Исследование возможности разработки высокоэффективных кремниевых фотопреобразователей с базовой p-i-n структурой

Изготовлены и исследованы тестовые образцы фотоэлектрических преобразователей (ФЭП) с p-i-n структурой на основе очень слабо легированных фосфором кристаллов кремния i(n-)-типа проводимости толщиной около 300 мкм с удельным сопротив-лением 4000 Ом см. Слои р- и n-типа толщиной 1,5 мкм с концентрацие...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Datum:2007
Hauptverfasser: Шуба, Л.П., Кириченко, М.В., Копач, В.Р., Антонова, В.А., Листратенко, А.М.
Format: Artikel
Sprache:Russian
Veröffentlicht: Інститут радіофізики і електроніки ім. А.Я. Усикова НАН України 2007
Schlagworte:
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/10774
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Исследование возможности разработки высокоэффективных кремниевых фотопреобразователей с базовой p-i-n структурой / Л.П. Шуба, М.В. Кириченко, В.Р. Копач, В.А. Антонова, А.М. Листратенко // Радіофізика та електроніка. — 2007. — Т. 12, № 1. — С. 263-267. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-10774
record_format dspace
spelling Шуба, Л.П.
Кириченко, М.В.
Копач, В.Р.
Антонова, В.А.
Листратенко, А.М.
2010-08-06T14:22:47Z
2010-08-06T14:22:47Z
2007
Исследование возможности разработки высокоэффективных кремниевых фотопреобразователей с базовой p-i-n структурой / Л.П. Шуба, М.В. Кириченко, В.Р. Копач, В.А. Антонова, А.М. Листратенко // Радіофізика та електроніка. — 2007. — Т. 12, № 1. — С. 263-267. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.
1028-821X
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/10774
539.2:648.75
Изготовлены и исследованы тестовые образцы фотоэлектрических преобразователей (ФЭП) с p-i-n структурой на основе очень слабо легированных фосфором кристаллов кремния i(n-)-типа проводимости толщиной около 300 мкм с удельным сопротив-лением 4000 Ом см. Слои р- и n-типа толщиной 1,5 мкм с концентрацией бора и фосфора 1020 см-3 соответственно образованы согласно технологии, используемой в серийном производстве отечественных монокристаллических Si-ФЭП. Плотность фототока JФ, выходные и диодные параметры ФЭП определялись по нагрузочным световым вольт-амперным характеристикам, измеренным при 25 оС в условиях заатмосферного солнечного излучения (режим АМ0 - атмосферная масса равна нулю). Обнаруженное значение JФ = 48,6 мА/см2 является рекордным для отечественных монокристаллических Si-ФЭП, что обусловливает целесообразность разработки серийных Si-ФЭП с p-i-n структурой. Изучено влияние слабоконцентрированного излучения на эффективность работы ФЭП такого типа. Обоснованы предложения по усовершенствованию конструкции Si-ФЭП с p-i-n структурой, обеспечивающему увеличение их КПД до 20%.
Виготовлені та досліджені тестові зразки фотоелектричних перетворювачів (ФЕП) з p-i-n структурою на основі дуже слабо легованих фосфором кристалів кремнію i(n-)-типу провідності товщиною близько 300 мкм з питомим опором 4000 Омсм. Шари р- та n-типу товщиною 1,5 мкм з концентрацією бору та фосфору 1020 см-3 відповідно сформовані згідно до технології, що використовується при серійному виробництві вітчизняних монокристалічних Si-ФЕП. Густина фотоструму JФ, вихідні та діодні параметри ФЕП визначалися за навантажувальними світ-ловими вольт-амперними характеристиками, виміряними при 25оС в умовах заатмосферного сонячного опромінення (режим АМ0 - атмосферна маса дорівнює нулю). Виявлене значення JФ = 48,6 мА/см2 є рекордним для вітчизняних монокристалічних Si-ФЕП, що обумовлює доцільність розробки серійних Si-ФЕП з p-i-n структурою. Вивчено вплив слабоконцентрованого опромінення на ефективність роботи ФЕП такого типу. Обґрунтовано пропозиції по вдосконаленню конструкції Si-ФЕП з p-i-n структурою, що забезпечує збільшення їх ККД до 20%.
