Особенности возникновения и дрейфа волн объёмного заряда в приборах с междолинным переносом электронов на основе варизонного GaPx(z)As1-x(z)

Исследовано возникновение и дрейф волн объёмного заряда в диоде Ганна на основе варизонного GaPx(z)As1-x(z) с n+-n катодом. Показано, что в варизонных диодах Ганна существуют эффекты, которых нет в диодах на основе пространственно-однородных по составу полупроводников. Сделано обобщение тройных вар...

Full description

Saved in:
Bibliographic Details
Date:2007
Main Author: Стороженко, И.П.
Format: Article
Language:Russian
Published: Інститут радіофізики і електроніки ім. А.Я. Усикова НАН України 2007
Subjects:
Online Access:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/10841
Tags: Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
Journal Title:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Cite this:Особенности возникновения и дрейфа волн объёмного заряда в приборах с междолинным переносом электронов на основе варизонного GaPx(z)As1-x(z) / И.П. Стороженко // Радіофізика та електроніка. — 2007. — Т. 12, № 1. — С. 243-249. — Бібліогр.: 14 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-10841
record_format dspace
spelling Стороженко, И.П.
2010-08-09T09:21:35Z
2010-08-09T09:21:35Z
2007
Особенности возникновения и дрейфа волн объёмного заряда в приборах с междолинным переносом электронов на основе варизонного GaPx(z)As1-x(z) / И.П. Стороженко // Радіофізика та електроніка. — 2007. — Т. 12, № 1. — С. 243-249. — Бібліогр.: 14 назв. — рос.
1028-821X
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/10841
621.382.2
Исследовано возникновение и дрейф волн объёмного заряда в диоде Ганна на основе варизонного GaPx(z)As1-x(z) с n+-n катодом. Показано, что в варизонных диодах Ганна существуют эффекты, которых нет в диодах на основе пространственно-однородных по составу полупроводников. Сделано обобщение тройных варизонных полупроводников А3В5.
Досліджено виникнення та дрейф хвиль об’ємного заряду в діоді Ганна на основі варізонного GaPx(z)As1-x(z). з n+-n катодом. Показано, що у варізонних діодах існують ефекти, яких нема у діодах Ганна на основі просторово-однорідних за складом напівпровідників. Зроблено узагальнення потрійних варізонних напівпровідників А3В5.
Singularities formation and drift of volume charge wave in based variband GaPx(z)As1-x(z) Gunn diodes with n+-n cathode has been studied. These diodes are shown exist of phenomena’s which not in employing spatially efficiency homogeneous semiconductors. To made extension of А3В5 variband threefold semiconductors.
ru
Інститут радіофізики і електроніки ім. А.Я. Усикова НАН України
Вакуумная и твердотельная электроника
Особенности возникновения и дрейфа волн объёмного заряда в приборах с междолинным переносом электронов на основе варизонного GaPx(z)As1-x(z)
Особливості виникнення i дрейфу хвиль об’ємного заряду в приладах з мiждолинним переносом електронів на основі варiзонного GaPx(z)As1-x(z)
Singularities formation and drift of volume charge wave in based variband GaPx(z)As1-x(z) intervalley transfer electron devises
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Особенности возникновения и дрейфа волн объёмного заряда в приборах с междолинным переносом электронов на основе варизонного GaPx(z)As1-x(z)
spellingShingle Особенности возникновения и дрейфа волн объёмного заряда в приборах с междолинным переносом электронов на основе варизонного GaPx(z)As1-x(z)
Стороженко, И.П.
Вакуумная и твердотельная электроника
title_short Особенности возникновения и дрейфа волн объёмного заряда в приборах с междолинным переносом электронов на основе варизонного GaPx(z)As1-x(z)
title_full Особенности возникновения и дрейфа волн объёмного заряда в приборах с междолинным переносом электронов на основе варизонного GaPx(z)As1-x(z)
title_fullStr Особенности возникновения и дрейфа волн объёмного заряда в приборах с междолинным переносом электронов на основе варизонного GaPx(z)As1-x(z)
title_full_unstemmed Особенности возникновения и дрейфа волн объёмного заряда в приборах с междолинным переносом электронов на основе варизонного GaPx(z)As1-x(z)
title_sort особенности возникновения и дрейфа волн объёмного заряда в приборах с междолинным переносом электронов на основе варизонного gapx(z)as1-x(z)
author Стороженко, И.П.
author_facet Стороженко, И.П.
topic Вакуумная и твердотельная электроника
topic_facet Вакуумная и твердотельная электроника
publishDate 2007
language Russian
publisher Інститут радіофізики і електроніки ім. А.Я. Усикова НАН України
format Article
title_alt Особливості виникнення i дрейфу хвиль об’ємного заряду в приладах з мiждолинним переносом електронів на основі варiзонного GaPx(z)As1-x(z)
Singularities formation and drift of volume charge wave in based variband GaPx(z)As1-x(z) intervalley transfer electron devises
description Исследовано возникновение и дрейф волн объёмного заряда в диоде Ганна на основе варизонного GaPx(z)As1-x(z) с n+-n катодом. Показано, что в варизонных диодах Ганна существуют эффекты, которых нет в диодах на основе пространственно-однородных по составу полупроводников. Сделано обобщение тройных варизонных полупроводников А3В5. Досліджено виникнення та дрейф хвиль об’ємного заряду в діоді Ганна на основі варізонного GaPx(z)As1-x(z). з n+-n катодом. Показано, що у варізонних діодах існують ефекти, яких нема у діодах Ганна на основі просторово-однорідних за складом напівпровідників. Зроблено узагальнення потрійних варізонних напівпровідників А3В5. Singularities formation and drift of volume charge wave in based variband GaPx(z)As1-x(z) Gunn diodes with n+-n cathode has been studied. These diodes are shown exist of phenomena’s which not in employing spatially efficiency homogeneous semiconductors. To made extension of А3В5 variband threefold semiconductors.
