Оцінка структурної досконалості епітаксійних плівок залізоітрієвого ґранату

В роботі представлено та апробовано на гетероструктурі ЗІҐ/ҐҐҐ сформований цілісний комплекс існуючих неруйнівних методів та методик для проведення повної оцінки структурної досконалості епітаксійних ферит-гранатових плівок. В работе представлен и апробирован на гетероструктуре ЖИГ/ГГГ сформированны...

Повний опис

Збережено в:

Бібліографічні деталі
Опубліковано в: :	Физическая инженерия поверхности
Дата:	2015
Автор:	Мокляк, В.В.
Формат:	Стаття
Мова:	Ukrainian
Опубліковано:	Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2015
Онлайн доступ:	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/108640
Теги:	Додати тег Немає тегів, Будьте першим, хто поставить тег для цього запису!
Назва журналу:	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
Цитувати:	Оцінка структурної досконалості епітаксійних плівок залізоітрієвого ґранату / В.В. Мокляк // Физическая инженерия поверхности. — 2015. — Т. 13, № 1. — С. 34-44. — Бібліогр.: 32 назв. — укр.

Репозитарії

Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine

id	nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-108640
record_format	dspace
spelling	Мокляк, В.В. 2016-11-12T15:37:04Z 2016-11-12T15:37:04Z 2015 Оцінка структурної досконалості епітаксійних плівок залізоітрієвого ґранату / В.В. Мокляк // Физическая инженерия поверхности. — 2015. — Т. 13, № 1. — С. 34-44. — Бібліогр.: 32 назв. — укр. 1999-8074 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/108640 53.083.98; 538.971; 538.975 В роботі представлено та апробовано на гетероструктурі ЗІҐ/ҐҐҐ сформований цілісний комплекс існуючих неруйнівних методів та методик для проведення повної оцінки структурної досконалості епітаксійних ферит-гранатових плівок. В работе представлен и апробирован на гетероструктуре ЖИГ/ГГГ сформированный целостный комплекс существующих неразрушающих методов и методик для проведения полной оценки структурного совершенства эпитаксиальных ферит-гранатовых пленок. The paper presents and tested for heterostructure YIG/GGG formed a coherent set of existing non-destructive methods and techniques for a full assessment of structural perfection of epitaxial ferrite-garnet films. uk Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України Физическая инженерия поверхности Оцінка структурної досконалості епітаксійних плівок залізоітрієвого ґранату Оценка структурного совершенства эпитаксиальных пленок железо-иттриевого граната Evaluation of structural perfection of epitaxial films yttrium iron garnet Article published earlier
institution	Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
collection	DSpace DC
title	Оцінка структурної досконалості епітаксійних плівок залізоітрієвого ґранату
spellingShingle	Оцінка структурної досконалості епітаксійних плівок залізоітрієвого ґранату Мокляк, В.В.
title_short	Оцінка структурної досконалості епітаксійних плівок залізоітрієвого ґранату
title_full	Оцінка структурної досконалості епітаксійних плівок залізоітрієвого ґранату
title_fullStr	Оцінка структурної досконалості епітаксійних плівок залізоітрієвого ґранату
title_full_unstemmed	Оцінка структурної досконалості епітаксійних плівок залізоітрієвого ґранату
title_sort	оцінка структурної досконалості епітаксійних плівок залізоітрієвого ґранату
author	Мокляк, В.В.
author_facet	Мокляк, В.В.
publishDate	2015
language	Ukrainian
container_title	Физическая инженерия поверхности
publisher	Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
format	Article
title_alt	Оценка структурного совершенства эпитаксиальных пленок железо-иттриевого граната Evaluation of structural perfection of epitaxial films yttrium iron garnet
description	В роботі представлено та апробовано на гетероструктурі ЗІҐ/ҐҐҐ сформований цілісний комплекс існуючих неруйнівних методів та методик для проведення повної оцінки структурної досконалості епітаксійних ферит-гранатових плівок. В работе представлен и апробирован на гетероструктуре ЖИГ/ГГГ сформированный целостный комплекс существующих неразрушающих методов и методик для проведения полной оценки структурного совершенства эпитаксиальных ферит-гранатовых пленок. The paper presents and tested for heterostructure YIG/GGG formed a coherent set of existing non-destructive methods and techniques for a full assessment of structural perfection of epitaxial ferrite-garnet films.
issn	1999-8074
url	https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/108640
citation_txt	Оцінка структурної досконалості епітаксійних плівок залізоітрієвого ґранату / В.В. Мокляк // Физическая инженерия поверхности. — 2015. — Т. 13, № 1. — С. 34-44. — Бібліогр.: 32 назв. — укр.
work_keys_str_mv	AT moklâkvv ocínkastrukturnoídoskonalostíepítaksíinihplívokzalízoítríêvogogranatu AT moklâkvv ocenkastrukturnogosoveršenstvaépitaksialʹnyhplenokželezoittrievogogranata AT moklâkvv evaluationofstructuralperfectionofepitaxialfilmsyttriumirongarnet
first_indexed	2025-11-26T00:10:42Z
last_indexed	2025-11-26T00:10:42Z
_version_	1850595325237002240