Test samples of solar cells (SC) with p-i-n structure on the basis of very poorly phosphorus doped silicon crystals of i (n-)-type conductivity by thickness about 300 ?m with resistivity of 4000 Ohm cm were manufactured and investigated. The р- and n-type layers by thickness 1,5 ?m with boron and phosphorus concentration ~ 1020 cm-3 were prepared according to technology used in serial production of Ukrainian monocrystalline Si-SC. Photocurrent density JP, output and diode parameters of SC were determined from the loading illuminated current-voltage characteristics measured at 25оС and in conditions of extratmospheric solar radiation (АМ0 regime – air mass equals zero). The found out value JP = 48,6 mА/cm2 is the record for Ukrainian monocrystalline Si-SC that causes the expediency of serial Si-SC development with p-i-n structure. The influence of weakly concentrated radiation on the efficiency of such type SC was investigated. The proposals on improvement of Si-SC design with p-i-n structure ensuring their efficiency increasing up to 20% were grounded.
ru
Інститут радіофізики і електроніки ім. А.Я. Усикова НАН України
Вакуумная и твердотельная электроника
Исследование возможности разработки высокоэффективных кремниевых фотопреобразователей с базовой p-i-n структурой
Дослідження можливості розробки високоефективних кремнієвих фотоперетворювачів з базовою p-i-n структурою
Investigation of the development capability of high efficiency silicon solar cells with p-i-n base structure
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Исследование возможности разработки высокоэффективных кремниевых фотопреобразователей с базовой p-i-n структурой
spellingShingle Исследование возможности разработки высокоэффективных кремниевых фотопреобразователей с базовой p-i-n структурой
Шуба, Л.П.
Кириченко, М.В.
Копач, В.Р.
Антонова, В.А.
Листратенко, А.М.
Вакуумная и твердотельная электроника
title_short Исследование возможности разработки высокоэффективных кремниевых фотопреобразователей с базовой p-i-n структурой
title_full Исследование возможности разработки высокоэффективных кремниевых фотопреобразователей с базовой p-i-n структурой
title_fullStr Исследование возможности разработки высокоэффективных кремниевых фотопреобразователей с базовой p-i-n структурой
title_full_unstemmed Исследование возможности разработки высокоэффективных кремниевых фотопреобразователей с базовой p-i-n структурой
title_sort исследование возможности разработки высокоэффективных кремниевых фотопреобразователей с базовой p-i-n структурой
author Шуба, Л.П.
Кириченко, М.В.
Копач, В.Р.
Антонова, В.А.
Листратенко, А.М.
author_facet Шуба, Л.П.
Кириченко, М.В.
Копач, В.Р.
Антонова, В.А.
Листратенко, А.М.
topic Вакуумная и твердотельная электроника
topic_facet Вакуумная и твердотельная электроника
publishDate 2007
language Russian
publisher Інститут радіофізики і електроніки ім. А.Я. Усикова НАН України
format Article
title_alt Дослідження можливості розробки високоефективних кремнієвих фотоперетворювачів з базовою p-i-n структурою
Investigation of the development capability of high efficiency silicon solar cells with p-i-n base structure
description Изготовлены и исследованы тестовые образцы фотоэлектрических преобразователей (ФЭП) с p-i-n структурой на основе очень слабо легированных фосфором кристаллов кремния i(n-)-типа проводимости толщиной около 300 мкм с удельным сопротив-лением 4000 Ом см. Слои р- и n-типа толщиной 1,5 мкм с концентрацией бора и фосфора 1020 см-3 соответственно образованы согласно технологии, используемой в серийном производстве отечественных монокристаллических Si-ФЭП. Плотность фототока JФ, выходные и диодные параметры ФЭП определялись по нагрузочным световым вольт-амперным характеристикам, измеренным при 25 оС в условиях заатмосферного солнечного излучения (режим АМ0 - атмосферная масса равна нулю). Обнаруженное значение JФ = 48,6 мА/см2 является рекордным для отечественных монокристаллических Si-ФЭП, что обусловливает целесообразность разработки серийных Si-ФЭП с p-i-n структурой. Изучено влияние слабоконцентрированного излучения на эффективность работы ФЭП такого типа. Обоснованы предложения по усовершенствованию конструкции Si-ФЭП с p-i-n структурой, обеспечивающему увеличение их КПД до 20%. Виготовлені та досліджені тестові зразки фотоелектричних перетворювачів (ФЕП) з p-i-n структурою на основі дуже слабо легованих фосфором кристалів кремнію i(n-)-типу провідності товщиною близько 300 мкм з питомим опором 4000 Омсм. Шари р- та n-типу товщиною 1,5 мкм з концентрацією бору та фосфору 1020 см-3 відповідно сформовані згідно до технології, що використовується при серійному виробництві вітчизняних монокристалічних Si-ФЕП. Густина фотоструму JФ, вихідні та діодні параметри ФЕП визначалися за навантажувальними світ-ловими вольт-амперними характеристиками, виміряними при 25оС в умовах заатмосферного сонячного опромінення (режим АМ0 - атмосферна маса дорівнює нулю). Виявлене значення JФ = 48,6 мА/см2 є рекордним для вітчизняних монокристалічних Si-ФЕП, що обумовлює доцільність розробки серійних Si-ФЕП з p-i-n структурою. Вивчено вплив слабоконцентрованого опромінення на ефективність роботи ФЕП такого типу. Обґрунтовано пропозиції по вдосконаленню конструкції Si-ФЕП з p-i-n структурою, що забезпечує збільшення їх ККД до 20%. Test samples of solar cells (SC) with p-i-n structure on the basis of very poorly phosphorus doped silicon crystals of i (n-)-type conductivity by thickness about 300 ?m with resistivity of 4000 Ohm cm were manufactured and investigated. The р- and n-type layers by thickness 1,5 ?m with boron and phosphorus concentration ~ 1020 cm-3 were prepared according to technology used in serial production of Ukrainian monocrystalline Si-SC. Photocurrent density JP, output and diode parameters of SC were determined from the loading illuminated current-voltage characteristics measured at 25оС and in conditions of extratmospheric solar radiation (АМ0 regime – air mass equals zero). The found out value JP = 48,6 mА/cm2 is the record for Ukrainian monocrystalline Si-SC that causes the expediency of serial Si-SC development with p-i-n structure. The influence of weakly concentrated radiation on the efficiency of such type SC was investigated. The proposals on improvement of Si-SC design with p-i-n structure ensuring their efficiency increasing up to 20% were grounded.