issn 1028-821X
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/10841
citation_txt Особенности возникновения и дрейфа волн объёмного заряда в приборах с междолинным переносом электронов на основе варизонного GaPx(z)As1-x(z) / И.П. Стороженко // Радіофізика та електроніка. — 2007. — Т. 12, № 1. — С. 243-249. — Бібліогр.: 14 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT storoženkoip osobennostivozniknoveniâidreifavolnobʺemnogozarâdavpriborahsmeždolinnymperenosomélektronovnaosnovevarizonnogogapxzas1xz
AT storoženkoip osoblivostíviniknennâidreifuhvilʹobêmnogozarâduvpriladahzmiždolinnimperenosomelektronívnaosnovívarizonnogogapxzas1xz
AT storoženkoip singularitiesformationanddriftofvolumechargewaveinbasedvaribandgapxzas1xzintervalleytransferelectrondevises
first_indexed 2025-11-25T23:45:20Z
last_indexed 2025-11-25T23:45:20Z
_version_ 1850583561210429440
fulltext __________ ISSN 1028-821X Радиофизика и электроника, том 12, №1, 2007, с. 243-249 © ИРЭ НАН Украины, 2007 УДК 621.382.2 ОСОБЕННОСТИ ВОЗНИКНОВЕНИЯ И ДРЕЙФА ВОЛН ОБЪЁМНОГО ЗАРЯДА В ПРИБОРАХ С МЕЖДОЛИННЫМ ПЕРЕНОСОМ ЭЛЕКТРОНОВ НА ОСНОВЕ ВАРИЗОННОГО GaPx(z)As1-x(z) И. П. Стороженко Харьковский национальный университет им. В. Н. Каразина 4, пл. Свободы, Харьков, 61077, Украина E-mail: storozhenko_igor@mail.ru Исследовано возникновение и дрейф волн объѐмного заряда в диоде Ганна на основе варизонного GaPx(z)As1-x(z) с n+-n катодом. Показано, что в варизонных диодах Ганна существуют эффекты, которых нет в диодах на основе пространственно- однородных по составу полупроводников. Сделано обобщение тройных варизонных полупроводников А3В5. Ил. 6. Библиограф. назв. 14. Ключевые слова: варизонный полупроводник, диод Ганна, дипольный домен, частота. Приборы, работающие на эффекте меж- долинного переноса электронов (МПЭ) в милли- метровом диапазоне длин волн имеют ряд прин- ципиальных проблем, ограничивающих сверху рабочую частоту. Одна из основных проблем свя- зана с разогревом электронного газа вблизи ка- тодного контакта. Длина области начального ра- зогрева электронов (“холодная” зона) в GaAs диодах Ганна с омическим n n или m n катодом равняется ~1 мкм [1]. Частотный предел работы таких диодов ограничен 75-100 ГГц, что значительно ниже частотных возможностей МПЭ в GaAs (~600 ГГц) [2]. Для того, чтобы сократить размеры “холодной” зоны, используют всевоз- можные катодные контакты, которые обеспечи- вают разогрев электронного газа у катода. Это, как правило, резкие гомо- или гетеропереходы [1-4], создающие в окрестности катода короткую область с высоким значением электрического поля, где электроны без столкновений набирают энергию, достаточную для рассеяния в боковые долины. Частотный предел таких GaAs приборов лежит в интервале 200-280 ГГц. Использование катодных контактов, позволяющих инжектиро- вать в активную область диода электроны с высо- ким уровнем энергии (туннельные контакты [5], антизапорные гетеропереходы [6]), не имело зна- чительного успеха. Другим подходом к данной проблеме является поиск полупроводниковых материалов с частотным пределом работы боль- шим, чем GaAs или InP, например нитриды III группы [7]. На ограничение частотных возможностей субмикронных диодов оказывает отрицательное влияние также и анодный контакт. Область высо- кого поля анодного n n контакта влияет на электроны, находящиеся в окрестности катодного контакта. Для развязки катода с анодом исполь- зуют двухзонный n n n n катод [8] или гетеропереход [9] на аноде. Создание приборов со сложными контактами является технологически дорогостоящей задачей. Поэтому для получения генерации электромагнитных колебаний в мил- лиметровом диапазоне, как правило, используют генерацию гармоник на диодах с омическим n n или m n катодом и анодом. В варизонных полупроводниках А3В5 ра- зогрев электронного газа имеет ряд отличитель- ных черт, которые позволяют принципиально по- другому решить названные выше проблемы. Тео- ретические исследования МПЭ в варизонных по- лупроводниках и приборах на их основе были предприняты в работах [10-13]. С помощью двух- температурной модели МПЭ в варизонном полу- проводнике, которая получена в [10], исследована работа Inx(z)Ga1-x(z)As [11], Alx(z)Ga1-x(z)As [12], InP1-x(z)Asx(z) [13] варизонных диодов Ганна с n n и n n n катодами. По выходной мощности и придельной рабочей частоте такие диоды могут превосходить аналогичные диоды с другими известными типами катодными контак- тами. Обобщающих исследований физических явлений, лежащих в основе улучшения высоко- частотных свойств приборов с МПЭ на основе варизонных