Тематические направления
Saved in:
| Published in: | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Date: | 2014 |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2014
|
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/108504 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Тематические направления // Физическая инженерия поверхности. — 2014. — Т. 12, № 4. — С. 567. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-108504 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
2016-11-05T22:00:40Z 2016-11-05T22:00:40Z 2014 Тематические направления // Физическая инженерия поверхности. — 2014. — Т. 12, № 4. — С. 567. — рос. 1999-8074 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/108504 ru Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України Физическая инженерия поверхности Тематические направления Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Тематические направления |
| spellingShingle |
Тематические направления |
| title_short |
Тематические направления |
| title_full |
Тематические направления |
| title_fullStr |
Тематические направления |
| title_full_unstemmed |
Тематические направления |
| title_sort |
тематические направления |
| publishDate |
2014 |
| language |
Russian |
| container_title |
Физическая инженерия поверхности |
| publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| format |
Article |
| issn |
1999-8074 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/108504 |
| fulltext |
Тематичні напрямки:
• фізика поверхні — модифікації, покриття, плівки, приповерхні і перехідні шари різних
видів, як результат впливу плазми, корпускулярно-фотонних потоків і випромінювання;
• взаємодія різноманітних видів випромінювання з поверхнями металів, напівпровідників,
діелектриків;
• фізика і техніка низькотемпературної плазми;
• фізика і техніка лазерів;
• фізичні властивості плівок і покриттів;
• нанофізика, мікро- і нанотехнології, мікро- і наноелектроніка;
• фізичні та технічні аспекти сучасних технологій обробки поверхні, діагностики і кон-
тролю технологічних процесів.
Тематические направления:
• физика поверхности — модификации, покрытия, пленки, приповерхностные и переход-
ные слои различных видов, как результат воздействия плазмы, корпускулярно-фотон-
ных потоков и излучения;
• взаимодействие разнообразных видов излучения с поверхностями металлов, полупро-
водников, диэлектриков;
• физика и техника низкотемпературной плазмы;
• физика и техника лазеров;
• физические свойства пленок и покрытий;
• нанофизика, микро- и нанотехнологии, микро- и наноэлектроника;
• физические и технические аспекты современных технологий обработки поверхности,
диагностики и контроля технологических процессов.
Topic directions:
• surface physics — modification, coating, film, near-surface and transient layers of different
kinds, as outcome of influencing of plasma, corpuscular-photon flows and radiation;
• interaction of miscellaneous kinds of radiation with surfaces of metals, semiconductors, di e-
lectrics;
• physics and engineering of low-temperature plasma;
• physics and engineering of lasers;
• physical characteristics of films and coatings;
• nanophysics, micro and nanoelectronics, micro and nanotechnologies;
• physical and engineering aspects of modern technologies of surfacing, diagnostic and control
of technological processes.
|
| citation_txt |
Тематические направления // Физическая инженерия поверхности. — 2014. — Т. 12, № 4. — С. 567. — рос. |
| first_indexed |
2025-11-25T20:35:24Z |
| last_indexed |
2025-11-25T20:35:24Z |
| _version_ |
1850523524502913024 |