fulltext	ОЦІНКА СТРУКТУРНОЇ ДОСКОНАЛОСТІ ЕПІТАКСІЙНИХ ПЛІВОК ЗАЛІЗО-ІТРІЄВОГО ҐРАНАТУ ФІП ФИП PSE, 2015, т. 13, № 1, vol. 13, No. 134 © Мокляк В. В., 2015 34 УДК 53.083.98; 538.971; 538.975 ОЦІНКА СТРУКТУРНОЇ ДОСКОНАЛОСТІ ЕПІТАКСІЙНИХ ПЛІВОК ЗАЛІЗО-ІТРІЄВОГО ҐРАНАТУ В. В. Мокляк Інститут металофізики ім. Г. В. Курдюмова НАН України, Київ, Україна Надійшла до редакції 16.02.2015 В роботі представлено та апробовано на гетероструктурі ЗІҐ/ҐҐҐ сформований цілісний ком- плекс існуючих неруйнівних методів та методик для проведення повної оцінки структурної до сконалості епітаксійних ферит-гранатових плівок. Ключові слова: залізо-ітрієвий гранат, епітаксіальні ферит-гранатові плівки, рідкофазна епі- таксія, тензор деформації, дислокації невідповідності. ОЦЕНКА СТРУКТУРНОГО СОВЕРШЕНСТВА ЭПИТАКСИАЛЬНЫХ ПЛЕНОК ЖЕЛЕЗО-ИТТРИЕВОГО ГРАНАТА В. В. Мокляк В работе представлен и апробирован на гетероструктуре ЖИГ/ГГГ сформированный целостный комплекс существующих неразрушающих методов и методик для проведения полной оценки структурного совершенства эпитаксиальных ферит-гранатовых пленок. Ключевые слова: железо-иттриевый гранат, эпитаксиальные феррит-гранатовые пленки, жид ко фазная эпитаксия, тензор деформации, дислокации несоответствия. EVALUATION OF STRUCTURAL PERFECTION OF EPITAXIAL FILMS YTTRIUM IRON GARNET V. V. Moklyak The paper presents and tested for heterostructure YIG/GGG formed a coherent set of existing non- destructive methods and techniques for a full assessment of structural perfection of epitaxial ferrite- garnet films. Keywords: yttrium-iron garnet, epitaxial ferrite-garnet film, liquid phase epitaxy, tensor strain, misfit dislocations. ВСТУП На даний час в сучасній мікроелектроніці в якості магнітних матеріалів широко за- сто вуються ферит-ґранатові структури, шо по в’язано із особливостями їхньої крис- талічної будови та наявністю в них трьох взаємозв’язаних високодобротних коливаль- них систем: електромагнітної, магнітної та пружної. Базовим матеріалом слугує залізо- ітрієвий ґранат (ЗІҐ). Шляхом різноманітного заміщення катіонів основного складу мо ди- фікують дану структуру у відповідності до потреб поставленої задачі. Однак тут вини- кають певні труднощі пов’язані із тим, що в основному на практиці використовуються епітаксійні монокристалічні ферит-ґранатові плівки (ЕФГП). Одним із найважливіших структурних параметрів епітаксійних фе рит- ґранатових гетероструктур є параметр ста- лої кристалічної ґратки, оскільки для того, щоб відбувався епітаксійний ріст, не обхідно, щоб параметри сталих ґраток плів ки апл та підкладки апд були близькими за зна ченнями [1]. Окрім того, в залежності від знаку параме- тра невідповідності сталих ґраток ∆а (додатні чи від’ємні значення) можна робити певні висновки про типи де фектів, які можуть ут- ворюватись [1, 2]. А оскільки однією з основ- них вимог згідно потреб мікроелектроніки є висока структур на досконалість даних матеріалів, то питання її оцінки методами неруйнівного контролю стоїть надзвичайно гостро. В да ній роботі представлено застосу- вання термодинамічного і кристалохімічного ана лізу, а також проведено адаптацію цілого комплексу існуючих методик неруйнівного контролю [3–9] з метою оцінки структурної досконалості та відтворення цілісної карти- ни кристалічної будови епітаксійних плівок ЗІҐ. В. В. МОКЛЯК ФІП ФИП PSE, 2015, т. 13, № 1, vol. 13, No. 1 35 МЕТОДИКА ВИГОТОВЛЕННЯ ЗРАЗКІВ Для експерименту, в якості модельного зра- з ка, було використано плівку ЗІҐ, вирощену ме тодом рідкофазної епітаксії (РФЕ) на під- кла дці із гадоліній-галієвого гранату (ҐҐҐ) з площиною зрізу (111), згідно із розробле- ним авторами [10] технологічним проце- сом АУЭ.01001.00001 ТУ для отримання ви со ко якісних плівок ЗІҐ з вузькою лінією ФМР ≤ 0,5 Е (40 А/м). Умови росту плівки та значен ня молярних коефіцієнтів Бленка- Нільсена пред ставлені в табл. 1. Підібрані молярні коефіцієнти Бленка- Ніль сена характеризують найбільш опти маль- ний склад шихти для отримання ви соко якісної плівки з відтворюваними пара мет рами. Так, коефіцієнт R1 ≈ 30, що, згідно [10], відповідає стійкій області кристалізації фази гранату. Значення коефіцієнта R3 = 15,6 характеризує найбільш стабільний розчин-розплав [10, 11]. При виборі молярного відношення R4 вихо- дили із необхідності зменшення кількості іонів Pb2+ та Pt4+ в структурі плівок ЗІҐ. З ці- єю ж метою, згідно [10], були підібрані оп- ти мальні умови росту. В [12] показано, що при збільшенні температури насичення TS від 1200 K до 1220 K концентрація іонів Pb2+ в плівках ЗІҐ зменшується від 0,021 до 0,002 ат./форм. од. Вибір плівки заданої тов- щини обумовлений результатами отри ма- ними у роботі [13], де було проведено до- слідження структурної до сконалості плівок ЗІҐ в залежності від тов щини і показано, що плівки товщиною 2–3·10–6 м володіють най- ви щою структурною досконалістю. Таким чи ном, вибраний модельний зразок пови- нен характеризу ватися найвищою ступінню структурної доско на лості, і перед нами стоїть задача провести її оцінку, що й буде зробле- но нижче. АНАЛІЗ СТРУКТУРНИХ ПАРАМЕТРІВ Для визначення параметру сталої ґратки плів ки апл отриманої гетероструктури бу- ло проведено прецизійні вимірювання між- пло щинної відстані для сімейства площин {888}. Вимірювання проводилися на двокри- стальному рентгенівському дифрактометрі ДРОН-2.0 в CuKα1 випромінюванні, в якості кристала-монохроматора використовувався високодосконалий кристал ҐҐҐ, вирізаний паралельно площині (111) і встановлений під кутом θ = 59,53°. Похибка визначення експериментального значення параметру сталої ґратки становить ±0,0007 Å. Параметр сталої ґратки плівки апл визна- чали за формулою для кубічної структури [14]: , (1) де d – міжплощинна відстань; h, k, l — індекси Міллера відповідного сімейства