Многослойные периодические композиции ZrC/Mg для длины волны 30,4 нм

Многослойные периодические композиции ZrC/Mg для длины волны 30,4 нм

Методами рентгеновской дифрактометрии исследована структура многослойных периодических композиций (МПК) ZrC/Mg, полученных методом прямоточного магнетронного распыления на кремниевых (001) и (111) и стеклянных подложках, в исходном состоянии и после термического отжига (50–450 °C). Установлено налич...

Повний опис

Збережено в:
Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :Физическая инженерия поверхности
Дата:2015
Автори: Конотопский, Л.Е., Копылец, И.А., Кондратенко, В.В.
Формат: Стаття
Мова:Russian
Опубліковано: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2015
Онлайн доступ:https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/108639
Теги: Додати тег
Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:Многослойные периодические композиции ZrC/Mg для длины волны 30,4 нм / Л.Е. Конотопский, И.А. Копылец, В.В. Кондратенко // Физическая инженерия поверхности. — 2015. — Т. 13, № 1. — С. 24-33. — Бібліогр.: 14 назв. — рос.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
id nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-108639
record_format dspace
spelling Конотопский, Л.Е.
Копылец, И.А.
Кондратенко, В.В.
2016-11-12T15:35:14Z
2016-11-12T15:35:14Z
2015
Многослойные периодические композиции ZrC/Mg для длины волны 30,4 нм / Л.Е. Конотопский, И.А. Копылец, В.В. Кондратенко // Физическая инженерия поверхности. — 2015. — Т. 13, № 1. — С. 24-33. — Бібліогр.: 14 назв. — рос.
1999-8074
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/108639
539.216.2
Методами рентгеновской дифрактометрии исследована структура многослойных периодических композиций (МПК) ZrC/Mg, полученных методом прямоточного магнетронного распыления на кремниевых (001) и (111) и стеклянных подложках, в исходном состоянии и после термического отжига (50–450 °C). Установлено наличие перемешанных зон в МПК ZrC/Mg в исходном состоянии. Показано, что наилучшее совпадение теоретического и экспериментального спектров малоугловой рентгеновской дифракции от МПК ZrC/Mg достигается, если в качестве перемешанной зоны использовать карбид магния Mg₂C₃. Термический отжиг до 350 °С приводит к росту перемешанных зон, за счет диффузии углерода из слоев ZrC. В результате термического отжига до 400 °С происходит кристаллизация Mg₂C₃, вследствие чего происходит разрушение периодичности слоев в МПК ZrC/Mg.
Методами рентгенівської дифрактометрії досліджено структуру багатошарових періодичних композицій (БПК) ZrC/Mg, отриманих методом магнетронного розпилення на постійному струмі на кремнієвих (001) та (111) і скляних підкладках, у вихідному стані та після термічного відпалу (50–450 °С). Встановлено наявність змішаних зон в БПК ZrC / Mg в початковому стані. Показано, що найкраща збіжність теоретичного та експериментального спектрів малокутової рентгенівської дифракції від БПК ZrC/Mg досягається, якщо в якості змішаної зони використовувати карбід магнію Mg₂C₃. Термічний відпал до 350 ° С призводить до зростання змішаних зон, за рахунок дифузії вуглецю з шарів ZrC. В результаті термічного відпалу до 400 ° С відбувається кристалізація Mg₂C₃, внаслідок чого відбувається руйнування періодичності шарів в БПК ZrC/Mg.
X-ray diffraction methods were used for investigation of structure of ZrC/Mg multilayers deposited by DC magnetron sputtering on Si (001), Si (111) and on glass substrates in initial state and after annealing (50–450 °C). The presence of mixed zones in ZrC/Mg multilayers in initial state was found. It is shown that theoretical and experimental small-angle X-ray diffraction spectra of ZrC/Mg multilayers can be fitted well if magnesium carbide Mg₂C₃ is used as mixed zone. Thermal annealing up to 350 ° C leads to increase of mixed zones due to carbon diffusion from ZrC layers. As a result of thermal annealing up to 400 ° C crystallization of Mg₂C₃ is observed. Owing to this process the destruction of the periodicity of the layers in the MPC ZrC/Mg occurs.
ru
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
Физическая инженерия поверхности
Многослойные периодические композиции ZrC/Mg для длины волны 30,4 нм
Багатошарові періодичні композиції ZrC/Mg для довжини хвилі 30,4 нм
ZrC/Mg multilayers for radiation at 30.4 nm
Article
published earlier
institution Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection DSpace DC
title Многослойные периодические композиции ZrC/Mg для длины волны 30,4 нм
spellingShingle Многослойные периодические композиции ZrC/Mg для длины волны 30,4 нм
Конотопский, Л.Е.
Копылец, И.А.
Кондратенко, В.В.
title_short Многослойные периодические композиции ZrC/Mg для длины волны 30,4 нм
title_full Многослойные периодические композиции ZrC/Mg для длины волны 30,4 нм
title_fullStr Многослойные периодические композиции ZrC/Mg для длины волны 30,4 нм
title_full_unstemmed Многослойные периодические композиции ZrC/Mg для длины волны 30,4 нм
title_sort многослойные периодические композиции zrc/mg для длины волны 30,4 нм
author Конотопский, Л.Е.
Копылец, И.А.
Кондратенко, В.В.
author_facet Конотопский, Л.Е.
Копылец, И.А.
Кондратенко, В.В.
