Структура и свойства электроосажденных пленок сульфида кадмия

Неотъемлемой частью современных тонкопленочных фотопреобразователей (ФЭП) на базе диселенида меди и индия и теллурида кадмия являются слои сульфида кадмия, которые играют роль буфера между базовым слоем и прозрачным электродом. Данная работа посвящена исследованию структуры, электрических и оптическ...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Date:2007
Main Authors: Ли, Т.А., Клочко, Н.П.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут радіофізики і електроніки ім. А.Я. Усикова НАН України 2007
Subjects:
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/10807
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Структура и свойства электроосажденных пленок сульфида кадмия / Т.А. Ли, Н.П. Клочко // Радіофізика та електроніка. — 2007. — Т. 12, № 2. — С. 367-371. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-10807
record_format dspace
spelling Ли, Т.А.
Клочко, Н.П.
2010-08-06T16:13:07Z
2010-08-06T16:13:07Z
2007
Структура и свойства электроосажденных пленок сульфида кадмия / Т.А. Ли, Н.П. Клочко // Радіофізика та електроніка. — 2007. — Т. 12, № 2. — С. 367-371. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.
1028-821X
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/10807
621.472:629.78
Неотъемлемой частью современных тонкопленочных фотопреобразователей (ФЭП) на базе диселенида меди и индия и теллурида кадмия являются слои сульфида кадмия, которые играют роль буфера между базовым слоем и прозрачным электродом. Данная работа посвящена исследованию структуры, электрических и оптических свойств электроосажденных пленок CdS. Структурный анализ проводили рентген-дифрактометрическим методом. Для определения электрических свойств использовали темновые вольт-амперные характеристики (ВАХ) пленок. Оптические свойства исследовали методом спектрофотометрии.
Невід'ємною складовою сучасних тонкоплівкових фотоперетворювачів (ФЕП) на базі діселеніду міді та індію і на базі телуриду кадмію є шари сульфіду кадмію, які відіграють роль буфера між базовим шаром і прозорим електродом. Ця робота присвячена дослідженню структури, електричних і оптичних властивостей електроосаджених плівок CdS. Структурний аналіз здійснювався рентген-дифрактометричним методом. Для визначення електричних властивостей використовували темнові вольт-амперні характеристики (ВАХ) плівок. Оптичні властивості досліджували методом спектрофо-тометрії.
Cadmium sulfide layers are integral part of the modern solid state photovoltaic devices (PVD) on the base of copper indium diselenide and on the base of cadmium telluride. They play the role of the buffer between the base layer and the transparent electrode. This work is devoted to research of the structure, electrical and optical properties of electrodeposited CdS films. The structural analysis was executed by the method of X-ray diffractometry. For determination of the electrical properties the dark current-voltage characteristics (IVC) of the films were used. Optical properties were investigated by means of spectrophotometry method.
ru
Інститут радіофізики і електроніки ім. А.Я. Усикова НАН України
Радиофизика твердого тела и плазмы
Структура и свойства электроосажденных пленок сульфида кадмия
Структура та властивості електроосаджених плівок сульфіду кадмію
Structure and properties of electrodeposited cadmium sulfide films
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Структура и свойства электроосажденных пленок сульфида кадмия
spellingShingle Структура и свойства электроосажденных пленок сульфида кадмия
Ли, Т.А.
Клочко, Н.П.
Радиофизика твердого тела и плазмы
title_short Структура и свойства электроосажденных пленок сульфида кадмия
title_full Структура и свойства электроосажденных пленок сульфида кадмия
title_fullStr Структура и свойства электроосажденных пленок сульфида кадмия
title_full_unstemmed Структура и свойства электроосажденных пленок сульфида кадмия
title_sort структура и свойства электроосажденных пленок сульфида кадмия
author Ли, Т.А.
Клочко, Н.П.
author_facet Ли, Т.А.
