Влияние термически активированных структурных превращений в пленках диоксида олова на их электрические свойства

Влияние термически активированных структурных превращений в пленках диоксида олова на их электрические свойства

Исследуются пленки диоксида олова, получаемые методом магнетронного распыления на постоянном токе. Приведены результаты исследований изменения фазового состава и электрической проводимости пленок оксида олова полученных при температурах осаждения (150—350) °С при проведении последующего отжига на во...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Физическая инженерия поверхности
Datum:2014
Hauptverfasser: Хрипунов, Г.С., Пирогов, А.В., Новиков, В.А.
Format: Artikel
Sprache:Russian
Veröffentlicht: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2014
Online Zugang:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/108474
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:Влияние термически активированных структурных превращений в пленках диоксида олова на их электрические свойства / Г.С. Хрипунов, А.В. Пирогов, В.А. Новиков // Физическая инженерия поверхности. — 2014. — Т. 12, № 3. — С. 329-337. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-108474
record_format dspace
spelling Хрипунов, Г.С.
Пирогов, А.В.
Новиков, В.А.
2016-11-05T17:39:37Z
2016-11-05T17:39:37Z
2014
Влияние термически активированных структурных превращений в пленках диоксида олова на их электрические свойства / Г.С. Хрипунов, А.В. Пирогов, В.А. Новиков // Физическая инженерия поверхности. — 2014. — Т. 12, № 3. — С. 329-337. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.
1999-8074
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/108474
621.762.214
Исследуются пленки диоксида олова, получаемые методом магнетронного распыления на постоянном токе. Приведены результаты исследований изменения фазового состава и электрической проводимости пленок оксида олова полученных при температурах осаждения (150—350) °С при проведении последующего отжига на воздухе при температуре 500 °С на протяжении 1 часа.
Досліджуються плівки діоксиду олова, що отримуються методом магнетронного розпилення на постійному струмі. Наведені результати досліджень зміни фазового складу і електричної провідності плівок оксиду олова, отриманих при температурах осадження (150—350) °С при проведенні подальшого відпалу на повітрі при температурі 500 °С на протязі 1 години.
The magnetron sputtering by direct current tin dioxide thin films are investigated. Results over of researches of change of phase composition and electric conductivity of tin oxide thin film obtained by temperature substrate (150—350) °С during subsequent annealing on air at the temperature of 500 °С on the during 1 hour are given.
ru
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
Физическая инженерия поверхности
Влияние термически активированных структурных превращений в пленках диоксида олова на их электрические свойства
Вплив термічноактивованих структурних перетворень у плівках діоксиду олова на їх електричні властивості
Influence of the thermally activated structural converting in the tin dioxide thin film on their electric properties
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Влияние термически активированных структурных превращений в пленках диоксида олова на их электрические свойства
spellingShingle Влияние термически активированных структурных превращений в пленках диоксида олова на их электрические свойства
Хрипунов, Г.С.
Пирогов, А.В.
Новиков, В.А.
title_short Влияние термически активированных структурных превращений в пленках диоксида олова на их электрические свойства
title_full Влияние термически активированных структурных превращений в пленках диоксида олова на их электрические свойства
title_fullStr Влияние термически активированных структурных превращений в пленках диоксида олова на их электрические свойства
title_full_unstemmed Влияние термически активированных структурных превращений в пленках диоксида олова на их электрические свойства
title_sort влияние термически активированных структурных превращений в пленках диоксида олова на их электрические свойства
author Хрипунов, Г.С.
Пирогов, А.В.
Новиков, В.А.
author_facet Хрипунов, Г.С.
Пирогов, А.В.
Новиков, В.А.
publishDate 2014
language Russian
container_title Физическая инженерия поверхности
publisher Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
format Article
title_alt Вплив термічноактивованих структурних перетворень у плівках діоксиду олова на їх електричні властивості
Influence of the thermally activated structural converting in the tin dioxide thin film on their electric properties
description Исследуются пленки диоксида олова, получаемые методом магнетронного распыления на постоянном токе. Приведены результаты исследований изменения фазового состава и электрической проводимости пленок оксида олова полученных при температурах осаждения (150—350) °С при проведении последующего отжига на воздухе при температуре 500 °С на протяжении 1 часа. Досліджуються плівки діоксиду олова, що отримуються методом магнетронного розпилення на постійному струмі. Наведені результати досліджень зміни фазового складу і електричної провідності плівок оксиду олова, отриманих при температурах осадження (150—350) °С при проведенні подальшого відпалу на повітрі при температурі 500 °С на протязі 1 години. The magnetron sputtering by direct current tin dioxide thin films are investigated. Results over of researches of change of phase composition and electric conductivity of tin oxide thin film obtained by temperature substrate (150—350) °С during subsequent annealing on air at the temperature of 500 °С on the during 1 hour are given.
issn 1999-8074
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/108474
citation_txt Влияние термически активированных структурных превращений в пленках диоксида олова на их электрические свойства / Г.С. Хрипунов, А.В. Пирогов, В.А. Новиков // Физическая инженерия поверхности. — 2014. — Т. 12, № 3. — С. 329-337. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT hripunovgs vliânietermičeskiaktivirovannyhstrukturnyhprevraŝeniivplenkahdioksidaolovanaihélektričeskiesvoistva
AT pirogovav vliânietermičeskiaktivirovannyhstrukturnyhprevraŝeniivplenkahdioksidaolovanaihélektričeskiesvoistva
AT novikovva vliânietermičeskiaktivirovannyhstrukturnyhprevraŝeniivplenkahdioksidaolovanaihélektričeskiesvoistva
AT hripunovgs vplivtermíčnoaktivovanihstrukturnihperetvorenʹuplívkahdíoksiduolovanaíhelektričnívlastivostí
AT pirogovav vplivtermíčnoaktivovanihstrukturnihperetvorenʹuplívkahdíoksiduolovanaíhelektričnívlastivostí
AT novikovva vplivtermíčnoaktivovanihstrukturnihperetvorenʹuplívkahdíoksiduolovanaíhelektričnívlastivostí
AT hripunovgs influenceofthethermallyactivatedstructuralconvertinginthetindioxidethinfilmontheirelectricproperties
AT pirogovav influenceofthethermallyactivatedstructuralconvertinginthetindioxidethinfilmontheirelectricproperties
AT novikovva influenceofthethermallyactivatedstructuralconvertinginthetindioxidethinfilmontheirelectricproperties
first_indexed 2025-12-07T21:06:17Z
last_indexed 2025-12-07T21:06:17Z
_version_ 1850885094259032064

Ähnliche Einträge