Влияние термически активированных структурных превращений в пленках диоксида олова на их электрические свойства

• Published in: Физическая инженерия поверхности
• Date: 2014
• ISSN: 1999-8074
• Main Authors: Хрипунов, Г.С., Пирогов, А.В., Новиков, В.А.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2014
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/108474
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Влияние термически активированных структурных превращений в пленках диоксида олова на их электрические свойства / Г.С. Хрипунов, А.В. Пирогов, В.А. Новиков // Физическая инженерия поверхности. — 2014. — Т. 12, № 3. — С. 329-337. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.

Исследуются пленки диоксида олова, получаемые методом магнетронного распыления на постоянном токе. Приведены результаты исследований изменения фазового состава и электрической проводимости пленок оксида олова полученных при температурах осаждения (150—350) °С при проведении последующего отжига на во...