Дифузійне фазоутворення в нанорозмірних шаруватих плівкових композиціях Pt(15 нм)/Fe(15 нм) і (Pt(7,5 нм)/Fe(7,5 нм))₂ на підкладках SiO₂(100 нм)/Si(001)

Дифузійне фазоутворення в нанорозмірних шаруватих плівкових композиціях Pt(15 нм)/Fe(15 нм) і (Pt(7,5 нм)/Fe(7,5 нм))₂ на підкладках SiO₂(100 нм)/Si(001)

Методами фізичного матеріялознавства (рентґеноструктурною фазовою аналізою, атомно-силовою і магнетно-силовою мікроскопіями, Резерфордовим зворотнім розсіянням, методою міряння магнетних властивостей за допомогою SQUID-магнетометра, резистометрії) досліджено вплив додаткових меж поділу у нанорозмірн...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Datum:2014
Hauptverfasser: Макогон, Ю.Н., Павлова, О.П., Сидоренко, С.І., Вербицька, Т.І., Владимирський, І.А., Фігурна, О.В., Круглов, І.О.
Format: Artikel
Sprache:Ukrainian
Veröffentlicht: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2014
Schriftenreihe:Металлофизика и новейшие технологии
Schlagworte:
Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/107032
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Дифузійне фазоутворення в нанорозмірних шаруватих плівкових композиціях Pt(15 нм)/Fe(15 нм) і (Pt(7,5 нм)/Fe(7,5 нм))₂ на підкладках SiO₂(100 нм)/Si(001) / Ю.Н. Макогон, О.П. Павлова, С.І. Сидоренко, Т.І. Вербицька, І.А. Владимирський, О.В. Фігурна, І.О. Круглов // Металлофизика и новейшие технологии. — 2014. — Т. 36, № 10. — С. 1359-1369. — Бібліогр.: 23 назв. — укр.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-107032
record_format dspace
spelling nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-1070322025-02-09T14:34:36Z Дифузійне фазоутворення в нанорозмірних шаруватих плівкових композиціях Pt(15 нм)/Fe(15 нм) і (Pt(7,5 нм)/Fe(7,5 нм))₂ на підкладках SiO₂(100 нм)/Si(001) Дифузійне фазоутворення в нанорозмірних шаруватих плівкових композиціях Pt(15 нм)/Fe(15 нм) і [Pt(7,5 нм)/Fe(7,5 нм)]₂ на підкладках SiO₂(100 нм)/Si(001) Diffusive Phase Formation in the Nanosize Layer-by-Layer Film Compositions of Pt(15 nm)/Fe(15 nm) and [Pt(7.5 nm)/Fe(7.5 nm)]₂ on a SiO₂(100 nm)/Si(001) Substrate Макогон, Ю.Н. Павлова, О.П. Сидоренко, С.І. Вербицька, Т.І. Владимирський, І.А. Фігурна, О.В. Круглов, І.О. Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов Методами фізичного матеріялознавства (рентґеноструктурною фазовою аналізою, атомно-силовою і магнетно-силовою мікроскопіями, Резерфордовим зворотнім розсіянням, методою міряння магнетних властивостей за допомогою SQUID-магнетометра, резистометрії) досліджено вплив додаткових меж поділу у нанорозмірній шаруватій плівці Pt/Fe на підложжі SiO₂(100нм)/Si(001), при збереженні початкової товщини плівки (30 нм), на процеси дифузійного фазоутворення – перехід хімічно невпорядкованої магнетом’якої фази А1(FePt) у хімічно впорядковану магнетотверду фазу L1₀(FePt) при відпалі у вакуумі. Методами физического материаловедения (рентгеноструктурным фазовым анализом, атомно-силовой и магнитно-силовой микроскопиями, резерфордовским обратным рассеянием, методом измерения магнитных свойств с помощью SQUID-магнитометра, резистометрии) исследовано влияние дополнительных границ раздела в слоистой наноразмерной плёнке Pt/Fe на подложке SiO₂(100 нм)/Si(001), при сохранении первоначальной толщины плёнки (30 нм), на процессы диффузионного фазообразования – переход химически неупорядоченной магнитомягкой фазы А1(FePt) в химически упорядоченную магнитотвёрдую фазу L1₀ (FePt) при отжигах в вакууме. Influence of the additional interfaces in nanoscale layered Pt/Fe film on the SiO₂(100 nm)/Si substrate, with the retention of initial film thickness (of 30 nm), on the diffusive phase-formation processes–transformation of soft-magnetic chemically disordered A1(FePt) phase into hard-magnetic chemically ordered L1₀(FePt) phase at annealing in vacuum is investigated by methods of physical materials science: X-ray diffraction, atomic force microscopy and magnetic force microscopy, Rutherford backscattering, SQUID magnetometry, and electrical resistance measurements. Автори висловлюють подяку співробітникам кафедри фізики поверхні та меж поділу технічного університету м. Хемніц (Німеччина), в тому числі завідувачу кафедри професору М. Альбрехту та доктору Г. Беддісу за виготовлення зразків і допомогу у виконанні досліджень й обговоренні результатів. Роботу виконано при фінансовій підтримці німецької організації по науковому обміну (DAAD) (ґрант № 54300147 (2011/2012)) в межах програми ім. Леонарда Ойлера. 2014 Article Дифузійне фазоутворення в нанорозмірних шаруватих плівкових композиціях Pt(15 нм)/Fe(15 нм) і (Pt(7,5 нм)/Fe(7,5 нм))₂ на підкладках SiO₂(100 нм)/Si(001) / Ю.Н. Макогон, О.П. Павлова, С.І. Сидоренко, Т.І. Вербицька, І.А. Владимирський, О.В. Фігурна, І.О. Круглов // Металлофизика и новейшие технологии. — 2014. — Т. 36, № 10. — С. 1359-1369. — Бібліогр.: 23 назв. — укр. 1024-1809 PACS: 66.30.Pa, 64.70.Nd, 68.55.jm, 75.50.Vv, 75.70.Ak, 81.40.Ef, 81.40.Rs DOI: http://dx.doi.org/10.15407/mfint.36.10.1359 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/107032 uk Металлофизика и новейшие технологии application/pdf Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
language Ukrainian
topic Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов
Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов
spellingShingle Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов
Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов
Макогон, Ю.Н.
