Cover Image

Розмірна залежність механічних напружень у металічних конденсатах на кремнії

В роботі експериментально досліджено зовнішній і внутрішній розмірні ефекти, що реалізуються у внутрішніх (власних) і термічних напруженнях мідних конденсатів на підложжях монокристалічного кремнію. Вивчено поведінку максимальних внутрішніх напружень зі зміною товщини плівки та швидкости осадження....

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Published in:Металлофизика и новейшие технологии
Date:2014
Main Authors: Коман, Б.П., Юзевич, В.М.
Format: Article
Language:Ukrainian
Published: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2014
Subjects:
Металлические поверхности и плёнки
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/106999
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Розмірна залежність механічних напружень у металічних конденсатах на кремнії / Б.П. Коман, В.М. Юзевич // Металлофизика и новейшие технологии. — 2014. — Т. 36, № 8. — С. 1113-1128. — Бібліогр.: 27 назв. — укр.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Similar Items

Similar Items