issn 1028-821X
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/10774
citation_txt Исследование возможности разработки высокоэффективных кремниевых фотопреобразователей с базовой p-i-n структурой / Л.П. Шуба, М.В. Кириченко, В.Р. Копач, В.А. Антонова, А.М. Листратенко // Радіофізика та електроніка. — 2007. — Т. 12, № 1. — С. 263-267. — Бібліогр.: 5 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT šubalp issledovanievozmožnostirazrabotkivysokoéffektivnyhkremnievyhfotopreobrazovateleisbazovoipinstrukturoi
AT kiričenkomv issledovanievozmožnostirazrabotkivysokoéffektivnyhkremnievyhfotopreobrazovateleisbazovoipinstrukturoi
AT kopačvr issledovanievozmožnostirazrabotkivysokoéffektivnyhkremnievyhfotopreobrazovateleisbazovoipinstrukturoi
AT antonovava issledovanievozmožnostirazrabotkivysokoéffektivnyhkremnievyhfotopreobrazovateleisbazovoipinstrukturoi
AT listratenkoam issledovanievozmožnostirazrabotkivysokoéffektivnyhkremnievyhfotopreobrazovateleisbazovoipinstrukturoi
AT šubalp doslídžennâmožlivostírozrobkivisokoefektivnihkremníêvihfotoperetvorûvačívzbazovoûpinstrukturoû
AT kiričenkomv doslídžennâmožlivostírozrobkivisokoefektivnihkremníêvihfotoperetvorûvačívzbazovoûpinstrukturoû
AT kopačvr doslídžennâmožlivostírozrobkivisokoefektivnihkremníêvihfotoperetvorûvačívzbazovoûpinstrukturoû
AT antonovava doslídžennâmožlivostírozrobkivisokoefektivnihkremníêvihfotoperetvorûvačívzbazovoûpinstrukturoû
AT listratenkoam doslídžennâmožlivostírozrobkivisokoefektivnihkremníêvihfotoperetvorûvačívzbazovoûpinstrukturoû
AT šubalp investigationofthedevelopmentcapabilityofhighefficiencysiliconsolarcellswithpinbasestructure
AT kiričenkomv investigationofthedevelopmentcapabilityofhighefficiencysiliconsolarcellswithpinbasestructure
AT kopačvr investigationofthedevelopmentcapabilityofhighefficiencysiliconsolarcellswithpinbasestructure
AT antonovava investigationofthedevelopmentcapabilityofhighefficiencysiliconsolarcellswithpinbasestructure
AT listratenkoam investigationofthedevelopmentcapabilityofhighefficiencysiliconsolarcellswithpinbasestructure
first_indexed 2025-11-24T16:02:15Z
last_indexed 2025-11-24T16:02:15Z
_version_ 1850850488389468160
fulltext __________ ISSN 1028-821X Радиофизика и электроника, том 12, № 1, 2007, с. 263-267 © ИРЭ НАН Украины, 2007 УДК 539.2:648.75 ИССЛЕДОВАНИЕ ВОЗМОЖНОСТИ РАЗРАБОТКИ ВЫСОКОЭФФЕКТИВНЫХ КРЕМНИЕВЫХ ФОТОПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ С БАЗОВОЙ P-I-N СТРУКТУРОЙ Л. П. Шуба 1 , М. В. Кириченко 1 , В. Р. Копач 1 , В. А. Антонова 2 , А. М. Листратенко 2 1 Национальный технический университет «Харьковский политехнический институт» 21, ул. Фрунзе, г. Харьков, 61002, Украина E-mail: Lshuba@mail.ru 2 Государственное предприятие «Научно-исследовательский технологический институт приборостроения», 40/42, ул. Примакова, г. Харьков, 61010, Украина Изготовлены и исследованы тестовые образцы фотоэлектрических преобразователей (ФЭП) с p-i-n структурой на основе очень слабо легированных фосфором кристаллов кремния i(n-)-типа проводимости толщиной около 300 мкм с удельным сопротив- лением 4000 Ом см. Слои р- и n-типа толщиной 1,5 мкм с концентрацией бора и фосфора 1020 см-3 соответственно образованы согласно технологии, используемой в серийном производстве отечественных монокристаллических Si-ФЭП. Плотность фототока JФ, выходные и диодные параметры ФЭП определялись по нагрузочным световым вольт-амперным характеристикам, измеренным при 25 оС в условиях заатмосферного солнечного излучения (режим АМ0 - атмосферная масса равна нулю). Обнаруженное значе- ние JФ = 48,6 мА/см2 является рекордным для отечественных монокристаллических Si-ФЭП, что обусловливает целесообразность разработки серийных Si-ФЭП с p-i-n структурой. Изучено влияние слабоконцентрированного излучения на эффективность работы ФЭП такого типа. Обоснованы предложения по усовершенствованию конструкции Si-ФЭП с p-i-n структурой, обеспечивающему увеличение их КПД до 20%. Ил. 5. Табл. 3. Библиогр.: 5 назв. Ключевые слова: фотоэлектрические преобразователи, p-i-n