Клочко, Н.П.
topic Радиофизика твердого тела и плазмы
topic_facet Радиофизика твердого тела и плазмы
publishDate 2007
language Russian
publisher Інститут радіофізики і електроніки ім. А.Я. Усикова НАН України
format Article
title_alt Структура та властивості електроосаджених плівок сульфіду кадмію
Structure and properties of electrodeposited cadmium sulfide films
description Неотъемлемой частью современных тонкопленочных фотопреобразователей (ФЭП) на базе диселенида меди и индия и теллурида кадмия являются слои сульфида кадмия, которые играют роль буфера между базовым слоем и прозрачным электродом. Данная работа посвящена исследованию структуры, электрических и оптических свойств электроосажденных пленок CdS. Структурный анализ проводили рентген-дифрактометрическим методом. Для определения электрических свойств использовали темновые вольт-амперные характеристики (ВАХ) пленок. Оптические свойства исследовали методом спектрофотометрии. Невід'ємною складовою сучасних тонкоплівкових фотоперетворювачів (ФЕП) на базі діселеніду міді та індію і на базі телуриду кадмію є шари сульфіду кадмію, які відіграють роль буфера між базовим шаром і прозорим електродом. Ця робота присвячена дослідженню структури, електричних і оптичних властивостей електроосаджених плівок CdS. Структурний аналіз здійснювався рентген-дифрактометричним методом. Для визначення електричних властивостей використовували темнові вольт-амперні характеристики (ВАХ) плівок. Оптичні властивості досліджували методом спектрофо-тометрії. Cadmium sulfide layers are integral part of the modern solid state photovoltaic devices (PVD) on the base of copper indium diselenide and on the base of cadmium telluride. They play the role of the buffer between the base layer and the transparent electrode. This work is devoted to research of the structure, electrical and optical properties of electrodeposited CdS films. The structural analysis was executed by the method of X-ray diffractometry. For determination of the electrical properties the dark current-voltage characteristics (IVC) of the films were used. Optical properties were investigated by means of spectrophotometry method.
issn 1028-821X
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/10807
citation_txt Структура и свойства электроосажденных пленок сульфида кадмия / Т.А. Ли, Н.П. Клочко // Радіофізика та електроніка. — 2007. — Т. 12, № 2. — С. 367-371. — Бібліогр.: 12 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT lita strukturaisvoistvaélektroosaždennyhplenoksulʹfidakadmiâ
AT kločkonp strukturaisvoistvaélektroosaždennyhplenoksulʹfidakadmiâ
AT lita strukturatavlastivostíelektroosadženihplívoksulʹfídukadmíû
AT kločkonp strukturatavlastivostíelektroosadženihplívoksulʹfídukadmíû
AT lita structureandpropertiesofelectrodepositedcadmiumsulfidefilms
AT kločkonp structureandpropertiesofelectrodepositedcadmiumsulfidefilms
first_indexed 2025-11-26T21:14:13Z
last_indexed 2025-11-26T21:14:13Z
_version_ 1850776468880097280
fulltext __________ ISSN 1028-821X Радиофизика и электроника, том 12, № 2, 2007, с. 367-371 © ИРЭ НАН Украины, 2007 УДК 621.472:629.78 СТРУКТУРА И СВОЙСТВА ЭЛЕКТРООСАЖДЕННЫХ ПЛЕНОК СУЛЬФИДА КАДМИЯ Т. А. Ли, Н. П. Клочко Национальный технический университет «Харьковский политехнический институт» 61002, г. Харьков, ул. Фрунзе, 21 Е-mail: li_tatiyana@mail.ru Неотъемлемой частью современных тонкопленочных фотопреобразователей (ФЭП) на базе диселенида меди и индия и теллурида кадмия являются слои сульфида кадмия, которые играют роль буфера между базовым слоем и прозрачным электродом. Данная работа посвящена исследованию структуры, электрических и оптических свойств