Исследование пространственной однородности, элементного и изотопного состава алмазных пленок, полученных методом CVD, комплексом ядерно-физических методов анализа
Разработана методика неразрушающего анализа поверхностных слоев в бинарных образцах в виде пленок из искусственных алмазов, осажденных на подложку из кремния методом CVD, на основе регистрации рентгеновского и γ-излучения возбуждаемого ускоренными протонами. Определены толщины и профили концентрации...
Збережено в:
| Опубліковано в: : | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Дата: | 2014 |
| Автори: | , , , |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Російська |
| Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2014
|
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/108480 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Исследование пространственной однородности, элементного и изотопного состава алмазных пленок, полученных методом CVD, комплексом ядерно-физических методов анализа / В.В. Левенец , А.А. Щур, В.Е. Стрельницкий, С.Ф. Дудник // Физическая инженерия поверхности. — 2014. — Т. 12, № 3. — С. 392-398. — Бібліогр.: 2 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862578732598820864 |
|---|---|
| author | Левенец, В.В. Щур, А.А. Стрельницкий, В.Е. Дудник, С.Ф. |
| author_facet | Левенец, В.В. Щур, А.А. Стрельницкий, В.Е. Дудник, С.Ф. |
| citation_txt | Исследование пространственной однородности, элементного и изотопного состава алмазных пленок, полученных методом CVD, комплексом ядерно-физических методов анализа / В.В. Левенец , А.А. Щур, В.Е. Стрельницкий, С.Ф. Дудник // Физическая инженерия поверхности. — 2014. — Т. 12, № 3. — С. 392-398. — Бібліогр.: 2 назв. — рос. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Физическая инженерия поверхности |
| description | Разработана методика неразрушающего анализа поверхностных слоев в бинарных образцах в виде пленок из искусственных алмазов, осажденных на подложку из кремния методом CVD, на основе регистрации рентгеновского и γ-излучения возбуждаемого ускоренными протонами. Определены толщины и профили концентрации углерода в пленках из искусственных алмазов. Исследованы элементный состав алмазных пленок, распределение фтора по глубине в приповерхностных слоях. Изучены и выявлены различия в изотопном составе базового компонента покрытия — углерода в исследованных образцах. Сделаны выводы о возможности применения подобных аналитических методов для изучения физических процессов, связанных с изготовлением искусственных алмазов методом CVD и определение факторов, влияющих на характеристики подобных изделий.
Розроблено методику неруйнівного аналізу поверхневих шарів у бінарних зразках у вигляді плівок зі штучних діамантів осаджених на підложку з кремнію методом CVD, на основі реєстрації рентгенівського та γ-випромінювання збуджуваного прискореними протонами. Визначено товщин и та профілі концентрації вуглецю у плівках зі штучних діамантів. Досліджено елементний склад діамантових плівок, розподіл фтору по глибині у приповерхневих шарах. Вивчено і виявлено відмінності в ізотопному складі базового компоненту покриття — вуглецю у дослідженних зразках. Зроблено висновки щодо можливості застосування подібних аналітичних методів для вивчення фізичних процесів, пов’язаних із виготовленням штучних діамантів методом CVD та визначення чинників, які впливають на характеристики подібних виробів.
The methods was developed of non-destructive analysis of near surface layers of binary samples of diamonds films obtained by CVD deposition on Si-backing, using PIXE and PIGE. The thicknesses and depth profiles of carbon were determined in synthetic diamonds films. The elemental content of films was studied and depth profiles of fluorine near surface were obtained. The differences were founded for isotopic contents of carbon in studying samples. The conclusions were made about possibilities of application of the such analytical methods to study physical processes, which take a place at the manufacturing of synthetic diamonds by CVD and determination of parameters, which influence on features of such production
|
| first_indexed | 2025-11-26T17:37:56Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-108480 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1999-8074 |
| language | Russian |
| last_indexed | 2025-11-26T17:37:56Z |
| publishDate | 2014 |
| publisher | Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Левенец, В.В. Щур, А.А. Стрельницкий, В.Е. Дудник, С.Ф. 2016-11-05T17:57:02Z 2016-11-05T17:57:02Z 2014 Исследование пространственной однородности, элементного и изотопного состава алмазных пленок, полученных методом CVD, комплексом ядерно-физических методов анализа / В.В. Левенец , А.А. Щур, В.Е. Стрельницкий, С.Ф. Дудник // Физическая инженерия поверхности. — 2014. — Т. 12, № 3. — С. 392-398. — Бібліогр.: 2 назв. — рос. 1999-8074 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/108480 539.12.074 Разработана методика неразрушающего анализа поверхностных слоев в бинарных образцах в виде пленок из искусственных алмазов, осажденных на подложку из кремния методом CVD, на основе регистрации рентгеновского и γ-излучения возбуждаемого ускоренными протонами. Определены толщины и профили концентрации углерода в пленках из искусственных алмазов. Исследованы элементный состав алмазных пленок, распределение фтора по глубине в приповерхностных слоях. Изучены и выявлены различия в изотопном составе базового компонента покрытия — углерода в исследованных образцах. Сделаны выводы о возможности применения подобных аналитических методов для изучения физических процессов, связанных с изготовлением искусственных