Особенности распыления кремниевых и углеродных мишеней ускоренными ионами фуллерена C₆₀

• Veröffentlicht in: Физическая инженерия поверхности
• Datum: 2015
• Hauptverfasser: Малеев, М.В., Зубарев, Е.Н., Пуха, В.Е., Дроздов, А.Н., Вус, А.С., Девизенко, А.Ю.
• Format: Artikel
• Sprache: Russisch
• Veröffentlicht: Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України 2015
• Online Zugang: https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/108648
• Назва журналу: Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine
• Zitieren: Особенности распыления кремниевых и углеродных мишеней ускоренными ионами фуллерена C₆₀ / М.В. Малеев, Е.Н. Зубарев, В.Е. Пуха, А.Н. Дроздов, А.С. Вус, А.Ю. Девизенко // Физическая инженерия поверхности. — 2015. — Т. 13, № 1. — С. 91-104. — Бібліогр.: 40 назв. — рос.

В работе исследованы закономерности роста пленок и эрозии поверхности при облучении мишеней из углерода и кремния пучком ускоренных ионов С₆₀ с энергией в интервале 2,5–24 кэВ при температуре мишеней 373 K. Установлено, что рост углеродных пленок на поверхности облучаемых кремниевых мишеней наблюдается до энергий ионов 7 кэВ, а на поверхности углерода до 19 кэВ. При энергии ионов выше указанных значений пленка на поверхности не формируется и наблюдается эрозия материала мишеней. Исследованы структура и механические свойства углеродных пленок, выращенных в интервале энергий ионов фуллерена 2,5–11,5кэВ. У роботі досліджено закономірності росту плівок і ерозії поверхні при опроміненні мішеней з вуглецю і кремнію пучком прискорених іонів С₆₀ з енергією в інтервалі 2,5–24 кеВ при температурі мішеней 373 K. Встановлено, що зростання вуглецевих плівок на поверхні опромінюються кремнієвих мішеней спостерігається до енергій іонів 7 кеВ, а на поверхні вуглецю до 19 кеВ. При енергії іонів вище зазначених значень плівка на поверхні не формується і спостерігається ерозія матеріалу мішеней. Досліджено структуру та механічні властивості вуглецевих плівок, вирощених в інтервалі енергій іонів фулерену 2,5–11,5кеВ. We studied patterns of film growth and surface erosion during irradiation of carbon and silicon beam of accelerated ions with energies of C₆₀ in the range of 2,5–24 keV at a temperature of 373 K. targets established that the growth of carbon films on the surface of the irradiated silicon target is observed to energies 7 keV ions and at 19 to the surface of carbon keV. When the ion energy above the specified values on the surface of the film is not formed and there is erosion of the target material. The structure and mechanical properties of carbon films grown in the range of ion energies fullerene 2,5–11,5keV.