пло щин. Необхідно зауважити, що при прецизійних вимірюваннях потрібно враховувати, що обчислена за формулою Вульфа-Брега між- площинна відстань не точно відповідає ре- альній міжплощинній відстані, оскільки в цьому випадку не враховується заломлення в речовині рентгенівських променів. Для об- числення міжплощинної відстані нами було використано наступне рівняння [13, 15, 16], яке враховує заломлення та інші динамічні ефекти при визначенні міжплощинної від- стані у випадку напівнескінченного непо- глинаючого кристалу: , (2) тут dh — шукана міжплощинна відстань; 2 2 2= + +a d h k l 2 0 2 2 0 2 1 1 sinh H h d n d n  χ  γ  λ = − + τ  λ γ    Таблиця 1 Молярні коефіцієнти Бленка-Нільсена та умови вирощування епітаксійної плівки ЗІҐ Молярні коефіцієнти Бленка-Нільсена: R1 R2 R3 R4 R5 30,3 – 15,6 0,138 – Товщ. плівки: Умови росту: hпл, м TS, K TG, K ∆T, K V, м/с 2,85·10–6 1270 1256 14 8·10–9 ОЦІНКА СТРУКТУРНОЇ ДОСКОНАЛОСТІ ЕПІТАКСІЙНИХ ПЛІВОК ЗАЛІЗО-ІТРІЄВОГО ҐРАНАТУ ФІП ФИП PSE, 2015, т. 13, № 1, vol. 13, No. 136 n = 1, 2, ... — порядок відбивання; λ — довжи- на хвилі рентгенівського випромінювання, в даному випадку CuKα1 випромінювання; χ0 — діелектрична сприйнятливість кри- сталу; γ0, γН — відповідно косинуси кутів падіння та відбивання рентгенівських про- менів; τ — кут ковзання між сімейством від- биваючих площин і падаючим променем. Обчислені за допомогою формул (1), (2) експериментальне та формул [17], [18] теоретичні значення для параметру сталої гратки плівки залізо-ітрієвого ґранату в ге- тероструктурі ЗІҐ/ҐҐҐ відповідно рівні: аексп = 12,3695 Å — для сімейства площин {888}; атеор =12,3752 Å — за формулою Строка [17]; атеор = 12,8609 Å — за формулою Воробйо- ва [18]. Як бачимо, експериментально визначене значення параметру сталої ґратки отриманої нами плівки є меншим в порівнянні із зна- ченнями приведеними в літературі для мо- нокристалів ЗІҐ атеор =12,376 Å [19]. Та ке відхилення є проявом порушення струк турної досконалості кристалічної ґрат ки плівки. Авторами [7–9, 18, 20–24] проаналізовано випадки, коли аексп ≥ атеор, і зроблено вис- новки про те, що всі мож ливі технологічні домішки, в тому числі Pb2+, Pt4+, Fe2+, [Y3+], а також киснева не сте хіометрія, призводять до збільшення «роз дування» сталої гратки ферит-ґранатів. Отримані на ми результати можна пояснити виходячи з того, що в загаль- ному випад ку існує різниця в сталих ґратки плівки і під кладки і, згідно з [4], відбувається так звана «ромбоедризація» кристалічної ґратки плівки. Тобто в процесі росту структу- ра плів ки деформується і, як показано в [13], в залежності від товщини «стискається» або «роздувається» в напрямку, перпенди- кулярному площині росту. Це приводить до зміни параметру міжплощинної відстані для сімейства площин {888}, і відповідно до хибних значень параметру сталої ґратки при використанні формули для кубічної струк- тури (1). В нашому випадку маємо занижені значення сталої ґратки плівки, тобто можна прогнозувати «стискання» плівки в напрям- ку, перпендикулярному площині росту. Необхідно також відмітити, що кри ста- ло хімічно підсилена формула Воробйова [18, 24] не працює для кристалів ЗІҐ, на то- мість, напівемпірична залежність одержана авторами [17] дозволяє розрахувати значен- ня параметру сталої гратки ЗІҐ, яке з висо- кою точністю співпадає з багаточисельними експериментальними даними. Таким чином, саме формулу Строка було прийнято за ос- нову при проведенні подальшого аналізу структурної досконалості епітаксійних фе- рит-ґранатових гетероструктур. РОМБОЕДРИЗАЦІЯ КРИСТАЛІЧНОЇ ҐРАТКИ ПЛІВКИ В ГЕТЕРОСТРУКТУРІ Для детального аналізу ромбоедризації кри- сталічної ґратки плівки ЗІҐ в гетероструктурі нами було застосовано методику, запропо- новану авторами [4]. Параметри ромба еле ментарної ґратки плівки визначались ме тодом найменших квадратів по різниці брегівських кутів плівки та підкладки: , (3) де пл hkld та пд hkld — міжплощинні відстані для плівки та підкладки відповідно. Зна- чення міжплощинної відстані для сімейства площин {hkl} підкладки визначалося із рівняння (2), а міжплощинна відстань плів- ки пл hkld знаходилась в припущенні ром бо ед- ричної структури [25]: . (4) Було використано наступні рефлекси: (444), (888), (880) та (4810). Парамет ри ромбоедричної структури аромб та α зна- ходилися із умови мінімуму побудованої нами функції (рис. 1): , (5) де експΔ hklθ — виміряні значення різниць * пл пд 2Δ 2 arcsin arcsin 2 2 hkl hkl hkld d    λ λ = −          q пд hkld ( ) ( ) 2 експ розрΔ Δq qhkl hkl hkl F = −∑ ( ) ( )( ) пл ромб 3 2 2 2 2 2 2 1 2cos 3cos sin 2 cos cos × × = + α − α + + α + + + α − α hkld a h k l hk hl kl В. В. МОКЛЯК ФІП ФИП PSE, 2015, т. 13, № 1, vol. 13, No. 1 37 кутів Брега, а розрΔ hklθ — різниці розраховані за допомогою співвідношень (2) та (4). Для мінімізації функції було використано метод частинних похідних: . (6) Розв’язуючи систему рівнянь (6) знахо- димо невідомі параметри ромбоедричної струк тури для плівки ЗІҐ: аромб = 12,3710 Å, α = 90,0032°. Тобто процес деформації плів- ки ЗІҐ відбувається за наступною схемою (рис. 2): кристалічна гратка плівки сти ска- ється у напрямку [111], і відповідно, зна чен- ня міжплощинних відстаней дано го сі мей- ства площин зменшуються; в площині (111) плівка намагається досягти співпадіння лінійних розмірів кристалічної гратки із підкладкою, тобто lпл → lпд. ПОЛЕ МЕХАНІЧНИХ НАПРУГ В ГЕТЕРОСТРУКТУРІ Для підтвердження