структура, КПД. В настоящее время фотоэлектрические преобразователи (ФЭП) солнечной энергии нахо- дят широкомасштабное применение для энерго- обеспечения космических аппаратов и автоном- ного питания разнообразных наземных электрон- ных устройств. К современным ФЭП предъявля- ются следующие требования: высокая эффектив- ность работы; технологичность и относительно низкая стоимость изготовления; а также надлежа- щая радиационная стойкость. Такие характеристи- ки присущи лучшим зарубежным ФЭП на основе монокристаллического кремния, КПД которых достигает ~ 20% [1,2]. Однако серийные ФЭП оте- чественного производства не отвечают в полной мере приведенным выше требованиям (КПД при- боров на основе монокристаллического кремния марки КДБ-10 с n + -p гомопереходом составляет 13-14% при 25 о С в условиях заатмосферного сол- нечного излучения - режим АМ0 - атмосферная масса равна нулю), а поэтому остаются низкорен- табельными для широкомасштабного космиче- ского и наземного применения [3]. Указанное побуждает разработчиков постоянно совершенст- вовать конструктивно-технологическое решение отечественных ФЭП на основе монокристалличе- ского кремния. Ключевой причиной сложившейся ситуа- ции является различие в плотностях фототока JФ таких ФЭП: 40-42 мА/см 2 у отечественных и 48- 49 мА/см 2 у зарубежных. Так как одним из ради- кальных способов увеличения JФ является повы- шение времени жизни неосновных носителей за- ряда в базовом полупроводниковом слое ФЭП, которое, как известно, растет со снижением кон- центрации легирующей примеси, целесообразным представляется исследование возможности разра- ботки высокоэффективных кремниевых ФЭП с базовой p-i-n структурой. Указанные обстоятель- ства инициировали проведение настоящих иссле- дований. 1. Объекты исследования. В работе ис- следовались тестовые образцы фотоэлектрических преобразователей с p-i(n - )-n структурой, изготов- ленные Государственным предприятием «Научно- исследовательский технологический институт приборостроения» (ГП НИТИП, г. Харьков) на основе кристаллов кремния n-типа проводимости, характеризующихся удельным сопротивление 4000 Ом см, ориентацией (100) и толщиной 300 мкм. Схематическое изображение конструк- ции исследуемых ФЭП приведено на рис. 1. Суммарная площадь фотоприемной по- верхности составляет 100 мм 2 . Со стороны фрон- тальной фотоприемной поверхности расположены диффузионные р + -слои толщиной 1,5 мкм с кон- центрацией акцепторной примеси Na = 6·10 19 см -3 , выполненные в виде замкнутой решетки, имеющей шаг 100 мкм. Всего на фронтальной поверхности в составе указанной решетки присутствует 100 таких полос шириной 50 мкм. Эти полосы электрически связаны между собой диффузионным кольцом шириной 200 мкм. От периферийного р + -кольца фотоприемной области на расстоянии 50 мкм рас- положено охранное полевое кольцо шириной 50 мкм. Фотоприемная поверхность вместе с ох- ранным полевым кольцом окружена стопорным противоинверсионным кольцом n + -типа шириной 1000 мкм, которое отстоит от охранного полевого Л. П. Шуба и др. / Исследование возможности разработки… _________________________________________________________________________________________________________________ 264 кольца на 200 мкм. На тыльной поверхности структуры расположены диффузионные n + -слои толщиной 1,5 мкм с концентрацией донорной примеси Nd = 2·10 20 см -3 , выполненные также, как и р + -слои, но развернутые относительно послед- них под углом 90 о . Поверх р + -колец и n + -областей нанесены пленочные металлические электроды. а) б) Рис. 1. Схематическое изображение фронтальной поверхности (а) и сечения, перпендикулярного этой поверхности (б) тесто- вых образцов ФЭП: 1 - стопорное противоинверсионное коль- цо n+-типа проводимости, покрытое слоем металлизации; 2 - периферийное охранное кольцо p+-типа проводимости, по- крытое слоем металлизации; 3 - диффузионное кольцо p+-типа проводимости, покрытое слоем металлизации; 4 - просвет- ляющее покрытие; 5 - диффузионный слой кремния p+-типа проводимости толщиной 