Исследование пространственной однородности, элементного и изотопного состава алмазных пленок, полученных методом CVD, комплексом ядерно-физических методов анализа

• Published in: Физическая инженерия поверхности
• Date: 2014
• Main Authors: Левенец, В.В., Щур, А.А., Стрельницкий, В.Е., Дудник, С.Ф.
• Format: Article
• Language: Russian
• Published: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2014
• Online Access: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/108480
• Journal Title: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Cite this: Исследование пространственной однородности, элементного и изотопного состава алмазных пленок, полученных методом CVD, комплексом ядерно-физических методов анализа / В.В. Левенец , А.А. Щур, В.Е. Стрельницкий, С.Ф. Дудник // Физическая инженерия поверхности. — 2014. — Т. 12, № 3. — С. 392-398. — Бібліогр.: 2 назв. — рос.

Разработана методика неразрушающего анализа поверхностных слоев в бинарных образцах в виде пленок из искусственных алмазов, осажденных на подложку из кремния методом CVD, на основе регистрации рентгеновского и γ-излучения возбуждаемого ускоренными протонами. Определены толщины и профили концентрации...