электроосажденных пленок CdS. Струк- турный анализ проводили рентген-дифрактометрическим методом. Для определения электрических свойств использовали темно- вые вольт-амперные характеристики (ВАХ) пленок. Оптические свойства исследовали методом спектрофотометрии. Ил. 6. Табл. 4. Библиогр.: 12 назв. Ключевые слова: сульфид кадмия, электрохимическое осаждение. Метод электрохимического катодного осаждения находит широкое применение в твердо- тельной электронике уже длительное время. В по- следние десятилетия было также начато использо- вание в технологических цепочках тонко- пленочных приборов, в частности, при изготовле- нии ФЭП, процессов электроосаждения полупро- водниковых соединений. Причина заключается в том, что данный метод отличается не только невы- сокой стоимостью и относительной простотой, но и успешной адаптацией к требованиям широко- масштабного производства. С другой стороны, за счет управления таким параметром процесса элек- троосаждения, как потенциал рабочего электрода, имеется возможность изготавливать полупровод- никовые слои с заданными составом и свойствами. Например, электрохимическое осаждение пленок сульфида кадмия (CdS) признается исследователя- ми во всем мире [1-5] одним из наиболее перспек- тивных методов изготовления буферных слоев в составе ФЭП на базе теллурида кадмия и диселе- нида меди и индия. Тем не менее, структура и свойства получаемых пленок CdS изучены еще недостаточно. Известно также [6-7], что в зависи- мости от конфигурации ФЭП электроосаждение сульфида кадмия приходится осуществлять либо на металлические подложки (в конфигурации “substrate”), либо на слои различных электропро- водных оксидов (в конфигурации “superstrate”). Логично предположить, что материал подложки может влиять на качество электроосажденных пленок CdS. Тем не менее, и эта зависимость до сих пор является малоисследованной. С целью восполнения имеющегося пробела настоящая ра- бота посвящена изучению структуры, электриче- ских и оптических свойств пленок сульфида кад- мия, электроосажденных на различные поверхно- сти: на металл молибден (Мо), на электропровод- ные оксиды индия-олова (ITO) и на оксиды олова, легированного сурьмой (SnO2:Sb), на химически инертный материал нитрид титана (TiN). Электроосаждение пленок сульфида кад- мия осуществляли из водного электролита, со- держащего 0,2М CdCl2, 0,02М Na2S2O3 и имею- щего рН 2, который достигался добавлением сер- ной кислоты (0,01 М). Электроосаждение прово- дили в режиме поддержания постоянного потен- циала поверхности подложки с помощью потен- циостата. В качестве подложек использовали стекла с нанесенными на них методом магне- тронного распыления слоями молибдена или про- зрачного электропроводного оксида ITO, с полу- ченными методом парофазного химического оса- ждения слоями SnO2:Sb или с осажденными ме- тодом реактивного распыления в вакууме слоями нитрида титана. Электролит не перемешивался, время осаждения составляло 15 мин. Катодные потенциалы и плотности тока приведены в табл. 1. Таблица 1 Параметры электрохимического осаждения пленок сульфида кадмия № об- разца Подложка Потенциал катода, U (B) Изменение плотности тока элек- троосаждения в про- цессе нанесения CdS, J, мА/см2 1 ITO -0,65 0,5-0,3 8 SnO2:Sb -0,55 2,0-1,5 11 TiN -0,65 1,4-0,9 12 TiN -0,65 0,5 13 TiN -0,70 1,7-1,9 14 Mo -0,55 2,0-0,2 Исследования структуры образцов про- водились с использованием рентгеновского ди- фрактометра ДРОН-4 и характеристического из- лучения FeKα (λ = 1,93604 Å). Шаг сканирования составлял 0,02 градуса, время экспозиции - 1 с. Съемка проводилась поточечно в интер- вале углов 2θ 30 - 58 град., по схеме θ-2θ с фоку- сировкой по