1,5 мкм; 6 - монокристаллический кремний i -типа проводимости; 7 - диффузионный слой крем- ния n+-типа проводимости толщиной 1,5 мкм; 8 - пленочный сплошной металлический электрод толщиной 1 мкм ___________________________________________ 2. Параметры ФЭП в режиме облуче- ния АМ0. Определение плотности фототока Jф, выходных параметров (плотности тока короткого замыкания Jкз; напряжения холостого хода Uхх; фактора заполнения FF нагрузочной световой вольт-амперной характеристики (НС ВАХ); мак- симальной электрической мощности, выделяемой в нагрузке Рнм; коэффициента полезного дейст- вия ) и диодных параметров (плотности диодно- го тока насыщения J0; последовательного сопро- тивления Rп; шунтирующего сопротивления Rш; коэффициента идеальности диода А); исследо- ванных ФЭП проводилось путем измерения и последующей аналитической обработки НС ВАХ. Экспериментальные НС ВАХ приведены на рис. 2. Выходные и диодные параметры иссле- дованных ФЭП в режиме облучения АМ0 при температуре 25 о С представлены в табл. 1. Uк, Iк, Рис. 2. Экспериментальные НС ВАХ тестовых образцов ФЭП: - №1; - №2 Анализ результатов, приведенных в табл. 1, с очевидностью указывает на следующую тенденцию зависимости их КПД от плотности фототока и диодных параметров: КПД увеличи- вается с ростом Jф и Rш, и с уменьшением J0 и Rп. Таблица 1 Плотность фототока, выходные и диодные параметры тестовых образцов ФЭП, рассчитанные по приведенным на рис. 2 НС ВАХ Образцы ФЭП Jф, мА/см 2 Jкз, мА/см 2 Uхх, мВ FF, отн. ед. Pнм*, Вт/кг Рнм, Вт/м 2 , % J0, А/см 2 A, отн. ед. Rп*, Ом см 2 Rш*, Ом см 2 № 1 48,6 47,8 581 0,56 224 156 11,5 5,0·10 -7 2 1,7 99 № 2 45,4 45,1 588 0,60 226 158 11,6 4,6·10 -7 2 1,7 251 ___________________________________________ Как видно из табл. 1, исследованные тес- товые образцы ФЭП имеют весьма высокие значе- ния плотности фототока, превышающие достигну- тые к настоящему моменту значения Jф для серий- ных отечественных ФЭП более, чем на 4 мА/см 2 , что должно было бы привести к заметному росту их КПД. Однако КПД исследованных ФЭП не превышает 11,6%, что связано с высокими значе- ниями плотности диодного тока насыщения и по- следовательного сопротивления, а также с низким шунтирующим сопротивлением. Высокое значе- ние J0 обусловлено, в первую очередь, преоблада- нием его рекомбинационной компоненты (А = 2). Низкое шунтирующее сопротивление Rш*, приве- денное к единице площади ФЭП, обусловлено, ве- роятнее всего, краевыми дислокациями с облаками Котрелла либо глубокими микротрещинами (иногда образующимися при вырезании базового полупро- одникового слоя из исходного монокристалличе- ского слитка), пересекающими p-i-n структуру. Л. П. Шуба и др. / Исследование возможности разработки… _________________________________________________________________________________________________________________ 265 Следует отметить, что величина Jф образ- ца №1 составляет 48,6 мА/см 2 и практически равна плотности фототока лучших зарубежных ФЭП. Это позволяет говорить о перспективе создания ФЭП такого типа с рекордно высоким значением КПД. Однако, хотя плотность фототока образца №1 больше, чем у образца №2 на 3,2 мА/см 2 , по- вышенное значение J0 и пониженное значение шунтирующего сопротивления Rш*, приведенного к единице площади фронтальной поверхности данного ФЭП, обусловливают снижение его КПД на 0,1% по сравнению с образцом №2. Таким образом, при достигнутом высо- ком значении Jф к пониженному значению КПД исследованных ФЭП привело недостаточно вы- сокое качество их диодной структуры. Однако достигнутые рекордно высокие значения Jф по- зволяют прогнозировать реальную возможность обеспечения существенно более высокой эффек- тивности работы ФЭП с p-i-n-структурой. Расчеты, результаты которых представле- ны в табл. 2, показывают, что если бы величина Jф образца №2 была повышена до величины Jф об- разца №1, величина J0 снижена до 10 -7 А/см 2 , то КПД образца №2 повысился бы на 3,1% и достигал бы 14,7%. Это превышает КПД лучших отечест- венных ФЭП стандартной конструкции, который