полупроводников, проделано не бы- ло. Результатом такого исследования могла бы стать теория МПЭ в варизонных полупроводни- ках, которая позволила бы систематизировать варизонные полупроводники А3В5 для диодов Ганна миллиметрового диапазона. В данной ра- боте исследованы физические явления, связанные с МПЭ и возникающие в диоде Ганна с n n катодом на основе варизонного GaPx(z)As1-x(z), а также обобщены полученные результаты для ва- ризонных соединений А3В5. И. П. Стороженко / Особенности возникновения и дрейфа… _________________________________________________________________________________________________________________ 244 1. Методика исследования. Исследова- ния проводились с помощью двухтемпературной модели МПЭ в варизонном полупроводнике [10], которая состоит из уравнений непрерывности (1), плотности тока (2), баланса энергии электронов (3) для двух долин зоны проводимости и уравне- ния Пуассона (4): 1 ji i i ni nj nn J n t e z ; (1) ( ) 3 ; 2 i i i i i i i i i i i i i i J en E n z n T n T m z m z (2) 3 1 2 ( )5 1 ; 2 i i i i i j ji i i i i j n T J E J t e z n TJ T n T e z (3) 0 4 i j E e n n n z , (4) где индексы i, j относятся соответственно к цен- тральной (Г) и боковой (L) долинам, или наобо- рот, когда речь идет о процессах в боковой доли- не; ni, i, mi, Ji, Ti - соответственно концентра- ция, подвижность, эффективная масса, плотность тока и температура электронов в i-й долине; 1/ ni и 1/ Ei - обратные времена релаксации элек- тронов, усредненные соответственно по концен- трации и энергии; i - энергия, необходимая для перевода электронов с энергетического миниму- ма i-й долины до локального уровня вакуума (рис. 1); E - напряженность электрического поля; n0 - концентрация ионизированных доноров; - диэлектрическая проницаемость; e - модуль заря- да электрона; k - постоянная Больцмана; t - время; z - координата. Исследуется работа диода Ганна с омиче- ским катодным и анодным контактами - n n n : GaPx(z)As1-x(z) (рис. 1). Процентная доля GaP в соединении Ga1-x(z)Px(z)As зависит от координаты z и определяется выражением: 1 2 2 0 ( ) 4( ) 1 exp v x x x z x z z l , (5) где x1 и x2 - предельное содержание GaP в GaPx(z)As1-x(z) соответственно на - и + ; z0 - ко- ордината центра варизонного слоя; vl – толщина варизонного слоя. Электрофизические параметры бинарных полупроводников GaAs и GaP взяты из работы [14]. Энергия электронного сродства Г в GaAs - 4,07 эВ и L в GaP - 3,8 эВ. Параметры промежуточных по составу соединений между GaAs и GaP определялись из предположения о линейной зависимости параметров соединения от x(z). Содержание GaP в GaPxAs1-x не превышало 35 %, так как при большем содержании GaP из-за слишком малого значения ГL увеличивается за- селенность электронами боковых долин и эффект МПЭ отсутствует [14]. Координата центра вари- зонного слоя z0 совпадает с центром активной области (рис. 1). Длина активной области lа=2,5 мкм, концентрация ионизированных при- месей в ней n0 = 10 16 см -3 . Температура кристал- лической решетки Т0 считалась постоянной, рав- ной 300 К. Рассмотрен случай уменьшения про- центного содержания GaP в GaPx(z)As1-x(z) (GaP0,35As0,65-GaAs диоды) и его возрастания (GaAs-GaP0,35As0,65 диоды). Рис. 1. Схематическая зонная диаграмма GaP0,35As0,65-GaAs варизонного диода с омическим n+-n катодом: 0 - уровень вакуума при отсутствии внешних сил; l - уровень вакуума с внешними силами (локальный); C - дно зоны проводимости (энергетический минимум Г - долины); F - энергетический уровень Ферми; V - потолок валентной зоны; g - ширина запрещенной зоны; Г- энергетический минимум Г - долины; L - энергетический минимум L - долины; ГL - энергетический зазор между минимумами Г- и L-долинами; Г - энергия элек- тронного сродства для Г- долины; L - энергия электронного сродства для L - долины;  - потенциал внешних сил; z - ко- ордината; l - длина катода; la - длина активной зоны 2. Анализ зависимостей от координаты энергии электронного сродства и эффективной массы электронов. В двухтемпературной модели МПЭ в варизонных полупроводниках в отличие от такой же модели МПЭ в пространственно- однородных по составу полупроводниках в урав- нениях сохранения импульса (2) и энергии (3) электронов присутствуют слагаемые, зависящие от энергии электронного сродства i и эффектив- ной массы электронов mi [10]. Зависимости mi(z) и i(z) в варизонном по- лупроводнике приводят к потоку электронов в на- правлении увеличения mi и i. В GaP0,35As0,65-GaAs L g L ГL Г И. П. Стороженко / Особенности возникновения и