Особенности распыления кремниевых и углеродных мишеней ускоренными ионами фуллерена C₆₀
В работе исследованы закономерности роста пленок и эрозии поверхности при облучении мишеней из углерода и кремния пучком ускоренных ионов С₆₀ с энергией в интервале 2,5–24 кэВ при температуре мишеней 373 K. Установлено, что рост углеродных пленок на поверхности облучаемых кремниевых мишеней наблюдае...
Saved in:
| Published in: | Физическая инженерия поверхности |
|---|---|
| Date: | 2015 |
| Main Authors: | , , , , , |
| Format: | Article |
| Language: | Russian |
| Published: |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
2015
|
| Online Access: | https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/108648 |
| Tags: |
Add Tag
No Tags, Be the first to tag this record!
|
| Journal Title: | Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| Cite this: | Особенности распыления кремниевых и углеродных мишеней ускоренными ионами фуллерена C₆₀ / М.В. Малеев, Е.Н. Зубарев, В.Е. Пуха, А.Н. Дроздов, А.С. Вус, А.Ю. Девизенко // Физическая инженерия поверхности. — 2015. — Т. 13, № 1. — С. 91-104. — Бібліогр.: 40 назв. — рос. |
Institution
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine| id |
nasplib_isofts_kiev_ua-123456789-108648 |
|---|---|
| record_format |
dspace |
| spelling |
Малеев, М.В. Зубарев, Е.Н. Пуха, В.Е. Дроздов, А.Н. Вус, А.С. Девизенко, А.Ю. 2016-11-12T16:12:05Z 2016-11-12T16:12:05Z 2015 Особенности распыления кремниевых и углеродных мишеней ускоренными ионами фуллерена C₆₀ / М.В. Малеев, Е.Н. Зубарев, В.Е. Пуха, А.Н. Дроздов, А.С. Вус, А.Ю. Девизенко // Физическая инженерия поверхности. — 2015. — Т. 13, № 1. — С. 91-104. — Бібліогр.: 40 назв. — рос. 1999-8074 https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/108648 538.9:539.216.2:538.911:538.95+539.534.9 В работе исследованы закономерности роста пленок и эрозии поверхности при облучении мишеней из углерода и кремния пучком ускоренных ионов С₆₀ с энергией в интервале 2,5–24 кэВ при температуре мишеней 373 K. Установлено, что рост углеродных пленок на поверхности облучаемых кремниевых мишеней наблюдается до энергий ионов 7 кэВ, а на поверхности углерода до 19 кэВ. При энергии ионов выше указанных значений пленка на поверхности не формируется и наблюдается эрозия материала мишеней. Исследованы структура и механические свойства углеродных пленок, выращенных в интервале энергий ионов фуллерена 2,5–11,5кэВ. У роботі досліджено закономірності росту плівок і ерозії поверхні при опроміненні мішеней з вуглецю і кремнію пучком прискорених іонів С₆₀ з енергією в інтервалі 2,5–24 кеВ при температурі мішеней 373 K. Встановлено, що зростання вуглецевих плівок на поверхні опромінюються кремнієвих мішеней спостерігається до енергій іонів 7 кеВ, а на поверхні вуглецю до 19 кеВ. При енергії іонів вище зазначених значень плівка на поверхні не формується і спостерігається ерозія матеріалу мішеней. Досліджено структуру та механічні властивості вуглецевих плівок, вирощених в інтервалі енергій іонів фулерену 2,5–11,5кеВ. We studied patterns of film growth and surface erosion during irradiation of carbon and silicon beam of accelerated ions with energies of C₆₀ in the range of 2,5–24 keV at a temperature of 373 K. targets established that the growth of carbon films on the surface of the irradiated silicon target is observed to energies 7 keV ions and at 19 to the surface of carbon keV. When the ion energy above the specified values on the surface of the film is not formed and there is erosion of the target material. The structure and mechanical properties of carbon films grown in the range of ion energies fullerene 2,5–11,5keV. ru Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України Физическая инженерия поверхности Особенности распыления кремниевых и углеродных мишеней ускоренными ионами фуллерена C₆₀ Особливості розпилення кремнієвих і вуглецевого мішеней прискорення іонами фулерену C₆₀ The features of sputtering silicon and carbon targets with accelerated fullerene C₆₀ ions Article published earlier |
| institution |
Digital Library of Periodicals of National Academy of Sciences of Ukraine |
| collection |
DSpace DC |
| title |
Особенности распыления кремниевых и углеродных мишеней ускоренными ионами фуллерена C₆₀ |
| spellingShingle |
Особенности распыления кремниевых и углеродных мишеней ускоренными ионами фуллерена C₆₀ Малеев, М.В. Зубарев, Е.Н. Пуха, В.Е. Дроздов, А.Н. Вус, А.С. Девизенко, А.Ю. |
| title_short |
Особенности распыления кремниевых и углеродных мишеней ускоренными ионами фуллерена C₆₀ |
| title_full |
Особенности распыления кремниевых и углеродных мишеней ускоренными ионами фуллерена C₆₀ |
| title_fullStr |
Особенности распыления кремниевых и углеродных мишеней ускоренными ионами фуллерена C₆₀ |
| title_full_unstemmed |
Особенности распыления кремниевых и углеродных мишеней ускоренными ионами фуллерена C₆₀ |
| title_sort |
особенности распыления кремниевых и углеродных мишеней ускоренными ионами фуллерена c₆₀ |
| author |
Малеев, М.В. Зубарев, Е.Н. Пуха, В.Е. Дроздов, А.Н. Вус, А.С. Девизенко, А.Ю. |
| author_facet |
Малеев, М.В. Зубарев, Е.Н. Пуха, В.Е. Дроздов, А.Н. Вус, А.С. Девизенко, А.Ю. |
| publishDate |
2015 |
| language |
Russian |
| container_title |
Физическая инженерия поверхности |
| publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України |
| format |
Article |
| title_alt |
Особливості розпилення кремнієвих і вуглецевого мішеней прискорення іонами фулерену C₆₀ The features of sputtering silicon and carbon targets with accelerated fullerene C₆₀ ions |
| description |
В работе исследованы закономерности роста пленок и эрозии поверхности при облучении мишеней из углерода и кремния пучком ускоренных ионов С₆₀ с энергией в интервале 2,5–24 кэВ при температуре мишеней 373 K. Установлено, что рост углеродных пленок на поверхности облучаемых кремниевых мишеней наблюдается до энергий ионов 7 кэВ, а на поверхности углерода до 19 кэВ. При энергии ионов выше указанных значений пленка на поверхности не формируется и наблюдается эрозия материала мишеней. Исследованы структура и механические свойства углеродных пленок, выращенных в интервале энергий ионов фуллерена 2,5–11,5кэВ.