даного типу деформації на ми проведено оцінку розподілу де фор- мацій по товщині плівки за допомогою ме- то дики запропонованої в [26]. Згідно цієї ме тодики для двошарової гетероструктури компоненти тензора деформації для од но- мірного випадку будуть мати вигляд: , (7) де L — загальна товщина гетерострукту- ри. Величини Aij та Bij для орієнтації плівки (111), коли товщина плівки K набагато мен- ша товщини всієї гетероструктури (K/L << 1), будуть рівні: , (8) , (9) де β0 — амплітуда невідповідності; f(z) — функція, яка описує модель гетеро- структури; ⋅⋅⋅ означає усереднення по всій товщині гетероструктури. Діагональні ком- поненти тензора деформації у цьому випад- ку рівні: , (10) . (11) Для двошарової системи з ступінчастим законом зміни невідповідності в якості функ- ції f(z) використовують функцію Хевісайда: , де . (12) Амплітуда невідповідності β0 рівна: , (13) , (14) . (15) 0A f= β 0 2 12 2 LB z f L  = β −    ( ) ( )1 1 0 1zz z zfq q D z− − ε = β − −  ( )0xx yy D zε = ε = β ( ) ( )1f z z K= −Θ − ( ) 0, при z < K 1, при z K z K  Θ − =  ≥ ( )0 1 1z zz zq q D β = ε − −  ( ) 61 1 2 K L KD z z L L L     = + − −        ( ) 2 1 3 1K KD z L L    = + −      ромб/ 0 / 0 F a F ∂ ∂ =  ∂ ∂α = 0,8 0,6 0,4 0,2 0 0 0,5 1 1,5 2 2,5 3 16 15 14 13 12 11 10 9 alfa af Рис. 1. Вигляд функціональної залежності ( ) ( ) ( ) 2 ромб експ розр, hkl hkl hkl F a α = ∆θ − ∆θ∑ [111] апл апд аромб lпл lпд α∆l Рис. 2. Схема процесу «ромбоедризації» кристалічної ґратки плівки ЗІҐ в гетероструктурі ЗІҐ/ҐҐҐ ( ) ( )2ij ij ijz A B z Lε = + −   ОЦІНКА СТРУКТУРНОЇ ДОСКОНАЛОСТІ ЕПІТАКСІЙНИХ ПЛІВОК ЗАЛІЗО-ІТРІЄВОГО ҐРАНАТУ ФІП ФИП PSE, 2015, т. 13, № 1, vol. 13, No. 138 В нашому випадку значення ε zz взяте рів ним максимальній деформації, яка може бути в плівці за рахунок різниці в сталих ґратки плівки і підкладки. Величина qz для орієнтації плівки (111), згідно [27], рівна: , (16) де Cij — коефіцієнти пружності. Зважаючи на те, що в нашому випадку плівка і підкладка володіють структурою гранату, в першо- му наближенні можна вважати, що пружні константи плівки і підкладки будуть рівні. Пружні характеристики ЗІҐ при кімнатній температурі приведені в табл. 2 [28]. При проведенні розрахунків ɛzz нами було вибра- но три характерні значення товщини: z = 0 — на поверхні плівки; z = K/2 — середина плівки (дана точка ви- брана для характеристики об’єму плівки); z = K — на межі розділу гетероструктури. Результати обчислень представлено в табл. 3. Як видно із табл. 3, величини ком- по нент тензора деформації ɛzz та ɛxx = ɛyy практично не змінюються з товщиною в ме- жах даної плівки, тобто плівку можна вва- жати однорідно деформованою за ра ху нок наявності невідповідності сталих ґра ток плівки та підкладки. Знак величини ɛzz вказує на деформацію стиску. Також необхідно від- мітити той факт, що величина ɛzz на порядок більша за ɛxx = ɛyy. Експериментально значення ɛzz знаходи- ли згідно методики [25], де для частинного ( ) 11 12 44 11 12 2 4 3 2z C C Cq C C + + = + випадку при зйомці кривих дифракційного відбивання (КДВ) від сімейств площин паралельних поверхні кристалу запропоно- вано наступну рівність: , (17) де Uzx — недіагональна компонента тензора дисторсії. Використовуючи КДВ для двох рефлексів від паралельних площин (444) та (888) утворимо систему рівнянь типу (17), розв’язавши яку отримаємо експеримен- тальне значення ɛzz = –9,566·10–4, що досить добре збігається із розрахованим значенням. Отож, епітаксійна гетероструктура знаходи- ться напруженому стані, і в залежності від тов щини плівки можливе виникнення на границі розділу дислокацій невідповідності, які частково або повністю знімають напру- ги в об’ємі плівки. Тому наступним нашим кро ком буде перевірка критеріїв можливості введення дислокацій невідповідності та оцін ка їх поверхневої густини. УТВОРЕННЯ ДИСЛОКАЦІЙ НЕВІДПОВІДНОСТІ Критеріями можливості виникнення ди- слокацій невідповідності є 2 наступні умо- ви: — величина невідповідності [29]; — товщина плівки повинна перевищувати деяку критичну товщинуhc [30]. Величина параметра невідповідності в нашому випадку для гетероструктури ЗІҐ/ Δ ctg ctgzz zxU− θ⋅ θ = ε − ⋅ θ пл пд 3 пд 10 a а f а    Таблиця 2 Пружні характеристики ЗІҐ S11 –S12 S44 C11 C12 C44 A 4,79 1,87 13,16 269,38 114,75 75,10 0,9713 Примітка: Sij — пружні сталі (значення приведено в ТПа–1); Cij — модулі пружності (значен- ня приведено в ГПа); А — фактор анізотропії А = 2С44/(С11–С22). Таблиця 3 Діагональні компоненти тензора деформації плівки ЗІҐ z,·10–6 м 0 1,42 2,85 ɛzz, ·10–4 –9,691 –9,691 –9,692 ɛxx = ɛyy, ·10–5 1,18 1,18 1,17 В. В. МОКЛЯК ФІП ФИП PSE, 2015, т. 13, № 1, vol. 13, No. 1 39 ҐҐҐ f = 0,00089 ≈ 10–3, тобто можна вважати що перший критерій виконується. Другий критерій пов’язаний із накопичен- ням енергії деформації (енергія деформації накопичується в плівці і пропорційна її тов щині), при цьому можливе виникнення дислокацій невідповідності, що призводить до часткового або повного зняття напруг в об’ємі плівки. Визначення критичної тов- щини плівки для введення дислокацій не- від повідності проводилося згідно моделі енер гетичного балансу, яка була запропо- нована Метьюзом [30], і грунтувалась на по- рівнянні енергій напруженої та плас тично релаксованої плівки. Згідно даної мо делі критична товщина hc визначається з на- ступної рівності: , (18) тут b — величина вектора Бюргерса ди сло - кації; beff — ефективний вектор Бюргер са (тобто компонента