Павлова, О.П.
Сидоренко, С.І.
Вербицька, Т.І.
Владимирський, І.А.
Фігурна, О.В.
Круглов, І.О.
Дифузійне фазоутворення в нанорозмірних шаруватих плівкових композиціях Pt(15 нм)/Fe(15 нм) і (Pt(7,5 нм)/Fe(7,5 нм))₂ на підкладках SiO₂(100 нм)/Si(001)
Металлофизика и новейшие технологии
description Методами фізичного матеріялознавства (рентґеноструктурною фазовою аналізою, атомно-силовою і магнетно-силовою мікроскопіями, Резерфордовим зворотнім розсіянням, методою міряння магнетних властивостей за допомогою SQUID-магнетометра, резистометрії) досліджено вплив додаткових меж поділу у нанорозмірній шаруватій плівці Pt/Fe на підложжі SiO₂(100нм)/Si(001), при збереженні початкової товщини плівки (30 нм), на процеси дифузійного фазоутворення – перехід хімічно невпорядкованої магнетом’якої фази А1(FePt) у хімічно впорядковану магнетотверду фазу L1₀(FePt) при відпалі у вакуумі.
format Article
author Макогон, Ю.Н.
Павлова, О.П.
Сидоренко, С.І.
Вербицька, Т.І.
Владимирський, І.А.
Фігурна, О.В.
Круглов, І.О.
author_facet Макогон, Ю.Н.
Павлова, О.П.
Сидоренко, С.І.
Вербицька, Т.І.
Владимирський, І.А.
Фігурна, О.В.
Круглов, І.О.
author_sort Макогон, Ю.Н.
title Дифузійне фазоутворення в нанорозмірних шаруватих плівкових композиціях Pt(15 нм)/Fe(15 нм) і (Pt(7,5 нм)/Fe(7,5 нм))₂ на підкладках SiO₂(100 нм)/Si(001)
title_short Дифузійне фазоутворення в нанорозмірних шаруватих плівкових композиціях Pt(15 нм)/Fe(15 нм) і (Pt(7,5 нм)/Fe(7,5 нм))₂ на підкладках SiO₂(100 нм)/Si(001)
title_full Дифузійне фазоутворення в нанорозмірних шаруватих плівкових композиціях Pt(15 нм)/Fe(15 нм) і (Pt(7,5 нм)/Fe(7,5 нм))₂ на підкладках SiO₂(100 нм)/Si(001)
title_fullStr Дифузійне фазоутворення в нанорозмірних шаруватих плівкових композиціях Pt(15 нм)/Fe(15 нм) і (Pt(7,5 нм)/Fe(7,5 нм))₂ на підкладках SiO₂(100 нм)/Si(001)
title_full_unstemmed Дифузійне фазоутворення в нанорозмірних шаруватих плівкових композиціях Pt(15 нм)/Fe(15 нм) і (Pt(7,5 нм)/Fe(7,5 нм))₂ на підкладках SiO₂(100 нм)/Si(001)
title_sort дифузійне фазоутворення в нанорозмірних шаруватих плівкових композиціях pt(15 нм)/fe(15 нм) і (pt(7,5 нм)/fe(7,5 нм))₂ на підкладках sio₂(100 нм)/si(001)
publisher Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
publishDate 2014
topic_facet Строение и свойства наноразмерных и мезоскопических материалов
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/107032
citation_txt Дифузійне фазоутворення в нанорозмірних шаруватих плівкових композиціях Pt(15 нм)/Fe(15 нм) і (Pt(7,5 нм)/Fe(7,5 нм))₂ на підкладках SiO₂(100 нм)/Si(001) / Ю.Н. Макогон, О.П. Павлова, С.І. Сидоренко, Т.І. Вербицька, І.А. Владимирський, О.В. Фігурна, І.О. Круглов // Металлофизика и новейшие технологии. — 2014. — Т. 36, № 10. — С. 1359-1369. — Бібліогр.: 23 назв. — укр.
series Металлофизика и новейшие технологии
work_keys_str_mv AT makogonûn difuzíjnefazoutvorennâvnanorozmírnihšaruvatihplívkovihkompozicíâhpt15nmfe15nmípt75nmfe75nm2napídkladkahsio2100nmsi001
AT pavlovaop difuzíjnefazoutvorennâvnanorozmírnihšaruvatihplívkovihkompozicíâhpt15nmfe15nmípt75nmfe75nm2napídkladkahsio2100nmsi001
AT sidorenkosí difuzíjnefazoutvorennâvnanorozmírnihšaruvatihplívkovihkompozicíâhpt15nmfe15nmípt75nmfe75nm2napídkladkahsio2100nmsi001
AT verbicʹkatí difuzíjnefazoutvorennâvnanorozmírnihšaruvatihplívkovihkompozicíâhpt15nmfe15nmípt75nmfe75nm2napídkladkahsio2100nmsi001
AT vladimirsʹkijía difuzíjnefazoutvorennâvnanorozmírnihšaruvatihplívkovihkompozicíâhpt15nmfe15nmípt75nmfe75nm2napídkladkahsio2100nmsi001
AT fígurnaov difuzíjnefazoutvorennâvnanorozmírnihšaruvatihplívkovihkompozicíâhpt15nmfe15nmípt75nmfe75nm2napídkladkahsio2100nmsi001
AT kruglovío difuzíjnefazoutvorennâvnanorozmírnihšaruvatihplívkovihkompozicíâhpt15nmfe15nmípt75nmfe75nm2napídkladkahsio2100nmsi001
AT makogonûn diffusivephaseformationinthenanosizelayerbylayerfilmcompositionsofpt15nmfe15nmandpt75nmfe75nm2onasio2100nmsi001substrate
AT pavlovaop diffusivephaseformationinthenanosizelayerbylayerfilmcompositionsofpt15nmfe15nmandpt75nmfe75nm2onasio2100nmsi001substrate
AT sidorenkosí diffusivephaseformationinthenanosizelayerbylayerfilmcompositionsofpt15nmfe15nmandpt75nmfe75nm2onasio2100nmsi001substrate
AT verbicʹkatí diffusivephaseformationinthenanosizelayerbylayerfilmcompositionsofpt15nmfe15nmandpt75nmfe75nm2onasio2100nmsi001substrate
AT vladimirsʹkijía diffusivephaseformationinthenanosizelayerbylayerfilmcompositionsofpt15nmfe15nmandpt75nmfe75nm2onasio2100nmsi001substrate
AT fígurnaov diffusivephaseformationinthenanosizelayerbylayerfilmcompositionsofpt15nmfe15nmandpt75nmfe75nm2onasio2100nmsi001substrate
AT kruglovío diffusivephaseformationinthenanosizelayerbylayerfilmcompositionsofpt15nmfe15nmandpt75nmfe75nm2onasio2100nmsi001substrate
first_indexed 2025-11-26T21:13:28Z
last_indexed 2025-11-26T21:13:28Z
_version_ 1849888987202715648
