Закономерности формирования структуры и свойств пленок тугоплавких соединений

Проведен анализ формирования плёночных покрытий на основе нитридов, карбидов и боридов переходных металлов в зависимости от условий получения. Выявлены общие закономерности синтеза тонких плёнок данного класса соединений — формирование аксиальной текстуры и столбчатой структуры. Проведен анализ физи...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Физическая инженерия поверхности
Дата:2014
Автори: Агулов, А.В., Гончаров, А.А., Бажин, А.И., Васильева, Л.В., Гончарова, С.А., Ступак, В.А.
Формат: Стаття
Мова:Російська
Опубліковано: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2014
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/108475
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Закономерности формирования структуры и свойств пленок тугоплавких соединений / А.В. Агулов, А.А. Гончаров, А.И. Бажин, Л.В. Васильева, С.А. Гончарова, В.А. Ступак // Физическая инженерия поверхности. — 2014. — Т. 12, № 3. — С. 338-356. — Бібліогр.: 79 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
_version_ 1862746138463961088
author Агулов, А.В.
Гончаров, А.А.
Бажин, А.И.
Васильева, Л.В.
Гончарова, С.А.
Ступак, В.А.
author_facet Агулов, А.В.
Гончаров, А.А.
Бажин, А.И.
Васильева, Л.В.
Гончарова, С.А.
Ступак, В.А.
citation_txt Закономерности формирования структуры и свойств пленок тугоплавких соединений / А.В. Агулов, А.А. Гончаров, А.И. Бажин, Л.В. Васильева, С.А. Гончарова, В.А. Ступак // Физическая инженерия поверхности. — 2014. — Т. 12, № 3. — С. 338-356. — Бібліогр.: 79 назв. — рос.
collection DSpace DC
container_title Физическая инженерия поверхности
description Проведен анализ формирования плёночных покрытий на основе нитридов, карбидов и боридов переходных металлов в зависимости от условий получения. Выявлены общие закономерности синтеза тонких плёнок данного класса соединений — формирование аксиальной текстуры и столбчатой структуры. Проведен анализ физико-механических характеристик нитридов, карбидов и боридов переходных металлов в зависимости от их структурного состояния. Показана зависимость получаемой структуры от условий осаждения покрытий, а также взаимосвязь между структурой покрытия и его физико-механическими характеристиками. Проведений аналіз формування плівкових покриттів на основі нитридів, карбідів і боридів перехідних металів залежно від умов синтезу. Виявлені загальні закономірності синтезу тонких плівок даного класу з’єднань — формування аксіальної текстури і стовпчастої структури. Проведений аналіз фізико-механічних характеристик нитридів, карбідів і боридів перехідних металів залежно від їх структурного стану. Показана залежність отримуваної структури від умов осадження покриттів, а також взаємозв’язок між структурою покриття і його фізико-механічними характеристиками. The analysis of forming of pellicle coverages is conducted on the basis of nitrides, carbides and borides of transitional metals depending on the terms of receipt. General conformities to law of synthesis of thin-films of this class of connections — forming of axial texture and columnar structure are exposed. The analysis of physic-mechanical descriptions of nitrides is conducted, carbides and borides of transitional metals depending on their structural state. Dependence of the got structure is rotined on the terms of besieging of coverages, and also intercommunication between the structure of coverage and his physic -mechanical descriptions.
first_indexed 2025-12-07T20:43:55Z
format Article
fulltext
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-108475
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
issn 1999-8074
language Russian
last_indexed 2025-12-07T20:43:55Z
publishDate 2014
publisher Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
record_format dspace
spelling Агулов, А.В.
Гончаров, А.А.
Бажин, А.И.
Васильева, Л.В.
Гончарова, С.А.
Ступак, В.А.
2016-11-05T17:42:19Z
2016-11-05T17:42:19Z
2014
Закономерности формирования структуры и свойств пленок тугоплавких соединений / А.В. Агулов, А.А. Гончаров, А.И. Бажин, Л.В. Васильева, С.А. Гончарова, В.А. Ступак // Физическая инженерия поверхности. — 2014. — Т. 12, № 3. — С. 338-356. — Бібліогр.: 79 назв. — рос.
1999-8074
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/108475
621.384.653.539.12.04
Проведен анализ формирования плёночных покрытий на основе нитридов, карбидов и боридов переходных металлов в зависимости от условий получения. Выявлены общие закономерности синтеза тонких плёнок данного класса соединений — формирование аксиальной текстуры и столбчатой структуры. Проведен анализ физико-механических характеристик нитридов, карбидов и боридов переходных металлов в зависимости от их структурного состояния. Показана зависимость получаемой структуры от условий осаждения покрытий, а также взаимосвязь между структурой покрытия и его физико-механическими характеристиками.