алмазов методом CVD и определение факторов, влияющих на характеристики подобных изделий. Розроблено методику неруйнівного аналізу поверхневих шарів у бінарних зразках у вигляді плівок зі штучних діамантів осаджених на підложку з кремнію методом CVD, на основі реєстрації рентгенівського та γ-випромінювання збуджуваного прискореними протонами. Визначено товщин и та профілі концентрації вуглецю у плівках зі штучних діамантів. Досліджено елементний склад діамантових плівок, розподіл фтору по глибині у приповерхневих шарах. Вивчено і виявлено відмінності в ізотопному складі базового компоненту покриття — вуглецю у дослідженних зразках. Зроблено висновки щодо можливості застосування подібних аналітичних методів для вивчення фізичних процесів, пов’язаних із виготовленням штучних діамантів методом CVD та визначення чинників, які впливають на характеристики подібних виробів. The methods was developed of non-destructive analysis of near surface layers of binary samples of diamonds films obtained by CVD deposition on Si-backing, using PIXE and PIGE. The thicknesses and depth profiles of carbon were determined in synthetic diamonds films. The elemental content of films was studied and depth profiles of fluorine near surface were obtained. The differences were founded for isotopic contents of carbon in studying samples. The conclusions were made about possibilities of application of the such analytical methods to study physical processes, which take a place at the manufacturing of synthetic diamonds by CVD and determination of parameters, which influence on features of such production ru Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України Физическая инженерия поверхности Исследование пространственной однородности, элементного и изотопного состава алмазных пленок, полученных методом CVD, комплексом ядерно-физических методов анализа Дослідження просторової однорідності, елементного та ізотопного складу діамантових плівок, виготовлених методом cvd, комплексом ядерно-фізичних методів аналізу The studying of the depth homogeneity, elemental and isotopic content of diamond films, obtained by cvd methods, using pixe and pige Article published earlier |
| spellingShingle | Исследование пространственной однородности, элементного и изотопного состава алмазных пленок, полученных методом CVD, комплексом ядерно-физических методов анализа Левенец, В.В. Щур, А.А. Стрельницкий, В.Е. Дудник, С.Ф. |
| title | Исследование пространственной однородности, элементного и изотопного состава алмазных пленок, полученных методом CVD, комплексом ядерно-физических методов анализа |
| title_alt | Дослідження просторової однорідності, елементного та ізотопного складу діамантових плівок, виготовлених методом cvd, комплексом ядерно-фізичних методів аналізу The studying of the depth homogeneity, elemental and isotopic content of diamond films, obtained by cvd methods, using pixe and pige |
| title_full | Исследование пространственной однородности, элементного и изотопного состава алмазных пленок, полученных методом CVD, комплексом ядерно-физических методов анализа |
| title_fullStr | Исследование пространственной однородности, элементного и изотопного состава алмазных пленок, полученных методом CVD, комплексом ядерно-физических методов анализа |
| title_full_unstemmed | Исследование пространственной однородности, элементного и изотопного состава алмазных пленок, полученных методом CVD, комплексом ядерно-физических методов анализа |
| title_short | Исследование пространственной однородности, элементного и изотопного состава алмазных пленок, полученных методом CVD, комплексом ядерно-физических методов анализа |
| title_sort | исследование пространственной однородности, элементного и изотопного состава алмазных пленок, полученных методом cvd, комплексом ядерно-физических методов анализа |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/108480 |
| work_keys_str_mv | AT levenecvv issledovanieprostranstvennoiodnorodnostiélementnogoiizotopnogosostavaalmaznyhplenokpolučennyhmetodomcvdkompleksomâdernofizičeskihmetodovanaliza AT ŝuraa issledovanieprostranstvennoiodnorodnostiélementnogoiizotopnogosostavaalmaznyhplenokpolučennyhmetodomcvdkompleksomâdernofizičeskihmetodovanaliza AT strelʹnickiive issledovanieprostranstvennoiodnorodnostiélementnogoiizotopnogosostavaalmaznyhplenokpolučennyhmetodomcvdkompleksomâdernofizičeskihmetodovanaliza AT dudniksf issledovanieprostranstvennoiodnorodnostiélementnogoiizotopnogosostavaalmaznyhplenokpolučennyhmetodomcvdkompleksomâdernofizičeskihmetodovanaliza AT levenecvv doslídžennâprostorovoíodnorídnostíelementnogotaízotopnogoskladudíamantovihplívokvigotovlenihmetodomcvdkompleksomâdernofízičnihmetodívanalízu AT ŝuraa doslídžennâprostorovoíodnorídnostíelementnogotaízotopnogoskladudíamantovihplívokvigotovlenihmetodomcvdkompleksomâdernofízičnihmetodívanalízu AT strelʹnickiive doslídžennâprostorovoíodnorídnostíelementnogotaízotopnogoskladudíamantovihplívokvigotovlenihmetodomcvdkompleksomâdernofízičnihmetodívanalízu AT dudniksf doslídžennâprostorovoíodnorídnostíelementnogotaízotopnogoskladudíamantovihplívokvigotovlenihmetodomcvdkompleksomâdernofízičnihmetodívanalízu AT levenecvv thestudyingofthedepthhomogeneityelementalandisotopiccontentofdiamondfilmsobtainedbycvdmethodsusingpixeandpige AT ŝuraa thestudyingofthedepthhomogeneityelementalandisotopiccontentofdiamondfilmsobtainedbycvdmethodsusingpixeandpige AT strelʹnickiive thestudyingofthedepthhomogeneityelementalandisotopiccontentofdiamondfilmsobtainedbycvdmethodsusingpixeandpige AT dudniksf thestudyingofthedepthhomogeneityelementalandisotopiccontentofdiamondfilmsobtainedbycvdmethodsusingpixeandpige |