Закономерности формирования структуры и свойств пленок тугоплавких соединений

• Published in: Физическая инженерия поверхности
• Date: 2014
• ISSN: 1999-8074
• Main Authors: Агулов, А.В., Гончаров, А.А., Бажин, А.И., Васильева, Л.В., Гончарова, С.А., Ступак, В.А.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2014
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/108475
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Закономерности формирования структуры и свойств пленок тугоплавких соединений / А.В. Агулов, А.А. Гончаров, А.И. Бажин, Л.В. Васильева, С.А. Гончарова, В.А. Ступак // Физическая инженерия поверхности. — 2014. — Т. 12, № 3. — С. 338-356. — Бібліогр.: 79 назв. — рос.

Проведен анализ формирования плёночных покрытий на основе нитридов, карбидов и боридов переходных металлов в зависимости от условий получения. Выявлены общие закономерности синтеза тонких плёнок данного класса соединений — формирование аксиальной текстуры и столбчатой структуры. Проведен анализ физи...