publishDate 2015
language Russian
container_title Физическая инженерия поверхности
publisher Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
format Article
title_alt Багатошарові періодичні композиції ZrC/Mg для довжини хвилі 30,4 нм
ZrC/Mg multilayers for radiation at 30.4 nm
description Методами рентгеновской дифрактометрии исследована структура многослойных периодических композиций (МПК) ZrC/Mg, полученных методом прямоточного магнетронного распыления на кремниевых (001) и (111) и стеклянных подложках, в исходном состоянии и после термического отжига (50–450 °C). Установлено наличие перемешанных зон в МПК ZrC/Mg в исходном состоянии. Показано, что наилучшее совпадение теоретического и экспериментального спектров малоугловой рентгеновской дифракции от МПК ZrC/Mg достигается, если в качестве перемешанной зоны использовать карбид магния Mg₂C₃. Термический отжиг до 350 °С приводит к росту перемешанных зон, за счет диффузии углерода из слоев ZrC. В результате термического отжига до 400 °С происходит кристаллизация Mg₂C₃, вследствие чего происходит разрушение периодичности слоев в МПК ZrC/Mg. Методами рентгенівської дифрактометрії досліджено структуру багатошарових періодичних композицій (БПК) ZrC/Mg, отриманих методом магнетронного розпилення на постійному струмі на кремнієвих (001) та (111) і скляних підкладках, у вихідному стані та після термічного відпалу (50–450 °С). Встановлено наявність змішаних зон в БПК ZrC / Mg в початковому стані. Показано, що найкраща збіжність теоретичного та експериментального спектрів малокутової рентгенівської дифракції від БПК ZrC/Mg досягається, якщо в якості змішаної зони використовувати карбід магнію Mg₂C₃. Термічний відпал до 350 ° С призводить до зростання змішаних зон, за рахунок дифузії вуглецю з шарів ZrC. В результаті термічного відпалу до 400 ° С відбувається кристалізація Mg₂C₃, внаслідок чого відбувається руйнування періодичності шарів в БПК ZrC/Mg. X-ray diffraction methods were used for investigation of structure of ZrC/Mg multilayers deposited by DC magnetron sputtering on Si (001), Si (111) and on glass substrates in initial state and after annealing (50–450 °C). The presence of mixed zones in ZrC/Mg multilayers in initial state was found. It is shown that theoretical and experimental small-angle X-ray diffraction spectra of ZrC/Mg multilayers can be fitted well if magnesium carbide Mg₂C₃ is used as mixed zone. Thermal annealing up to 350 ° C leads to increase of mixed zones due to carbon diffusion from ZrC layers. As a result of thermal annealing up to 400 ° C crystallization of Mg₂C₃ is observed. Owing to this process the destruction of the periodicity of the layers in the MPC ZrC/Mg occurs.
issn 1999-8074
url https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/108639
citation_txt Многослойные периодические композиции ZrC/Mg для длины волны 30,4 нм / Л.Е. Конотопский, И.А. Копылец, В.В. Кондратенко // Физическая инженерия поверхности. — 2015. — Т. 13, № 1. — С. 24-33. — Бібліогр.: 14 назв. — рос.
work_keys_str_mv AT konotopskiile mnogosloinyeperiodičeskiekompoziciizrcmgdlâdlinyvolny304nm
AT kopylecia mnogosloinyeperiodičeskiekompoziciizrcmgdlâdlinyvolny304nm
AT kondratenkovv mnogosloinyeperiodičeskiekompoziciizrcmgdlâdlinyvolny304nm
AT konotopskiile bagatošarovíperíodičníkompozicíízrcmgdlâdovžinihvilí304nm
AT kopylecia bagatošarovíperíodičníkompozicíízrcmgdlâdovžinihvilí304nm
AT kondratenkovv bagatošarovíperíodičníkompozicíízrcmgdlâdovžinihvilí304nm
AT konotopskiile zrcmgmultilayersforradiationat304nm
AT kopylecia zrcmgmultilayersforradiationat304nm
AT kondratenkovv zrcmgmultilayersforradiationat304nm
first_indexed 2025-11-25T20:35:24Z
last_indexed 2025-11-25T20:35:24Z
_version_ 1850523535602089984
fulltext МНОГОСЛОЙНЫЕ ПЕРИОДИЧЕСКИЕ КОМПОЗИЦИИ ZrC/Mg ДЛЯ ДЛИНЫ ВОЛНЫ 30,4 нм ФІП ФИП PSE, 2015, т. 13, № 1, vol. 13, No. 124 © Конотопский Л. Е., Копылец И. А., Кондратенко В. В., 2015 24 УДК 539.216.2 МНОГОСЛОЙНЫЕ ПЕРИОДИЧЕСКИЕ КОМПОЗИЦИИ ZrC/Mg ДЛЯ ДЛИНЫ ВОЛНЫ 30,4 нм Л. Е. Конотопский, И. А. Копылец, В. В. Кондратенко Национальный технический университет «Харьковский политехнический институт», г. Харков, Украина Поступила в редакцию 20.01.2015 Методами рентгеновской дифрактометрии исследована структура многослойных периодиче- ских композиций (МПК) ZrC/Mg, полученных методом прямоточного магнетронного распы- ления на кремниевых (001) и (111) и стеклянных подложках, в исходном состоянии и после термического отжига (50–450 °C). Установлено наличие перемешанных зон в МПК ZrC/Mg в исходном состоянии. Показано, что наилучшее совпадение теоретического и эксперимен- тального спектров малоугловой рентгеновской дифракции от МПК ZrC/Mg достигается, если в качестве перемешанной зоны использовать карбид магния Mg2C3. Термический отжиг до 350 °С приводит к росту перемешанных зон, за счет диффузии углерода из слоев ZrC. В ре- зультате термического отжига до 400 °С происходит кристаллизация Mg2C3, вследствие чего происходит разрушение периодичности слоев в МПК ZrC/Mg. Ключевые слова: рентгеновская дифрактометрия, многослойная периодическая композиция, магнетронное распыление, магний, карбид циркония. БАГАТОШАРОВІ ПЕРІОДИЧНІ КОМПОЗИЦІЇ ZrC/Mg ДЛЯ ДОВЖИНИ ХВИЛІ 30,4 нм Л. Є. Конотопський, І. А. Копилець, В. В. Кондратенко Методами рентгенівської дифрактометрії досліджено структуру багатошарових періодичних композицій (БПК) ZrC/Mg, отриманих методом магнетронного розпилення на постійному стру­ мі на кремнієвих (001) та (111) і скляних підкладках, у вихідному стані та після термічного від палу (50–450 °С). Встановлено наявність змішаних зон в БПК ZrC / Mg в початковому стані. Показано, що найкраща збіжність теоретичного та експериментального спектрів малокутової рентгенівської дифракції від БПК ZrC/Mg досягається, якщо в якості змішаної зони використо- вувати карбід магнію Mg2C3. Термічний відпал до 350 ° С призводить до зростання змішаних зон, за рахунок дифузії вуглецю з шарів ZrC. В результаті термічного відпалу до 400 ° С відбувається кристалізація Mg2C3, внаслідок чого відбувається руйнування періодичності шарів в БПК ZrC/ Mg. Ключові слова: рентгенівська дифрактометрія, багатошарова періодична композиція, магне- тронне розпилення, магній, карбід цирконію. ZrC/Mg MULTILAYERS FOR RADIATION AT 30.4 nm L. E. Konotopskyi, I. A. Kopylets, V. V. Kondratenko X­ray diffraction methods were used for investigation of structure of ZrC/Mg multilayers deposited by DC magnetron sputtering on Si (001), Si (111) and on glass substrates in initial state and after an nealing (50–450 °C). The presence of mixed zones in ZrC/Mg multilayers in initial state was fo­ und. It is shown that theoretical and experimental small­angle X­ray diffraction spectra of ZrC/Mg mul tilayers can be fitted well if magnesium carbide Mg2C3 is used as mixed zone. Thermal annealing up to 350 ° C leads to increase of mixed zones due to carbon diffusion from ZrC layers. As a result of ther mal annealing up to 400 ° C crystallization of Mg2C3 is observed. Owing to this process the destruction of the periodicity of the layers in the MPC ZrC/Mg occurs. Keywords: X­ray diffraction, multilayer, DC magnetron sputtering, magnesium, zirconium carbide. ВВЕДЕНИЕ Участок солнечного спектра 17–35 нм явля­ ется наиболее информативным для диагно- стики корональной плазмы, так как в него попадают ее основные спектральные линии: λFe­IX = 17,1 нм, λFe­XII = 19,5 нм, λFe­ XIV = 21,1 нм, λFe­XV = 28,4 нм, λHe­II = 30,4 нм, λFe­XVI = 33,5 нм. Решение задачи Л. Е. КОНОТОПСКИЙ, И. А. КОПЫЛЕЦ, В. В. КОНДРАТЕНКО ФІП ФИП PSE, 2015, т. 13, № 1, vol. 13, No. 1 25 получения рентгеновских спектральных изо­ бражений солнечного диска и короны в из- лучении ионов железа и гелия, соответству- ющих монотемпературным слоям плаз мы солнечной атмосферы в ши ро ком температур- ном интервале с высоким прос тран ственным, спектральным и вре мен ным разрешением является основой для наблюдения и иссле- дования Солнца. В этой связи рентгеновские зеркала нормального па дения представляют особый интерес для ас трофизики [1, 2]. К настоящему времени высокоотражаю­ щие рентгеновские зеркала Mo/Si были успе­ ш но применены в астрофизике для со з да ния те лескопов, гелиоспектрометров и ко роног­ рафов с целью наблюдения и исследования Солнца [3, 4]. Тем не менее, ко эф фициент от- ражения данной системы при λ = 30,4 нм не превышает 20 %. Возникает необходимость соз дания рентгеновских зеркал на основе но вых пар материалов, которые способны обес печить более высокое значение коэффи­ циента отражения в диапазоне длин волн 25–35 нм. Одним из лучших материалов по опти- ческим свойствам на длинах волн больших 25,2 нм является Mg. Многослойные перио- дические композиции (МПК) на основе Mg могут служить альтернативой многослой- ным периодическим композициям (МПК) Mo/Si. Однако Mg активно взаимодействует со многими элементами, что приводит к об- разованию перемешанных зон на межслое- вых границах многослойной композиции и, как следствие, ведет к снижению коэффи- циента отражения. Невысокая температура плавления магния (650 °С) может быть так- же причиной низкой термической стабиль- ности рентгеновских зеркал на его основе. Рис. 1 показывает рассчитанные значе ния коэффициента отражения в мягком рент­ геновском излучении для различных пар ма­ териалов на основе Mg, предполагая иде а­ ль ную гладкость границ раздела сло ев. При этом толщины слоев в МПК выбирались такими, чтобы коэффициент от ра жения был максимальным для длины волны 30,4 нм при нор мальном угле падения. Наибольшей отражательной способно- стью обладают рентгеновские зеркала на основе пар материалов Si­Mg и B4C­Mg (рис. 1). Однако экспериментально измерен­ ное значение коэффициента отражения для данных МПК составляет 5,6 % и 0,2 % со- ответственно [5].Такое низкое значение ко- эффициента отражения авторы работы [5] объясняют несовершенством межслоевых границ связанным с перемешиванием слоев МПК в процессе изготовления. Использова- ние Co в качестве барьерного слоя в МПК B4C/Mg, позволяет значительно улучшить оптические характеристики данного много- слойного покрытия [6]. Тем не менее, систе- ма SiC/Mg значительно эфективнее системы Co/B4C/Co/Mg. Теоретический коэффици- ент отражения МПК SiC/Mg незначительно меньше, чем у Si­Mg и B4C­Mg, и составляет ~58 % (рис. 1). При этом на практике коэф- фициент отражения МПК SiC/Mg достигает 44,6 % на длине волны 30,3 нм [5]. Отличие экспериментального и теоретического зна- чения коэффициента отражения в МПК SiC/ Mg связано с развитием шероховатости на межслоевых границах,среднеквадратичное значение которой составляет 1,8 нм для границы SiC на Mg и 1,9 для — Mg на SiC [7]. Необходимо отметить, что оптические характеристики данных рентгеновских зер- кал стабильны лишь до 350 °С. Это связано с тем, что Mg вступает в химическую реак- цию с Si с образованием силицида магния Mg2Si [7, 8]. Так как эксплуатация рентге- новских зеркал в условиях открытого кос- моса предъявляет высокие требования к их термической и временной стабильности, практическое использование рентгеновских зеркал SiC/Mg в астрофизике ограничено. 