Зображення обкладинки

Іонно-плазмова система для реактивного магнетронного нанесення покриттів

В роботі представлено результати розробки та дослідження багатофункціональної іонно-плазмової технологічної системи, до складу якої входять наступні компліментарні плазмові модулі: два незбалансованих магнетрони низького тиску; джерело плазми та активованих частинок на базі ВЧ індукційного розряду;...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Физическая инженерия поверхности
Дата:	2014
Автори:	Яковін, С.Д., Зиков, О.В., Дудін, С.В., Фаренік, В.І., Юнаков, М.М.
Формат:	Стаття
Мова:	Українська
Опубліковано:	Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2014
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/108484
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Іонно-плазмова система для реактивного магнетронного нанесення покриттів / С.Д. Яковін, О.В. Зиков, С.В. Дудін, В.І. Фаренік, М.М. Юнаков // Физическая инженерия поверхности. — 2014. — Т. 12, № 3. — С. 428-439. — Бібліогр.: 15 назв. — укр.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Схожі ресурси

Іонно-плазмові системи з комбінованими електричними і магнітними полями для мікро- і нанотехнологій
за авторством: Азарєнков, М.О., та інші
Опубліковано: (2017)

Вакуумний пост для нанесення покриттів на внутрішню поверхню труб методом магнетронного розпилення
за авторством: Коломієць, В.М., та інші
Опубліковано: (2020)

Установка AVINIT для нанесення багатошарових функціональних покриттів
за авторством: Сагалович, А.В., та інші
Опубліковано: (2010)

Вакуумно-дугове обладнання для іонно-плазмового осадження покриттів
за авторством: Аксьонов, І.І., та інші
Опубліковано: (2000)

Нанесення ультратонких алюмосилікатних покриттів на металеві поверхні аерозольним способом
за авторством: Бовсуновський, Є.О.
Опубліковано: (2013)

Синтез діелектричних сполук на базі магнетрону постійного струму
за авторством: Зиков, О.В., та інші
Опубліковано: (2009)

Зварювання аморфних матеріялів та нанесення аморфізованих покриттів за допомогою лазерного випромінення
за авторством: Хаскін, В.Ю., та інші
Опубліковано: (2009)

Планарна плазмова антена з діелектричним покриттям
за авторством: Артеменко, А.М., та інші
Опубліковано: (2020)

Інтенсивність зношування породоруйнівних елементів з КАМ залежно від хімічного складу та способу нанесення покриттів на алмазні зерна
за авторством: Майстренко, А.Л., та інші
Опубліковано: (2017)

Свойства металлических контактов на пленках TiO₂, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления
за авторством: Брус, В.В., та інші
Опубліковано: (2010)

Низкотемпературный синтез и структура гибридных наноматериалов Ni@C, полученных методом реактивного магнетронного распыления
за авторством: Мохненко, М.И., та інші
Опубліковано: (2015)

Структура и фотокаталитические свойства наноплёнок диоксида титана, осаждённых методом реактивного магнетронного напыления
за авторством: Гончаров, А.А., та інші
Опубліковано: (2014)

Сучасні методи одержання складнолегованих сплавів та порошків на Со основі для нанесення захисних покриттів (Огляд)
за авторством: Василега, О.П., та інші
Опубліковано: (2011)

Свойства металлических контактов на пленках TiO2, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления
за авторством: Brus, V. V., та інші
Опубліковано: (2010)

Свойства металлических контактов на пленках TiO2, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления
за авторством: Khoverko, Yu. N.
Опубліковано: (2010)

Розроблення устаткування для електродугової металізації та новітніх витратних матеріалів для нанесення захисних і відновних покриттів на деталі гірничодобувної, транспортної та харчопереробної промисловості
за авторством: Студент, М.М., та інші
Опубліковано: (2017)

Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления
за авторством: Зыков, А.В., та інші
Опубліковано: (2015)

Новий аспект використання іонно-плазмової обробки
за авторством: Дяченко, С.С., та інші
Опубліковано: (2009)