дрейфа… _________________________________________________________________________________________________________________ 245 диодах Г(z) - возрастающая, а mГ(z) - убываю- щая функции. Следовательно, потоки электронов в Г-долине, вызванные этими величинами, направ- лены в противоположные стороны. Поэтому целе- сообразней оценить их совместное влияние на МПЭ в точке z = z0, где градиенты mi и i по абсолютному значению максимальны и x(z0) = 0,175. В качестве оценивающего параметра будем использовать пороговое электрическое поле и эквивалентный ему дрейфовый поток электронов 3 2 i i i п i T m eE z m z . (6) Отсюда можно получить, что суммарное воздействие mi и i эквивалентно воздейст- вию порогового поля при толщине варизонного слоя vl = lкр 2 12 1 2 1 2 1 4 ( ) 3 i i кр i i i п i i m mx x l T eE m m , (7) где индексы 1 и 2 соответствуют параметрам GaPx(z)As1-x(z) на - и + (для GaP0,35As0,65-GaAs диода 1 - GaP0,35As0,65, 2 - GaAs); Еп - пороговое поле зависимости дрейфовой скорости электро- нов от электрического поля в GaPxAs1-x при 1 2( )x x x /2 = 0,175. Численные оценки показывают, что плот- ность тока, вызванная Г(z), в ~10 раз превышает плотность тока, вызванную mГ(z). Их совместное влияние становится эквивалентно пороговому электрическому полю в GaP0,175As0,825 (~3,2 кВ/см) при толщине варизонного слоя vl = 0,97 мкм. Аналогичные оценки для электронов, находящих- ся в боковых долинах, показали, что в L-долинах плотность тока из-за L(z) в пять раз превышает плотность тока, вызванного mL(z), а их совмест- ное влияние в ~10 раз меньше, чем влияние Г(z) и mГ(z). Причѐм направление потоков электро- нов в Г- и L-долинах противоположно. В приве- денных оценках распределение концентрации электронов равномерно, а их температура равня- лась температуре кристаллической решѐтки. По- этому оценочное значение lкр оказалось несколько завышенным. Так, максимальное значение поля в варизонном слое при vl = 0,97 мкм равно ~2,9 кВ/см, а не 3,2 кВ/см. Следовательно, при vl > 0,97 мкм влияние на МПЭ градиентов mi(z) и i(z) в GaPx(z)As1-x(z) незначительное. 3. Электронные процессы. Вместе с тем численные эксперименты показывают, что в GaP0,35As0,65-GaAs диодах при vl >>0,97 мкм и да- же при исключении i(z) и mi(z) из уравнений сохранения импульса и энергии электронов про- цессы, происходящие в диоде, значительно отли- чаются от процессов в GaPxAs1-x диодах. После- довательное исключение из модели зависимости различных параметров полупроводника от коор- динаты z показало, что наибольшее влияние на электронные процессы в диоде оказывает зависи- мость от координаты энергетического зазора ме- жду центральной долиной и ближайшей к ней по энергии боковой долиной (z). Энергетический зазор влияет на время релаксации концентра- ции и энергии электронов. В GaP0,35As0,65 = 0,073 эВ, а в GaAs = 0,36 эВ. При малых полях, когда разогрев электронов в Г-долине не- существенный (ТГ Т0), рассеяние электронов в GaAs происходит преимущественно на оптиче- ских и акустических фононах, а в GaP0,35As0,65 - на междолинных. Время перехода электронов в бо- ковые долины усредненно как по концентрации, так и по энергии в GaP0,35As0,65 значительно меньше, чем в GaAs. В GaP0,35As0,65-GaAs диодах у катодного контакта актов рассеяния в боковые долины происходит больше, чем у анодного кон- такта. Обратный переход электронов из L-долин в Г-долину интенсивней происходит у анода, чем у катода. В результате из-за термического разогре- ва, даже при отсутствии внешнего поля, концен- трация электронов в боковых долинах в GaP0,35As0,65-GaAs диодах убывает от катода к аноду. Например, при vl = 3,5 мкм концентрация электронов у катодного контакта в Г-долине nГ 8,5 10 15 см -3 и в L-долинах nL 4,2 10 15 см -3 , а у анодного контакта соответственно nГ 12 10 16 см -3 и nL 4,3 10 12 см -3 . Градиент концентрации электронов приводит к появлению в долинах противоположно направленных диф- фузионных потоков электронов. В Г-долине диф- фузионный поток направлен от анода к катоду, а в L-долинах, наоборот, от катода к аноду. Под- вижность электронов в Г-долине значительно больше подвижности электронов в L-долинах. Диффузионный поток электронов в Г-долине по абсолютному значению значительно превосходит поток электронов в L-долинах. Для достижения равновесия часть электронов смещается относи- тельно центра варизонного слоя в сторону катода. В результате в окрестности катода образуется обогащенная электронами область, а у анода - обеднѐнная (рис. 2). Такое распределение элек- тронов приводит к появлению внутреннего поля, направление которого совпадает с направлением внешнего поля. Возникшее