составляет 14%. При снижении Rп* до 1,20 Ом см 2 , увеличении Rш* до 360 Ом см 2 возможно дости- жение КПД на уровне 15,6%. В случае приближе- ния некоторых диодных параметров тестовых об- разцов к диодным параметрам лучших отечествен- ных ФЭП, а именно: Rп* = 0,88 Ом см 2 и Rш* = 270 Ом см 2 при сохранении J0 на уровне 10 -7 А/см 2 , ФЭП с p-i-n-структурой позволят полу- чить КПД около 16,1% и Рнм * около 313 Вт/кг. ______________________________________________________ Таблица 2 Результаты математического моделирования на ПЭВМ зависимости выходных параметров ФЭП от их диодных параметров Этапы моделирования Плотность фототока Диодные параметры Выходные параметры JФ, мА/см 2 J0, А/см 2 A, отн.ед. Rш*, Ом см 2 Rп*, Ом см 2 Jкз, мА/см 2 Uхх, мВ FF, отн.ед. Рнм, Вт/м 2 Pнм*, Вт/кг , % 1 48,6 1·10 -7 2 251 1,7 48,2 668 0,62 200 286 14,7 2 48,6 1·10 -7 2 360 1,2 48,4 669 0,65 212 303 15,6 3 48,6 1·10 -7 2 270 0,7 48,5 669 0,67 219 313 16,1 4 48,6 1·10 -8 2 500 0,5 48,6 787 0,72 277 397 20,4 ___________________________________________ Оптимизировать параметры диодной структуры можно следующим образом. Снижение плотности диодного тока насыщения реально за счет уменьшения на порядок толщины областей p + -типа, соответствующих позиции 5 на рис. 1. Понижение последовательного сопротивления возможно за счет нанесения металлизации толщи- ной не менее 5 мкм поверх этих областей. Для по- вышения шунтирующего сопротивления целесо- образно утонение исходного кристалла методом глубокого химического травления [4], что обеспе- чит устранение микротрещин, проникающих в исходный базовый кристалл со стороны планар- ных поверхностей на глубину 100-150 мкм и не устраняемых в результате его механической поли- ровки и шлифовки, а также большей части крае- вых дислокаций в этом кристалле. При условии достижения параметров диодной структуры, соответствующих критери- альным значениям для ФЭП стандартной конст- рукции (Rп* = 0,5 Ом см 2 , Rш* = 500 Ом см 2 , J0 = 10 -8 А/см 2 [5]) КПД ФЭП с p-i-n структурой может быть увеличен до 20,4%. Теоретические НС ВАХ для фотопреобра- зователей с различными диодными параметрами и значениями Jф приведены на рис. 3. Изменение коэффициента полезного действия в зависимости от диодных параметров схематически показано в виде соответствующих диаграмм на рис. 4. Uк,B Iк,мА Uк,B Рис. 3. НС ВАХ ФЭП с p-i-n структурой, построенные по результатам математического моделирования с учетом значе- ний плотности фототока и диодных параметров, соответст- вующих этапам моделирования 1 - 4, которые приведены в табл. 2: - этап 1; - этап 2; - этап 3; - этап 4 Л. П. Шуба и др. / Исследование возможности разработки… _________________________________________________________________________________________________________________ 266 R R а) R R б) Рис. 4. Диаграммы распределения значений КПД ФЭП с p-i-n структурой в зависимости от значений последовательно- го и шунтирующего сопротивлений при плотности диодного тока насыщения 10-7 А/см2 (а) и 10-8 А/см2 (б) Все вышеизложенное позволяет сделать вывод о перспективности использования монокри- сталлических кремниевых ФЭП с p-i-n-структурой для космического и наземного применения. 3. Параметры ФЭП в условиях кон- центрированного излучения. Основные резуль- таты исследований по изучению влияния концен- трированного солнечного излучения на выходные и диодные параметры ФЭП с p-i-n-структурой могут быть обобщены в виде семейства зависи- мостей выходных параметров и плотности фото- тока от величины степени концентрации излуче- ния К, представленного на рис. 5. Выходные и диодные параметры тестового образца ФЭП №1 при различных значениях К приведены в табл. 3. Uк Iк Рис. 5. Экспериментальные НС ВАХ, соответствующие раз- личным уровням освещенности тестового образца ФЭП №1: - К = 1; - К = 1,2; - К = 1,5; - К = 2 Как видно из рис. 5 и табл. 3, выходные и диодные параметры исследованного ФЭП по- разному изменяются с ростом К: Jф, и Uxx растут с увеличением К. Однако фактор заполнения НС ВАХ уменьшается с ростом