вектора Бюргерса, яка лежить в площині границі розділу в на- пря мі, перпендикулярному дислокації не- від повідності — величина абсолютної пла с тичної релаксації, яка є наслідком по- я ви однієї дислокації невідповідності); τ — кут між вектором Бюргерса та лінією дислокації; β — параметр ядра дислокації; ν — коефіцієнт Пуассона. Враховуючи результати досліджень [31], які вказують, що переважаючим ти- пом дислокацій в напружених епітаксійних плівках ферит-ґранатів є 60° дислокації, отримуємо: τ = 60°, b/beff = 2. Параметр ядра дислокацій β згідно [30] (для 60° ди- слокацій) рівний 0,76. Коефіцієнт Пуассона для більшості ґранатових структур рівний ν ≈ 0,3 [19]. Числове значення вектора Бюргерса зна- ходимо за формулою [31]: пл пд пл пд 2a а b а a   . (19) Таким чином рівняння (18) зводиться до вигляду: . (20) ( ) 2(1 cos ) ln 1 8 (1 ) eff c c b b b hh f b ⋅ ⋅ − ν ⋅ τ β⋅ = + π ⋅ + ν   ( )( )787,8025 ln 0,0614 1c ch h= ⋅ ⋅ + Розв’язок даного рівняння дає наступне значення величини критичної товщини — hc ≈ 0,4·10–6 м. Товщина досліджуваного зразка hпл = 2,85·10–6 м, тобто hпл > hc. Ви- конання двох критеріїв свідчить про те, що в плівці можливе утворення дислокації не- відповідності. Оцінку поверхневої густини дислокацій не відповідності проводили за формулою [32]: . (21) , . Визначене таким чином значення по верх- невої густини дислокацій невід повідності для плівки ЗІҐ рівне σ = 2,4·1011 м–2. Отри- мане значення добре узгоджується із даними робіт [5, 13], де стверджується, що плівки ЗІҐ товщиною 2–3·10–6 м мають найбільш досконалу кристалічну структуру. У [4] також запропоновано критерій існу- вання дислокацій невідповідності за рахунок різниці в сталих ґратки плівка-підкладка. Дислокації невідповідності не виникають при виконанні наступної умови: . (22) В нашому випадку величина невід по- відності становить f = 0,00089, а α = 90,0032°, і в результаті отримуємо: 0,00089 ≠ 0,00006. Тоб- то як бачимо, даний критерій не виконується, тому можна стверджувати, що в даному зраз- ку утворюються дислокації невідповідності з максимальним значенням їх поверхневої густини σ = 2,4·1011м–2, і таким чином ча- стина напруг у плівці знімається за рахунок виникнення дислокацій невідповідності на границі гетероструктури. Потрібно наголо- сити, що от римане значення характеризує тільки ди слокації невідповідності, хоча існує ве лика ймовірність того, що дислокації не- відповідності будуть утворювати своєрідні центри стікання інших типів структурних дефектів. КРИСТАЛОХІМІЧНИЙ ТА ТЕРМОДИНАМІЧНИЙ АНАЛІЗ Вище нами проведено якісний та кількісний аналіз трансформації кристалічної ґратки ( ) ( ) 2 пд пл 2 пд пл − σ = l l l l пд пд2= ⋅l a пл ромб2 sin( 2)= αl a α= cosf ОЦІНКА СТРУКТУРНОЇ ДОСКОНАЛОСТІ ЕПІТАКСІЙНИХ ПЛІВОК ЗАЛІЗО-ІТРІЄВОГО ҐРАНАТУ ФІП ФИП PSE, 2015, т. 13, № 1, vol. 13, No. 140 плівки ЗІҐ внаслідок утворення гетерострук- тури ЗІҐ/ҐҐҐ за допомогою рентгенострук- турних методів дослідження. Однак, одне питання ще залишилося відкритим. А саме, навіть у припущенні ромбоедричної структу- ри, значення параметра кристалічної ґратки плівки визначене експериментально та роз- раховане теоретично значно відрізняються: аромб = 12,3710 Å атеор = 12,3752 Å (за формулою Строка [17]). Таке відхилення є проявом порушення структурної досконалості кристалічної ґрат- ки плівки. Як вже згадувалось вище, усі типи домішкових атомів із розчину-розплаву (для даного складу шихти), антиструктурні дефек- ти та киснева нестехіометрія призво дять до «роздуття» кристалічної ґратки ви рощуваної плівки. У нашому випадку маємо ситуацію діаметрально протилежну, тобто па раметр кристалічної ґратки отриманої плівки менший за величиною від очікуваного — аексп < атеор. Спробуємо за допомогою комплексного кри- сталохімічного та термодинамічного аналізу пояснити даний факт. Це можливо лише при наявності в струк- турі плівки іонів із меншими іонними ра- діусами ніж у катіонів основного складу. При даному складі шихти така ситуація мо- же реалізуватися за рахунок розчинення підкладки, і входження в структуру плівки малих іонів Ga3+. Такий процес насправді міг мати місце, оскільки температура наси- чення була вибрана достатньо високою TS = 1270 K з метою зменшення ступеня входження в гра натову структуру іонів Pb2+, при цьому в розчині-розплаві збільшилась концентрація оксиду бору, що й зумовило до- даткове розчинення підкладки, і, відповідно, збільшення ступеня входження в структуру іонів Ga3+. Схильність іонів Ga3+ до зайняття d — та a — позицій в залежності від загаль- ного вмісту ґалію X (ат./форм. од.) в структурі ґранату виражається згідно [10] відповідно наступним чином: (0,97 0,07 )x X X= − ⋅ , xXy −= . (23) Тоді, враховуючи всі приведені вище фак- ти, ми отримаємо наступну модель гранатової структури — . Використовуючи дану модель та екс пе ри- мен тально визначене значення параметру кри сталічної ґратки ромбоедричної структу- ри за допомогою формул [17] знаходимо ве личину X ≈ 0,3 ат./форм. од. Тобто, для повного співпадіння експериментально виз- наченого та теоретично розрахованого зна- чення параметра кристалічної ґратки плівки в її структурі повинні міститись іони Ga3+ в кількості X ≈ 0,3 ат./форм. од. Таке припущення добре узгоджується із дослідженнями проведеними в [9], де мето- дом рентгеноспектрального мікроаналізу одер жано розподіл хімічних елементів, які входять до складу розчину-розплаву та під- кладки, по товщині