внутреннее электри- ческое поле, кроме того, что приводит к появле- нию дрейфовой составляющей потока электро- нов, ещѐ дополнительно разогревает электроны и стимулирует их переход из центральной долины в боковые. Воздействие внутреннего поля неодно- значно, тем не менее, можно утверждать, что в И. П. Стороженко / Особенности возникновения и дрейфа… _________________________________________________________________________________________________________________ 246 диоде без внешнего поля возникает стационарное равновесие всех дрейфовых и диффузионных со- ставляющих плотностей тока в Г- и L-долинах с распределением концентрации электронов соот- ветствующему подвижному электрическому ди- полю (рис. 2). При уменьшении толщины вари- зонного слоя поле диполя возрастает, а его ли- нейные размеры уменьшаются. Внутреннее поле и размах концентрации электронов в диполе не- значительны. Например, при vl = 1,2 мкм макси- мальное значение поля диполя равно ~0,9 кВ/см. Рис. 2. Распределение концентрации электронов при различной толщине GaP0,35As0,65-GaAs слоя варизонного полупроводника, в котором учтена только зависимость (z), все остальные пара- метры соответствуют GaAs: 1 - 2,9 мкм; 2 - 2,3 мкм; 3 - 1,8 мкм; 4 - 1,2 мкм Рассмотрим общий случай варизонного полупроводника А3В5. В варизонном полупровод- нике в соответствии с зависимостью от координа- ты энергетического зазора между центральной долиной и ближайшей к ней по энергии боковой долиной (z), обратные времена релаксации кон- центрации 1/ n и энергии электронов 1/ зависят от координаты. Эта зависимость обусловлена теп- ловым нагревом электронов и их преимуществен- ным рассеянием на междолинных фононах в об- ласти с меньшим значением (z). В центральной и боковых долинах возникают градиенты концен- трации электронов и соответствующие им диффу- зионные потоки. Градиент концентрации электро- нов в центральной долине совпадает по направле- нию с градиентом энергетического зазора, а в бо- ковых долинах имеет противоположное направле- ние. Поток электронов в боковых долинах направ- лен в сторону увеличения , где 1/ n и 1/ мень- ше. В области с низкими значениями 1/ n и 1/ электроны из боковых долин возвращаются в цен- тральную долину и начинают диффундировать в обратном направлении, т. е. в сторону уменьшения , где 1/ n и 1/ становятся больше. В области с высокими значениями 1/ n и 1/ электроны опять рассеиваются в боковые долины, и процесс повторяется. Но так как подвижность электронов в центральной долине значительно превосходит подвижность в боковых долинах, то равновесие только диффузионных составляющих недости- жимо. Часть электронов относительно центра варизонного слоя смещается в сторону уменьше- ния . Возникающее внутреннее поле и связанная с ним дрейфовая составляющая приводят к рав- новесию. В центре варизонного слоя появляется подвижный диполь заряда, направление вектора поляризованности которого совпадает с направ- лением градиента (z). Подвижный диполь заря- да является прообразом дипольного домена. Если к варизонном диоду с возрастаю- щей функцией (z) приложить напряжение, то равновесие нарушается. В случае, когда направ- ления вектора поляризованности диполя и внеш- него поля совпадают, дрейфовые составляющие плотностей тока в центральной и боковых доли- нах диполя возрастают. Увеличивается также ки- нетическая энергия электронов Г-долины, причѐм в большей степени у катода. У катода из-за зна- чительной заселѐнности электронами боковых долин средняя подвижность электронов меньше, чем у анода. Следовательно, падение напряжения на области у катода превышает падение напряже- ния на области у анода. Дополнительный разо- грев электронов в области у катодного контакта стимулирует их рассевание в боковые долины. Тем самым увеличиваются диффузионные потоки электронов, связанные с зависимостью (z). Кон- центрация электронов в переднем фронте диполя подвижного заряда уменьшается, а в заднем - воз- растает. Электрическое поле диполя возрастает ещѐ больше, что приводит к форсированию процессов, описанных выше. Диполь подвижного заряда рас- тѐт. В диоде формируется домен высокого поля независимо от типа катодного контакта (рис. 3). Рис. 3. Распределение электрического поля в GaP0,35As0,65-GaAs диоде с толщиной варизонного слоя vl =2,3 мкм при напряже- нии на диоде U=1,6 B в различные моменты времени И. П. Стороженко / Особенности возникновения и дрейфа… _________________________________________________________________________________________________________________ 247 С эффектом возникновения дипольных доменов связано