Брэггу-Брентано. Идентификация mailto:li_tatiyana@mail.ru Т. А. Ли, Н. П. Клочко / Структура и свойства электроосажденных… _________________________________________________________________________________________________________________ 368 фаз полученных соединений проводилась путем сопоставления экспериментальных данных с тео- ретическими: для сравнения с параметрами кри- сталлических решеток CdS кубической (сфале- рит) и гексагональной (вюрцит) модификаций были использованы данные картотеки JCPDS №10-454 и №6-0314 соответственно. Исследование электрических свойств электроосажденных слоев CdS проводилось пу- тем обработки прямых ветвей темновых ампер- ных характеристик (ВАХ), регистрируемых с по- мощью характериографа EMG-1579-102TR-4802. Расчеты электронных параметров выполнялись в соответствии с работой [8]. На рис. 1 приведена упрощенная элек- трическая схема характериографа вместе с под- ключенным к нему исследуемым образцом, ис- пользованная нами для измерения прямых ветвей темновых ВАХ. Рис. 1. Упрощенная электрическая схема характериографа EMG-1579-102TR-4802 с подключенным к нему исследуемым образцом: 1 - разделительный трансформатор; 2 - делитель напряжения; 3 - балластное сопротивление; 4 - исследуемый образец; 5 - токовый резистор; 6 - осциллограф На рис. 2 приведено схематическое изо- бражение образца с контактной группой для из- мерения темновых ВАХ пленок СdS. Рис. 2. Схематическое изображение образца с контактной группой для подключения к характериографу: 1 – стеклянная подложка, 2 – проводящий слой (ITO, SnO2:Sb, TiN, Mo), 3 – слой CdS, 4, 5 – контактная группа из Мо для подключения образца к характериографу Для измерения коэффициента оптиче- ского пропускания (Т) электроосажденных пле- нок использовался двулучевой спектрофотометр СФ-18. В исследуемый световой канал помещали более толстую пленку CdS на подложке стекло/ITO, а в канал сравнения - такую же подложку стекло/ITO, но с более тонким слоем CdS. Спектр коэффициента оптического пропускания регистри- ровался в диапазоне длин волн ( λ ) 450-750 нм. Экспериментальные дифрактограммы пленочных композиций CdS/ITO, CdS/TiN, CdS/SnO2:Sb и CdS/Mo обнаружили большое сходство структуры пленок, электроосажденных на различные подложки. На всех них на фоне га- ло наблюдаются пики малой интенсивности, ко- торые могут быть сформированы плоскостями (100), (002), (101), (110) CdS гексагональной мо- дификации. Пик на угле 2θ = 33,48 0 также может быть образован плоскостью (111) CdS кубической модификации. Небольшая интенсивность этих пиков и тот факт, что на дифрактограммах реги- стрируются отклики подложек, обусловлены ма- лой толщиной пленок. Пики, относящиеся к фазе СdS, являются размытыми (их ширина порядка 1 0 ), что свидетельствует о нанокристаллической структуре сульфида кадмия. В качестве иллюст- рации на рис. 3 и 4 приведены две типичные рентгеновские дифрактограммы пленок сульфида кадмия, электроосажденных на оксидную и нит- ридную подложки. На дифрактограмме пленочной компо- зиции CdS/ITO (образец №1) (рис. 3) помимо пиков подложки и гексагональной фазы СdS при угле 2θ = 35 0 хорошо различается пик, который не относится ни к сульфиду кадмия, ни к мате- риалу подложки. Этот пик согласно данным JCPDS 5-0674 и 24-562, вероятнее всего, принад- лежит одной из модификаций серы (орторомби- ческой или моноклинной соответственно). Со- гласно работе [2] сера образуется в электролите в результате химической реакции диспропорцио- нирования тиосульфата натрия, поэтому вполне вероятно, что она в качестве примеси может при- сутствовать в электроосажденных пленках суль- фида кадмия. Рис. 3. Экспериментальная дифрактограмма CdS на ITO