Buchumschlag

Іонно-плазмова система для реактивного магнетронного нанесення покриттів

В роботі представлено результати розробки та дослідження багатофункціональної іонно-плазмової технологічної системи, до складу якої входять наступні компліментарні плазмові модулі: два незбалансованих магнетрони низького тиску; джерело плазми та активованих частинок на базі ВЧ індукційного розряду;...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Физическая инженерия поверхности
Datum:	2014
Hauptverfasser:	Яковін, С.Д., Зиков, О.В., Дудін, С.В., Фаренік, В.І., Юнаков, М.М.
Format:	Artikel
Sprache:	Ukrainisch
Veröffentlicht:	Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2014
Online Zugang:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/108484
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Zitieren:	Іонно-плазмова система для реактивного магнетронного нанесення покриттів / С.Д. Яковін, О.В. Зиков, С.В. Дудін, В.І. Фаренік, М.М. Юнаков // Физическая инженерия поверхности. — 2014. — Т. 12, № 3. — С. 428-439. — Бібліогр.: 15 назв. — укр.

Institution

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

Ähnliche Einträge

Іонно-плазмові системи з комбінованими електричними і магнітними полями для мікро- і нанотехнологій
von: Азарєнков, М.О., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Вакуумний пост для нанесення покриттів на внутрішню поверхню труб методом магнетронного розпилення
von: Коломієць, В.М., et al.
Veröffentlicht: (2020)

Установка AVINIT для нанесення багатошарових функціональних покриттів
von: Сагалович, А.В., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Вакуумно-дугове обладнання для іонно-плазмового осадження покриттів
von: Аксьонов, І.І., et al.
Veröffentlicht: (2000)

Нанесення ультратонких алюмосилікатних покриттів на металеві поверхні аерозольним способом
von: Бовсуновський, Є.О.
Veröffentlicht: (2013)

Синтез діелектричних сполук на базі магнетрону постійного струму
von: Зиков, О.В., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Зварювання аморфних матеріялів та нанесення аморфізованих покриттів за допомогою лазерного випромінення
von: Хаскін, В.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Формування антибактеріальних покриттів на хітозанових матрицях методом магнетронного напилення
von: Kalinkevich, O. V., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Низкотемпературный синтез и структура гибридных наноматериалов Ni@C, полученных методом реактивного магнетронного распыления
von: Мохненко, М.И., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Свойства металлических контактов на пленках TiO₂, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления
von: Брус, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Структура и фотокаталитические свойства наноплёнок диоксида титана, осаждённых методом реактивного магнетронного напыления
von: Гончаров, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Інтенсивність зношування породоруйнівних елементів з КАМ залежно від хімічного складу та способу нанесення покриттів на алмазні зерна
von: Майстренко, А.Л., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Свойства металлических контактов на пленках TiO2, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления
von: Brus, V. V., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Свойства металлических контактов на пленках TiO2, изготовленных методом реактивного магнетронного распыления
von: Khoverko, Yu. N.
Veröffentlicht: (2010)

Розроблення устаткування для електродугової металізації та новітніх витратних матеріалів для нанесення захисних і відновних покриттів на деталі гірничодобувної, транспортної та харчопереробної промисловості
von: Студент, М.М., et al.
Veröffentlicht: (2017)

Стационарные режимы магнетронного разряда низкого давления
von: Зыков, А.В., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Новий аспект використання іонно-плазмової обробки
von: Дяченко, С.С., et al.
Veröffentlicht: (2009)

НАНОТЕХНОЛОГІЯ ОДНОСТАДІЙНОГО ЛОКАЛІЗОВАНОГО ІОННО-ПЛАЗМОВОГО ДИСПЕРГУВАННЯ В ВАКУУМІ
von: Ткач, В. М., et al.
Veröffentlicht: (2018)

Установка для прецизійного іонно-плазмового формування вуглецевих нанотрубок
von: Руденко, Е.М., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Технологія нанесення люмінесцентних ідентифікаційних елементів на поверхню оптичного диска
von: Беляк, Є.В.
Veröffentlicht: (2006)

Технологические особенности DC и RF магнетронного распыл
von: Буранич, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2018)

ФОТОЕЛЕКТРИЧНІ ВЛАСТИВОСТІ ПРИЙМАЧІВ ВИПРОМІНЮВАННЯ, ВИГОТОВЛЕНИХ НА ІОННО ТРАВЛЕНИХ ПОВЕРХНЯХ КРЕМНІЮ
von: Житарюк, В. Г., et al.
Veröffentlicht: (2013)

Фотоелектричні властивості приймачів випромінювання, виготовлених на іонно травлених поверхнях кремнію
von: Житарюк, В.Г., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Іонно-плазмові технології і поверхневе модифікування матеріалів в Україні
von: Неклюдов, І.М.
Veröffentlicht: (2013)

Плазмодинамические особенности цилиндрических газовых разрядов магнетронного типа
von: Гончаров, А.А., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Динаміка протиіонів Na+ в іонно-гідратному шарі молекули ДНК
von: Алєксєєв, О.М., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Будова шарів нітриду алюмінію, сформованих під час іонно-плазмового напилення
von: Дурягіна, З.А., et al.
Veröffentlicht: (2013)

О приоритете создания магнетронного генератора высокочастотных колебаний
von: Глебова, А.Н.
Veröffentlicht: (2016)

Зниження насичення воднем цирконієвих сплавів при модифікації поверхні комплексною іонно-плазмовою обробкою
von: Толстолуцька, Г.Д., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Усовершенствованная цепно-полевая модель вентильно-реактивного двигателя
von: Рымша, В.В., et al.
Veröffentlicht: (2010)

Электрические и оптические свойства пленок ITO, полученных методом магнетронного распыления
von: Юрченко, Г.В.
Veröffentlicht: (2000)

Получение и свойства магнетронного хромового покрытия на рабочих поверхностях силового титанового гидроцилиндра
von: Гришкевич, А.Д., et al.
Veröffentlicht: (2014)

Моделювання калієвих іонних каналів з урахуванням іонно-конформаційної взаємодії в рамках синергетичного підходу
von: Вайнреб, Г.Є., et al.
Veröffentlicht: (2001)

Дисперсійна (фазова) природа структурної чутливості та інформативності однокристальної дифрактометрії дефектів і деформацій в іонно-імплантованих плівках
von: Скакунова, О.С., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Модификация метода синтеза функций минимального реактивного сопротивления по Бруне
von: Пентегов, И.В., et al.
Veröffentlicht: (2009)

Зносостійкість плазмових покриттів при постійній роботі тертя
von: Краля, В.О., et al.
Veröffentlicht: (2007)

Дослідження процесу нанесення захисного покриття на деталях конструкційного призначення з відходів промислового виробництва
von: Повстяной, О.Ю., et al.
Veröffentlicht: (2015)

Фотополімерні композиційні матеріали для захисних покриттів друкованих плат
von: Сисюк, В.Г., et al.
Veröffentlicht: (2008)

Разработка и исследование макета низкочастотного источника питания сильноточного импульсного магнетронного разряда
von: Гришкевич, А.Д., et al.
Veröffentlicht: (2019)

Проектування вентильно–реактивного двигуна зі зниженими пульсаціями електромагнітного моменту
von: Бібік, О.В., et al.
Veröffentlicht: (2014)