0,7 0,5 0,4 0,3 0,2 0,1 0,0 240 260 280 300 320 340 360 λ, А R 0,6 ZrC-Mg B4C-Mg SIC-Mg Si-Mg Co-Mg Рис. 1. Теоретически рассчитанные коэффициенты от ражения различных многослойных рентгеновских зер кал на основе магния для длины волны 30,4 нм МНОГОСЛОЙНЫЕ ПЕРИОДИЧЕСКИЕ КОМПОЗИЦИИ ZrC/Mg ДЛЯ ДЛИНЫ ВОЛНЫ 30,4 нм ФІП ФИП PSE, 2015, т. 13, № 1, vol. 13, No. 126 Еще более низкий уровень термической стабильности демонстрирует система Co/ Mg. При температурах выше 200 °С, в ре- зультате межслоевого взаимодействия, про- исходит значительное падение коэффициен- та отражения [9, 10]. Таким образом, описанные выше рентге- новские зеркала не удовлетворяют требова- ниям, которые предъявляет рентгеновская ас трофизика к МПК, а именно: временная и тер мическая стабильность оптических ха­ рак теристик рентгеновских зеркал, высокое значение коэффициента отражения. Поэто- му в данный момент идет поиск новых пар материалов. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ ЧАСТЬ Образцы ZrC/Mg с периодом d = 15,4 нм (ZrC = 2,2 нм, Mg = 13,2 нм) и колличеством периодов N = 30 на стеклянных и монокри- сталлических кремниевых (001) и (111) под- ложках были изготовлены методом прямо- точного магнетронного распыления в среде аргона. Период и соотношение толщин сло- ев в образцах были выбраны таким образом, чтобы коэффициент отражения был макси­ мальным для длины волны 30,4 нм при нор- мальном угле падения. В качестве верхне- го, защитного, слоя для предотвращения окис ления магния напылялся слой карбида циркония толщиной 2,2 нм. Толщина слоев контролировалась путем задания скорости транспортировки подложки над мишенями и определялась временем ее экспозиции над соответствующей мишенью при стабилиза- ции скоростей осаждения из мишеней ZrC и Mg. Структура МПК ZrC/Mg исследовалась с помощью рентгеновской дифрактометрии и последующего компьютерного моделиро- вания. Рентгенографические исследования проводились на рентгеновском дифракто- метре ДРОН­3М в излучении Cu­Kα1 (λ = 1,5405 Å). При съемке малоугловых рент- геновских дифрактограмм использовался метод съемки (θ–2θ)­сканирования с фо­ ку сировкой по Брэггу­Брентано. Съемка диф рак тограмм для рентгеновского фазо- вого ана лиза осуществлялась в скользящей геометрии при угле скольжения 2,5°. В этом случае проводится съемка отражений с раз- ными (hkl)i при неподвижном положении по- ликристаллического образца. Также съемки дифрактограмм для рентгеновского фазового анализа осуществлялись в (θ–2θ)­геометрии. Моделирование спектров малоугловой рент- геновской дифракции выполнялось в про- грамме X­Ray Calc на основе формул Френе- ля с учетом межслоевой шеро ховатости. Отжиг МПК ZrC/Mg проводился в ва- куумной камере при давлении Р = 10–4 Па, в ди апазоне температур 50–450 °С с шагом 50 °С. Образец при каждой температуре от- жигался в течении 1 ч. РЕЗУЛЬТАТЫ И ИХ ОБСУЖДЕНИЕ В данной работе предложено новое рентге­ новское зеркало на основе пары материа- лов ZrС­Mg. МПК ZrС/Mg способны обес­ печить коэффициент отражения ~44 % на длине волны 30,4 нм при нормальном угле падения (рис. 1). Несмотря на меньшее зна- чение теоретической отражательной способ- ности, чем у МПК SiC/Mg, ожидается, что рентгеновские зеркала ZrC/Mg будут иметь более высокую термическую и временную стабильность, так как магний не образует химических соединений с цирконием. Для исследования МПК ZrC/Mg в исход- ном состоянии была изготовлена серия об- разцов на стеклянной и кремниевых Si (001) и Si (111) подложках. На рис. 2 представлена экспериментальная малоугловая рентгенов- ская дифракция от МПК ZrC/Mg на стеклян- ной подложке. Правильная форма пиков на малоугловой рентгеновской дифракции сви- детельствует о высоком уровне периодич- ности. Так же следует отметить, что осцил- ляции наблюдаются до 7,5°, в то время как в ПК SiC/Mg, Co/Mg они сохраняются лишь до 6°. Это свидетельствует о том, что много- слойное покрытие ZrC/Mg имеет более низ- кий уровень шероховатости. Действительно, согласно результатам моделирования рент- геновских спектров среднеквадратичная ше- роховатость находится на уровне 1 нм. При моделировании спектра малоугло- вой рентгеновской дифракции двухслойной моделью ZrC­Mg не удалось достичь совпа- дения теоретической кривой зеркального Л. Е. КОНОТОПСКИЙ, И. А. КОПЫЛЕЦ, В. В. КОНДРАТЕНКО ФІП ФИП PSE, 2015, т. 13, № 1, vol. 13, No. 1 27 Для подтверждения факта формирования перемешанных зон в системе ZrC/Mg, были выполнены следующие эксперименты. Было изготовлено два образца, состоящих из двух пакетов. Каждый пакет представляет собой двадцатипериодную многослойную пленоч- ную композицию. В первом образце тол­ щи на слоев магния в первом пакете была выб рана большей, чем во втором пакете, а тол щина слоя карбида циркония была оди- накова в первом и втором пакете (рис. 3а). Во втором образце фиксировалась толщина слоев магния в каждом пакете, а толщина сло ев карбида циркония была разной в каж- дом из пакетов второго образца. Данные малоугловой рентгеновской диф- ракции (рис. 3б) позволяют рассчитать пе- риоды первого и второго пакета. Разница отражения с экспериментальной (рис. 2в). Наилучшие результаты были получены при моделировании кривой зеркального отраже- ния МПК ZrC/Mg четырехслойной моделью (рис. 2а), в предположении, что образуют- ся перемешанные зоны на границах ZrC на Mg и Mg на ZrC. Наилучшее