Распределение элементов по глубине многокомпонентных покрытий на основе системы (Ti-Al-Zr-Nb-Y)N
Покрытия на основе системы (Ti-Al-Zr-Nb-Y)N формировались распылением многокомпонентного катода вакуумно-дуговым методом. Исследование распределения образующих элементов и примесей по глубине осуществлялось методом энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии. Установлена определенная неравномерн...
Збережено в:
| Дата: | 2014 |
|---|---|
| Автор: | |
| Формат: | Стаття |
| Мова: | Russian |
| Опубліковано: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2014
|
| Назва видання: | Физическая инженерия поверхности |
| Онлайн доступ: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/108502 |
| Теги: |
Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Цитувати: | Распределение элементов по глубине многокомпонентных покрытий на основе системы (Ti-Al-Zr-Nb-Y)N / П.В. Турбин // Физическая инженерия поверхности. — 2014. — Т. 12, № 4. — С. 556-563. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. |
Репозитарії
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-108502 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| fulltext |
|
| spelling |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-1085022025-02-23T19:40:21Z Распределение элементов по глубине многокомпонентных покрытий на основе системы (Ti-Al-Zr-Nb-Y)N Розподіл елементів за глибиною багатокомпонентних покриттів на основі системи (Ti-Al-Zr-Nb-Y)N Depth distribution of elements in multicomponent coatings based on the system (Ti-Al-Zr-Nb-Y)N Турбин, П.В. Покрытия на основе системы (Ti-Al-Zr-Nb-Y)N формировались распылением многокомпонентного катода вакуумно-дуговым методом. Исследование распределения образующих элементов и примесей по глубине осуществлялось методом энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии. Установлена определенная неравномерность распределения образующих элементов по глубине покрытия и присутствие примесей, обусловленных методом и средой формирования, а также структурой катода. Покриття на основі системи (Ti-Al-Zr-Nb-Y)N формувалися розпиленням багатокомпонентного катода вакуумно-дуговим методом. Дослідження розподілу утворюючих елементів і домішок за глибиною здійснювалося методом енергодисперсійної рентгенівської спектроскопії. Встановлена певна нерівномірність розподілу утворюючих елементів за глибиною покриття і присутність домішок, зумовлених методом і середовищем формування та структурою катода. Coatings based on the systems (Ti-Al-Zr-Nb-Y)N was deposited by sputtering of multicomponent cathode using vacuum arc method. Investigation of the depth distribution of elements and impurities was carried out by energy dispersive X-ray spectroscopy. Certain inhomogeneity of the depth distribution of the elements has been found within the coating along with the presence of impurities caused by the method and conditions of deposition as well as the structure of the cathode. 2014 Article Распределение элементов по глубине многокомпонентных покрытий на основе системы (Ti-Al-Zr-Nb-Y)N / П.В. Турбин // Физическая инженерия поверхности. — 2014. — Т. 12, № 4. — С. 556-563. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. 1999-8074 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/108502 539.2:538.975 ru Физическая инженерия поверхности application/pdf Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| language |
Russian |
| description |
Покрытия на основе системы (Ti-Al-Zr-Nb-Y)N формировались распылением многокомпонентного катода вакуумно-дуговым методом. Исследование распределения образующих элементов и примесей по глубине осуществлялось методом энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии. Установлена определенная неравномерность распределения образующих элементов по глубине покрытия и присутствие примесей, обусловленных методом и средой формирования, а также структурой катода. |
| format |
Article |
| author |
Турбин, П.В. |
| spellingShingle |
Турбин, П.В. Распределение элементов по глубине многокомпонентных покрытий на основе системы (Ti-Al-Zr-Nb-Y)N Физическая инженерия поверхности |
| author_facet |
Турбин, П.В. |
| author_sort |
Турбин, П.В. |
| title |
Распределение элементов по глубине многокомпонентных покрытий на основе системы (Ti-Al-Zr-Nb-Y)N |
| title_short |
Распределение элементов по глубине многокомпонентных покрытий на основе системы (Ti-Al-Zr-Nb-Y)N |
| title_full |
Распределение элементов по глубине многокомпонентных покрытий на основе системы (Ti-Al-Zr-Nb-Y)N |
| title_fullStr |
Распределение элементов по глубине многокомпонентных покрытий на основе системы (Ti-Al-Zr-Nb-Y)N |
| title_full_unstemmed |
Распределение элементов по глубине многокомпонентных покрытий на основе системы (Ti-Al-Zr-Nb-Y)N |
| title_sort |
распределение элементов по глубине многокомпонентных покрытий на основе системы (ti-al-zr-nb-y)n |
| publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| publishDate |
2014 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/108502 |
| citation_txt |
Распределение элементов по глубине многокомпонентных покрытий на основе системы (Ti-Al-Zr-Nb-Y)N / П.В. Турбин // Физическая инженерия поверхности. — 2014. — Т. 12, № 4. — С. 556-563. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. |
| series |
Физическая инженерия поверхности |
| work_keys_str_mv |
AT turbinpv raspredelenieélementovpoglubinemnogokomponentnyhpokrytijnaosnovesistemytialzrnbyn AT turbinpv rozpodílelementívzaglibinoûbagatokomponentnihpokrittívnaosnovísistemitialzrnbyn AT turbinpv depthdistributionofelementsinmulticomponentcoatingsbasedonthesystemtialzrnbyn |
| first_indexed |
2025-11-24T16:28:15Z |
| last_indexed |
2025-11-24T16:28:15Z |
| _version_ |
1849689841535549440 |