Розмірна залежність механічних напружень у металічних конденсатах на кремнії
В роботі експериментально досліджено зовнішній і внутрішній розмірні ефекти, що реалізуються у внутрішніх (власних) і термічних напруженнях мідних конденсатів на підложжях монокристалічного кремнію. Вивчено поведінку максимальних внутрішніх напружень зі зміною товщини плівки та швидкости осадження....
Gespeichert in:
| Datum: | 2014 |
|---|---|
| Hauptverfasser: | , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Ukrainian |
| Veröffentlicht: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2014
|
| Schriftenreihe: | Металлофизика и новейшие технологии |
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/106999 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Розмірна залежність механічних напружень у металічних конденсатах на кремнії / Б.П. Коман, В.М. Юзевич // Металлофизика и новейшие технологии. — 2014. — Т. 36, № 8. — С. 1113-1128. — Бібліогр.: 27 назв. — укр. |