У роботі досліджено закономірності росту плівок і ерозії поверхні при опроміненні мішеней з вуглецю і кремнію пучком прискорених іонів С₆₀ з енергією в інтервалі 2,5–24 кеВ при температурі мішеней 373 K. Встановлено, що зростання вуглецевих плівок на поверхні опромінюються кремнієвих мішеней спостерігається до енергій іонів 7 кеВ, а на поверхні вуглецю до 19 кеВ. При енергії іонів вище зазначених значень плівка на поверхні не формується і спостерігається ерозія матеріалу мішеней. Досліджено структуру та механічні властивості вуглецевих плівок, вирощених в інтервалі енергій іонів фулерену 2,5–11,5кеВ.
We studied patterns of film growth and surface erosion during irradiation of carbon and silicon beam of accelerated ions with energies of C₆₀ in the range of 2,5–24 keV at a temperature of 373 K. targets established that the growth of carbon films on the surface of the irradiated silicon target is observed to energies 7 keV ions and at 19 to the surface of carbon keV. When the ion energy above the specified values on the surface of the film is not formed and there is erosion of the target material. The structure and mechanical properties of carbon films grown in the range of ion energies fullerene 2,5–11,5keV.
|
| issn |
1999-8074 |
| url |
https://nasplib.isofts.kiev.ua/handle/123456789/108648 |
| citation_txt |
Особенности распыления кремниевых и углеродных мишеней ускоренными ионами фуллерена C₆₀ / М.В. Малеев, Е.Н. Зубарев, В.Е. Пуха, А.Н. Дроздов, А.С. Вус, А.Ю. Девизенко // Физическая инженерия поверхности. — 2015. — Т. 13, № 1. — С. 91-104. — Бібліогр.: 40 назв. — рос. |
| work_keys_str_mv |
AT maleevmv osobennostiraspyleniâkremnievyhiuglerodnyhmišeneiuskorennymiionamifullerenac60 AT zubareven osobennostiraspyleniâkremnievyhiuglerodnyhmišeneiuskorennymiionamifullerenac60 AT puhave osobennostiraspyleniâkremnievyhiuglerodnyhmišeneiuskorennymiionamifullerenac60 AT drozdovan osobennostiraspyleniâkremnievyhiuglerodnyhmišeneiuskorennymiionamifullerenac60 AT vusas osobennostiraspyleniâkremnievyhiuglerodnyhmišeneiuskorennymiionamifullerenac60 AT devizenkoaû osobennostiraspyleniâkremnievyhiuglerodnyhmišeneiuskorennymiionamifullerenac60 AT maleevmv osoblivostírozpilennâkremníêvihívuglecevogomíšeneipriskorennâíonamifulerenuc60 AT zubareven osoblivostírozpilennâkremníêvihívuglecevogomíšeneipriskorennâíonamifulerenuc60 AT puhave osoblivostírozpilennâkremníêvihívuglecevogomíšeneipriskorennâíonamifulerenuc60 AT drozdovan osoblivostírozpilennâkremníêvihívuglecevogomíšeneipriskorennâíonamifulerenuc60 AT vusas osoblivostírozpilennâkremníêvihívuglecevogomíšeneipriskorennâíonamifulerenuc60 AT devizenkoaû osoblivostírozpilennâkremníêvihívuglecevogomíšeneipriskorennâíonamifulerenuc60 AT maleevmv thefeaturesofsputteringsiliconandcarbontargetswithacceleratedfullerenec60ions AT zubareven thefeaturesofsputteringsiliconandcarbontargetswithacceleratedfullerenec60ions AT puhave thefeaturesofsputteringsiliconandcarbontargetswithacceleratedfullerenec60ions AT drozdovan thefeaturesofsputteringsiliconandcarbontargetswithacceleratedfullerenec60ions AT vusas thefeaturesofsputteringsiliconandcarbontargetswithacceleratedfullerenec60ions AT devizenkoaû thefeaturesofsputteringsiliconandcarbontargetswithacceleratedfullerenec60ions |
| first_indexed |
2025-12-07T15:18:38Z |
| last_indexed |
2025-12-07T15:18:38Z |
| _version_ |
1850863222645587968 |