НАНОТЕХНОЛОГІЯ ОДНОСТАДІЙНОГО ЛОКАЛІЗОВАНОГО ІОННО-ПЛАЗМОВОГО ДИСПЕРГУВАННЯ В ВАКУУМІ
за авторством: Ткач, В. М., та інші
Опубліковано: (2018)

Нанотехнологія одностадійного локалізованого іонно-плазмового диспергування в вакуумі
за авторством: Ткач, В.М., та інші
Опубліковано: (2018)

Технологія нанесення люмінесцентних ідентифікаційних елементів на поверхню оптичного диска
за авторством: Беляк, Є.В.
Опубліковано: (2006)

Установка для прецизійного іонно-плазмового формування вуглецевих нанотрубок
за авторством: Руденко, Е.М., та інші
Опубліковано: (2009)

Установка магнетронного нанесения покрытий на листовое стекло
за авторством: Жадкевич, М.Л., та інші
Опубліковано: (2003)

Технологические особенности DC и RF магнетронного распыл
за авторством: Буранич, В.В., та інші
Опубліковано: (2018)

Плазмодинамические особенности цилиндрических газовых разрядов магнетронного типа
за авторством: Гончаров, А.А., та інші
Опубліковано: (2008)

Іонно-плазмові технології і поверхневе модифікування матеріалів в Україні
за авторством: Неклюдов, І.М.
Опубліковано: (2013)

ФОТОЕЛЕКТРИЧНІ ВЛАСТИВОСТІ ПРИЙМАЧІВ ВИПРОМІНЮВАННЯ, ВИГОТОВЛЕНИХ НА ІОННО ТРАВЛЕНИХ ПОВЕРХНЯХ КРЕМНІЮ
за авторством: Житарюк, В. Г., та інші
Опубліковано: (2013)

Фотоелектричні властивості приймачів випромінювання, виготовлених на іонно травлених поверхнях кремнію
за авторством: Житарюк, В.Г., та інші
Опубліковано: (2009)

Динаміка протиіонів Na+ в іонно-гідратному шарі молекули ДНК
за авторством: Алєксєєв, О.М., та інші
Опубліковано: (2009)

О приоритете создания магнетронного генератора высокочастотных колебаний
за авторством: Глебова, А.Н.
Опубліковано: (2016)

Будова шарів нітриду алюмінію, сформованих під час іонно-плазмового напилення
за авторством: Дурягіна, З.А., та інші
Опубліковано: (2013)

Дослідження системи органічний барвник−ліпід методом іонно-фотонної спектрометрії
за авторством: Alimov, S.S., та інші
Опубліковано: (2022)

Зниження насичення воднем цирконієвих сплавів при модифікації поверхні комплексною іонно-плазмовою обробкою
за авторством: Толстолуцька, Г.Д., та інші
Опубліковано: (2015)

Усовершенствованная цепно-полевая модель вентильно-реактивного двигателя
за авторством: Рымша, В.В., та інші
Опубліковано: (2010)

Розробка та дослідження покриттів для захисту від фретинг-корозії
за авторством: Похмурський, В.І., та інші
Опубліковано: (2010)

Дослідження процесу нанесення захисного покриття на деталях конструкційного призначення з відходів промислового виробництва
за авторством: Повстяной, О.Ю., та інші
Опубліковано: (2015)

Электрические и оптические свойства пленок ITO, полученных методом магнетронного распыления
за авторством: Юрченко, Г.В.
Опубліковано: (2000)

Получение и свойства магнетронного хромового покрытия на рабочих поверхностях силового титанового гидроцилиндра
за авторством: Гришкевич, А.Д., та інші
Опубліковано: (2014)

Малоенергоємні плазмові технологічні системи з розрядами у комбінованих електричному та магнітному полях
за авторством: Фаренік, В.І.
Опубліковано: (2009)

Зносостійкість плазмових покриттів при постійній роботі тертя
за авторством: Краля, В.О., та інші
Опубліковано: (2007)