fulltext 1359 СТРОЕНИЕ И СВОЙСТВА НАНОРАЗМЕРНЫХ И МЕЗОСКОПИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ PACS numbers:66.30.Pa, 64.70.Nd,68.55.jm,75.50.Vv,75.70.Ak,81.40.Ef, 81.40.Rs Дифузійне фазоутворення в нанорозмірних шаруватих плівкових композиціях Pt(15 нм)/Fe(15 нм) і [Pt(7,5 нм)/Fe(7,5 нм)]2 на підкладках SiO2(100 нм)/Si(001) Ю. М. Макогон, О. П. Павлова, С. І. Сидоренко, Т. І. Вербицька, І. А. Владимирський, О. В. Фігурна, І. О. Круглов Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут», просп. Перемоги, 37, 03056 Київ, Україна Методами фізичного матеріялознавства (рентґеноструктурною фазовою аналізою, атомно-силовою і магнетно-силовою мікроскопіями, Резерфор- довим зворотнім розсіянням, методою міряння магнетних властивостей за допомогою SQUID-магнетометра, резистометрії) досліджено вплив до- даткових меж поділу у нанорозмірній шаруватій плівці Pt/Fe на підлож- жі SiO2(100 нм)/Si(001), при збереженні початкової товщини плівки (30 нм), на процеси дифузійного фазоутворення – перехід хімічно невпо- рядкованої магнетом’якої фази А1(FePt) у хімічно впорядковану магне- тотверду фазу L10(FePt) при відпалі у вакуумі. Встановлено, що після осадження плівки Pt(15 нм)/Fe(15 нм) і [Pt(7,5 нм)/Fe(7,5 нм)]2 демон- струють дво- і чотирошарову структури відповідно. Відпал у вакуумі в інтервалі температур 600С—900С з витримкою у 30 с супроводжується фазовим переходом. Введення додаткових меж поділу покращує кінетику впорядкування, що проявляється в зниженні на 100С температури поча- тку формування фази L10(FePt) з текстурою (111) в багатошаровій плівці [Pt(7,5 нм)/Fe(7,5 нм)]2 в порівнянні з плівкою Pt(15 нм)/Fe(15 нм), в якій фазове перетворення А1(FePt)  L10(FePt) відбувається в процесі відпалу за температури 700С. Коерцитивна сила досліджуваних плівок росте з температурою відпалу. Методами физического материаловедения (рентгеноструктурным фазовым анализом, атомно-силовой и магнитно-силовой микроскопиями, резерфор- довским обратным рассеянием, методом измерения магнитных свойств с помощью SQUID-магнитометра, резистометрии) исследовано влияние до- полнительных границ раздела в слоистой наноразмерной плёнке Pt/Fe на подложке SiO2(100 нм)/Si(001), при сохранении первоначальной толщины Металлофиз. новейшие технол. / Metallofiz. Noveishie Tekhnol. 2014, т. 36, № 10, сс. 1359—1369 Оттиски доступны непосредственно от издателя Фотокопирование разрешено только в соответствии с лицензией 2014 ИМФ (Институт металлофизики им. Г. В. Курдюмова НАН Украины) Напечатано в Украине. 1360 Ю. М. МАКОГОН, О. П. ПАВЛОВА, С. І. СИДОРЕНКО та ін. плёнки (30 нм), на процессы диффузионного фазообразования – переход химически неупорядоченной магнитомягкой фазы А1(FePt) в химически упорядоченную магнитотвёрдую фазу L10(FePt) при отжигах в вакууме. Установлено, что после осаждения плёнки Pt(15 нм)/Fe(15 нм) и [Pt(7,5 нм)/Fe(7,5 нм)]2 демонстрируют двух- и четырёхслойную структуры соответ- ственно. Отжиги в вакууме в интервале температур 600С—900С с выдерж- кой в 30 с сопровождаются фазовым переходом. Введение дополнительных границ раздела улучшает кинетику упорядочения, что проявляется в сни- жении на 100С температуры начала формирования фазы L10(FePt) с тек- стурой (111) в многослойной плёнке [Pt(7,5 нм)/Fe(7,5 нм)]2 по сравнению с плёнкой Pt(15 нм)/Fe(15 нм), в которой фазовое превращение А1(FePt)   L10(FePt) происходит в процессе отжига при температуре 700С. Коэрци- тивная сила исследуемых плёнок растёт с температурой отжига. Influence of the additional interfaces in nanoscale layered Pt/Fe film on the SiO2(100 nm)/Si substrate, with the retention of initial film thickness (of 30 nm), on the diffusive phase-formation processes–transformation of soft- magnetic chemically disordered A1(FePt) phase into hard-magnetic chemical- ly ordered L10(FePt) phase at annealing in vacuum is investigated by methods of physical materials science: X-ray diffraction, atomic force microscopy and magnetic force microscopy, Rutherford backscattering, SQUID magnetome- try, and electrical resistance measurements. As revealed after deposition, these films have bi- and four-layer structures, respectively. Annealing in vac- uum in the temperature range of 600—900C with annealing time of 30 s is ac- companied by phase transformation. Introduction of additional interfaces im- proves the ordering kinetics. These facts are illustrated with decrease of for- mation onset temperature for the ordered L10(FePt) phase with (111) texture in [Pt(7.5 nm)/Fe(7.5 nm)]2 multi-layered films by 100C as compared with Pt(15 nm)/Fe(15 nm) films, in which the A1(FePt)  L10(FePt) phase trans- formation occurs during annealing at 700C. Coercive force of films increases with increasing the annealing temperature. Ключові слова: хімічно впорядкована фаза L10(FePt), коерцитивна сила, межа поділу, нанорозмірна плівка. (Отримано 25 лютого 2014 р.) 1. ВСТУП Нанорозмірні плівки FePt стехіометричного складу Fe50Pt50 з хімічно впорядкованою магнетотвердою фазою L10(FePt), що має гранецент- ровану тетрагональну ґратницю, привертають увагу дослідників як матеріял для виготовлення носіїв інформації з надвисокою щільніс- тю запису та збереження завдяки її високій енергії магнетокристалі- чної анізотропії (Ku  7106 Дж/м3), високій температурі Кюрі (480С) і великій намагнетованості