Закономерности формирования структуры и свойств пленок тугоплавких соединений
Проведен анализ формирования плёночных покрытий на основе нитридов, карбидов и боридов переходных металлов в зависимости от условий получения. Выявлены общие закономерности синтеза тонких плёнок данного класса соединений — формирование аксиальной текстуры и столбчатой структуры. Проведен анализ физи...
Saved in:
| Published in: | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Date: | 2014 |
| Main Authors: | , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2014
|
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/108475 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Закономерности формирования структуры и свойств пленок тугоплавких соединений / А.В. Агулов, А.А. Гончаров, А.И. Бажин, Л.В. Васильева, С.А. Гончарова, В.А. Ступак // Физическая инженерия поверхности. — 2014. — Т. 12, № 3. — С. 338-356. — Бібліогр.: 79 назв. — рос. |