в излучении анода FeКα (образец №1) 1 2 3 4 5 6 1 2 3 4 5 к характериографу Т. А. Ли, Н. П. Клочко / Структура и свойства электроосажденных… _________________________________________________________________________________________________________________ 369 На дифрактограмме пленочной компози- ции CdS/TiN (образец №12) (рис. 4) выделяется один интенсивный пик на угле 2θ = 46,48 0 и пять пиков малой интенсивности на углах 2θ = 31,36 0 ; 33,66 0 ; 35,64 0 ; 41,98 0 ; 55,97 0 . Рис. 4. Экспериментальная дифрактограмма CdS на TiN в излучении анода FeКα (образец № 12) Интенсивный пик на углах 2θ = 46,48 0 может быть сформирован плоскостью (111) TiN. Слабый пик на угле 2θ = 41,98 0 относится к плос- кости (111) оксида кадмия (JCPDS 5-640). Соглас- но литературным данным [9] наличие примеси фазы CdO является следствием окисления сульфи- да кадмия на воздухе. Остальные пики сформиро- ваны плоскостями (100), (002), (101), (110) CdS гексагональной модификации и плоскостью (111) CdS кубической модификации. Эти пики сильно размыты, что является подтверждением нанокри- сталлической структуры электроосажденных пле- нок сульфида кадмия. Подобным образом выглядят дифракто- граммы образцов №11 и №13 (композиции CdS/TiN), а также дифрактограммы композиций CdS/SnO2:Sb и CdS/Мо. Независимо от подложки и потенциала электроосаждения (U) в интервале - 0,55 ÷ -0,70 В все пленки CdS имеют нанокри- сталлическую структуру гексагональной или смешанной гексагональной и кубической моди- фикаций и содержат в больших или меньших ко- личествах примеси серы и оксида кадмия. В процессе исследования электрических свойств пленок CdS, электроосажденных на раз- личные подложки, было обнаружено, что после высокотемпературного нагрева вследствие элек- трического пробоя в области под зондом эти пленки подвержены изменениям свойств. В табл. 2 приведены зависимости электри- ческих параметров исследованных образцов от типа композиции и от толщины пленок CdS до и после электрического пробоя, а в табл. 3 помещены ре- зультаты расчетов их электронных параметров. ___________________________________________ Таблица 2 Электрические параметры электроосажденных пленок сульфида кадмия № образца Тип слоистой структуры d, мкм Состояние образца Тип ВАХ RΩ, Ом 8 э/х CdS/SnO2:Sb 0,8 исходное I~U n (n=2) 5·10 4 1,2 после электрической формовки I~U n (n=2) 5·10 3 12 э/х CdS/TiN 0,5 исходное I~exp(αU) (α=const) 1,8·10 6 после электрической формовки I~U n (n=2) 6,7·10 5 14 э/х CdS/Mo 2,1 исходное I~exp(αU) (α=const) 1,5·10 6 после электрической формовки I~U n (n=2) 7,5·10 3 Таблица 3 Результаты расчета электронных параметров электроосажденных пленок сульфида кадмия № образца Вид распределения ловушек μэфф, сВ м2 Nt, м -3 ΔE, эВ Nt(Е), м -3 эВ -1 8 моноэнергетичское 2,7·10 -4 2,2·10 21 - - моноэнергетичское 6·10 -3 9,5·10 20 - - 12 однородное - 6,4·10 21 0,05 1,3 ·10 23 моноэнергетичское 5,9 ·10 -3 1,6 ·10 21 - - 14 однородное - 3,8·10 20 0,04 1·10 22 моноэнергетичское 9,8·10 -3 1,6·10 20 - - Т. А. Ли, Н. П. Клочко / Структура и свойства электроосажденных… _________________________________________________________________________________________________________________ 370 В процессе исследования электрических свойств электроосажденных слоев CdS принима- лись в расчет следующие их параметры: d – тол- щина слоя; μэфф – подвижность электронов, кото- рая получается в результате обработки ВАХ; ΔE – диапазон энергий, в котором распределены ло- вушки; Nt – полная концентрация ловушек; Nt(E) – количество ловушек, приходящихся на единицу энергии и в единичном объеме. Анализ ВАХ пленок сульфида кадмия непосредственно после их электроосаждения