уменьшению длины “холодной” зоны. В варизонных диодах, у которых (z) - воз- растающая функция координаты, происходят по- вышения КПД, выходной мощности и предель- ных рабочих частот [11-13]. В варизонных диодах существует эффект ускорения или замедления дрейфа дипольного домена, который связан с зависимостью подвиж- ности электронов в боковых долинах от коорди- наты L(z). Разогрев электронов в боковых доли- нах незначителен и их температура ТL Т0. По- этому в GaP0,35As0,65-GaAs диодах L(z) - стацио- нарная, возрастающая функция координаты (в Ga0,65P0,35As L 70 см 2 /(Вс), в GaAs - ~210 см 2 /(Вс)). Скорость дрейфа полностью сформировавшегося домена, которая определяет- ся в основном L, должна возрастать по мере продвижения домена к аноду. В этом и заключа- ется эффект ускорения или замедления дрейфа дипольного домена в варизонных диодах. В ко- ротких диодах дипольные домены полностью сформироваться не успевают. Эффект ускорения движения дипольного домена в GaP0,35As0,65-GaAs диодах “смазывается” процессом роста диполь- ного домена, из-за чего скорость его движения падает. Тем не менее, как показали численные эксперименты, даже в этом случае данный эф- фект имеет место (рис. 4). Возрастание скорости движения дипольных доменов происходит в об- ласти от центра активной области до анода. Из зависимости L(z) следовало ожидать, что ско- рость движения домена должна возрасти пример- но в три раза. На самом деле скорость возрастала только в ~1,8 раза. Рис. 4. Зависимость скорости дрейфа дипольного домена от координаты в GaP0,35As0,65-GaAs диоде с толщиной варизон- ного слоя vl =2,3 мкм при различном напряжении U: 1 - 1 В; 2 - 1,4 В; 3 - 2 В; 4 - 3 B В варизонных диодах возможен эффект зависимости от напряжения глубины проникнове- ния дипольного домена в активную область. При сильной возрастающей зависимости (z) порого- вое поле возникновения и рассасывания диполь- ного домена возрастают вдоль активной области диода. Внешнее поле в области у катода распре- делено равномерно или имеет небольшой отрица- тельный градиент. Возможна ситуация, когда у катодного контакта поле равно пороговому зна- чению возникновения дипольного домена, а на некотором удалении от него меньше порогового значения рассасывания домена. Дипольные доме- ны образуются у катодного контакта и дрейфуют в активной области до места, где внешнее поле становится равным пороговому значению их рас- сасывания. Домен рассасывается, и у катода обра- зуется новый домен. По мере увеличения напря- жения на диоде координата равенства значений внешнего и порогового поля рассасывания доме- на смещается к аноду. Тем самым проникновение дипольных доменов от катода в глубь активной области управляется внешним полем (рис. 3, 4). Чем выше внешнее поле, тем больше длина про- лѐтной области и ниже частота колебаний (рис. 5). Эффект зависимости глубины проникно- вения дипольных доменов в активную область в GaP0,35As0,65-GaAs диодах наиболее выражен при длине варизонного слоя vl = 2-2,8 мкм и напря- жении на диоде U = 1,0-2,6 В (рис. 5, кривая 1). Если U > 2,8 В дипольные домены рассасываются на анодном контакте (рис. 4, кривая 4). Этот эф- фект позволяет в варизонных диодах внешним полем в широких пределах изменять пролѐтную частоту колебаний (рис. 5, кривые 1 и 5). Анало- гичный эффект должен также иметь место в GaSb-GaAs, Al0,35Ga0,65As-GaAs, In0,5Ga0,5P-InP, In0,94Al0,06P-InP, Al0,8B0,2N-AlN, Ga0,65B0,35N-GaN, AlN-InN, AlN-GaN, In0,37Al0,63As-In0,78Al0,22As. Рис. 5. Зависимость пролѐтной частоты от напряжения в GaP0,35As0,65-GaAs (сплошные кривые) и GaP0,175As0,875 (пунк- тирная кривая) диодах при различной толщине варизонного слоя: 1 - 2,3 мкм; 2 - 2,9; 3 - 3,5; 4 - 4,1; 5 - И. П. Стороженко / Особенности возникновения и дрейфа… _________________________________________________________________________________________________________________ 248 На процессы, происходящие в активной области, оказывает влияние толщина варизонного слоя vl . Уменьшение vl приводит к возрастанию градиента процентного содержания GaP в GaPx(z)As1-x(z) в центре варизонного слоя, т. е. в нашем рассмотрении в центре активной области. Поэтому при уменьшение vl все описанные выше процессы в окрестности центра варизонного слоя усиливаются. При vl < 1,5-1,8 мкм в GaP0,35As0,65- GaAs диодах у катодного контакта < 0,1 эВ. Практически все электроны у катодного контакта находятся в L-долинах. В активной области меж- ду катодным контактом и центром варизонного слоя при любом внешнем поле формируется ста- тический домен высокого поля (рис. 6). Рис. 6. Распределение