плівок ЗІҐ, і показано мож ливість утворення перехідних шарів «плівка – підкладка» та «плівка – повітря». Однак, необхідно відмітити, що в дано- му випадку величина необхідної кількості іонів Ga3+ в кількості X ≈ 0,3 ат./форм. од. є інтегральною, тобто характеризує весь об’єм плівки. Це можна пояснити застосу- ванням в процесі росту мішалки. Про ін- тегральний характер також свідчать рент- ге ноструктурні дослідження: лінії кривих диф ракційного відбивання плівки та під- клад ки чіткі, достатньо вузькі (ширина лінії становить ω = 0,004 ), і на них відсутні будь- які додаткові піки чи напливи (рис. 3), які б можна було пов’язати із виникненням но- вих підшарів. ВИСНОВКИ В роботі представлено сформований ціліс- ний комплекс існуючих неруйнівних методів { } ( )3 3 3 3 3 3 2 3 12Y Fe Ga Fe Ga Oy y x x + + + + + − −   70 60 50 40 30 20 10 0 –0,04 –0,03 –0,02 –0,01 0,00 0,01 (θбрега – θ), град Ін те нс ив ні ст ь, в ід н. о д. Рис. 3. КДВ для гетероструктури ЗІҐ/ҐҐҐ (рефлекс (444)) В. В. МОКЛЯК ФІП ФИП PSE, 2015, т. 13, № 1, vol. 13, No. 1 41 та методик, який забезпечує проведення пов ної оцінки структурної досконалості епі таксійних ферит-гранатових плівок. Він вклю чає наступні етапи: 1. Аналіз структурних параметрів (в при- пущенні кубічної структури). 2. Відновлення параметрів ромбо едри зо ва- ної кристалічної ґратки плівки. 3. Оцінка розподілу деформацій по товщині ЕФҐП. 4. Перевірка критеріїв можливості виник- нення дислокацій невідповідності та їх існування, а також оцінка максимально можливої концентрації їх густини. 5. Проведення кристалохімічного та термо - динамічного аналізу стабільності ви- хід них продуктів в процесі РФЕ та вста новлення на його основі природи струк турних дефектів. Приведений алгоритм було апробова- но на модельному зразку — епітаксійна плівка ЗІҐ товщиною hпл = 2,85·10–6 м, яка вирощена методом РФЕ на підкладці із ҐҐҐ з площиною зрізу (111), згідно із розробле- ним авторами [10] технологічним проце- сом АУЭ.01001.00001 ТУ. Встановлено, що плівка володіє ромбоедричною структурою з параметрами ромбоедра аромб = 12,3710 Å, α = 90,0032°, є однорідно деформованою по товщині і величина компоненти тензо- ра деформації ɛzz (в напрямі росту гетеро- структури) становить ≈9,6·10–4; значення компонент ɛxx = ɛyy на порядок менші за ɛzz. Для даної епітаксійної гетероструктури ви- конуються критерії можливості утворення та існування дислокацій невідповідності, і максимально можливе значення їх поверхневої густини в плівці ЗІҐ становить σ = 2,4·1011 м–2. В структурі плівки присутні домішкові немагнітні іони Ga3+, які суттєво впливають на кристалічну структуру плівки і призводять до зменшення величини па- раметру сталої кристалічної ґратки, що зу- мов лено технологічними умовами росту, а зо крема підвищеною температурою на- сичення розчину-розплаву TS = 1270 K для зменшення входження в структуру плівки іонів Pb2+. Отримані результати дозволяють покращити вибір технологічних умов ви- рощування епітаксійних ферит-гранатових гетероструктур та враховувати дані щодо їх структурної досконалості при їх подальшій експлуатації у відповідних приладах. ЛІТЕРАТУРА 1. Blank S. L., Nielsen J. W. The growth of mag- netic garnets by liquid phase epitaxy // J. Cryst. Growth. — 1972. — Vol. 17. — P. 302–311. 2. Fratello V. J., Licht S. J., Brandle C. D., O’Bry- an H. M., Baiocchi F. A. Effect of bis muth dopping on thermal expansion and misfit dislocations in epitaxial iron garnets // J. Cryst. Growth. — 1994. — Vol. 142. — P. 93–102. 3. Воробьев Ю. П., Карбань О. В. Дефекты оксидных кристаллов // Журн. неорган. хи- мии. — 2002. — Т. 47, № 5. — С. 738–747. 4. Руткин О. Г., Агеев А. Н., Духовская Е. Л., Саксонов Ю. Г., Шер Е. С. Деформация кри сталлической решетки эпитаксиальных пленок иттрий-железного граната, выра- щенных на плоскости (111) подложки из га долиний-галлиевого граната // ЖТФ. — 1982. — Т. 52, вып.12. — С. 2411–2415. 5. Яремій І. П. Рентгенодифрактометричні до слідження трансформації елементарної ко мірки плівок ЗІГ різної товщини // Ма теріали всеукраїнської конференції студентів і молодих науковців з теоретичної та експериментальної фізики «ЕВРИ- КА-2003». — Львів. — 2003. — 60 с. 6. Соловко Я. Т., Яремій І. П., Федорів В. Д., Буд зуляк І. М., Яворський Б. І. Модель блочної структури епітаксійних ферит-гра- натових плівок // ФХТТ. — 2002. — Т. 3, № 3. — С. 544–547. 7. Воробьев Ю. П., Гончаров О. Ю., Фети- сов Ю. Б. Оценка концентрации точечных дефектов в Y3Fe5O12 и других редкоземель- ных ферритах-гранатах // Кристаллография. — 2000. — Т. 45, № 6. — С.1053–1057. 8. Воробьев Ю. П. Метод определения несте- хиометриии оксидных эпитаксиальних пле- нок со структурой граната // Металлофизика и новейшие технологии. — 2004. — Т. 26, № 1. — С. 27–34. 9. Ющук С. И. Слоистая структура эпитакси- альных пленок железо-итриевого граната // ЖТФ — 1999. — Т. 69, вып. 12. — С. 62–64. 10. Ющук C. И. Структура і властивості фе- ри тових плівок і феритів для приладів функціональної електроніки. Дисер. на … доктора техн. наук. Львів, 1999, — 373 с. 11. Levinstein H. J., Licht S., Landorf R. W., Blank S. L. Growth of high quality garnet thin ОЦІНКА СТРУКТУРНОЇ ДОСКОНАЛОСТІ ЕПІТАКСІЙНИХ ПЛІВОК ЗАЛІЗО-ІТРІЄВОГО ҐРАНАТУ ФІП ФИП PSE, 2015, т. 13, № 1, vol. 13, No. 142 films from supercooled melts // Appl. Phys. Lett. — 1971. — Vol.19, No. 11. — P. 486–488. 