об- наружил, что в исходном состоянии для большин- ства пленок были характерны высокая концентра- ция Nt электронных ловушек, однордно распреде- ленных по энергиям в верхней половине запре- щенной зоны с типичной для CdS шириной и низ- кая подвижность μ основных носителей заряда. Согласно работе [8] однородное распре- деление ловушек и малая подвижность носителей являются следствием большого количества меж- зеренных границ и высокой дефектности кри- сталлической структуры. После точечного высокотемпературного нагрева таких пленок, реализованного путем их электрической формовки (электрического про- боя), были обнаружены существенное уменьше- ние Nt, переход от однородного к моноэнергети- ческому распределению электронных ловушек, уменьшение количества и монотипность дефек- тов, а также увеличение μэфф, что обусловлено ук- рупнением кристаллических зерен CdS и повыше- нием степени их структурного совершенства. Оптический анализ пленки сульфида кад- мия на подложке ITO (образец №1) показал, что ее максимальное значение коэффициента оптического пропускания в диапазоне длин волн 450 ≤ λ ≤ 750 нм составляет 0,76 (рис. 5). По резуль- татам расчетов, выполненных в соответствии с ра- ботой [10], толщина этой пленки равнялась 0,3 мк. Рис. 5. Зависимость коэффициента оптического пропускания от длины волны для электроосажденной пленки CdS (образец №1) Графический анализ зависимости Т = f(λ) в координатах α m = f(hν), где α – коэффициент оптического поглощения; h –энергии квантов падающего света; m – коэффициент, составляю- щий 2 для прямого разрешенного перехода, 2/3 – для прямого запрещенного перехода, 1/2 – для непрямого разрешенного перехода, 1/3 – для не- прямого запрещенного перехода [11], позволил определить, что она характеризуется прямыми разрешенными оптическими переходами и имеет запрещенную зону Eg = 2,50 эВ (рис. 6). Экспе- риментально полученные значения Eg незначи- тельно превышают данные для монокристалличе- ского сульфида кадмия (Eg = 2,44 эВ), что в соот- ветствии с работой [12] может быть объяснено нанокристаллической структурой и наличием примесей в электроосажденных пленках CdS. Рис. 6. Экспериментальная зависимость квадрата коэффици- ента оптического поглощения пленки CdS от энергии квантов Авторы благодарят сотрудников кафедры «Физического материаловедения для электроники и гелиоэнергетики» НТУ «ХПИ» Копач Влади- мира Романовича и Харченко Николая Михайло- вича за неоценимую помощь в проведении экспе- риментов и обсуждении полученных результатов. Выводы. Структурные исследования электроосажденных пленок показали, что незави- симо от материала подложки они были образованы нанокристаллами сульфида кадмия гексагональной модификации и содержали примеси серы, оксида кадмия и CdS кубической модификации. Оптические исследования показали, что для этих пленок характерны высокая прозрачность и прямые разрешенные оптические переходы. Анализ электрических свойств выявил, что электроосажденные на Mo, ITO, SnO2:Sb, TiN исходные пленки обладали электронными пара- метрами, свидетельствовавшими о несовершенст- ве их структуры и о малом размере зерна. Однако после высокотемпературного точечного нагрева, Т, отн.ед. , км отн.ед . hv,эВ 2 Т. А. Ли, Н. П. Клочко / Структура и свойства электроосажденных… _________________________________________________________________________________________________________________ 371 вызванного электрическим пробоем в процессе измерения ВАХ, было обнаружено усовершенст- вование электронных параметров данного полу- проводникового материала, что вселяет оптимизм по поводу возможности модификации структуры и свойств электроосажденных пленок сульфида кадмия посредством их последующих термообра- боток. 