насичення (0Мs  1,43 Тл) [1— 11]. Фаза L10(FePt) формується внаслідок фазового перетворення з хімічно неупорядкованої фази А1(FePt) при температурах, вищих за ДИФУЗІЙНЕ ФАЗОУТВОРЕННЯ В ШАРУВАТИХ ПЛІВКОВИХ КОМПОЗИЦІЯХ 1361 500С, що є обмежувальним фактором застосування нанорозмірних плівок Fe50Pt50 як середовища запису і збереження інформації. Пе- редбачається, що додатковою рушійною силою процесу впорядку- вання, внаслідок якого атоми Fe і Pt займають визначені місця з утворенням надструктури, можуть бути механічні напруження, що вводяться в плівку додатковими межами поділу [12—18]. Це, в свою чергу, допоможе знизити температуру формування фази L10(FePt). При цьому фаза L10(FePt) може бути сформована у багатошарових композиціях з плівок як стопу [Fe50Pt50/Fe50Pt50]n, так і чистих мета- лів [Pt/Fe]n. В обох випадках необхідна термообробка для активізації дифузійних процесів і формування фази L10(FePt). Крім того, багатошарові нанорозмірні плівки [Pt/Fe]n приверта- ють увагу як модельні системи для дослідження процесів впорядку- вання в матеріялах з об’ємноцентрованою ґратницею [19—22]. В да- ній роботі досліджено процеси впорядкування при відпалах у вакуу- мі, структура і властивості бішарової плівки Pt(15 нм)/Fe(15 нм), а також багатошарової плівки [Pt(7,5 нм)/Fe(7,5 нм)]2, в якій додатко- вий напружений стан створюється шляхом введення в бішарову плі- вку Pt(15 нм)/Fe(15 нм) додаткових меж поділу за рахунок змен- шення товщини шарів Pt і Fe до 7,5 нм при збереженні початкової товщини плівки 30 нм. 2. МЕТОДИКА ЕКСПЕРИМЕНТУ Нанорозмірні плівки Pt(15 нм)/Fe(15 нм) і [Pt(7,5 нм)/Fe(7,5 нм)]2 одержано методою пошарового магнетронного осадження шарів чи- стих металів Fe і Pt товщиною 7,5 і 15 нм на підложжя термічно окисненого монокристалічного Si орієнтації (001), що перебувала при кімнатній температурі. Шар SiO2 товщиною 100 нм слугував бар’єром для запобігання дифузії кремнію підложжя з утворенням у плівках силіцидів. Збільшення кількости шарів не призводило до збільшення загальної товщини плівки, яка складала 30 нм. Відпал зразків виконувався у високому вакуумі 1,310 3 Па в інтервалі температур 300—900С з витримкою 30 с при кожній температурі зі швидкістю нагріву 5С/с. Визначення товщини осадженого шару здійснювалося за допомогою кварцового резонатора, а також за до- помогою методи Рентґенової рефлектометрії і Резерфордового зво- ротнього розсіяння. Похибка визначення товщини плівки складала 1 нм. Дослідження кристалічної структури плівок після осадження і відпалів, а також визначення ступеня їх хімічного упорядкування виконано за допомогою методи рентґеноструктурної фазової аналі- зи на дифрактометрі ДРОН УМ-1 з використанням випромінення FeK. Зміну хімічного складу за товщиною плівки внаслідок дифу- зійних процесів досліджено методою Резерфордового зворотнього 1362 Ю. М. МАКОГОН, О. П. ПАВЛОВА, С. І. СИДОРЕНКО та ін. розсіяння (РЗР). Ступінь хімічного впорядкування фази L10(FePt) і об’ємна частка впорядкованої фази оцінювались по відношенню інтенсивности ди- фракційних рефлексів I(001)/I(002) [14, 15]. Ступінь орієнтації осі с легкого магнетування по відношенню до нормалі до поверхні ви- значалася за відношенням I(001)/I(111). Оцінку розміру зерна піс- ля відпалів виконано за формулою Дебая—Шеррера [23]: cos k d    , де  – довжина хвилі випромінення,  – ширина піка на половині висоти,  – кут дифракційного максимуму, k  0,9. Морфологія поверхні плівок досліджувалася методами атомно- силової мікроскопії (АСМ) і магнетно-силової мікроскопії (МСМ). Магнетні властивості плівок оцінено за допомогою методи SQUID- магнетометрії. Резистометричні міряння виконано чотирозондовою методою за кімнатної температури. 3. РЕЗУЛЬТАТИ ТА ЇХ ОБГОВОРЕННЯ Дослідження методою рентґеноструктурної фазової аналізи засвід- чили, що в плівках Pt(15 нм)/Fe(15 нм) і [Pt(7,5 нм)/Fe(7,5 нм)]2 піс- ля осадження спостерігаються рефлекси від шарів окремих металів Рис. 1. Дифрактограми плівок Pt(15 нм)/Fe(15 нм) (а) і [Pt(7,5 нм)/Fe(7,5 нм)]2 (б) після відпалів за різних температур.ВипроміненняFeK. ДИФУЗІЙНЕ ФАЗОУТВОРЕННЯ В ШАРУВАТИХ ПЛІВКОВИХ КОМПОЗИЦІЯХ 1363 Fe та Pt (рис. 1). Після відпалів в інтервалі температур 350—450С додаткових рефлексів не виникає. За результатами РЗР безпосеред- ньо після осадження та низькотемпературних відпалів досліджувані плівки представляли собою дво- та чотирошарову структуру, відпо- відно (рис. 2). Електроопір плівок після відпалів у вказаному інтер- валі температур залишається практично незмінним (рис. 3). Ці ре- зультати свідчать про відсутність фазових перетворень. Але на початок процесів дифузійного фазоутворення може вка- зувати невеликий поступовий зсув положення рефлексу (111) від Pt у бік більших кутів (рис. 1). Після відпалу за температури 600С на дифрактограмах дослі- джуваних плівок зникають рефлекси від шарів чистих металів та з’являються рефлекси від метастабільної хімічно невпорядкованої фази A1(FePt). Вказаний дифузійний перехід супроводжується різ- Рис. 2. Експериментальні спектри РЗР плівок Pt(15 нм)/Fe(15 нм) (а) та [Pt(7,5 нм)/Fe(7,5 нм)]2 (б) після осадження і відпалу за різних температур. Рис. 3. Залежність електроопору плівок Pt(15 нм)/Fe(15 нм) та [Pt(7,5 нм)/ Fe(7,5 нм)]2 від температури відпалу. 