Многослойные периодические композиции ZrC/Mg для длины волны 30,4 нм

• Datum: 2015
• Hauptverfasser: Конотопский, Л.Е., Копылец, И.А., Кондратенко, В.В.
• Format: Artikel
• Sprache: Russian
• Veröffentlicht: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2015
• Schriftenreihe: Физическая инженерия поверхности
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/108639
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Многослойные периодические композиции ZrC/Mg для длины волны 30,4 нм / Л.Е. Конотопский, И.А. Копылец, В.В. Кондратенко // Физическая инженерия поверхности. — 2015. — Т. 13, № 1. — С. 24-33. — Бібліогр.: 14 назв. — рос.

Методами рентгеновской дифрактометрии исследована структура многослойных периодических композиций (МПК) ZrC/Mg, полученных методом прямоточного магнетронного распыления на кремниевых (001) и (111) и стеклянных подложках, в исходном состоянии и после термического отжига (50–450 °C). Установлено налич...