1. Lokhande C. D., Pawar S. H. Electrodeposition of thin film semiconductors // Phys. Stat. Sol. (a) - 1989. - 17. - P.18-40. 2. Kardirgan F., Mao D., Balcioglu A., McCandless B. E. Elec- trodeposition CdS thin film and their applications in CdS/CdTe solar cells // 26th Photovoltaic Solar Cells Confe- rence. Anaheim, СA. - 1997. - P.443-445. 3. Net J. M., Gaigher H. I., Auret F. P., Myburg G. Influence of substrate on the morphology of electrodeposited CdS // 2th P.S.E.C. Vienna, Austria. - 1998. - P.1051-1055. 4. Soliman M., Kashyout A. B., El-Gamal M. A., Shabana M. Preparation and characterization of catholically electrodepos- ited CdS thin film for CdTe // 17th European Photovoltaic So- lar Energy Conference. Munich, Germany, 2001. - P.1066- 1069. 5. Косяченко Л. А., Мотущук В. В., Склярчук В. М. Генера- ционно-рекомбинационный механизм переноса заряда в тонкопленочном гетеропереходе CdS/CdTe // Физика и техника полупроводников. - 2005. - 39, вып. 5. - C.569-572. 6. Romeo A., Batzner D. L., Zogg H., Tiwari A. N. Potential of CdTe thin film solar cells for space applications // 17th Euro- pean Photovoltaic Solar Energy Conference. - Munich, Ger- many, 2001. - P.2183-2186. 7. Wu X., Kcane J. C., Dhere R. G., Albin D. S. 16.5%-Efficient CdS/CdTe polycrystalline thin-film solar cell // Proceedings of the 17th European Photovoltaic Solar Energy Conference, Oc- tober 22-26, 2001. - Munich, Germany, 2001. - P.995-1001. 8. Као К., Хуанг В. Перенос электронов в твердых телах. В двух частях. Ч.1. - М.: Мир, 1984. - 352 с. 9. Durand G., Rakib M., Malinowska B. Characterization of cadmium cyanamide in CBD of CdS thin layers // 17th Euro- pean Photovoltaic Solar Energy Conference. - Munich, Ger- many, 2001. - P.1078-1081. 10. Технология тонких пленок. Справочник. Под ред. Май- селла Л., Тлэнга П. - М.: Сов. радио. - 1977. - 2. - 768 c. 11. Abass A. K, Mohammad M. T. Properties of fluorine-doped SnO2 films // J. Appl. Phys. - 1986. - 59. - P.1641-1643. 12. Чопра К., Дас С. Тонкопленочные солнечные элементы. - М.: Мир, 1986. - 435 c. STRUCTURE AND PROPERTIES OF ELECTRODEPOSITED CADMIUM SULFIDE FILMS Т. А. Li, N. P. Klochko Cadmium sulfide layers are integral part of the modern solid state photovoltaic devices (PVD) on the base of copper indium disele- nide and on the base of cadmium telluride. They play the role of the buffer between the base layer and the transparent electrode. This work is devoted to research of the structure, electrical and optical properties of electrodeposited CdS films. The structural analysis was executed by the method of X-ray diffractometry. For determination of the electrical properties the dark current-voltage characteristics (IVC) of the films were used. Optical properties were investigated by means of spectrophotometry method. Key words: сadmium Sulfide, Electrochemical Deposition. СТРУКТУРА ТА ВЛАСТИВОСТІ ЕЛЕКТРООСАДЖЕНИХ ПЛІВОК СУЛЬФІДУ КАДМІЮ Т. А. Лі, Н. П. Клочко Невід'ємною складовою сучасних тонкоплівкових фотоперетворювачів (ФЕП) на базі діселеніду міді та індію і на базі телуриду кадмію є шари сульфіду кадмію, які відігра- ють роль буфера між базовим шаром і прозорим електродом. Ця робота присвячена дослідженню структури, електричних і оптичних властивостей електроосаджених плівок CdS. Струк- турний аналіз здійснювався рентген-дифрактометричним методом. Для визначення електричних властивостей викорис- товували темнові вольт-амперні характеристики (ВАХ) плі- вок. Оптичні властивості досліджували методом спектрофо- тометрії. Ключові слова: сульфід кадмію, електрохімічне осадження. Рукопись поступила 17 января 2007 г.