’ i Prochnost’ Poluprovodnikovykh Materialov i Struktur (Moscow: Radio i Svyaz’: 1982) (in Russian). 26. V. P. Alekhin, Fizika Prochnosti i Plastichnosti Poverkhnostnykh Sloev Materialov (Moscow: Nauka: 1983) (in Russian). 27. I. G. Neizvestnyy and V. A. Gridchin, Mikroelektronika, 38, No. 2: 83 (2009) (in Russian). << /ASCII85EncodePages false /AllowTransparency false /AutoPositionEPSFiles true /AutoRotatePages /None /Binding /Left /CalGrayProfile (Dot Gain 20%) /CalRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1) /CalCMYKProfile (U.S. Web Coated \050SWOP\051 v2) /sRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1) /CannotEmbedFontPolicy /Error /CompatibilityLevel 1.4 /CompressObjects /Tags /CompressPages true /ConvertImagesToIndexed true /PassThroughJPEGImages true /CreateJobTicket false /DefaultRenderingIntent /Default /DetectBlends true /DetectCurves 0.0000 /ColorConversionStrategy /CMYK /DoThumbnails false /EmbedAllFonts true /EmbedOpenType false /ParseICCProfilesInComments true /EmbedJobOptions true /DSCReportingLevel 0 /EmitDSCWarnings false /EndPage -1 /ImageMemory 1048576 /LockDistillerParams false /MaxSubsetPct 100 /Optimize true /OPM 1 /ParseDSCComments true /ParseDSCCommentsForDocInfo true /PreserveCopyPage true /PreserveDICMYKValues true /PreserveEPSInfo true /PreserveFlatness true /PreserveHalftoneInfo false /PreserveOPIComments true /PreserveOverprintSettings true /StartPage 1 /SubsetFonts true /TransferFunctionInfo /Apply /UCRandBGInfo /Preserve /UsePrologue false /ColorSettingsFile () /AlwaysEmbed [ true ] /NeverEmbed [ true ] /AntiAliasColorImages false /CropColorImages true /ColorImageMinResolution 300 /ColorImageMinResolutionPolicy /OK /DownsampleColorImages true /ColorImageDownsampleType /Bicubic /ColorImageResolution 300 /ColorImageDepth -1 /ColorImageMinDownsampleDepth 1 /ColorImageDownsampleThreshold 1.50000 /EncodeColorImages true /ColorImageFilter /DCTEncode /AutoFilterColorImages true /ColorImageAutoFilterStrategy /JPEG /ColorACSImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /ColorImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /JPEG2000ColorACSImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /JPEG2000ColorImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /AntiAliasGrayImages false /CropGrayImages true /GrayImageMinResolution 300 /GrayImageMinResolutionPolicy /OK /DownsampleGrayImages true /GrayImageDownsampleType /Bicubic /GrayImageResolution 300 /GrayImageDepth -1 /GrayImageMinDownsampleDepth 2 /GrayImageDownsampleThreshold 1.50000 /EncodeGrayImages true /GrayImageFilter /DCTEncode /AutoFilterGrayImages true /GrayImageAutoFilterStrategy /JPEG /GrayACSImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /GrayImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /JPEG2000GrayACSImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /JPEG2000GrayImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /AntiAliasMonoImages false /CropMonoImages true /MonoImageMinResolution 1200 /MonoImageMinResolutionPolicy /OK /DownsampleMonoImages true /MonoImageDownsampleType /Bicubic /MonoImageResolution 1200 /MonoImageDepth -1 /MonoImageDownsampleThreshold 1.50000 /EncodeMonoImages true /MonoImageFilter /CCITTFaxEncode /MonoImageDict << /K -1 >> /AllowPSXObjects false /CheckCompliance [ /None ] /PDFX1aCheck false /PDFX3Check false /PDFXCompliantPDFOnly false /PDFXNoTrimBoxError true /PDFXTrimBoxToMediaBoxOffset [ 0.00000 0.00000 0.00000 0.00000 ] /PDFXSetBleedBoxToMediaBox true /PDFXBleedBoxToTrimBoxOffset [ 0.00000 0.00000 0.00000 0.00000 ] /PDFXOutputIntentProfile () /PDFXOutputConditionIdentifier () /PDFXOutputCondition () /PDFXRegistryName () /PDFXTrapped /False /CreateJDFFile false /Description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> /CHS <FEFF4f7f75288fd94e9b8bbe5b9a521b5efa7684002000410064006f006200650020005000440046002065876863900275284e8e9ad88d2891cf76845370524d53705237300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c676562535f00521b5efa768400200050004400460020658768633002> /CHT <FEFF4f7f752890194e9b8a2d7f6e5efa7acb7684002000410064006f006200650020005000440046002065874ef69069752865bc9ad854c18cea76845370524d5370523786557406300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c4f86958b555f5df25efa7acb76840020005000440046002065874ef63002> /CZE <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> /DAN <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> /DEU <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> /ESP <FEFF005500740069006c0069006300650020006500730074006100200063006f006e0066006900670075007200610063006900f3006e0020007000610072006100200063007200650061007200200064006f00630075006d0065006e0074006f00730020005000440046002000640065002000410064006f0062006500200061006400650063007500610064006f00730020007000610072006100200069006d0070007200650073006900f3006e0020007000720065002d0065006400690074006f007200690061006c00200064006500200061006c00740061002000630061006c0069006400610064002e002000530065002000700075006500640065006e00200061006200720069007200200064006f00630075006d0065006e0074006f00730020005000440046002000630072006500610064006f007300200063006f006e0020004100630072006f006200610074002c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000200079002000760065007200730069006f006e0065007300200070006f00730074006500720069006f007200650073002e> /ETI <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> /FRA <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> /GRE <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a stvaranje Adobe PDF dokumenata najpogodnijih za visokokvalitetni ispis prije tiskanja koristite ove postavke. Stvoreni PDF dokumenti mogu se otvoriti Acrobat i Adobe Reader 5.0 i kasnijim verzijama.) /HUN <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> /ITA <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> /JPN <FEFF9ad854c18cea306a30d730ea30d730ec30b951fa529b7528002000410064006f0062006500200050004400460020658766f8306e4f5c6210306b4f7f75283057307e305930023053306e8a2d5b9a30674f5c62103055308c305f0020005000440046002030d530a130a430eb306f3001004100630072006f0062006100740020304a30883073002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee5964d3067958b304f30533068304c3067304d307e305930023053306e8a2d5b9a306b306f30d530a930f330c8306e57cb30818fbc307f304c5fc59808306730593002> /KOR <FEFFc7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c5ec0020ace0d488c9c80020c2dcd5d80020c778c1c4c5d00020ac00c7a50020c801d569d55c002000410064006f0062006500200050004400460020bb38c11cb97c0020c791c131d569b2c8b2e4002e0020c774b807ac8c0020c791c131b41c00200050004400460020bb38c11cb2940020004100630072006f0062006100740020bc0f002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e00300020c774c0c1c5d0c11c0020c5f40020c2180020c788c2b5b2c8b2e4002e> /LTH <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> /LVI <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> /NLD (Gebruik deze instellingen om Adobe PDF-documenten te maken die zijn geoptimaliseerd voor prepress-afdrukken van hoge kwaliteit. De gemaakte PDF-documenten kunnen worden geopend met Acrobat en Adobe Reader 5.0 en hoger.) /NOR <FEFF004200720075006b00200064006900730073006500200069006e006e007300740069006c006c0069006e00670065006e0065002000740069006c002000e50020006f0070007000720065007400740065002000410064006f006200650020005000440046002d0064006f006b0075006d0065006e00740065007200200073006f006d00200065007200200062006500730074002000650067006e0065007400200066006f00720020006600f80072007400720079006b006b0073007500740073006b00720069006600740020006100760020006800f800790020006b00760061006c0069007400650074002e0020005000440046002d0064006f006b0075006d0065006e00740065006e00650020006b0061006e002000e50070006e00650073002000690020004100630072006f00620061007400200065006c006c00650072002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000200065006c006c00650072002000730065006e006500720065002e> /POL <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> /PTB <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> /RUM <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> /RUS <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> /SKY <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> /SLV <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> /SUO <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> /SVE <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> /TUR <FEFF005900fc006b00730065006b0020006b0061006c006900740065006c0069002000f6006e002000790061007a006401310072006d00610020006200610073006b013100730131006e006100200065006e0020006900790069002000750079006100620069006c006500630065006b002000410064006f006200650020005000440046002000620065006c00670065006c0065007200690020006f006c0075015f007400750072006d0061006b0020006900e70069006e00200062007500200061007900610072006c0061007201310020006b0075006c006c0061006e0131006e002e00200020004f006c0075015f0074007500720075006c0061006e0020005000440046002000620065006c00670065006c0065007200690020004100630072006f006200610074002000760065002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000200076006500200073006f006e0072006100730131006e00640061006b00690020007300fc007200fc006d006c00650072006c00650020006100e70131006c006100620069006c00690072002e> /UKR <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> /ENU (Use these settings to create Adobe PDF documents best suited for high-quality prepress printing. Created PDF documents can be opened with Acrobat and Adobe Reader 5.0 and later.) >> /Namespace [ (Adobe) (Common) (1.0) ] /OtherNamespaces [ << /AsReaderSpreads false /CropImagesToFrames true /ErrorControl /WarnAndContinue /FlattenerIgnoreSpreadOverrides false /IncludeGuidesGrids false /IncludeNonPrinting false /IncludeSlug false /Namespace [ (Adobe) (InDesign) (4.0) ] /OmitPlacedBitmaps false /OmitPlacedEPS false /OmitPlacedPDF false /SimulateOverprint /Legacy >> << /AddBleedMarks false /AddColorBars false /AddCropMarks false /AddPageInfo false /AddRegMarks false /ConvertColors /ConvertToCMYK /DestinationProfileName () /DestinationProfileSelector /DocumentCMYK /Downsample16BitImages true /FlattenerPreset << /PresetSelector /MediumResolution >> /FormElements false /GenerateStructure false /IncludeBookmarks false /IncludeHyperlinks false /IncludeInteractive false /IncludeLayers false /IncludeProfiles false /MultimediaHandling /UseObjectSettings /Namespace [ (Adobe) (CreativeSuite) (2.0) ] /PDFXOutputIntentProfileSelector /DocumentCMYK /PreserveEditing true /UntaggedCMYKHandling /LeaveUntagged /UntaggedRGBHandling /UseDocumentProfile /UseDocumentBleed false >> ] >> setdistillerparams << /HWResolution [2400 2400] /PageSize [612.000 792.000] >> setpagedevice

Розмірна залежність механічних напружень у металічних конденсатах на кремнії

Institution

Ähnliche Einträge