К, начиная со значе- ний этой величины, близких к единице. Последнее обстоятельство хорошо коррелиру- ет с увеличением разницы между Jф и Jкз при росте К, которая может быть обусловлена только ростом плотности диодного тока Jд ФЭП с ростом К при сравнительно больших значениях J0 и Rп в силу следующего хорошо известного соотношения [5]: Jкз = Jф – Jд. Существенной причиной снижения фактора заполнения FF с ростом К может являться значи- тельное увеличение потерь вырабатываемой ФЭП электрической мощности на выделение джоулева тепла в относительно высоком последовательном и в сравнительно низком шунтирующем сопротивле- ниях ФЭП. Поэтому можно заключить, что величина FF уменьшается с ростом К от 0,56 до 0,52, в частно- сти, из-за увеличения J0 с ростом К сравнительно больших значений Rп и низких значений Rш, дости- гающих соответственно 7·10 -7 А/см 2 , 1,6 Ом·см 2 , 79 Ом·см 2 при К = 2. ______________________________________________________ Таблица 3 Плотность фототока, выходные и диодные параметры тестового образца ФЭП № 1 в зависимости от степени концентрации излучения на его фронтальной поверхности К, отн. ед. Jф, мА/см 2 Jкз, мА/см 2 Uхх, мВ FF, отн.ед. Рнм, Вт/м 2 Pнм*, Вт/кг , % J0, А/см 2 A, отн.ед. Rш*, Ом см 2 Rп*, Ом см 2 1,0 48,6 47,8 581 0,56 157 224 11,5 5·10 -7 2 99 1,7 1,2 58,7 57,8 583 0,56 191 243 11,6 6·10 -7 2 99 1,6 1,5 74,2 73,0 596 0,55 232 341 11,7 6·10 -7 2 99 1,6 2,0 96,6 94,7 602 0,52 297 423 10,6 7·10 -7 2 79 1,6 ___________________________________________ Перечисленные обстоятельства приводят к увеличению КПД на 0,2% (абсолютных) при К = 1,5, а затем - к резкому спаду на 1,1% при К = 2. Вместе с тем, проведенный анализ экспериментальных данных показывает, что при указанном выше спаде КПД мак- симальная электрическая мощность, отдаваемая ФЭП во внешнюю резистивную нагрузку, монотонно растет с увеличением степени концентрации излучения во всем диапазоне использованных значений К, достигая 423 Вт/кг при К = 2. Это обусловлено преимущест- венным монотонным ростом произведения выходных параметров Jкз и Uхх на фоне монотонного и меньшего Л. П. Шуба и др. / Исследование возможности разработки… _________________________________________________________________________________________________________________ 267 по удельному вкладу снижения параметра FF в вели- чину Рнм = JкзUххFF 5 . Наблюдающийся характер зависимости максимальной электрической мощности, отдаваемой ФЭП во внешнюю резистивную нагрузку, от величины К показан в табл. 3. Полученные результаты позволяют за- ключить, что ФЭП с p-i-n-структурой исследо- ванного уровня качества в условиях концентри- рованного солнечного излучения наиболее опти- мально могут быть использованы при К = 1,5. При улучшении диодных параметров, обеспечи- вающих рост КПД в режиме облучения АМ0, значение оптимального коэффициента концен- трации солнечного излучения может возрасти. Выводы. Проведена аттестация по фото- току, выходным и диодным параметрам тестовых образцов ФЭП с p-i-n структурой на основе кри- сталлов кремния толщиной 300 мкм с площадью фронтальной поверхности 1 см 2 . В условиях облучения АМ0 КПД исследо- ванных ФЭП составляет 11,5 - 11,6%, что обусловле- но недостаточно высоким качеством диодной струк- туры. Однако рекордно высокие значения плотности фототока, достигающие 48,6 мА/см 2 , позволяют при условии оптимизации диодных параметров прогно- зировать реальную возможность достижения более высокого качества ФЭП с p-i-n-структурой. Математическое моделирование на ПЭВМ зависимости выходных параметров ФЭП от их диод- ных параметров показало, что КПД равный 14,7% достижим при снижении плотности диодного тока насыщения до 10 -7 А/см 2 при сохранении остальных диодных параметров таких ФЭП на уровне, соответст- вующем настоящей стадии разработки. При практиче- ской реализации достижения критериальных значений диодных параметров (J0 = 10 -8 А/см 2 , Rп* = 0,5 Ом см 2 , Rш* = 500 Ом см 2 , А = 2) [5] КПД ФЭП с p-i-n струк- турой может быть увеличен до 20,4%. Установлено, что в условиях концентриро- ванного солнечного излучения КПД ФЭП исследо- ванного типа растет с повышением степени его кон- центрации, достигая максимума 11,7% при К = 1,5, а затем резко спадает при К = 2. Обнаружено, что такое изменение КПД обусловлено снижением FF и увели- чением J0 с увеличением К, а также сравнительно большим значением Rп образца и низким Rш. Моно- кристаллические кремниевые ФЭП с p-i-n структурой исследованного уровня качества в условиях концен- трированного солнечного излучения наиболее опти- мально могут быть использованы при К = 1,5. 