1364 Ю. М. МАКОГОН, О. П. ПАВЛОВА, С. І. СИДОРЕНКО та ін. ким підвищенням електроопору плівок (рис. 3). Але на дифрактог- рамі подвоєної плівки [Pt(7,5 нм)/Fe(7,5 нм)]2 можна побачити, що рефлекс (111) від фази A1(FePt) має зліва плече, наявність якого вказує на початок формування під час відпалу за температури 600С фази L10(FePt) з текстурою (111). Присутність одночасно двох фаз в багатошаровій плівці [Pt(7,5 нм)/Fe(7,5 нм)]2 призводить до більш значного зростання електроопору зразка в порівнянні з плівкою Pt(15 нм)/Fe(15 нм), що пов’язано з її більш нерівноваж- ним станом (рис. 3). Як можна бачити з рис. 4 формування фази A1(FePt) в плівці Pt(15 нм)/Fe(15 нм) під час відпалів в інтервалі 500—650С не су- проводжується значним ростом розміру зерна в порівнянні з бага- тошаровою плівкою [Pt(7,5 нм)/Fe(7,5 нм)]2, в якій одночасне фор- мування фаз A1(FePt) і L10(FePt) супроводжується суттєвим ростом розміру зерна за менших температур відпалу. Після відпалу за температури 700С фаза А1(FePt) в обох плівко- вих композиціях перетворюється на хімічно впорядковану фазу L10(FePt), що супроводжується зсувом структурного рефлексу (111) FePt в бік більших кутів і появою надструктурних рефлексів (001) і (002) (рис. 1). За результатами РЗР після відпалу за цієї температу- ри, внаслідок взаємної дифузії елементів, плівки стають ізотроп- ними і представляють собою стоп, близький за складом до Fe50Pt50, який зберігається і після відпалу за температури 900С (рис. 2). Підвищення температури відпалу до 900С призводить до знач- ного збільшення інтенсивности надструктурних рефлексів (001) і (002) фази L10(FePt). Але незначне зростання відношення інтенси- вности дифракційних максимумів I(001)/I(002) як у бішаровій, так і в багатошаровій плівках вказує на незначне збільшення ступеня хімічного впорядкування в фазі L10(FePt), тому що основний про- Рис. 4. Залежність розміру зерна плівок Pt(15 нм)/Fe(15 нм) і [Pt(7,5 нм)/ Fe(7,5 нм)]2 від температури відпалу. ДИФУЗІЙНЕ ФАЗОУТВОРЕННЯ В ШАРУВАТИХ ПЛІВКОВИХ КОМПОЗИЦІЯХ 1365 цес упорядкування пройшов при менших температурах відпалу. Слід зазначити, що цей показник у багатошаровій плівці біль- ший, ніж в бішаровій у всьому температурному інтервалі відпалів (рис. 5, а). Зменшення електроопору плівок після відпалів вище температури 600С підтверджує розвиток процесів впорядкування і формування фази L10(FePt). Після відпалу за температури 900С електроопір багатошарової плівки менший, ніж бішарової, що та- кож підтверджує досягнення в них більшого ступеню хімічного впорядкування завдяки фазі L10(FePt) (рис. 3). Тобто, можна ствер- джувати, що введення додаткових меж поділу в плівку при збере- женні її загальної товщини прискорює дифузійні процеси. Збільшення відношення I(001)/I(111) з підвищенням температу- ри відпалу в досліджуваних плівках свідчить про формування зерен фази L10(FePt) з орієнтацією, перпендикулярною до підкладки, при збереженні зерен з орієнтацією (111) (рис. 5, б). З одного боку, це означає, що результуюча вісь легкого магнетування c кристала з ГЦТ-ґратницею, яка збігається з напрямком [001] у монокристалі, орієнтується під деяким кутом до поверхні полікристалічної плів- ки. З іншого боку, утворення також текстури (111) дає системі мо- жливість досягти рівноваги. Відпали плівок до температури 700С не супроводжуються знач- ною зміною морфології поверхні та її шерсткости (рис. 6). Подаль- ше підвищення температури відпалу по різному впливає на морфо- логію поверхні плівок. Для плівки Pt(15 нм)/Fe(15 нм) спостеріга- ється значне зростання середньої шерсткости поверхні, в той час як для багатошарової плівки [Pt(7,5 нм)/Fe(7,5 нм)]2 середня шерст- кість поверхні майже не змінюється. Твердотільні реакції A1(FePt)  L10(FePt) приводять до зміни магнетних властивостей плівок, зокрема, росту коерцитивної сили Рис. 5. Залежність значень відношення І(001)/І(002) (а) і І(001)/І(111) (б) плівок Pt(15 нм)/Fe(15 нм) і [Pt(7,5 нм)/Fe(7,5 нм)]2 від температури від- палу. 1366 Ю. М. МАКОГОН, О. П. ПАВЛОВА, С. І. СИДОРЕНКО та ін. (рис. 7). Зазначимо, що плівка Pt(15 нм)/Fe(15 нм) після відпалу за температури 600С має майже вдвічі меншу коерцитивну силу як у паралельно, так і у перпендикулярно прикладеному магнетному полі порівняно з багатошаровою плівкою [Pt(7,5 нм)/Fe(7,5 нм)]2. Цей результат добре узгоджується з результатами рентґенострук- турної фазової аналізи, згідно з якими в багатошаровій плівці [Pt(7,5 нм)/Fe(7,5 нм)]2 магнетотверда фаза L10(FePt) починає фор- муватись раніше, за менших температур відпалу. Але після відпалу за температури 700С, коли в плівці Pt(15 нм)/Fe(15 нм) формуєть- ся хімічно впорядкована фаза L10(FePt), коерцитивна сила значно збільшується, що може бути пов’язано також з меншим розміром зерна (рис. 4 та рис. 7). Слід відмітити, що обидві плівкові компо- зиції після високотемпературних відпалів залишаються практично магнетоізотропними. МСМ-знімок