Влияние термически активированных структурных превращений в пленках диоксида олова на их электрические свойства
Исследуются пленки диоксида олова, получаемые методом магнетронного распыления на постоянном токе. Приведены результаты исследований изменения фазового состава и электрической проводимости пленок оксида олова полученных при температурах осаждения (150—350) °С при проведении последующего отжига на во...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Datum: | 2014 |
| Hauptverfasser: | , , |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | Russisch |
| Veröffentlicht: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2014
|
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/108474 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Влияние термически активированных структурных превращений в пленках диоксида олова на их электрические свойства / Г.С. Хрипунов, А.В. Пирогов, В.А. Новиков // Физическая инженерия поверхности. — 2014. — Т. 12, № 3. — С. 329-337. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862750527509495808 |
|---|---|
| author | Хрипунов, Г.С. Пирогов, А.В. Новиков, В.А. |
| author_facet | Хрипунов, Г.С. Пирогов, А.В. Новиков, В.А. |
| citation_txt | Влияние термически активированных структурных превращений в пленках диоксида олова на их электрические свойства / Г.С. Хрипунов, А.В. Пирогов, В.А. Новиков // Физическая инженерия поверхности. — 2014. — Т. 12, № 3. — С. 329-337. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Физическая инженерия поверхности |
| description | Исследуются пленки диоксида олова, получаемые методом магнетронного распыления на постоянном токе. Приведены результаты исследований изменения фазового состава и электрической проводимости пленок оксида олова полученных при температурах осаждения (150—350) °С при проведении последующего отжига на воздухе при температуре 500 °С на протяжении 1 часа.
Досліджуються плівки діоксиду олова, що отримуються методом магнетронного розпилення на постійному струмі. Наведені результати досліджень зміни фазового складу і електричної провідності плівок оксиду олова, отриманих при температурах осадження (150—350) °С при проведенні подальшого відпалу на повітрі при температурі 500 °С на протязі 1 години.
The magnetron sputtering by direct current tin dioxide thin films are investigated. Results over of researches of change of phase composition and electric conductivity of tin oxide thin film obtained by temperature substrate (150—350) °С during subsequent annealing on air at the temperature of 500 °С on the during 1 hour are given.
|
| first_indexed | 2025-12-07T21:06:17Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-108474 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1999-8074 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-12-07T21:06:17Z |
| publishDate | 2014 |
| publisher | Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Хрипунов, Г.С. Пирогов, А.В. Новиков, В.А. 2016-11-05T17:39:37Z 2016-11-05T17:39:37Z 2014 Влияние термически активированных структурных превращений в пленках диоксида олова на их электрические свойства / Г.С. Хрипунов, А.В. Пирогов, В.А. Новиков // Физическая инженерия поверхности. — 2014. — Т. 12, № 3. — С. 329-337. — Бібліогр.: 8 назв. — рос. 1999-8074 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/108474 621.762.214 Исследуются пленки диоксида олова, получаемые методом магнетронного распыления на постоянном токе. Приведены результаты исследований изменения фазового состава и электрической проводимости пленок оксида олова полученных при температурах осаждения (150—350) °С при проведении последующего отжига на воздухе при температуре 500 °С на протяжении 1 часа. Досліджуються плівки діоксиду олова, що отримуються методом магнетронного розпилення на постійному струмі. Наведені результати досліджень зміни фазового складу і електричної провідності плівок оксиду олова, отриманих при температурах осадження (150—350) °С при проведенні подальшого відпалу на повітрі при температурі 500 °С на протязі 1 години. The magnetron sputtering by direct current tin dioxide thin films are investigated. Results over of researches of change of phase composition and electric conductivity of tin oxide thin film obtained by temperature substrate (150—350) °С during subsequent annealing on air at the temperature of 500 °С on the during 1 hour are given. ru Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України Физическая инженерия поверхности Влияние термически активированных структурных превращений в пленках диоксида олова на их электрические свойства Вплив термічноактивованих структурних перетворень у плівках діоксиду олова на їх електричні властивості Influence of the thermally activated structural converting in the tin dioxide thin film on their electric properties Article published earlier |
| spellingShingle | Влияние термически активированных структурных превращений в пленках диоксида олова на их электрические свойства Хрипунов, Г.С. Пирогов, А.В. Новиков, В.А. |
| title | Влияние термически активированных структурных превращений в пленках диоксида олова на их электрические свойства |
| title_alt | Вплив термічноактивованих структурних перетворень у плівках діоксиду олова на їх електричні властивості Influence of the thermally activated structural converting in the tin dioxide thin film on their electric properties |
| title_full | Влияние термически активированных структурных превращений в пленках диоксида олова на их электрические свойства |
| title_fullStr | Влияние термически активированных структурных превращений в пленках диоксида олова на их электрические свойства |
| title_full_unstemmed | Влияние термически активированных структурных превращений в пленках диоксида олова на их электрические свойства |
| title_short | Влияние термически активированных структурных превращений в пленках диоксида олова на их электрические свойства |
| title_sort | влияние термически активированных структурных превращений в пленках диоксида олова на их электрические свойства |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/108474 |
| work_keys_str_mv | AT hripunovgs vliânietermičeskiaktivirovannyhstrukturnyhprevraŝeniivplenkahdioksidaolovanaihélektričeskiesvoistva AT pirogovav vliânietermičeskiaktivirovannyhstrukturnyhprevraŝeniivplenkahdioksidaolovanaihélektričeskiesvoistva AT novikovva vliânietermičeskiaktivirovannyhstrukturnyhprevraŝeniivplenkahdioksidaolovanaihélektričeskiesvoistva AT hripunovgs vplivtermíčnoaktivovanihstrukturnihperetvorenʹuplívkahdíoksiduolovanaíhelektričnívlastivostí AT pirogovav vplivtermíčnoaktivovanihstrukturnihperetvorenʹuplívkahdíoksiduolovanaíhelektričnívlastivostí AT novikovva vplivtermíčnoaktivovanihstrukturnihperetvorenʹuplívkahdíoksiduolovanaíhelektričnívlastivostí AT hripunovgs influenceofthethermallyactivatedstructuralconvertinginthetindioxidethinfilmontheirelectricproperties AT pirogovav influenceofthethermallyactivatedstructuralconvertinginthetindioxidethinfilmontheirelectricproperties AT novikovva influenceofthethermallyactivatedstructuralconvertinginthetindioxidethinfilmontheirelectricproperties |