совпадение теоретической кривой зеркального отраже- ния с экспериментальной достигается при выборе Mg2C3 в качестве состава переме- шанных зон на границах МПК ZrC/Mg. В табл. 1 представлены значения параметров, полученных из моделирования. По резуль- татам мо делирования перемешанные зоны ас симет ричны: толщина и уровень средне- квадратичной шероховатости перемешан- ной зоны сформированной на границе Mg на ZrC меньше, чем у зон, сформированных на границе ZrC на Mg. 1 0,1 0,01 1Е-3 1Е-4 1Е-5 1Е-6 1Е-7 0 2 4 6 2Θ 8 Эксперимент Четырехслойная модель R а а б Рис. 2. Моделирование экспериментального спектра малоугловой рентгеновской дифракции МПК ZrC/Mg а — четырехслойной и б — двухслойной моделью б Рис. 3а — схематическое изображение двухпакетного образца с фиксированной толщиной карбида цирко- ния и б — малоугловая рентгеновская дифракция от двухпакетного образца с фиксированной толщиной циркония; 1 — пики соответствующие пакету с боль- шей и 2 — меньшей толщиной магния 1 0,1 0,01 1Е-3 1Е-4 1Е-5 1Е-6 1Е-7 1Е-8 0 2 4 6 2Θ 8 Эксперимент Двухслойная модель R Mg Mg SiO2 ZrC ZrC Mg ZrC Mg R 0 2 4 62Θ, ° 1 1 1 1 1 1, 2 1 2 2 2 2 2 1 0,1 0,01 1Е-3 1Е-4 1Е-5 1Е-6 1Е-7 МНОГОСЛОЙНЫЕ ПЕРИОДИЧЕСКИЕ КОМПОЗИЦИИ ZrC/Mg ДЛЯ ДЛИНЫ ВОЛНЫ 30,4 нм ФІП ФИП PSE, 2015, т. 13, № 1, vol. 13, No. 128 значений периодов первого и второго паке- та соответствует разнице толщин слоев Mg в первом образце и ZrC во втором образце. Разница во временах осаждения слоев, кото- рая задается в эксперименте, а также разни- ца толщин Mg и ZrC позволяют определить их скорости осаждения. Таким образом, дан- ная методика позволяет определить скоро- сти осаждения материалов, а также разницу между экспериментальным (определенным из малоугловой рентгеновской дифракции) и теоретическим (рассчитанным из времени и скорости осаждения Mg и ZrC) значения ми периодов МПК в ходе одного эксперимента. Экспериментально определенное значе- ние периода МПК меньше, чем теоретичес­ кое, на 0,9 нм. Это значит, что в процессе из готовления пленок происходит межслое­ вое взаимодействие, которое приводит к умень шению периода, что позволяет гово- рить о том, что в МПК ZrC/Mg образуются перемешанные зоны. Нами было установле­ но, что образование перемешанных зон со- провождается уменьшением толщины слоя магния, в то время как толщина слоя кар- бида циркония остается неизменной. Из- вестно, что состав монокарбидов металлов IV группы может значительно отклоняться от стехиометрического [11]. Таким образом, возможно образование перемешанных зон за счет взаимодействия магния с углеродом, уходящим из слоев ZrC. При этом толщина слоев ZrC заметно не изменится. На основе данных полученных в резуль- тате моделирования спектра малоугловой рентгеновской дифракции был произведен теоретический расчет коэффициента отра- жения рентгеновского зеркала ZrC/Mg2C3/ Таблица 1 Данные, полученные в результате моделирования кривой зеркального отражения МПК ZrC/Mg Число слоев Слой Плотность, г/см3 Толщина слоя, нм Период, нм Среднеквадратичная шероховатость, нм 1 ZrC 6,2 1,9 16,2 1,125 30 Mg2C3 2,2 1,5 1,075 Mg 1,9 12,3 0,8 Mg2C3 2,2 0,75 0,325 ZrC 6,15 1,65 1,135 Mg/Mg2C3 на длине волны 30,4 нм, значение которого составило 31,6 % при нормальном угле падения. При этом следует отметить, что расчет коэффициента отражения для рент геновского зеркала ZrC/Mg без пере- мешанных зон Mg2C3 с таким же уровнем сред неквадратичной шероховатости, как и в ZrC/Mg2C3/Mg/Mg2C3 составил 32 %. То есть, следует ожидать, что коэффициент от­ ражения рентгеновского зеркала ZrC/Mg с ре альной структурой слоев будет на 9 % ни­ же, чем у SiC/Mg и Co/Mg. На рис. 4 представлены результаты рент- геновского фазового анализа пленочных ком­ позиций ZrC/Mg с периодом 15,4 нм. На кар- тине рентгеновской дифракции снятой для образцов на кремниевых и стеклянных под- ложках в геометрии Θ–2Θ сканирования при- сутствует отражение от плоскостей Mg (002) на 34,18° (рис. 4а). Пик от Mg (002) имеет ассиметричную форму. Это может быть свя- зано с тем, что на 33° должно на ходиться от- ражение от плоскостей ZrC (111). Действи- тельно, учитывая, что толщина слоев карбида циркония в 6 раз меньше тол щины слоев маг- ния (hZrC = 2,2 нм, hMg = 13,2 нм), и отража- ющий объем зерен в слоях ZrC значительно меньше, чем в слоях Мg. Можно ожидать, что интенсивность от ражения от плоскостей ZrC (111) будет низкой, а пик — широким. Также следует отметить, что на рентгенограмме, по- лученной в Θ–2Θ сканировании, отсутству- ют отражения от других плоскостей Mg, что свидетельствует о том, что магниевая пленка имеет текстуру с осью Mg [001] нормальной к поверхности. На картине рентгеновской диф ракции снятой для образцов на крем- ниевых и стеклянных подложках методом Л. Е. КОНОТОПСКИЙ, И. А. КОПЫЛЕЦ, В. В. КОНДРАТЕНКО ФІП ФИП PSE, 2015, т. 13, № 1, vol. 13, No. 1 29 скользящих рентгеновских лучей (рис. 4б) присутствуют отражения от плоскостей Mg (002) и Mg(103), а также отражения от плос костей ZrC (220) и ZrC (311). Наличие от ражения Mg (002) свидетельствует о том, что в слоях магния присутствует фракция зе рен ориентированных нетекстурированно. Межплоскостные расстояния Mg (002) рас считанные из данных дифрактограмм по­ лученных методом скользящих рентгенов- ских лучей и Θ–2Θ сканирования соста вили 2,59 Å и 2,62 Å соответственно. Межпло- скостные расстояния Mg (103) составили 1,46 Å. Полученные значения межплоскост- ных расстояний отличаются от табличных (dMg(002)= 0,2605 нм, dMg(103) = 0,147 нм). Од- ной