Проведений аналіз формування плівкових покриттів на основі нитридів, карбідів і боридів перехідних металів залежно від умов синтезу. Виявлені загальні закономірності синтезу тонких плівок даного класу з’єднань — формування аксіальної текстури і стовпчастої структури. Проведений аналіз фізико-механічних характеристик нитридів, карбідів і боридів перехідних металів залежно від їх структурного стану. Показана залежність отримуваної структури від умов осадження покриттів, а також взаємозв’язок між структурою покриття і його фізико-механічними характеристиками.
The analysis of forming of pellicle coverages is conducted on the basis of nitrides, carbides and borides of transitional metals depending on the terms of receipt. General conformities to law of synthesis of thin-films of this class of connections — forming of axial texture and columnar structure are exposed. The analysis of physic-mechanical descriptions of nitrides is conducted, carbides and borides of transitional metals depending on their structural state. Dependence of the got structure is rotined on the terms of besieging of coverages, and also intercommunication between the structure of coverage and his physic -mechanical descriptions.
ru
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
Физическая инженерия поверхности
Закономерности формирования структуры и свойств пленок тугоплавких соединений
Закономірності формування структури та властивостей плівок тугоплавких сполук
Regularities formation the structure and properties of the films of refractory compounds
Article
published earlier
spellingShingle Закономерности формирования структуры и свойств пленок тугоплавких соединений
Агулов, А.В.
Гончаров, А.А.
Бажин, А.И.
Васильева, Л.В.
Гончарова, С.А.
Ступак, В.А.
title Закономерности формирования структуры и свойств пленок тугоплавких соединений
title_alt Закономірності формування структури та властивостей плівок тугоплавких сполук
Regularities formation the structure and properties of the films of refractory compounds
title_full Закономерности формирования структуры и свойств пленок тугоплавких соединений
title_fullStr Закономерности формирования структуры и свойств пленок тугоплавких соединений
title_full_unstemmed Закономерности формирования структуры и свойств пленок тугоплавких соединений
title_short Закономерности формирования структуры и свойств пленок тугоплавких соединений
title_sort закономерности формирования структуры и свойств пленок тугоплавких соединений
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/108475
work_keys_str_mv AT agulovav zakonomernostiformirovaniâstrukturyisvoistvplenoktugoplavkihsoedinenii
AT gončarovaa zakonomernostiformirovaniâstrukturyisvoistvplenoktugoplavkihsoedinenii
AT bažinai zakonomernostiformirovaniâstrukturyisvoistvplenoktugoplavkihsoedinenii
AT vasilʹevalv zakonomernostiformirovaniâstrukturyisvoistvplenoktugoplavkihsoedinenii
AT gončarovasa zakonomernostiformirovaniâstrukturyisvoistvplenoktugoplavkihsoedinenii
AT stupakva zakonomernostiformirovaniâstrukturyisvoistvplenoktugoplavkihsoedinenii
AT agulovav zakonomírnostíformuvannâstrukturitavlastivosteiplívoktugoplavkihspoluk
AT gončarovaa zakonomírnostíformuvannâstrukturitavlastivosteiplívoktugoplavkihspoluk
AT bažinai zakonomírnostíformuvannâstrukturitavlastivosteiplívoktugoplavkihspoluk
AT vasilʹevalv zakonomírnostíformuvannâstrukturitavlastivosteiplívoktugoplavkihspoluk
AT gončarovasa zakonomírnostíformuvannâstrukturitavlastivosteiplívoktugoplavkihspoluk
AT stupakva zakonomírnostíformuvannâstrukturitavlastivosteiplívoktugoplavkihspoluk
AT agulovav regularitiesformationthestructureandpropertiesofthefilmsofrefractorycompounds
AT gončarovaa regularitiesformationthestructureandpropertiesofthefilmsofrefractorycompounds
AT bažinai regularitiesformationthestructureandpropertiesofthefilmsofrefractorycompounds
AT vasilʹevalv regularitiesformationthestructureandpropertiesofthefilmsofrefractorycompounds
AT gončarovasa regularitiesformationthestructureandpropertiesofthefilmsofrefractorycompounds
AT stupakva regularitiesformationthestructureandpropertiesofthefilmsofrefractorycompounds