12. Henry R. D., Besser P. J., Heinz D. M., Mee I. E. Ferromagnetic resonance pro per ties of LPE YIG-films // IEEE Trans. Magn. — 173. — Vol. 9, No. 3. — P. 535–537. 13. Яремій І. П. Модифікація приповерхневих шарів гранатових структур шляхом одно- та двократної імплантації іонами бору. Авто- реф. дисер. на … кандидата фіз.-мат. наук. Івано-Франківськ, 2003, — 20 c. 14. Горелик С. С., Скаков Ю. А., Расторгу- ев Л. Н. Рентгенографический и электрон- но-оптический анализ. — М.: МИСИС, 1994. — 328 c. 15. Бублик В. Т. Основы динамической теории интерференции рентгеновских лучей. — М.: МИСИС, 1971. — 142 c. 16. Пинскер З. Г. Рентгеновская кристалоопти- ка. — М.: Наука, 1982. — 390 c. 17. Strocka B., Holst P., Tolksdorf W. An empirical formula for calculation of lattice constants in oxide garnets based on substituted yttrium- and gadolinium iron garnets // Philips J. Res. — 1978. — Vol. 33, No. 3/4. — P. 166–202. 18. Vorobiov Yu. P. Carban O. V. A New Empirical Formula far the Calculation of an Elementary Cell Parameter of Synthetic Oxides-Garnets // J.Solid State Chem. — 1997. — Vol. 134. — P. 338–343. 19. Летюк Л. М., Костишин В. Г., Гончар А. В. Технология ферритовых материалов маг- нитоэлектроники. — М.: МИСИС, 2005. — 352 c. 20. Гончаров О. Ю. Кристаллографическое упо- рядочение и дефекты в редкоземельных алю мо-, галло- и ферогранатах. Автореф. дисс. на … кандидата хим. наук. Екатерин- бург, 1997, — 22 c. 21. Воробьев Ю. П., Бамбуров В. Г., Виногра- дова-Жаброва А. С., Лобачев ская Н. И. Маг- нитные вакансии, упорядочение и свойства висмутзамещенных редкоземельных ферри- товых гранатов // Изв. АН Сер. хим. — 1999. — № 6. — С. 1040–1048. 22. Воробьев Ю. П. Разновалентные катионы железа и марганца в иттриевогадолиниевых ферритах-гранатах // Изв. Челябин. науч. цен тра. — 2003. — Т. 21, вып. 4. — С. 60–64. 23. Ломако И. Д., Дутов А. Г. Влияние наруше- ний стехиометрии и технологических при- месей на структурные свойства и поглоще- ние в ИК диапазоне кристаллов Y3Fe5O12 // Кристаллография. — 2002. — Т. 47, № 1. — С.128–132. 24. Воробьев Ю. П., Гончаров О. Ю., Кар- бань О. В. Структурное поле и формула для расчета параметра кристаллической решетки синтетических оксидов гранатов // Журн. неорган. химии — 1998. — Т. 43, № 4. — С. 644–652. 25. Хапачев Ю. П., Чуховский Ф. Н. Деформа- ции и напряжения в многослойных эпитак- сиальных кристаллических структурах. Рент гено дифракционные методы их опреде- ления. Обзор // Кристаллография — 1989. — Т. 34, вып. 3, — С. 776–799. 26. Хапачев Ю. П., Чуховский Ф. Н. Определе- ние несоответствия и напряжений в эпитак- сиальных пленках с учетом переменных уп- ругих констант // Металлофизика. — 1987. — Т. 9, № 4. — С. 64–68. 27. Дышеков А. А., Хапачев Ю. П. Рентгено- дифрактометрическое оп ре де ле ние упругих напряжений и несоответствия в многослой- ных эпитак сиальных пленках // Металлофи- зика. — 1986. — Т. 8, № 6. — С. 15–22. 28. Буренков Ю. А., Никаноров С. П. Влияние температуры на упру гие свой ства иттриево- го феррита-граната Y3Fe5O12 // ФТТ — 2002. — Т. 44, № 2. — С. 307–311. 29. Прохоров А. М., Смоленский Г. А., Аге- ев А. И. Оптические явления в тонкопле- ноч ных магнитных волноводах и их техническое использование // УФН. — 1984. — Т. 143, вып. 1. — С. 33–73. 30. Болховитянов Ю. Б., Пчеляков О. П., Чи- кичев С. И. Кремний-германиевые эпитак- сиальные пленки: физические основы по лу чения напряженных и полностью ре- лак сированных гетероструктур. Обзор // УФН. — 2001. — Т. 171, № 7. — С. 689–716. 31. Дубинко С. В., Недвига А. С., Вишневс- кий В. Г., Шапошников А. Н., Ягупов В. С., Нестерук А. Г., Прокопов А. Р. Особенности поведения коэрцетивной силы в напряжен- ных эпитаксиальных пленках феррит-гра- натов // Письма в ЖТФ. — 2005. — Т. 31, вып. 22. — С. 68–73. 32. Соловко Я. Т., Яремій В. О., Коцюбинсь- кий В. О., Мокляк В. В. Оцінка структурної досконалості епітаксійних Ві-заміщених ферит-гранатових плівок методом рентгено- структурного аналізу // Матеріали ІІІ Все- української конференції молодих науковців «Інформаційні технології в науці, освіті і тех ніці» (ІТОНТ-2002). — Черкаси. — 2002. — С. 45–46. В. В. МОКЛЯК ФІП ФИП PSE, 2015, т. 13, № 1, vol. 13, No. 1 43 LІTERATURA 1. Blank S. L., Nielsen J. W. The growth of mag- netic garnets by liquid phase epitaxy // J. Cryst. Growth. — 1972. — Vol. 17. — P. 302–311. 2. Fratello V. J., Licht S. J., Brandle C. D., O’Bryan H. M., Baiocchi F. A. Effect of bis- muth dopping on thermal expansion and misfit dislocations in epitaxial iron garnets // J. Cryst. Growth. — 1994. — Vol. 142. — P. 93–102. 3. Vorob’ev Yu. P., Karban’ O. V. Defekty oksi- d nyh kristallov // Zhurn. neorgan. himii. — 2002. — Vol. 47, No. 5. — P. 738–747. 4. Rutkin O. G., Ageev A.N., Duhovskaya E. L., Saksonov Yu. G., Sher E. S. Deformaciya kristal licheskoj reshetki epitaksial’nyh plenok ittrij-zheleznogo granata, vyraschennyh na ploskosti (111) podlozhki iz gadolinij- gallievogo granata // ZhTF. — 1982. — Vol. 52, vyp.12. — P. 2411–2415. 5. Yaremіj І. P. Rentgenodifraktometrichnі do- slіd zhennya transformacії elementarnoї ko- mі rki plіvok ZІG rіznoї tovschini // Materіali vseukraїns’koї konferencії studentіv і molodih naukovcіv z teoretichnoї ta eksperimental’noї fіziki «EVRIKA-2003». — L’vіv. — 2003. — 60 p. 6. Solovko Ya. T., Yaremіj І. P., Fedorіv V. D., Budzulyak І. M., Yavors’kij B. І. Model’ blochnoї strukturi epіtaksіjnih ferit-granatovih plіvok // FHTT. — 2002. — Vol. 3, No. 3. — P. 544–547. 