из возможных причин расхождения мо- гут быть напряжения в слоях магния. Об их наличии в пленках Mg, полученных магне- тронным распылением упоминается и в ра- боте [12]. О напряженном состоянии МПК SiC/Mg сообщается также в работе [13]. Однако окончательное объяснение расхож- дения табличных и экспериментальных зна- чений межплоскостных расстояний требует дополнительных исследований. Для исследования термической стабиль- ности покрытия ZrC/Mg были проведены от- жиги МПК ZrC/Mg на стеклянной подложке в температурном интервале 50–450 °С с ша- гом 50 °С. После каждого отжига снималась малоугловая рентгеновская дифракция. Как свидетельствуют малоугловые рентгенов- ские дифрактограммы, МПК ZrC/Mg ста- бильны до T = 350 °C (рис. 5). По малоугловым рентгеновским дифрак- тограммам от МПК ZrC/Mg были рассчи- таны значения периодов многослойных по- крытий и построена зависимость величины периода от температуры отжига (рис. 6). Пе­ риод покрытия ZrC/Mg изменяется немоно- тонно. При нагреве МПК ZrC/Mg до 50 °С период многослойной композиции незначи- тельно увеличивается на 0,08 нм. Этот про- цесс может быть связан с релаксацией струк- турных напряжений в слоях многослойной композиции [14]. Дальнейший отжиг по- крытия ZrC/Mg до 350 °С приводит к умень- шению периода на 0,3 нм. Это может быть связано с ростом перемешанных зон за счет дальнейшего взаимодействия слоев магния I, им п. /с 30 32 34 36 38 2Θ, ° 40 ZrC (200)Mg (101)Mg (002)ZrC (111) 100 а б Рис. 4. Дифрактограмма в излучении Cukα1 для трид- цатипериодной пленочной композиции ZrC/Mg (hZrC = 2,2 нм, hMg = 13,2 нм), на стеклянной под- ложке, а — Θ–2Θ сканирование; б — метод скользя­ щих рентгеновских лучей I, им п. /с 30 32 34 36 38 2Θ, ° ZrC (311)Mg (103)Mg (002) ZrC (220) 50 52 54 56 58 60 62 64 66 68 70 100 R , о тн . е д. 0 2 4 6 2Θ, ° 0, °С 350, °С 400, °С Рис. 5. Малоугловые рентгеновские дифрактограммы в излучении Cukα1 от МПК ZrC/Mg в исходном состо- янии и после отжига МНОГОСЛОЙНЫЕ ПЕРИОДИЧЕСКИЕ КОМПОЗИЦИИ ZrC/Mg ДЛЯ ДЛИНЫ ВОЛНЫ 30,4 нм ФІП ФИП PSE, 2015, т. 13, № 1, vol. 13, No. 130 и карбида циркония. Последующий отжиг при температурах 400–450 °С приводит к ис- чезновению периодичности слоев по крытия ZrC/Mg, за счет кристаллизации кар бида маг- ния Mg2C3, что подтверждается результатами рентгеновского фазового анали за. На рис. 7 представлены результаты рент- геновского фазового анализа МПК ZrC/Mg, полученные от образцов, отожженных при разных температурах. Как уже было от- мечено, на рентгеновской дифрактограм- ме снятой в геометрии Θ–2Θ сканирования присутствуют только отражения Mg (002). При отжиге до 350 °С интенсивность от- ражения Mg (002) уменьшилась в три раза, а при от жиге до 450 °С рефлекс линии Mg (002) практически исчезает (рис. 7б). На рентгеновской дифрактограмме снятой ме- тодом скользящих рентгеновских лучей присутствуют отражения от плоскостей Mg и ZrC (рис. 7б). При отжиге покрытий до T = 350 °C интенсивность пиков по сравнению с исходным состоянием не изменяется. От- жиг до 400 °С приводит к росту интенсивно- сти отражения Mg (002). Это связано с тем, что в слоях магния исчезает текстура, что также подтверждают данные рентгеновских дифрактограмм снятых в геометрии Θ–2Θ сканирования. Также при отжиге до 400 °С начинает кристаллизоваться перемешанная зона Mg2C3 о чем свидетельствует появле- ние отражений Mg2C3 (005) и Mg2C3 (301) (рис. 7б). Кристаллизация карбида магния в процессе отжига находится в согласии с нашим предположением о формировании перемешанных зон в МПК ZrC/Mg в процес- се их изготовления. Следует отметить, что именно с кристаллизацией карбида магния периодичность слоев в МПК ZrC/Mg про- падает. Мы считаем, что в результате кри- сталлизации перемешанных зон Mg2C3 про- исходит разрушение тонких слоев карбида циркония и исчезновение периодичности. Отжиг до 450 °С приводит к дальнейшей кристаллизации перемешанных зон, что сопровождается ростом отражений Mg2C3 (005) и Mg2C3 (301) (рис. 7б). В результате отжига до 400 °С межпло- скостные расстояния ZrC (311), ZrC (331), ZrC (420), ZrC (511) уменьшились на 0,004 нм, 0,002 нм, 0,001 нм, 0,00027 нм соот- ветственно и составили 0,144 нм, 0,108 нм, 0,105 нм, 0,089611. На рис. 8 представлена зависимость изменения отношения значений периода в исходном состоянии к отожжен- ному для слоя ZrC, которая была рассчитана из углового положения отражения ZrC (511). Мы полагаем, что уменьшение периода в сло ях карбида циркония связано с ростом пе ремешанной зоны Mg2C3. Известно, что d, А 162,6 162,2 161,8 161,9 160,7 159,5 0 50 100 150 200 250 300 350 Т, °С Рис. 6. Зависимость периода МПК ZrC/Mg на стек­ лянной подлжке от температуры отжига I, от н. е д. 20 30 40 50 60 70 80 90 100 110 120 0, ºС 250, ºС 350, ºС 400, ºС 450, ºС 2Θ, град. Mg (112) Mg2С3 (005); (301)Mg2С3212 Mg (103) Mg (110) Mg (002) ZrC (511) ZrC (222) ZrC (311) ZrC (220) ZrC (111) ZrC (420) ZrC (331) I, от н. е д. 25 30 35 40 45 0, ºС 250, ºС 300, ºС 350, ºС 400, ºС 450, ºС 2Θ, град. Θ–2ΘMg (002)ZrC (111) а б Рис. 7. Дифрактограмма в излучении Cukα1 для МПК ZrC/Mg в исходном состоянии и после отжига, а — Θ–2Θ сканирование; б — метод скользящих рентге- новских лучей Л. Е. КОНОТОПСКИЙ, И. А. КОПЫЛЕЦ, В. В. КОНДРАТЕНКО ФІП ФИП PSE, 2015, т. 13, № 1, vol. 13, No. 1 31 при отклонении состава карбидов металлов IV группы от стехиометрического происхо- дит уменьшение периода решетки [11]. Та- ким образом, мы считаем, что в результате об разования карбида магния Mg2C3 углерод