электрического поля в GaP0,35As0,65- GaAs диоде с толщиной варизонного слоя vl =1,2 мкм при напряжении на диоде U=1,6 B в различные моменты времени Рост vl приводит к ослаблению влияния (z). При vl >> la GaPx(z)As1-x(z) можно считать в активной области пространственно-однородным по составу полупроводником близкому к GaP0,175As0,825. При этом в активной области воз- никают волны объѐмного заряда, напоминающие обогащѐнные слои. Преобразование дипольных доменов в обогащѐнные слои происходит посте- пенно, без резких изменений в режимах работы. Рост vl сопровождается увеличением линейных размеров и уменьшением максимального поля дипольного домена. При этом возрастает длина области начального разогрева электронов. Таким образом, случай vl >> la является предельным, когда теория МПЭ в варизонном диоде преобра- зуется в хорошо известную теорию МПЭ в диоде на основе пространственно-однородных по соста- ву полупроводников. В случае GaAs-GaP0,35As0,65 диодов все описанные выше процессы имеют противополож- ную направленность. Энергетический зазор меж- ду долинами убывает от катода к аноду. Из-за зависимости (z) в активной области подвиж- ный диполь образуется, но его вектор поляризо- ванности имеет направление противоположное внешнему полю. Внешнее поле приводит к рас- сасыванию подвижного дипольного заряда. В диодах происходит формирование волн объѐм- ного заряда, напоминающих обогащѐнный слой. При уменьшении толщины варизонного слоя vl длина области начального разогрева электронов растѐт. Если vl < ~7 мкм, то на анодном контакте GaAs-GaP0,35As0,65 диода образуется статический домен. Анализ работы GaAs-GaP0,35As0,65 диодов показывает, что варизонные диоды с убывающей функцией (z) мало эффективны по сравнению с диодами на основе однотипных однородных по составу полупроводников. Выводы. Приборы с n n катодом на основе варизонного GaPx(z)As1-x(z), работающие на основе эффекта МПЭ, при температуре кристал- лической решѐтки равной 300 К обладают сле- дующими свойствами. Величины градиентов энергии электрон- ного сродства и эффективной массы электронов в долинах зоны проводимости могут оказывать ощутимое влияние на МПЭ в GaPx(z)As1-x(z) при толщине варизонного слоя vl < 0,9 мкм. Зависимость энергетического зазора между центральной и ближайшей к ней по энер- гии боковой долиной от координаты (z) приво- дит к появлению подвижного электрического ди- поля, вектор поляризованности которого по на- правлению совпадает с градиентом (z). Если внешнее поле совпадает по направлению с векто- ром поляризованости диполя, как в GaP0,35As0,65- GaAs диодах, то электрический диполь начинает расти, и в активной области независимо от типа катодного контакта реализуется режим с домена- ми высокого поля. Если внешнее поле противо- положно направлено вектору поляризованности диполя, как в GaAs-GaP0,35As0,65 диодах, то ди- поль разрушается, а вместо него формируется волна объѐмного заряда, напоминающая обога- щѐнный слой. Возрастающую функцию (z) имеют GaSb-GaAs, GaAs0,65P0,35-GaAs, Al0,35Ga0,65As-GaAs, GaAs-In0,6Ga0,4As, Ga0,9B0,1As-GaAs, In0,5Ga0,5P-InP, InP-InP0,6As0,4, In0,94Al0,06P-InP, In0,37Al0,63As- In0,78Al0,22As, InP-In0,96B0,04As, GaSb-In0,69Ga0,31Sb, In0,69B0,31As-In0,86B0,14As, In0,45Al0,55Sb-In0,85Al0,15Sb, Al0,8B0,2N-AlN, Ga0,65B0,35N-GaN, AlN-InN, InN- GaN и AlN-GaN варизонные полупроводники. В диодах на их основе следует ожидать режим с дипольными доменами, повышение выходной мощности, КПД и предельной рабочей частоты. И. П. Стороженко / Особенности возникновения и дрейфа… _________________________________________________________________________________________________________________ 249 В GaP0,35As0,65-GaAs диодах существует эффект зависимости глубины проникновения до- мена в активную область от напряжения из-за чего пролѐтная частота меняется в интервале 30- 48 ГГц. Для сравнения пролѐтная частота в GaP0,175As0,825 диоде лежит в интервале 32-36 ГГц. Аналогичный эффект возможен в варизонных полупроводниках с сильной зависимостью (z), в таких, например, как GaSb-GaAs, Al0,35Ga0,65As- GaAs, AlN-InN, AlN-GaN, In0,5Ga0,5P-InP, In0,94Al0,06P-InP, Al0,8B0,2N-AlN, Ga0,65B0,35N-GaN, In0,37Al0,63As-In0,78Al0,22As варизонных диодах. В GaP0,35As0,65-GaAs диодах из-за зависи- мости подвижности электронов в боковых доли- нах существует эффект ускорения дрейфа ди- польного домена при его пролѐте от катода к ано- ду. Эффект возрастания скорости домена следует ожидать в GaSb-GaAs, Al0,35Ga0,65As-GaAs и In0,5Ga0,5P-InP диодах, а эффект уменьшение ско- рости домена в GaAs-In0,6Ga0,4As и