багатошарової плівки [Pt(7,5 нм)/Fe(7,5 нм)]2, на- ведений на рис. 6, е, демонструє доменну структуру зразка після відпалу за температури 900C, яка має лабіринтоподібну нереґуля- рну конфіґурацію і є підтвердженням магнетотвердих властивостей досліджуваної плівки. Таким чином, порівняння процесів дифузійного фазоутворення в шаруватих нанорозмірних плівках Fe/Pt показує, що формування Рис. 6. АСМ-зображення поверхні плівки Pt(15 нм)/Fe(15 нм) (а, б) і плів- ки [Pt(7,5 нм)/Fe(7,5 нм)]2 (в, г) після відпалу за температури 700С (а, в) і 900С (б, г) і залежність середньої шерсткости поверхні плівок від темпе- ратури відпалу (д). МСМ-знімок плівки [Pt(7,5 нм)/Fe(7,5 нм)]2 після від- палу за температури 900С (е). ДИФУЗІЙНЕ ФАЗОУТВОРЕННЯ В ШАРУВАТИХ ПЛІВКОВИХ КОМПОЗИЦІЯХ 1367 невпорядкованої фази A1(FePt), а потім впорядкованої фази L10(FePt) в багатошаровій композиції Pt(7,5 нм)/Fe(7,5 нм)]2 відбу- вається за нижчих температур відпалу, ніж в бішаровій композиції Pt(15 нм)/Fe(15 нм). Даний ефект виявляється в більшому розмірі зерна фази A1(FePt), більшій коерцитивній силі за рахунок появи вже після відпалу за температури 600С деякої кількости впоряд- кованої магнетотвердої фази L10(FePt). Наведені результати свідчать, що введення додаткових меж по- ділу в плівку Fe/Pt при збереженні її загальної товщини, приско- рює процеси дифузійного формування фази L10(FePt) на початко- вих стадіях фазового переходу Fe  Pt  A1(FePt)  L10(FePt). 4. ВИСНОВКИ Показано, що введення в бішарову плівкову композицію Pt(15 нм)/ Fe(15 нм) завтовшки 30 нм додаткових меж поділу, при збереженні її загальної товщини, покращує кінетику процесу хімічного впоря- Рис. 7. Петлі гістерези плівок Pt(15 нм)/Fe(15 нм) (а) і [Pt(7,5 нм)/Fe(7,5 нм)]2 (б) після відпалу за температури 600С (а) і залежність від темпера- тури відпалу коерцитивної сили плівок, виміряної в паралельно (в) і пер- пендикулярно (г) прикладеному магнетному полі. 1368 Ю. М. МАКОГОН, О. П. ПАВЛОВА, С. І. СИДОРЕНКО та ін. дкування в багатошаровій плівковій композиції [Pt(7,5 нм)/Fe(7,5 нм)]2 при відпалах у вакуумі. Активізація дифузійних процесів су- проводжується зниженням температури початку формування хімі- чно впорядкованої фази L10(FePt) до 600C. В досліджуваних плів- ках відсутня переважна орієнтація зерен фази L10(FePt) і зберіга- ється ізотропія магнетних властивостей незалежно від напрямку магнетного поля. Автори висловлюють подяку співробітникам кафедри фізики по- верхні та меж поділу технічного університету м. Хемніц (Німеччи- на), в тому числі завідувачу кафедри професору М. Альбрехту та доктору Г. Беддісу за виготовлення зразків і допомогу у виконанні досліджень й обговоренні результатів. Роботу виконано при фінансовій підтримці німецької організації по науковому обміну (DAAD) (ґрант № 54300147 (2011/2012)) в ме- жах програми ім. Леонарда Ойлера. ЦИТОВАНА ЛІТЕРАТУРА–REFERENCES 1. J. Lyubina, B. Rellinghaus, O. Gutfleisch, and M. Albrecht, Handbook of Magnetic Materials (Ed. K. H. J. Buschow), vol. 19, p. 291 (2011). 2. D. Weller and M. F. Doerner, An. Rev. Mater. Sci, 30: 611 (2000). 3. S. N. Piramanayagam, J. Appl. Phys., 102: 011301-1 (2007). 4. Bo Yao and K. R. Coffey, J. Appl. Phys., 105: 07A726-1 (2009). 5. L. Zhang, Y. K. Takahashi, A. Perumal, and K. Hono, J. Magn. Magn. Mater., 322: 2658 (2010). 6. T. Bublat and D. Goll, Nanotechnology, 22: 315301 (2011). 7. E. Yang, D. E. Laughlin, and J.-G. Zhu, IEEE Trans. Magn., 48, No. 1: 7 (2012). 8. O. P. Pavlova, T. I. Verbitska, I. A. Vladymyrskyi, S. I. Sidorenko, G. L. Katona, D. L. Beke, G. Beddies, M. Albrecht, and I. M. Makogon, Appl. Surf. Sci, 266: 100 (2013). 9. Y. N. Han, F. T. Yuan, Y. H. Lin, Jen-Hwa Hsu, and J. K. Mei, IEEE Trans. Magn., 48, No. 11: 3158 (2012). 10. W. Dinga, S. Ishiguroa, R. Ogatsua, and D. Jua, Appl. Surf. Sci., 258: 7976 (2012) 11. T. O. Seki, Y. K. Takahashi, and K. Hono, J. Appl. Phys., 103: 023910-1 (2008). 12. S. N. Hsiao, F. T. Yuan, H. W. Chang, H. W. Huang, S. K. Chen, and H. Y. Lee, Appl. Phys. Lett., 94, 232505-1 (2009). 13. J.-S. Kim and Y.-M. Koo, J. Appl. Phys., 100: 093909-1 (2006). 14. S. N. Hsiao, S. K. Chen, S. H. Liu, C. J. Liao, F. T. Yuan, and H. Y. Lee, IEEE Trans. Magn., 47, No. 10: 3637 (2011). 15. S. N. Hsiao, S. H. Liu, S. K. Chen, F. T. Yuan, and H. Y. Lee, J. Appl. Phys., 111: 07A702-3 (2012). 16. T. Smima, T. Moriguchi, S. Mitani, and K. Takahashi, Appl. Phys. Lett., 80: 288 (2002). 17. Y. Endo, N. Kikuchi, O. Kitakami, and Y. Shimada, J. Appl. Phys., 89: 7065 (2001). 18. C. Feng, B. H. Li, Y. Liu, J. Teng, M. H. Li, Y. Jiang, and G. H. Yu, J. Appl. ДИФУЗІЙНЕ ФАЗОУТВОРЕННЯ В ШАРУВАТИХ ПЛІВКОВИХ КОМПОЗИЦІЯХ 1369 Phys., 103: 023916-1 (2008). 19. S. C. Chou, C. C. Yu, Y. Liou, Y. D. Yao, D. H. Wei, T. S. Chin, and M. F. Tai, J. Appl. Phys., 95: 7276 (2004). 20. S. K. Chen, F. T. Yuan, and T. S. Chin, J. Appl. Phys., 97: 073902 (2005). 21. Y. Endo, K. Oikawa, T. Miyazaki, O. Kitakami, and Y. Shimada, J. Appl. Phys., 94: 7222 (2003). 22. M. L. Yan, N. Powers, D. J. Sellmyer, J. Appl. Phys., 93, No. 10: 8292 (2003). 