Моделирование условий существования эмиттера тугоплавкого материала в процессе катодного вакуумно-дугового осаждения
Предложена нелинейная математическая модель разогрева эмиттера в процессе катодного вакуумно-дугового осаждения материалов, учитывающая зависимость теплоёмкости и теплопроводности материала катода от температуры. С помощью модели рассчитаны значения плотности тока эмиссии для различных тугоплавких м...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Металлофизика и новейшие технологии |
|---|---|
| Datum: | 2014 |
| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України
2014
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/107045 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Моделирование условий существования эмиттера тугоплавкого материала в процессе катодного вакуумно-дугового осаждения / В.Д. Алимов, А.В. Недоля, И.Н. Титов // Металлофизика и новейшие технологии. — 2014. — Т. 36, № 11. — С. 1523-1532. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862734705647943680 |
|---|---|
| author | Алимов, В.Д. Недоля, А.В. Титов, И.Н. |
| author_facet | Алимов, В.Д. Недоля, А.В. Титов, И.Н. |
| citation_txt | Моделирование условий существования эмиттера тугоплавкого материала в процессе катодного вакуумно-дугового осаждения / В.Д. Алимов, А.В. Недоля, И.Н. Титов // Металлофизика и новейшие технологии. — 2014. — Т. 36, № 11. — С. 1523-1532. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Металлофизика и новейшие технологии |
| description | Предложена нелинейная математическая модель разогрева эмиттера в процессе катодного вакуумно-дугового осаждения материалов, учитывающая зависимость теплоёмкости и теплопроводности материала катода от температуры. С помощью модели рассчитаны значения плотности тока эмиссии для различных тугоплавких материалов, которые хорошо согласуются с литературными данными, а также определены условия, при которых будет реализовываться испарение материала катода. Установлена связь между плотностью тока эмиссии и временем разогрева эмиттера до температуры испарения, которая имеет нелинейный характер и зависит от термических характеристик материала катода. Модель позволяет повысить эффективность осаждения материалов путём предварительной оценки технологических и физических параметров осаждения.
Запропоновано нелінійний математичний модель розігрівання емітера під час катодного вакуумно-дугового осадження матеріялів, який враховує залежність тепломісткости та теплопровідности матеріялу катоди від температури. За допомогою моделю розраховано значення густини струму емісії для різних тяжкотопких матеріялів, що добре узгоджуються з літературними значеннями, а також визначено умови, за яких реалізується випаровування матеріялу катоди. Встановлено зв’язок між густиною струму емісії та часом розігріву емітера до температури випаровування, який має нелінійний характер і залежить від термічних характеристик матеріялу катоди. Модель уможливлює підвищити ефективність осадження матеріялів шляхом попереднього оцінювання технологічних та фізичних параметрів осадження.
A nonlinear mathematical model of emitter heating during cathodic vacuum—arc deposition of materials, taking into account the temperature dependence of specific heat and thermal conductivity of the cathode material, is presented. By this model, the values of the emission-current density for a variety of refractory materials are calculated. These data are in a good agreement with literature data. The conditions, under which the evaporation of the cathode material will take place, are determined. The relationship between the emission current density and the time of the emitter heating up to the evaporation temperature, which is nonlinear and depends on the thermal characteristics of the cathode material, is determined. The model makes possible to increase the material deposition effectiveness by a preliminary estimation of the physical process and deposition parameters.
