Распределение элементов по глубине многокомпонентных покрытий на основе системы (Ti-Al-Zr-Nb-Y)N
Покрытия на основе системы (Ti-Al-Zr-Nb-Y)N формировались распылением многокомпонентного катода вакуумно-дуговым методом. Исследование распределения образующих элементов и примесей по глубине осуществлялось методом энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии. Установлена определенная неравномерн...
Saved in:
| Date: | 2014 |
|---|---|
| Main Author: | |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2014
|
| Series: | Физическая инженерия поверхности |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/108502 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Распределение элементов по глубине многокомпонентных покрытий на основе системы (Ti-Al-Zr-Nb-Y)N / П.В. Турбин // Физическая инженерия поверхности. — 2014. — Т. 12, № 4. — С. 556-563. — Бібліогр.: 7 назв. — рос. |