23. S. S. Gorelik, L. N. Rastorguev, and Yu. А. Skakov, Rentgenostrukturnyy i Electronnoopticheskiy Analiz (X-Ray Structural and Electron-Optical Analysis (Moscow: Меtallurgiya: 1970) (in Russian). << /ASCII85EncodePages false /AllowTransparency false /AutoPositionEPSFiles true /AutoRotatePages /None /Binding /Left /CalGrayProfile (Dot Gain 20%) /CalRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1) /CalCMYKProfile (U.S. Web Coated \050SWOP\051 v2) /sRGBProfile (sRGB IEC61966-2.1) /CannotEmbedFontPolicy /Error /CompatibilityLevel 1.4 /CompressObjects /Tags /CompressPages true /ConvertImagesToIndexed true /PassThroughJPEGImages true /CreateJobTicket false /DefaultRenderingIntent /Default /DetectBlends true /DetectCurves 0.0000 /ColorConversionStrategy /CMYK /DoThumbnails false /EmbedAllFonts true /EmbedOpenType false /ParseICCProfilesInComments true /EmbedJobOptions true /DSCReportingLevel 0 /EmitDSCWarnings false /EndPage -1 /ImageMemory 1048576 /LockDistillerParams false /MaxSubsetPct 100 /Optimize true /OPM 1 /ParseDSCComments true /ParseDSCCommentsForDocInfo true /PreserveCopyPage true /PreserveDICMYKValues true /PreserveEPSInfo true /PreserveFlatness true /PreserveHalftoneInfo false /PreserveOPIComments true /PreserveOverprintSettings true /StartPage 1 /SubsetFonts true /TransferFunctionInfo /Apply /UCRandBGInfo /Preserve /UsePrologue false /ColorSettingsFile () /AlwaysEmbed [ true ] /NeverEmbed [ true ] /AntiAliasColorImages false /CropColorImages true /ColorImageMinResolution 300 /ColorImageMinResolutionPolicy /OK /DownsampleColorImages true /ColorImageDownsampleType /Bicubic /ColorImageResolution 300 /ColorImageDepth -1 /ColorImageMinDownsampleDepth 1 /ColorImageDownsampleThreshold 1.50000 /EncodeColorImages true /ColorImageFilter /DCTEncode /AutoFilterColorImages true /ColorImageAutoFilterStrategy /JPEG /ColorACSImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /ColorImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /JPEG2000ColorACSImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /JPEG2000ColorImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /AntiAliasGrayImages false /CropGrayImages true /GrayImageMinResolution 300 /GrayImageMinResolutionPolicy /OK /DownsampleGrayImages true /GrayImageDownsampleType /Bicubic /GrayImageResolution 300 /GrayImageDepth -1 /GrayImageMinDownsampleDepth 2 /GrayImageDownsampleThreshold 1.50000 /EncodeGrayImages true /GrayImageFilter /DCTEncode /AutoFilterGrayImages true /GrayImageAutoFilterStrategy /JPEG /GrayACSImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /GrayImageDict << /QFactor 0.15 /HSamples [1 1 1 1] /VSamples [1 1 1 1] >> /JPEG2000GrayACSImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /JPEG2000GrayImageDict << /TileWidth 256 /TileHeight 256 /Quality 30 >> /AntiAliasMonoImages false /CropMonoImages true /MonoImageMinResolution 1200 /MonoImageMinResolutionPolicy /OK /DownsampleMonoImages true /MonoImageDownsampleType /Bicubic /MonoImageResolution 1200 /MonoImageDepth -1 /MonoImageDownsampleThreshold 1.50000 /EncodeMonoImages true /MonoImageFilter /CCITTFaxEncode /MonoImageDict << /K -1 >> /AllowPSXObjects false /CheckCompliance [ /None ] /PDFX1aCheck false /PDFX3Check false /PDFXCompliantPDFOnly false /PDFXNoTrimBoxError true /PDFXTrimBoxToMediaBoxOffset [ 0.00000 0.00000 0.00000 0.00000 ] /PDFXSetBleedBoxToMediaBox true /PDFXBleedBoxToTrimBoxOffset [ 0.00000 0.00000 0.00000 0.00000 ] /PDFXOutputIntentProfile () /PDFXOutputConditionIdentifier () /PDFXOutputCondition () /PDFXRegistryName () /PDFXTrapped /False /CreateJDFFile false /Description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> /CHS <FEFF4f7f75288fd94e9b8bbe5b9a521b5efa7684002000410064006f006200650020005000440046002065876863900275284e8e9ad88d2891cf76845370524d53705237300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c676562535f00521b5efa768400200050004400460020658768633002> /CHT <FEFF4f7f752890194e9b8a2d7f6e5efa7acb7684002000410064006f006200650020005000440046002065874ef69069752865bc9ad854c18cea76845370524d5370523786557406300260a853ef4ee54f7f75280020004100630072006f0062006100740020548c002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee553ca66f49ad87248672c4f86958b555f5df25efa7acb76840020005000440046002065874ef63002> /CZE <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> /DAN <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> /DEU <FEFF00560065007200770065006e00640065006e0020005300690065002000640069006500730065002000450069006e007300740065006c006c0075006e00670065006e0020007a0075006d002000450072007300740065006c006c0065006e00200076006f006e002000410064006f006200650020005000440046002d0044006f006b0075006d0065006e00740065006e002c00200076006f006e002000640065006e0065006e002000530069006500200068006f006300680077006500720074006900670065002000500072006500700072006500730073002d0044007200750063006b0065002000650072007a0065007500670065006e0020006d00f60063006800740065006e002e002000450072007300740065006c006c007400650020005000440046002d0044006f006b0075006d0065006e007400650020006b00f6006e006e0065006e0020006d006900740020004100630072006f00620061007400200075006e0064002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e00300020006f0064006500720020006800f600680065007200200067006500f600660066006e00650074002000770065007200640065006e002e> /ESP <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> /ETI <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> /FRA <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> /GRE <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a stvaranje Adobe PDF dokumenata najpogodnijih za visokokvalitetni ispis prije tiskanja koristite ove postavke. Stvoreni PDF dokumenti mogu se otvoriti Acrobat i Adobe Reader 5.0 i kasnijim verzijama.) /HUN <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> /ITA <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> /JPN <FEFF9ad854c18cea306a30d730ea30d730ec30b951fa529b7528002000410064006f0062006500200050004400460020658766f8306e4f5c6210306b4f7f75283057307e305930023053306e8a2d5b9a30674f5c62103055308c305f0020005000440046002030d530a130a430eb306f3001004100630072006f0062006100740020304a30883073002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e003000204ee5964d3067958b304f30533068304c3067304d307e305930023053306e8a2d5b9a306b306f30d530a930f330c8306e57cb30818fbc307f304c5fc59808306730593002> /KOR <FEFFc7740020c124c815c7440020c0acc6a9d558c5ec0020ace0d488c9c80020c2dcd5d80020c778c1c4c5d00020ac00c7a50020c801d569d55c002000410064006f0062006500200050004400460020bb38c11cb97c0020c791c131d569b2c8b2e4002e0020c774b807ac8c0020c791c131b41c00200050004400460020bb38c11cb2940020004100630072006f0062006100740020bc0f002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e00300020c774c0c1c5d0c11c0020c5f40020c2180020c788c2b5b2c8b2e4002e> /LTH <FEFF004e006100750064006f006b0069007400650020016100690075006f007300200070006100720061006d006500740072007500730020006e006f0072011700640061006d00690020006b0075007200740069002000410064006f00620065002000500044004600200064006f006b0075006d0065006e007400750073002c0020006b00750072006900650020006c0061006200690061007500730069006100690020007000720069007400610069006b007900740069002000610075006b01610074006f00730020006b006f006b007900620117007300200070006100720065006e006700740069006e00690061006d00200073007000610075007300640069006e0069006d00750069002e0020002000530075006b0075007200740069002000500044004600200064006f006b0075006d0065006e007400610069002000670061006c006900200062016b007400690020006100740069006400610072006f006d00690020004100630072006f006200610074002000690072002000410064006f00620065002000520065006100640065007200200035002e0030002000610072002000760117006c00650073006e0117006d00690073002000760065007200730069006a006f006d00690073002e> /LVI <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> /NLD (Gebruik deze instellingen om Adobe PDF-documenten te maken die zijn geoptimaliseerd voor prepress-afdrukken van hoge kwaliteit. De gemaakte PDF-documenten kunnen worden geopend met Acrobat en Adobe Reader 5.0 en hoger.) /NOR <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> /POL <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> /PTB <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> /RUM <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> /RUS <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> /SKY <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> /SLV <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> /SUO <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> /SVE <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> /TUR <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> /UKR <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> /ENU (Use these settings to create Adobe PDF documents best suited for high-quality prepress printing. Created PDF documents can be opened with Acrobat and Adobe Reader 5.0 and later.) >> /Namespace [ (Adobe) (Common) (1.0) ] /OtherNamespaces [ << /AsReaderSpreads false /CropImagesToFrames true /ErrorControl /WarnAndContinue /FlattenerIgnoreSpreadOverrides false /IncludeGuidesGrids false /IncludeNonPrinting false /IncludeSlug false /Namespace [ (Adobe) (InDesign) (4.0) ] /OmitPlacedBitmaps false /OmitPlacedEPS false /OmitPlacedPDF false /SimulateOverprint /Legacy >> << /AddBleedMarks false /AddColorBars false /AddCropMarks false /AddPageInfo false /AddRegMarks false /ConvertColors /ConvertToCMYK /DestinationProfileName () /DestinationProfileSelector /DocumentCMYK /Downsample16BitImages true /FlattenerPreset << /PresetSelector /MediumResolution >> /FormElements false /GenerateStructure false /IncludeBookmarks false /IncludeHyperlinks false /IncludeInteractive false /IncludeLayers false /IncludeProfiles false /MultimediaHandling /UseObjectSettings /Namespace [ (Adobe) (CreativeSuite) (2.0) ] /PDFXOutputIntentProfileSelector /DocumentCMYK /PreserveEditing true /UntaggedCMYKHandling /LeaveUntagged /UntaggedRGBHandling /UseDocumentProfile /UseDocumentBleed false >> ] >> setdistillerparams << /HWResolution [2400 2400] /PageSize [612.000 792.000] >> setpagedevice

Ähnliche Einträge