Calculation of macroparticle flow in filtered vacuum ARC plasma systems
Model of macroparticle behavior inside plasma guiding channels of vacuum arc systems and program for calculation of macroparticle flow in plasma filters (separators) used in vacuum arc film deposition are described. Several magnetic filters have been modeled to compare calculated and experimental da...
Gespeichert in:
| Veröffentlicht in: | Вопросы атомной науки и техники |
|---|---|
| Datum: | 2012 |
| 1. Verfasser: | |
| Format: | Artikel |
| Sprache: | English |
| Veröffentlicht: |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
2012
|
| Schlagworte: | |
| Online Zugang: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/108630 |
| Tags: |
Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
|
| Назва журналу: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Zitieren: | Calculation of macroparticle flow in filtered vacuum ARC plasma systems / D.S. Aksyonov // Вопросы атомной науки и техники. — 2012. — № 2. — С. 108-113. — Бібліогр.: 4 назв. — англ. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of UkraineSchreiben Sie den ersten Kommentar!