Моделирование условий существования эмиттера тугоплавкого материала в процессе катодного вакуумно-дугового осаждения

• Veröffentlicht in: Металлофизика и новейшие технологии
• Datum: 2014
• Hauptverfasser: Алимов, В.Д., Недоля, А.В., Титов, И.Н.
• Format: Artikel
• Sprache: Russian
• Veröffentlicht: Інститут металофізики ім. Г.В. Курдюмова НАН України 2014
• Schlagworte: Металлические поверхности и плёнки
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/107045
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Моделирование условий существования эмиттера тугоплавкого материала в процессе катодного вакуумно-дугового осаждения / В.Д. Алимов, А.В. Недоля, И.Н. Титов // Металлофизика и новейшие технологии. — 2014. — Т. 36, № 11. — С. 1523-1532. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.

Предложена нелинейная математическая модель разогрева эмиттера в процессе катодного вакуумно-дугового осаждения материалов, учитывающая зависимость теплоёмкости и теплопроводности материала катода от температуры. С помощью модели рассчитаны значения плотности тока эмиссии для различных тугоплавких м...