Calculation of macroparticle flow in filtered vacuum ARC plasma systems
Model of macroparticle behavior inside plasma guiding channels of vacuum arc systems and program for calculation of macroparticle flow in plasma filters (separators) used in vacuum arc film deposition are described. Several magnetic filters have been modeled to compare calculated and experimental da...
Saved in:
| Published in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Date: | 2012 |
| Main Author: | |
| Format: | Article |
| Language: | English |
| Published: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2012
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/108630 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Calculation of macroparticle flow in filtered vacuum ARC plasma systems / D.S. Aksyonov // Вопросы атомной науки и техники. — 2012. — № 2. — С. 108-113. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| _version_ | 1862709074038095872 |
|---|---|
| author | Aksyonov, D.S. |
| author_facet | Aksyonov, D.S. |
| citation_txt | Calculation of macroparticle flow in filtered vacuum ARC plasma systems / D.S. Aksyonov // Вопросы атомной науки и техники. — 2012. — № 2. — С. 108-113. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. |
| collection | DSpace DC |
| container_title | Вопросы атомной науки и техники |
| description | Model of macroparticle behavior inside plasma guiding channels of vacuum arc systems and program for calculation of macroparticle flow in plasma filters (separators) used in vacuum arc film deposition are described. Several magnetic filters have been modeled to compare calculated and experimental data. The capability of the program to optimize filters is demonstrated on example of straight filter. The high compliance degree of calculated and experimental data is shown.
Представлены модель, алгоритм работы и возможности программы для расчёта и оптимизации плазменных фильтров (сепараторов), используемых в вакуумно-дуговом осаждении покрытий. Промоделировано несколько магнитных фильтров для сопоставления расчётных и экспериментальных данных. Продемонстрирована возможность оптимизации одного из фильтров с помощью разработанной программы. Показана высокая степень соответствия расчётных данных экспериментальным.
Наведено модель, алгоритм роботи та можливості програми для розрахунку та оптимізації плазмових фільтрів (сепараторів), які використовуються у вакуумно-дуговому осадженні покриттів. Промодельовані декілька магнітних фільтрів для порівняння розрахункових та експериментальних даних. Продемонстрована можливість оптимізації одного з фільтрів за допомогою розробленої програми. Показано високий ступінь відповідності розрахункових даних експериментальним.
|
| first_indexed | 2025-12-07T17:15:51Z |
| format | Article |
| fulltext | |
| id | nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-108630 |
| institution | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| issn | 1562-6016 |
| language | English |
| last_indexed | 2025-12-07T17:15:51Z |
| publishDate | 2012 |
| publisher | Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України |
| record_format | dspace |
| spelling | Aksyonov, D.S. 2016-11-12T13:28:18Z 2016-11-12T13:28:18Z 2012 Calculation of macroparticle flow in filtered vacuum ARC plasma systems / D.S. Aksyonov // Вопросы атомной науки и техники. — 2012. — № 2. — С. 108-113. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. 1562-6016 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/108630 621.793 Model of macroparticle behavior inside plasma guiding channels of vacuum arc systems and program for calculation of macroparticle flow in plasma filters (separators) used in vacuum arc film deposition are described. Several magnetic filters have been modeled to compare calculated and experimental data. The capability of the program to optimize filters is demonstrated on example of straight filter. The high compliance degree of calculated and experimental data is shown. Представлены модель, алгоритм работы и возможности программы для расчёта и оптимизации плазменных фильтров (сепараторов), используемых в вакуумно-дуговом осаждении покрытий. Промоделировано несколько магнитных фильтров для сопоставления расчётных и экспериментальных данных. Продемонстрирована возможность оптимизации одного из фильтров с помощью разработанной программы. Показана высокая степень соответствия расчётных данных экспериментальным. Наведено модель, алгоритм роботи та можливості програми для розрахунку та оптимізації плазмових фільтрів (сепараторів), які використовуються у вакуумно-дуговому осадженні покриттів. Промодельовані декілька магнітних фільтрів для порівняння розрахункових та експериментальних даних. Продемонстрована можливість оптимізації одного з фільтрів за допомогою розробленої програми. Показано високий ступінь відповідності розрахункових даних експериментальним. en Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України Вопросы атомной науки и техники Физика радиационных и ионно-плазменных технологий Calculation of macroparticle flow in filtered vacuum ARC plasma systems Расчёт потока макрочастиц в системах фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы Розрахунок потоку макрочастинок у системах фільтрованої вакуумно-дугової плазми Article published earlier |
| spellingShingle | Calculation of macroparticle flow in filtered vacuum ARC plasma systems Aksyonov, D.S. Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| title | Calculation of macroparticle flow in filtered vacuum ARC plasma systems |
| title_alt | Расчёт потока макрочастиц в системах фильтрованной вакуумно-дуговой плазмы Розрахунок потоку макрочастинок у системах фільтрованої вакуумно-дугової плазми |
| title_full | Calculation of macroparticle flow in filtered vacuum ARC plasma systems |
| title_fullStr | Calculation of macroparticle flow in filtered vacuum ARC plasma systems |
| title_full_unstemmed | Calculation of macroparticle flow in filtered vacuum ARC plasma systems |
| title_short | Calculation of macroparticle flow in filtered vacuum ARC plasma systems |
| title_sort | calculation of macroparticle flow in filtered vacuum arc plasma systems |
| topic | Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| topic_facet | Физика радиационных и ионно-плазменных технологий |
| url | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/108630 |
| work_keys_str_mv | AT aksyonovds calculationofmacroparticleflowinfilteredvacuumarcplasmasystems AT aksyonovds rasčetpotokamakročasticvsistemahfilʹtrovannoivakuumnodugovoiplazmy AT aksyonovds rozrahunokpotokumakročastinokusistemahfílʹtrovanoívakuumnodugovoíplazmi |