1. Hoffmann W. PV solar electricity: one among the new millen- nium industries // Proceedings of the 17th European Photo- voltaic Solar Energy Conference, (October 22-26, 2001). - Munich, Germany, 2001. - P.-851-861. 2. Green M. A., Emery K., King D. L. et al. Solar cell efficiency tables (Version 27) // Prog. Photovolt: Res. Appl. - 2006. - 14, N1. - P.45-51. 3. Антонова В. А., Борщев В. Н., Копач В. Р. и др. Перспек- тивные конструктивно-технологические решения монокри- сталлических кремниевых фотопреобразователей космиче- ского назначения // Радиотехника. - 2002. - Вып. 125. - С.110-116 4. Колтун М. М. Оптика и метрология солнечных элементов. - М.: Наука, 1985. - 280 с. 5. Фаренбрух А., Бьюб Р. Солнечные элементы: теория и эксперимент. - М.: Энергоиздат, 1987. - 280 с. INVESTIGATION OF THE DEVELOPMENT CAPABILITY OF HIGH EFFICIENCY SILICON SOLAR CELLS WITH P-I-N BASE STRUCTURE L. P. Shuba, M. V. Кirichenko, V. R. Коpach, V. А. Аntonova, А. М. Listratenko Test samples of solar cells (SC) with p-i-n structure on the basis of very poorly phosphorus doped silicon crystals of i (n-)-type conduc- tivity by thickness about 300 μm with resistivity of 4000 Ohm cm were manufactured and investigated. The р- and n-type layers by thickness 1,5 μm with boron and phosphorus concentration ~ 1020 cm-3 were prepared according to technology used in serial production of Ukrainian monocrystalline Si-SC. Photocurrent densi- ty JP, output and diode parameters of SC were determined from the loading illuminated current-voltage characteristics measured at 25оС and in conditions of extra-atmospheric solar radiation (АМ0 regime – air mass equals zero). The found out value JP = 48,6 mА/cm2 is the record for Ukrainian monocrystalline Si-SC that causes the expe- diency of serial Si-SC development with p-i-n structure. The influ- ence of weakly concentrated radiation on the efficiency of such type SC was investigated. The proposals on improvement of Si-SC design with p-i-n structure ensuring their efficiency increasing up to 20% were grounded. Key words: solar cells, p-i-n structure, efficiency. ДОСЛІДЖЕННЯ МОЖЛИВОСТІ РОЗРОБКИ ВИСОКОЕФЕКТИВНИХ КРЕМНІЄВИХ ФОТОПЕРЕТВОРЮВАЧІВ З БАЗОВОЮ P-I-N СТРУКТУРОЮ Л. П. Шуба, М. В. Кіріченко, В. Р. Копач, В. А. Антонова, О. М. Лістратенко Виготовлені та досліджені тестові зразки фотоелек- тричних перетворювачів (ФЕП) з p-i-n структурою на основі дуже слабо легованих фосфором кристалів кремнію i(n-)-типу провід- ності товщиною близько 300 мкм з питомим опором 4000 Ом см. Шари р- та n-типу товщиною 1,5 мкм з концентрацією бору та фосфору 1020 см-3 відповідно сформовані згідно до технології, що використовується при серійному виробництві вітчизняних монокристалічних Si-ФЕП. Густина фотоструму JФ, вихідні та діодні параметри ФЕП визначалися за навантажувальними світ- ловими вольт-амперними характеристиками, виміряними при 25оС в умовах заатмосферного сонячного опромінення (режим АМ0 - атмосферна маса дорівнює нулю). Виявлене значення JФ = 48,6 мА/см2 є рекордним для вітчизняних монокристалічних Si-ФЕП, що обумовлює доцільність розробки серійних Si-ФЕП з p-i-n структурою. Вивчено вплив слабоконцентрованого опромі- нення на ефективність роботи ФЕП такого типу. Обґрунтовано пропозиції по вдосконаленню конструкції Si-ФЕП з p-i-n структу- рою, що забезпечує збільшення їх ККД до 20%. Ключові слова: фотоелектричні перетворювачі, p-i-n структура, ККД. Рукопись поступила 28 декабря 2006 г.