7. Vorob’ev Yu. P., Goncharov O. Yu., Feti- sov Yu. B. Ocenka koncentracii tochechnyh defektov v Y3Fe5O12 i drugih redkozemel’nyh ferritah-granatah // Kristallografiya. — 2000. — T. 45, No. 6. — P. 1053–1057. 8. Vorob’ev Yu. P. Metod opredeleniya nestehio- metriii oksidnyh epitaksial’nih plenok so struk- turoj granata // Metallofizika i novejshie teh- nologii. — 2004. — Vol. 26, No. 1. — P. 27–34. 9. Yuschuk S. I. Sloistaya struktura epitaksial’nyh plenok zhelezo-itrievogo granata // ZhTF — 1999. — Vol. 69, vyp.12. — P. 62–64. 10. Yuschuk C. I. Struktura і vlastivostі feritovih plіvok і feritіv dlya priladіv funkcіonal’noї elek tronіki. Diser. na … doktora tehn. nauk. L’vіv, 1999, — 373 p. 11. Levinstein H. J., Licht S., Landorf R. W., Blank S. L. Growth of high quality garnet thin films from supercooled melts // Appl. Phys. Lett. — 1971. — Vol. 19, No. 11 — P. 486–488. 12. Henry R. D., Besser P. J., Heinz D. M., Mee I. E. Ferromagnetic resonance pro per ties of LPE YIG-films // IEEE Trans.Magn. — 173. — Vol. 9, No. 3 — P. 535–537. 13. Yaremіj І. P. Modifіkacіya pripoverhnevih sha rіv granatovih struktur shlyahom odno- ta dvo kratnoї іmplantacії іonami boru. Avtoref. diser. na … kandidata fіz.-mat. nauk. Іvano- Frankіvs’k, 2003, — 20 p. 14. Gorelik S. S., Skakov Yu. A., Rastorguev L. N. Rentgenograficheskij i elektronno-opticheskij analiz. — M.: MISIS, 1994. — 328 p. 15. Bublik V. T. Osnovy dinamicheskoj teorii inter- ferencii rentgenovskih luchej. — M.: MISIS, 1971. — 142 p. 16. Pinsker Z. G. Rentgenovskaya kristalooptika. — M.: Nauka, 1982. — 390 p. 17. Strocka B., Holst P., Tolksdorf W. An empirical formula for calculation of lattice constants in oxide garnets based on substituted yttrium- and gadolinium iron garnets // Philips J. Res. — 1978. — Vol. 33, No. 3/4. — P. 166–202. 18. Vorobiov Yu. P. Carban O. V. A New Empirical Formula far the Calculation of an Elementary Cell Parameter of Synthetic Oxides-Garnets // J.Solid State Chem. — 1997. — Vol.134. — P. 338–343. 19. Letyuk L. M., Kostishin V. G., Gonchar A. V. Tehnologiya ferritovyh materialov mag- nitoelektroniki. — M.: MISIS, 2005. — 352 p. 20. Goncharov O. Yu. Kristallograficheskoe upo- ry adochenie i defekty v redkozemel’nyh alyu- mo-, gallo- i ferogranatah. Avtoref. diss. na … kandidata him. nauk. Ekaterinburg, 1997, — 22 p. 21. Vorob’ev Yu. P., Bamburov V. G., Vinogra do- va-Zhabrova A. S., Lobachev skaya N. I. Mag- nitnye vakansii, uporyadochenie i svojstva vis- mutzameschennyh redkozemel’nyh ferritovyh granatov // Izv. AN Ser. him. — 1999. — No. 6. — P. 1040–1048. 22. Vorob’ev Yu. P. Raznovalentnye kationy zhe- leza i marganca v ittrievogadolinievyh ferritah- granatah // Izv. Chelyabin. nauch. centra. — 2003. — Vol. 21, vyp. 4. — P. 60–64. 23. Lomako I. D., Dutov A. G. Vliyanie narushenij stehiometrii i tehnologicheskih primesej na struk turnye svojstva i pogloschenie v IK diapazone kristallov Y3Fe5O12 // Kristal lo gra- fiya. — 2002. — Vol. 47, No. 1. — P.128–132. 24. Vorob’ev Yu. P., Goncharov O. Yu., Kar- ban’ O. V. Strukturnoe pole i formula dlya ras cheta parametra kristallicheskoj reshetki sinteticheskih oksidov granatov // Zhurn. neorgan. himii — 1998. — Vol. 43, No. 4. — P. 644–652. 25. Hapachev Yu. P., Chuhovskij F. N. Deformacii i napryazheniya v mnogoslojnyh epitaksial’nyh kristallicheskih strukturah. ОЦІНКА СТРУКТУРНОЇ ДОСКОНАЛОСТІ ЕПІТАКСІЙНИХ ПЛІВОК ЗАЛІЗО-ІТРІЄВОГО ҐРАНАТУ ФІП ФИП PSE, 2015, т. 13, № 1, vol. 13, No. 144 Rentgenodifrakcionnye metody ih opre dele- niya. Obzor // Kristallografiya — 1989. — Vol. 34, vyp.3, — P. 776–799. 26. Hapachev Yu. P., Chuhovskij F. N. Opredelenie nesootvetstviya i napryazhenij v epitaksial’nyh plenkah s uchetom peremennyh uprugih kon- stant // Metallofizika. — 1987. — Vol. 9, No. 4. — P. 64–68. 27. Dyshekov A. A., Hapachev Yu. P. Rentgeno- difraktometricheskoe op re de le nie uprugih na- prya zhenij i nesootvetstviya v mnogoslojnyh epitak sial’nyh plenkah // Metallofizika. — 1986. — Vol. 8, No. 6. — P. 15–22. 28. Burenkov Yu. A., Nikanorov S. P. Vliyanie tem- pe ratury na upru gie svoj stva ittrievogo ferrita- granata Y3Fe5O12 // FTT — 2002. — Vol. 44, No. 2 — P. 307–311. 29. Prohorov A. M., Smolenskij G. A., Ageev A. I. Opticheskie yavleniya v tonkoplenochnyh mag nitnyh volnovodah i ih tehnicheskoe is po- l’zovanie // UFN. — 1984. — Vol. 143, vyp.1. — P. 33–73. 30. Bolhovityanov Yu. B., Pchelyakov O. P., Chiki- chev S.I. Kremnij-germanievye epitaksial’nye plenki: fizicheskie osnovy polucheniya nap- ryazhennyh i polnost’yu relaksirovannyh ge terostruktur. Obzor // UFN. — 2001. — Vol. 171, No. 7. — P. 689–716. 31. Dubinko S. V., Nedviga A. S., Vishnevskij V. G., Sha poshnikov A. N., Yagupov V. S., Nes- teruk A. G., Prokopov A. R. Osobennosti po- ve deniya koercetivnoj sily v napryazhennyh epitaksial’nyh plenkah ferrit-granatov // Pis’ma v ZhTF. — 2005. — Vol. 31, vyp. 22 — P. 68– 73. 32. Solovko Ya. T., Yaremіj V. O., Kocyu bin- s’kij V. O., Moklyak V. V. Ocіnka struk turnoї doskonalostі epіtaksіjnih Vіza mі schenih fe- rit-granatovih plіvok metodom rent ge no struk- turnogo analіzu // Materіali ІІІ Vseu kraїns’koї konferencії molodih naukovcіv «Іn for- macіjnі tehnologії v naucі, osvіtі і tehnіcі» (ІTONT-2002). — Cherkasi. — 2002. — P. 45–46.

Оцінка структурної досконалості епітаксійних плівок залізоітрієвого ґранату

Репозитарії

Схожі ресурси