покидает слои ZrC, в результате чего период в слоях ZrC уменьшаются. Межплоскостные расстояния Mg (103) в ис ходном состоянии отличаются от таб лич­ ного значения ICDD Powder Difraction files на 0,013 Å и составляют 1.46 Å. Мы считаем, что это связано с тем, что слои магния нахо- дятся в напряженном состоянии. При от жиге до 350 °С межплоскостные расстояния Mg (103) не изменяются. Дальнейший отжиг до 400 °С приводит, как мы полагаем, к релак- сации напряжений, о чем свидетельствует увеличение межплоскостных расстояний Mg (103) до табличных. Необходимо отметить, что важной особен ­ ностью МПК ZrC/Mg является необходи- мость их эксплуатации в сухой атмосфере или в вакууме. Это связано с тем, что при кон такте покрытия ZrC/Mg с водой идет хи­ ми ческая реакция, в результате которой вы­ деляется ацетилен. В данной системе вы­ де ление ацетилена в качестве конечного про дукта химической реакции возможно при взаимодействии воды только с карбидом маг- ния, что является подтверждением наличия карбида магния в виде перемешанных зон в МПК ZrC/Mg в исходном состоянии. ЗАКЛЮЧЕНИЕ В данной работе впервые исследована новая пара материалов ZrC­Mg. Установлено наличие перемешанных зон в покрытии ZrC/Mg. По результатам модели- рования, зоны образуются на границах ZrC­ на­Mg и Mg­на­ZrC. Перемешанные зоны ассиметричны. Толщина и уровень средне- квадратичной шероховатости перемешан- ной зоны сформированной на границе Mg на ZrC меньше, чем у зон, сформированных на границе ZrC на Mg. Следует отметить, что образование перемешанных зон сопро- вождается уменьшением толщины слоя маг- ния, в то время как толщина слоя циркония практически не меняется. Теоретически рас- считанное значение коэффициента отраже- ния на длине волны 30,4 нм рентгеновского зеркала ZrC/Mg с перемешанными зонами Mg2C3 и с реальной структурой слоев ZrC и Mg составило 31 %, что на 9 % ниже, чем у рентгеновских зеркал SiC/Mg и Co/Mg. Тем не менее было показано, что в МПК ZrC/Mg уровень шероховатости 1 нм, что ниже чем в SiC/Mg и Co/Mg. Методом рентгеновского фазового ана- лиза установлено, что слои магния имеют текстуру с осью Mg (001) нормальной к по- верхности подложки. Исследование струк- туры 30­периодных пленочных композиций ZrC/Mg в исходном состоянии показало, что пленки, полученные на монокристалличес­ кой кремниевой и аморфной стеклянной подложках, имеют одинаковое кристалличе- ское совершенство. Показано, что в результате отжига до 400 °С период в слоях ZrC уменьшился на 0,01 Å. Мы полагаем, что уменьшение пери- ода в слоях карбида циркония связано с об­ разованием перемешанной зоны Mg2C3, за счет взаимодействия магния с углеродом, который покидает слои карбида циркония. Было показано, что МПК ZrC/Mg терми- чески стабильны лишь до 350 °С. При нагре- ве до 400 °С происходит разрушение МПК ZrC/Mg связанное с ростом и кристаллизаци- ей перемешанных зон Mg2C3. Таким образом, МПК ZrC/Mg термически стабильны до тех же температур, что и МПК SiC/Mg и Co/Mg. ЛИТЕРАТУРА 1. Шестов С. В., Урнов А. М., Кузин С. В., Житник И.А., Богачев С.А. Диагностика 1,0005 1,0000 0,9995 a/ a 0 0, 9990 0, 9985 0, 9980 0, 9975 0 100 200 300 400 Т, °С Рис. 8. Зависимость изменения отношения периода решетки слоев ZrC в исходном состоянии к периоду решетки слев ZrC после отжига МНОГОСЛОЙНЫЕ ПЕРИОДИЧЕСКИЕ КОМПОЗИЦИИ ZrC/Mg ДЛЯ ДЛИНЫ ВОЛНЫ 30,4 нм ФІП ФИП PSE, 2015, т. 13, № 1, vol. 13, No. 132 электронной плотности плазмы структур солнечной короны по линиям ионов FeIX­ FeXIII диапазона 176–207 А в эксперименте СПИРИТ/КОРОНАС­Ф // Письма в Астро- номический журнал. — 2009. — Т. 35, № 1. — С. 50–62. 2. Бейгман И. Л., Боженков С. А., Жит- ник И. А., Кузин С. В., Толстихина И. Ю., Ур нов А. М. Солнечные спектры крайнего ВУФ диапазона, полученные в ходе экспери- мента СПИРИТ на борту ОС КОРОНАС­Ф. Каталог линий в области 280–330 А // Пись- ма в Астрономический журнал. — 2005. — Т. 31, № 1. — C. 39–58. 3. Louis E., Yakshin A. E., Tsarfati T., Bijkerk F. Nanometer interface and materials control for multilayer EUV­optical applications // Progress in Surface Science. — 2011. — Vol. 86. — P. 255–294. 4. Berghmansa D., Hochedeza J. F., Defiseb J. M., Lecatb J. H., Niculaa B., Slemzine V., Law ren­ cea G., Katsyiannisa A. C., Van der Lindena R., Zhukova A., Clettea F., Rochusb P., Mazyb E., Thibertb T., Nicolosic P., Pelizzoc M­G., Schühled. U. SWAP onboard PROBA 2, a new EUV imager for solar monitoring // Advances in Space Research. — 2006. — Vol. 38, No. 8. — P. 1807–1811. 5. Jingtao Zhu, Sika Zhou, Haochuan Li, Qiushi Huang, ZhanshanWang,Karine Le Guen, Min­ Hui Hu, Jean­Michel André, Philippe Jonnard. Comparison of Mg­based multilayers for solar He II radiation at 30: 4nm wavelength // APPLIED OPTICS. — 2010. — Vol. 49, No. 20. — P. 3922–3925. 6. Haochuan Li, Sika Zhou, Qiushi Huang, Moyan Tan. Mg/B4C EUV multilayer by in troducing Co as barrier layer // Seventh International Conference on Thin Film Physics and Applications. — 2011. — Vol. 7995. — P. 79951E­1–79951E­4. 7. Jingtao Zhu, Shumin Zhang, Wenjuan Wu, Zhong Zhang, Fengli Wang, Bei Wang, Cun­ xia Li, Yao Xu, Zhanshan Wang, Lingyan Chen, Hongjun Zhou. Tonglin Huo. SiC/Mg multilayer reflective mirror for He­II radi­ ation at 30.4 nm and its thermal stability // Optoelectron. — 2008. — P. 305–308. 8. Maurya H., Jonnard P., Guen K. Le., Andreґ J.­ M., Wang Z., Zhu J., Dong J., Zhang Z. (3), Bridou F., Delmotte F., Hecquet C., Mahne N., Giglia A., and Nannarone S. Thermal cycles, interface chemistry and optical performance of Mg/SiC multilayers // Eur. Phys. J. B. — 2008. — Vol. 64 — P. 193–199. 