InP-InP0,6As0,4 диодах. В варизонных диодах размеры домена за- висят от толщины варизонного слоя vl . При воз- растании vl увеличиваются линейные размеры домена, уменьшается максимальное поле домена, передний и задний фронт домена становится бо- лее пологим, растѐт длина области начального разогрева электронов. Если vl значительно боль- ше длины активной области диода, то теория МПЭ в варизонном диоде преобразуется в хоро- шо известную теорию МПЭ в диоде на основе пространственно однородных по составу полу- проводников. В GaP0,35As0,65-GaAs диодах при vl < 1,5- 1,8 мкм образуется статичный домен. Аналогич- ное явление должно иметь место в варизонных диодах, у которых минимальное значение в активной области меньше чем ~0,1 эВ. Таким образом, использование варизон- ного полупроводника в активной области прибо- ров с МПЭ, предположительно, позволяет улуч- шить их высокочастотные свойства. 1. Аркуша Ю. В., Дрогаченко А. А., Прохоров Э. Д. Влияние формы напряжения на энергетические характеристики ко- ротких диодов Ганна // Радиотехника и электроника. - 1987. - 32, №9. - С.1947-1954. 2. Кальфа А. А., Пореш С. Б., Тагер А. С. Эффект Ганна на высоких частотах // Электронная техника. Сер. 1. Элек- троника СВЧ. - 1984. - Вып.4 (1008). - С.2-34. 3. Аркуша Ю. В., Дрогаченко А. А., Прохоров Э. Д. Влияние запорного металлического катодного контакта на работу коротких диодов Ганна // Радиотехника и электроника. - 1988. - 33, №6. - С.1295-1301. 4. Аркуша Ю. В., Прохоров Э. Д., Стороженко И. П. Гетеро- катод InxGa1-xAs/GaAs в GaAs диоде Ганна мм-диапазона // Радиотехника и электроника. - 2000. - 45, №4. - С.508-510. 5. Стороженко И. П., Прохоров Э. Д., Боцула О. В. GaAs диоды Ганна с AlAs-GaAs-AlAs резонансно туннельным катодом // Радиофизика и радиоастрономия. - 2006. - 11, №4. - C.385-396 6. Sponer H., Couch N. R. Advances in hot electron injector Gunn diodes // GEC Journal of Reseach. - 1989. - 7, N1. - P.34-35. 7. Alekseev E., Pavlidis D. Large-signal microwave performance of GaN-based NDR diode oscillators // Solid State Electronics. - 2000. - 44. - P.941-947. 8. Кальфа А. А., Тагер А. С. Теоретическое исследование арсенид-галлиевых диодов Ганна с двухзонным катодом // Электронная техника. Сер.1. Электроника СВЧ. - 1982. - Вып.10. - С.17-21. 9. Борисов В. И., Гореленок А. Т., Дмитриев С. Г. и др. Дио- ды Ганна на основе гетероструктуры n-InGaAs/n+-InP // Физика и техника полупроводников. - 1992. - 26, №4. - C.611-613. 10. Стороженко И. П. Моделирование диодов Ганна на ос- нове варизонных полупроводников // Радиофизика и элек- троника. - Харьков: Ин-т. радиофизики и электрон. НАН Украины. - 2003. - 8, №2. - С.287-294. 11. Аркуша Ю. В., Прохоров Э. Д., Стороженко И. П. Влия- ние толщины варизонного слоя на энергетические и час- тотные характеристики Inx(z)Ga1-x(z)As диодов Ганна // Ра- диотехника и электроника. - 2006. - 51, №3. - С.371-377. 12. Стороженко И. П. Диоды Ганна на основе варизонного Alx(z)Ga1-x(z)As c различными катодными контактами // Ра- диофизика и радиоастрономия. - 2006. - 11, №2, - С.186-197. 13. Стороженко И. П. Варизонные InP1-x(z)Asx(z) диоды Ганна с различными катодными контактами // Радиофизика и электроника. - Харьков: Ин-т. радиофизики и электроники НАН Украины. - 2006. - 11, №3. - С.421-429. 14. Прохоров Э. Д., Белецкий Н. И. Полупроводниковые мате- риалы для приборов с междолинным переносом электро- нов. - Харьков: Вища школа, 1982. - 144 с. SINGULARITIES FORMATION AND DRIFT OF VOLUME CHARGE WAVE IN BASED VARIBAND GaPx(z)As1-x(z) INTERVALLEY TRANSFER ELECTRON DEVISES I. P. Storozhenko Singularities formation and drift of volume charge wave in based variband GaPx(z)As1-x(z) Gunn diodes with n+-n cathode has been studied. These diodes are shown exist of phenomena’s which not in employing spatially efficiency homogeneous semiconductors. To made extension of А3В5 variband threefold semiconductors. Key words: variband semiconductor, Gunn diode, dipole domain, frequency. ОСОБЛИВОСТІ ВИНИКНЕННЯ I ДРЕЙФУ ХВИЛЬ ОБ’ЄМНОГО ЗАРЯДУ В ПРИЛАДАХ З МIЖДОЛИННИМ ПЕРЕНОСОМ ЕЛЕКТРОНІВ НА ОСНОВІ ВАРIЗОННОГО GaPx(z)As1-x(z) I. П. Стороженко Досліджено виникнення та дрейф хвиль об’ємного заряду в діоді Ганна на основі варізонного GaPx(z)As1-x(z). з n+-n катодом. Показано, що у варізонних діодах існують ефекти, яких нема у діодах Ганна на основі просторово-однорідних за складом напівпровідників. Зроблено узагальнення потрійних варізонних напівпровідників А3В5. Ключові слова: варізонний напівпровідник, діод Ганна, дипольний домен, частота. Рукопись поступила 30 октября 2006 г.