|
| first_indexed | 2025-12-07T19:44:40Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-107045 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1024-1809 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T19:44:40Z |
| publishDate | 2014 |
| publisher | Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Алимов, В.Д. Недоля, А.В. Титов, И.Н. 2016-10-11T19:10:54Z 2016-10-11T19:10:54Z 2014 Моделирование условий существования эмиттера тугоплавкого материала в процессе катодного вакуумно-дугового осаждения / В.Д. Алимов, А.В. Недоля, И.Н. Титов // Металлофизика и новейшие технологии. — 2014. — Т. 36, № 11. — С. 1523-1532. — Бібліогр.: 12 назв. — рос. 1024-1809 PACS: 02.60.Lj, 65.40.Ba, 66.70.Df, 72.15.Eb, 73.30.+y, 81.15.Jj, 79.70.+q DOI: http://dx.doi.org/10.15407/mfint.36.11.1523 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/107045 Предложена нелинейная математическая модель разогрева эмиттера в процессе катодного вакуумно-дугового осаждения материалов, учитывающая зависимость теплоёмкости и теплопроводности материала катода от температуры. С помощью модели рассчитаны значения плотности тока эмиссии для различных тугоплавких материалов, которые хорошо согласуются с литературными данными, а также определены условия, при которых будет реализовываться испарение материала катода. Установлена связь между плотностью тока эмиссии и временем разогрева эмиттера до температуры испарения, которая имеет нелинейный характер и зависит от термических характеристик материала катода. Модель позволяет повысить эффективность осаждения материалов путём предварительной оценки технологических и физических параметров осаждения. Запропоновано нелінійний математичний модель розігрівання емітера під час катодного вакуумно-дугового осадження матеріялів, який враховує залежність тепломісткости та теплопровідности матеріялу катоди від температури. За допомогою моделю розраховано значення густини струму емісії для різних тяжкотопких матеріялів, що добре узгоджуються з літературними значеннями, а також визначено умови, за яких реалізується випаровування матеріялу катоди. Встановлено зв’язок між густиною струму емісії та часом розігріву емітера до температури випаровування, який має нелінійний характер і залежить від термічних характеристик матеріялу катоди. Модель уможливлює підвищити ефективність осадження матеріялів шляхом попереднього оцінювання технологічних та фізичних параметрів осадження. A nonlinear mathematical model of emitter heating during cathodic vacuum—arc deposition of materials, taking into account the temperature dependence of specific heat and thermal conductivity of the cathode material, is presented. By this model, the values of the emission-current density for a variety of refractory materials are calculated. These data are in a good agreement with literature data. The conditions, under which the evaporation of the cathode material will take place, are determined. The relationship between the emission current density and the time of the emitter heating up to the evaporation temperature, which is nonlinear and depends on the thermal characteristics of the cathode material, is determined. The model makes possible to increase the material deposition effectiveness by a preliminary estimation of the physical process and deposition parameters. ru Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України Металлофизика и новейшие технологии Металлические поверхности и плёнки Моделирование условий существования эмиттера тугоплавкого материала в процессе катодного вакуумно-дугового осаждения Моделювання умов існування емітера важкотопкого матеріалу в процесі катодного вакуумно-дугового осадження Modelling of Conditions of Existence of the Emitter of a Refractory Material During Cathodic Vacuum—Arc Deposition Article published earlier |
| spellingShingle | Моделирование условий существования эмиттера тугоплавкого материала в процессе катодного вакуумно-дугового осаждения Алимов, В.Д. Недоля, А.В. Титов, И.Н. Металлические поверхности и плёнки |
| title | Моделирование условий существования эмиттера тугоплавкого материала в процессе катодного вакуумно-дугового осаждения |
| title_alt | Моделювання умов існування емітера важкотопкого матеріалу в процесі катодного вакуумно-дугового осадження Modelling of Conditions of Existence of the Emitter of a Refractory Material During Cathodic Vacuum—Arc Deposition |
| title_full | Моделирование условий существования эмиттера тугоплавкого материала в процессе катодного вакуумно-дугового осаждения |
| title_fullStr | Моделирование условий существования эмиттера тугоплавкого материала в процессе катодного вакуумно-дугового осаждения |
| title_full_unstemmed | Моделирование условий существования эмиттера тугоплавкого материала в процессе катодного вакуумно-дугового осаждения |
| title_short | Моделирование условий существования эмиттера тугоплавкого материала в процессе катодного вакуумно-дугового осаждения |
| title_sort | моделирование условий существования эмиттера тугоплавкого материала в процессе катодного вакуумно-дугового осаждения |
| topic | Металлические поверхности и плёнки |
| topic_facet | Металлические поверхности и плёнки |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/107045 |
| work_keys_str_mv | AT alimovvd modelirovanieusloviisuŝestvovaniâémitteratugoplavkogomaterialavprocessekatodnogovakuumnodugovogoosaždeniâ AT nedolâav modelirovanieusloviisuŝestvovaniâémitteratugoplavkogomaterialavprocessekatodnogovakuumnodugovogoosaždeniâ AT titovin modelirovanieusloviisuŝestvovaniâémitteratugoplavkogomaterialavprocessekatodnogovakuumnodugovogoosaždeniâ AT alimovvd modelûvannâumovísnuvannâemíteravažkotopkogomateríaluvprocesíkatodnogovakuumnodugovogoosadžennâ AT nedolâav modelûvannâumovísnuvannâemíteravažkotopkogomateríaluvprocesíkatodnogovakuumnodugovogoosadžennâ AT titovin modelûvannâumovísnuvannâemíteravažkotopkogomateríaluvprocesíkatodnogovakuumnodugovogoosadžennâ AT alimovvd modellingofconditionsofexistenceoftheemitterofarefractorymaterialduringcathodicvacuumarcdeposition AT nedolâav modellingofconditionsofexistenceoftheemitterofarefractorymaterialduringcathodicvacuumarcdeposition AT titovin modellingofconditionsofexistenceoftheemitterofarefractorymaterialduringcathodicvacuumarcdeposition |