9. Guen K. Le, Hu M.­H., Andrґe J.­M., and Jonnard P., Zhou S. K., H. Ch. Li, Zhu J. T., and Wang Z. S., Meny C. Development and Interfacial Characterization of Co/Mg Periodic Mul tilayers for the EUV Range // J. Phys. Chem. C. — 2010. — Vol. 114, No. 14. — P. 6484–6490. 10. Haochuan Li, Sika Zhou, Xiaoqiang Wang, Jingtao Zhu, Zhanshan Wang. Improved thermal stability of Mg/Co multilayer by introducing Zr barrier layer // Proc. of SPIE. — 2012. — Vol. 8501. — P. 85010G­1–85010G­6. 11. Ремпель А. А. Эффекты атомно­вакансион­ ного упорядочения в нестехиометрических карбидах // Успехи физических наук. — 1996. — Т. 166, № 1. — C. 33–62. 12. Ham B., Junkaew A., Arroyave R., Park J., Zhou H.­C., Foley D., Rios S., Wang H., Zhang X. Size and stress dependent hydrogen desorption in metastable Mg hydride films // International journal of hydrogen energy. — 2014. — Vol. 39. — P. 2597–607. 13. Regina Soufli, David L. Windt, Jeff C. Robin­ son, Sherry L. Baker, Eberhard Spiller, Frank­ lin J. Dollar, Andrew L. Aquila, Eric M. Gullikson, Benjawan Kjornrattanawanich, John F. Seely, Leon Golub Development and tes ting of EUV multilayer coatings for the At­ mos pheric Imaging Assembly instrument abo­ ard the Solar Dynamics Observatory // Proc. of SPIE. — 2005. — Vol. 5901. — P. 59010M­1– 59010M­11. 14. Механизм образования и субструктура кон- денсированных пленок / Л. С. Палатник, М. Я. Фукс, В.М. Косевич — Москва: Из- дательство «Наука», 1972. — 320 с. LITERATURA 1. Shestov S. V., Urnov A. M., Kuzin S. V., Zhit­ nik I. A., Bogachev S. A. Diagnostika elektronnoj plotnosti plazmy struktur solnechnoj korony po liniyam ionov FeIX­FeXIII diapazona 176–207 A v eksperimente SPIRIT/KORONAS­F // Pis’ma v Astronomicheskij.zhurnal. — 2009. — Vol 35, No. 1. — P. 50–62. 2. Bejgman I. L., Bozhenkov S. A., Zhitnik I. A., Kuzin S. V., Tolstihina I. Yu., Urnov A. M. Solnechnye spektry krajnego VUF diapazona, poluchennye v hode eksperimenta SPIRIT na bortu OS KORONAS­F. Katalog linij v oblasti 280–330 A // Pis’ma v Astronomicheskij zhur­ nal. — 2005. — Vol. 31, No. 1. — P. 39–58. 3. Louis E., Yakshin A. E., Tsarfati T., Bijkerk F. Nanometer interface and materials control for multilayer EUV­optical applications // Progress Л. Е. КОНОТОПСКИЙ, И. А. КОПЫЛЕЦ, В. В. КОНДРАТЕНКО ФІП ФИП PSE, 2015, т. 13, № 1, vol. 13, No. 1 33 in Surface Science. — 2011. — Vol. 86. — P. 255–294. 4. Berghmansa D., Hochedeza J. F., Defiseb J. M., Lecatb J. H., Niculaa B., Slemzine V., Law­ rencea G., Katsyiannisa A. C., Van der Lin­ dena R., Zhukova A., Clettea F., Rochusb P., Mazyb E., Thibertb T., Nicolosic P., Peliz­ zoc M­G., Schühled. U. SWAP onboard PROBA 2, a new EUV imager for solar monitoring // Advances in Space Research. — 2006. — Vol. 38, No. 8. — P. 1807–1811. 5. Jingtao Zhu, Sika Zhou, Haochuan Li, Qiushi Huang, ZhanshanWang,Karine Le Guen, Min­ Hui Hu, Jean­Michel André, Philippe Jonnard. Comparison of Mg­based multilayers for solar He II radiation at 30:4nm wavelength // APPLIED OPTICS. — 2010. — Vol. 49, No. 20. — P. 3922–3925. 6. Haochuan Li, Sika Zhou, Qiushi Huang, Moyan Tan. Mg/B4C EUV multilayer by in­ troducing Co as barrier layer // Seventh In­ ternational Conference on Thin Film Physics and Applications. — 2011. — Vol. 7995. — P. 79951E­1–79951E­4. 7. Jingtao Zhu, Shumin Zhang, Wenjuan Wu, Zhong Zhang, Fengli Wang, Bei Wang, Cun­ xia Li, Yao Xu, Zhanshan Wang, Lingyan Chen, Hongjun Zhou. Tonglin Huo. SiC/Mg multilayer reflective mirror for He­II ra diation at 30.4 nm and its thermal stability // Op­ toelectron. — 2008. — P. 305–308. 8. Maurya H., Jonnard P., Guen K. Le., Andreґ J.­ M., Wang, Zhu J., Dong J., Zhang Z. (3), Bridou F., Delmotte F., Hecquet C., Mahne N., Giglia A., and Nannarone S. Thermal cycles, interface chemistry and optical performance of Mg/SiC multilayers // Eur. Phys. J. B. — 2008. — Vol. 64 — P. 193–199. 9. Guen K. Le, Hu M.­H., Andrґe J.­M., and Jonnard P., Zhou S. K., H. Ch. Li, Zhu J. T., and Wang Z. S., Meny C. Development and Interfacial Characterization of Co/Mg Periodic Multilayers for the EUV Range // J. Phys. Chem. C. — 2010. — Vol. 114, No. 14. — P. 6484–6490. 10. Haochuan Li, Sika Zhou, Xiaoqiang Wang, Jingtao Zhu, Zhanshan Wang. Improved thermal stability of Mg/Co multilayer by introducing Zr barrier layer // Proc. of SPIE. — 2012. — Vol. 8501. — P. 85010G­1–85010G­6. 11. Rempel’ A. A. Effekty atomno­vakansionnogo uporyadocheniya v nestehiometricheskih kar­ bidah // Uspehi fizicheskih nauk. — 1996. — Vol. 166, No. 1. — P. 33–62. 12. Ham B., Junkaew A., Arroyave R., Park J., Zhou H.­C., D. Foley, Rios S., Wang H., Zhang X. Size and stress dependent hydrogen desorption in metastable Mg hydride films // International journal of hydrogen energy. — 2014. — Vol. 39. — P. 2597–607. 13. Regina Soufli, David L. Windt, Jeff C. Robin­ son, Sherry L. Baker, Eberhard Spiller, Fran­ klin J. Dollar, Andrew L. Aquila, Eric M. Gul­ likson, Benjawan Kjornrattanawanich, John F. Seely, Leon Golub Development and testing of EUV multilayer coatings for the Atmospheric Imaging Assembly instrument aboard the Solar Dynamics Observatory // Proc. of SPIE. — 2005. — Vol. 5901. — P. 59010M­1– 59010M­11. 14. Mehanizm obrazovaniya i substruktura konden­ sirovannyh plenok / L. S. Palatnik, M. Ya. Fuks, V. M. Kosevich — Moskva: Izdatel’stvo «Nauka», 1972. — 320 p.

Схожі ресурси